JP2008238776A - 液体吐出ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】圧力室の高密度配置を効率よく実現する。
【解決手段】圧力室１１０の側面５１ａにオーバーハング部５１が形成されたことにより、圧力室１１０の内部空間における流路ユニット９の上面９ａに沿った長さは、上面９ａからそのやや下方までが最も小さく、それより下方へと上面９ａから離れるほど大きくなっている。個別電極３５と電気的に接続されたランド３７は平面視においてオーバーハング部５１と重なり合っている。
【選択図】図６

Description

本発明は、液体吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。

インク滴を吐出して印刷を行うインクジェット式の記録装置において、高解像度の印刷を実現するには、ヘッドに形成されるノズルの数を増加し且つ当該ノズルを高密度に配置する必要がある。圧電素子を用いたヘッドでは、ノズルに対応して圧力室が形成されており、ノズル数の増加と共に圧力室の数も増加する。圧力室を高密度に配置するには圧力室の平面積を小さくすることが考えられるが、単に圧力室の平面積を小さくするだけでは駆動効率が低下してしまう。そこで、例えば特許文献１では、圧力室の平面形状を工夫することにより、圧力室の高密度配置を実現しつつ駆動効率の低下を防ぐことが提案されている。

特開２００２−２４８７４６５号公報

しかしながら、特許文献１に記載のヘッドによると、駆動信号源との電気的接続が行われる電気パッド部が圧力室の側壁に対向するように、即ち圧力室と対向する領域外に配置されるため、平面視において圧力室に加えて電気パッドを形成する領域を確保する必要があり、このことによって圧力室の高密度配置が困難となっている。

本発明の目的は、圧力室の高密度配置を効率よく実現することができる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することである。

上記目的を達成するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体吐出口が一端に設けられた個別液体流路の一部として形成された複数の圧力室と、前記複数の圧力室の内部空間を露出させる開口が形成された平面とを有する流路部材と、複数の前記開口を塞ぐように前記平面に固定された一又は複数の振動板と、前記平面に沿った方向に互いに離隔していると共に、それぞれ前記複数の圧力室に対向するように前記振動板上に形成された複数の圧電層と、前記複数の圧電層上にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記圧電層の表面からの高さが前記個別電極よりも大きく且つ前記複数の個別電極とそれぞれ電気的に接続された複数のランドとを備えており、前記圧力室の側壁には、前記平面に沿った前記内部空間の長さが前記平面から離れるほど大きくなるようにオーバーハング部が形成されており、前記平面と直交する方向から見て、前記ランドの少なくとも一部が前記オーバーハング部と重なり合っていることを特徴とする。

上記構成のようにオーバーハング部上にランドを配置した場合、圧力室と対向する領域外にランドを配置した場合に比べて、圧力室をより高密度に配置することができる。

また、圧電層が複数の圧力室に跨っている場合は電圧印加時に圧電層の個別電極及びランドに対向した領域が変形して隣接する個別電極間でクロストークが生じるが、上記構成のように各圧力室に対向する圧電層が互いに離隔している場合はクロストークがほとんど生じない。

しかも、ランドの少なくとも一部がオーバーハング部と重なり合っているため、ランドに端子を接合する際や圧電層を流路部材に固定する際等に、ランドへの加圧力がオーバーハング部に伝わり、圧電層が破損しにくい。したがって、十分な圧力で両者を強固に接合することができる。

前記平面と直交する方向から見て、前記ランドには、前記オーバーハング部と重なり合わずに前記圧力室と重なり合う部分がないことが好ましい。ランドにオーバーハング部と重なり合わずに圧力室と重なり合う部分がある場合は、ランドに端子を接合する際や圧電層を流路部材に固定する際等に、圧電層における圧力室のオーバーハング部が形成されていない領域と対向する部分が破損しやすいが、上記構成によると、圧電層がより破損しにくく、十分な力で両者をより強固に接合することができる。さらに、ランドがオーバーハング部を超えて圧力室と重なり合わないので、圧電層の変形が阻害されることがほとんどない。

前記平面と直交する方向から見て、前記ランドの全体が前記オーバーハング部と重なり合っていることが好ましい。これにより、さらなる圧力室の高密度配置が可能となる。

前記平面と直交する方向から見て、前記圧力室の全体が前記圧電層内に収まっていることが好ましい。これにより、さらなる圧力室の高密度配置が可能となる。

前記平面と直交する方向から見て、前記圧力室が四角形形状を有しており、前記ランドがその１つの頂点付近に設けられていることが好ましい。これにより、さらなる圧力室の高密度配置が可能となる。

前記オーバーハング部が、前記圧力室における液体の入口及び出口の少なくとも一方に設けられていることが好ましい。これにより、液体の圧力室への流入又は流出がスムーズになるため、圧力室内に気泡が残留しにくい、つまり気泡が発生したとしても当該気泡が圧力室からより排出されやすい。圧力室内の気泡は、各液体吐出口からの液体の吐出にばらつきを生じさせるという問題を引き起こすが、上記構成ではこのような問題を軽減することが可能である。

前記オーバーハング部が、前記圧力室における液体の入口及び出口の両方に設けられていることが好ましい。これにより、液体の圧力室への流入及び流出の両方がスムーズになるため、圧力室内に気泡が残留しにくい、つまり気泡が発生したとしても当該気泡が圧力室からより排出されやすい。

前記オーバーハング部に対応する前記圧力室の側壁が湾曲形状であることが好ましい。この構成によると、液体の圧力室への流入及び／又は流出がスムーズになるため、圧力室内に気泡が残留しにくい、つまりたとえ気泡が発生したとしても当該気泡が圧力室からより排出されやすい。

本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、液体吐出口が一端に設けられた個別液体流路の一部として形成された複数の圧力室と、前記複数の圧力室の内部空間を露出させる開口が形成された平面とを有する流路部材を作製する流路部材作製工程と、複数の前記開口を塞ぐ振動板を前記平面に固定する振動板固定工程と、前記振動板上に、前記複数の圧力室に対向する１枚の圧電層を配置する圧電層配置工程と、前記圧電層上に、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を配置する個別電極配置工程と、前記圧電層の表面からの高さが前記個別電極よりも大きく且つ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数のランドを形成するランド形成工程と、前記圧電層を、前記複数の圧力室に対向しており且つ前記平面に沿った方向に互いに離隔した複数の部分に分割する分割工程とを備えており、
前記流路部材作製工程において、前記圧力室の側壁に、前記平面に沿った前記内部空間の長さが前記平面から離れるほど大きくなるようなオーバーハング部を形成すると共に、前記複数の開口を、前記平面を格子状に区画する複数の四角形領域内に位置させ、前記ランド形成工程において、前記ランドの全体を前記四角形領域内に収容すると共に、前記平面と直交する方向から見て、前記ランドの少なくとも一部を前記オーバーハング部と重なり合わせることを特徴とする。

上記構成によると、ランドの全体が四角形領域内にあるので、分割工程において圧電層を一直線に沿って分割すればよい。そのため、圧電層をカッターを用いて容易に分割することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

図１に示すように、本発明の一実施形態に係るインクジェットプリンタ１０１は、４つのインクジェットヘッド１を有するカラーインクジェットプリンタである。インクジェットプリンタ１０１には、図中左方に給紙トレイ１１、図中右方に排紙トレイ１２がそれぞれ設けられており、給紙トレイ１１から排紙トレイ１２に向かって用紙Ｐが搬送される用紙搬送経路が形成されている。給紙トレイ１１のすぐ下流側には、用紙Ｐを狭持しながら給紙トレイ１１から図中右方へと送り出す一対の送りローラ５ａ、５ｂが配置されている。

用紙搬送経路の中間には、ベルト搬送機構１３が設けられている。ベルト搬送機構１３は、２つのベルトローラ６、７と、両ローラ６、７間に巻回されたエンドレスの搬送ベルト８と、搬送ベルト８によって囲まれた領域内においてインクジェットヘッド１と対向する位置に配置されたプラテン１５とを含む。プラテン１５は、インクジェットヘッド１と対向する画像形成領域において搬送ベルト８が下方に撓まないように搬送ベルト８を支持する。ベルトローラ７と対向する位置には、給紙トレイ１１から送りローラ５ａ、５ｂによって送り出された用紙Ｐを搬送ベルト８の外周面８ａに押さえ付けるニップローラ４が配置されている。

搬送モータ（図示せず）によってベルトローラ６を図中時計回りに回転させると、搬送ベルト８が矢印Ｘに沿って走行する。これにより、ニップローラ４によって搬送ベルト８の外周面８ａに押さえ付けられた用紙Ｐは、外周面８ａ上に保持されつつ、排紙トレイ１２に向けて搬送される。

用紙搬送経路に沿ってベルトローラ６のすぐ下流側には、剥離板１４が設けられている。剥離板１４は、搬送ベルト８の外周面８ａ上に保持されている用紙Ｐを外周面８ａから剥離して排紙トレイ１２に向けて送る。

４つのインクジェットヘッド１は、用紙搬送方向に沿って並列されており、それぞれマゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクを吐出する。つまりインクジェットプリンタ１０１は、ライン式プリンタである。各インクジェットヘッド１の下端には、用紙搬送方向に直交した方向に長尺な細長い直方体形状を有するヘッド本体２が設けられている。ヘッド本体２の下面が外周面８ａに対向するインク吐出面２ａとなっている。搬送ベルト８によって搬送される用紙Ｐが４つのヘッド本体２のすぐ下方を順に通過する際に、各ヘッド本体２のインク吐出面２ａから用紙Ｐの表面に向けて各色のインクが吐出されることで、用紙Ｐの表面に所望のカラー画像が形成される。

次に、インクジェットヘッド１について説明する。

図２に示すように、インクジェットヘッド１の下端に設けられたヘッド本体２は、流路ユニット９及び４つのアクチュエータ群２１（各領域を図３では実線、図４では二点鎖線で示す）を有している。図３及び図４に示すように、流路ユニット９の上面９ａにおけるアクチュエータ群２１と対応した領域には多数の圧力室１１０がマトリクス状に形成されている。流路ユニット９の下面、即ちインク吐出面２ａにおけるアクチュエータ群２１と対応した領域は、先端がインク吐出口となる多数のノズル１０８がマトリクス状に配列されたインク吐出領域となっている。多数のノズル１０８は、それぞれ圧力室１１０と対応して配置されている。アクチュエータ群２１は、各圧力室１１０に個別に設けられた多数のアクチュエータ２１ａを含んでいる。アクチュエータ２１ａは、圧力室１１０内のインクに選択的に吐出エネルギーを付与する。各アクチュエータ２１ａは、対応する圧力室１１０の開口を塞ぐように流路ユニット９の上面に固定されている（図５参照）。

図２に戻って、各アクチュエータ群２１に含まれる全アクチュエータ２１ａの上面に亘ってＣＯＦ（Chip On Film）５０の一端近傍が固定されており、ＣＯＦ５０の各端子（図示せず）がアクチュエータ２１ａとそれぞれ電気的に接続されている。ＣＯＦ５０は、ドライバＩＣ５２が実装された平型柔軟基板である。ＣＯＦ５０の他端は、制御基板５４と電気的に接続されている。制御基板５４は、ドライバＩＣ５２を介してアクチュエータ２１ａの駆動を制御する。ドライバＩＣ５２は、アクチュエータ２１ａを駆動する駆動信号を生成する。

ヘッド本体２の上面には、流路ユニット９にインクを供給するリザーバユニット７１が固定されている。アクチュエータ群２１、リザーバユニット７１、ＣＯＦ５０、及び制御基板５４は、サイドカバー５３及びヘッドカバー５５によって覆われている。金属板であるサイドカバー５３は、流路ユニット９の長手方向に沿って延在し、流路ユニット９の上面の幅方向両端近傍に固定されている。ヘッドカバー５５は、２つのサイドカバー５３の上端にこれらを跨ぐように固定されている。

リザーバユニット７１は、互いに積層された４枚のプレート９１，９２，９３，９４を含む。リザーバユニット７１の内部には、インクタンク等のインク供給源（図示せず）からインクが流入するインク流入流路（図示せず）、インクを一時的に貯溜するインクリザーバ６１、及び１０個のインク流出流路６２（図２には１つのみ示す）が互いに連通するように形成されている。インク流出流路６２は、流路ユニット９の上面に形成された１０個のインク供給口１０５ｂ（図３参照）を介して流路ユニット９と連通している。インク供給源からのインクは、インク流入流路、インクリザーバ６１、及びインク流出流路６２を順次通過し、インク供給口１０５ｂから流路ユニット９に供給される。プレート９４の下面には、プレート９４とＣＯＦ５０との間に間隙が形成されるように、凹凸が形成されている。

ＣＯＦ５０は、サイドカバー５３とリザーバユニット７１との間に挟まれつつ上方に延在し、他端において制御基板５４に実装されたコネクタ５４ａと接続されている。ドライバＩＣ５２は、リザーバユニット７１の側面に貼り付けられたスポンジ８２によってサイドカバー５３に向けて付勢されると共に、ヒートシンク８１を介してサイドカバー５３に固定されている。

次に、図３、図４、図５、図６、図７、及び図８を参照しつつ、ヘッド本体２についてより詳細に説明する。上述のように、ヘッド本体２は、流路ユニット９及び４つのアクチュエータ群２１を含む（図３参照）。なお、図３及び図４では、アクチュエータ群２１に含まれる各アクチュエータ２１ａを示さずアクチュエータ群２１の領域のみを示している。図４では、それぞれ流路ユニット９の内部及び下面に形成されていて破線で描くべきアパーチャ１１２及びノズル１０８を実線で描いている。

流路ユニット９は、リザーバユニット７１のプレート９４とほぼ同じ平面形状の直方体形状を有する。図３に示すように、流路ユニット９の上面９ａには、リザーバユニット７１のインク流出流路６２（図２参照）に対応して、計１０個のインク供給口１０５ｂが設けられている。流路ユニット９の内部には、インク供給口１０５ｂに連通するマニホールド流路１０５及びマニホールド流路１０５から分岐した副マニホールド流路１０５ａが形成されている。

図４に示すように、本実施形態では、等間隔に配置された多数の圧力室１１０からなる流路ユニット９の長手方向に延びた圧力室１１０の列が、１つのアクチュエータ群２１内に１６列形成されている。各圧力室列に含まれる圧力室１１０の数は、アクチュエータ群２１の台形形状の領域の長辺（下底）に近いものほど多く、短辺（上底）に近いものほど少ない。ノズル１０８についても同様である。

各圧力室１１０は、角部にアールが施された菱形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット９の幅方向に平行である。圧力室１１０の一方の鋭角部に対応した各圧力室１１０の一端はノズル１０８に連通しており、圧力室１１０の他方の鋭角部に対応した他端はアパーチャ１１２を介して副マニホールド流路１０５ａに連通している。

図５に示すように、流路ユニット９は、上から順に、キャビティプレート１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、３枚のマニホールドプレート１２６，１２７，１２８、カバープレート１２９、及びノズルプレート１３０、という９枚のステンレス鋼等の金属プレートを含む。プレート１２２〜１３０はそれぞれ主走査方向に長尺な矩形平面形状を有する。

キャビティプレート１２２は、圧力室１１０に対応するほぼ平行四辺形の開口が多数設けられた金属プレートである。ベースプレート１２３は、キャビティプレート１２２の１つの圧力室１１０について、圧力室１１０とアパーチャ１１２との連絡孔及び圧力室１１０からノズル１０８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート１２４は、キャビティプレート１２２の１つの圧力室１１０について、アパーチャ１１２のほかに圧力室１１０からノズル１０８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート１２５は、キャビティプレート１２２の１つの圧力室１１０について、アパーチャ１１２と副マニホールド流路１０５ａとの連絡孔及び圧力室１１０からノズル１０８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート１２６，１２７，１２８は、副マニホールド流路１０５ａに加えて、キャビティプレート１２２の１つの圧力室１１０について、圧力室１１０からノズル１０８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート１２９は、キャビティプレート１２２の１つの圧力室１１０について、圧力室１１０からノズル１０８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート１３０は、キャビティプレート１２２の１つの圧力室１１０について、ノズル１０８に対応する孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。

プレート１２２〜１３０は、流路ユニット９内にマニホールド流路１０５、副マニホールド流路１０５ａ、及び、副マニホールド流路１０５ａの出口から絞りとして機能するアパーチャ１１２さらに圧力室１１０を経てノズル１０８に至る多数の個別インク流路１３２（図５参照）が形成されるように、互いに位置合わせしつつ積層されている。個別インク流路１３２は、圧力室１１０毎に個別のインク流路であって、副マニホールド流路１０５ａからまず上方へ向かい、アパーチャ１１２において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１１０に連通する。そして、圧力室１１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル１０８へと向かう。

図６に示すように、キャビティプレート１２２において、平面視略菱形形状の圧力室１１０の両鋭角部近傍に対応する部分には、断面視湾曲状のオーバーハング部５１が形成されている。オーバーハング部５１が形成されたことにより、圧力室１１０の内部空間は、流路ユニット９の上面９ａに沿った長さ（図６の左右方向の長さ）が、上面９ａからそのやや下方までが最も小さく、それより下方へと上面９ａから離れるほど大きくなっている。キャビティプレート１２２において、オーバーハング部５１は、圧力室１１０の側面５１ａとベースプレート１２３との交線をキャビティプレート１２２の厚み方向に延長した環状曲面５１ｂと、圧力室１１０の側面５１ａとによって挟まれたキャビティプレート１２２の部分である。また図７に示すように、平面視におけるオーバーハング部５１の領域は、側面５１ａの上面９ａとの交線である内縁５１ａ₁と、環状曲面５１ｂの外縁とに囲まれた領域である。

次に、アクチュエータ群２１について説明する。

図３に示すように、４つのアクチュエータ群２１は、それぞれ台形形状の領域を有し、インク供給口１０５ｂを避けるよう主走査方向に千鳥状に配置されている。アクチュエータ群２１の台形領域の平行対向辺は流路ユニット９の長手方向に延在している。隣接するアクチュエータ群２１の台形領域の斜辺同士は、副走査方向に沿ってオーバーラップしている。

図６に示すように、アクチュエータ群２１に含まれる各アクチュエータ２１ａは、４枚の圧電シート４１,４２，４３，４４、最上層の圧電シート４１の上面に形成された個別電極３５、圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間に全面に亘って形成された略２μｍの厚みの共通電極３４、及び、個別電極３５と電気的に接続された円形のランド３７を含む。圧電シート４２と圧電シート４３の間及び圧電シート４３と圧電シート４４との間に電極は配置されていない。

圧電シート４１〜４４は、共に強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなり、１５μｍ程度の厚みで、図７に示すように一の圧力室１１０の領域に対応した平行四辺形形状を有する。平面視において、対応する圧力室１１０の全体が圧電シート４１〜４４内に収まっている。

個別電極３５及び共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。個別電極３５は、図７に示すように、圧力室１１０とほぼ相似でこれよりも一回り小さい略平行四辺形の平面形状を有する主電極部３６、及び、主電極部３６における鋭角部の一方から主電極部３６の長手方向に延出した延出部３８を含む。主電極部３６は対応する圧力室１１０に対向する領域内に配置されており、延出部３８は主電極部３６の一端から圧力室１１０に対向しない領域へと延出している。主電極部３６及び延出部３８は略１μｍの厚みを有する。

ランド３７は、例えばガラスフリットを含む金からなり、略１６０μｍの径を有する。ランド３７は延出部３８の先端の表面上に接着されることで圧電シート４１の表面からの高さが主電極部３６及び延出部３８より高くなっている（図６参照）。各ランド３７にはＣＯＦ５０の端子（図示せず）が加圧接合される。平面視において、ランド３７の全体がオーバーハング部５１と重なり合っている。

共通電極３４及び個別電極３５はそれぞれＣＯＦ５０（図２参照）に設けられた配線を介してドライバＩＣ５２と接続されている。共通電極３４には、グランド電位に保持された信号がドライバＩＣ５２から供給される。個別電極３５には、印字すべき画像パターンに応じてグランド電位と正電位とを交互に取る駆動信号がドライバＩＣ５２から供給される。

ここで、アクチュエータ２１ａの駆動方法について説明する。圧電シート４１はその厚み方向に分極されている。つまり、アクチュエータ２１ａは、圧力室１１０から最も離れた圧電シート４１を活性部が存在する層とし且つこれより下側の圧力室１１０に近い３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、所謂ユニモルフタイプである。個別電極３５を正又は負の所定電位にして圧電シート４１の個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた活性部に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電横効果により分極方向と直交する方向、即ち面方向に縮む。一方、圧電シート４２〜４４は電界の影響を受けないため自発的には変形しないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で面方向への歪みに差が生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が圧力室１１０に向けて凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。ここで、圧電シート４１〜４４は圧力室１１０を区画するキャビティプレート１２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４の活性部に相当する領域が圧力室１１０に向かって凸になるように変形する。このような変形が生じることで、圧力室１１０の容積が低下し、圧力室１１０内のインクに圧力つまり吐出エネルギーが付与され、ノズル１０８からインク滴が吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４４は元の形状になって圧力室１１０の容積が元の容積に戻り、マニホールド流路１０５から圧力室１１０内にインクが吸い込まれる。

他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、初期状態において、圧電シート４１〜４４の活性部に相当する領域が圧力室１１０に向かって凸となるように変形している。そして吐出要求の際、個別電極３５が共通電極３４と同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４４が平坦な形状になり、圧力室１１０の容積が初期状態と比較して増加することにより、マニホールド流路１０５から圧力室１１０内にインクが吸い込まれる。その後、再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４４の活性部に相当する領域が圧力室１１０に向かって凸となるように変形し、圧力室１１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。

図８は、アクチュエータ群２１内におけるアクチュエータ２１ａ及び圧力室１１０の配置を部分的に示す説明図である。平行四辺形領域１０は流路ユニット９の上面９ａを格子状に区画した仮想領域であり、各領域１０内に圧力室１１０及びこれに対応するアクチュエータ２１ａが配置されている。アクチュエータ２１ａに含まれる圧電シート４１〜４４は領域１０の外縁と略同じ平行四辺形の平面形状であって、隣接するアクチュエータ２１ａの圧電シート４１〜４４は若干の隙間を介して互いに離隔している。アクチュエータ２１ａは、圧力室１１０に対応するよう、平面視においてマトリクス状に配置されている。ランド３７は、隣接する別のアクチュエータ２１ａの主電極部３６間に位置するように配置されている。

以上に述べたように、本実施形態のインクジェットヘッド１によると、図６に示すようにオーバーハング部５１上にランド３７が配置されていることから、圧力室１１０と対向する領域外（図６の曲面５１ｂより左側）にランド３７を配置した場合に比べて、圧力室１１０をより高密度に配置することができる。

また、圧電シート４１〜４４が複数の圧力室１１０に跨っている場合は、電圧印加時に圧電シート４１〜４４の個別電極３５及びランド３７に対向した領域が変形して、隣接の圧力室１１０に対してクロストークが生じるが、本実施形態のように各圧力室１１０に対向する圧電シート４１〜４４が互いに離隔している場合はクロストークがほとんど生じない。したがって、隣接する圧力室１１０に連通したノズル１０８から同時にインクを吐出する場合であっても、ノズル１０８からのインク吐出量及びインク吐出速度が所望の値となり、印刷品質が向上する。

しかも、平面視においてランド３７がオーバーハング部５１と重なり合っているため、ランド３７にＣＯＦ５０の端子を接合する際や圧電シート４１〜４４を流路ユニット９に固定する際等に、ランド３７への加圧力がオーバーハング部５１に伝わり、圧電シート４１〜４４が破損しにくい。例えば、圧力室１１０の高密度配置を実現するために、ランド３７を主電極部３６に近づけてオーバーハング部５１と重なり合わない位置に配置すると、ランド３７と圧力室１１０との間には４枚の圧電シート４１〜４４だけが存在することになる。この場合、セラミックス材料からなる脆弱な圧電シート４１〜４４が、ランド３７とＣＯＦ５０の端子とを接合する際や圧電シート４１〜４４を流路ユニット９に固定する際等に加わる圧力によって破損するのを防止するために、加圧力を小さくしなければならない。そのため、ランド３７及びＣＯＦ５０の端子、又は、圧電シート４１〜４４及び流路ユニット９の高い接合強度を確保することができなくなってしまう。これに対し、本実施形態では、ランド３７と圧力室１１０との間に圧電シート４１〜４４に加えてオーバーハング部５１が存在するので、オーバーハング部５１の厚みの分だけ剛性が高くなり、その分だけ圧電シート４１〜４４が破損しにくくなる。したがって、ランド３７及びＣＯＦ５０の端子、又は、圧電シート４１〜４４及び流路ユニット９を十分な圧力で強固に接合することができる。

例えばランド３７にオーバーハング部５１と重なり合わずに圧力室１１０と重なり合う部分がある場合は、ランド３７にＣＯＦ５０の端子を接合する際や圧電シート４１〜４４を流路ユニット９に固定する際等に、圧電シート４１〜４４における圧力室１１０のオーバーハング部５１が形成されていない領域と対向する部分が破損しやすい。これに対し、本実施形態では、図７に示すように、平面視においてランド３７にはオーバーハング部５１と重なり合わずに圧力室１１０と重なり合う部分がないため、圧電シート４１〜４４がより破損しにくく、十分な力で両者をより強固に接合することができる。さらに、ランド３７がオーバーハング部５１を超えて圧力室１１０と重なり合わないので、圧電シート４１〜４４の変形が阻害されることがほとんどない。

また本実施形態では、平面視において、ランド３７の全体がオーバーハング部５１と重なり合っている。これにより、ランド３７の一部がオーバーハング部５１を超えた領域（図６の曲面５１ｂより左側）にある場合に比べて、さらなる圧力室１１０の高密度配置が可能となっている。

さらに、平面視において圧力室１１０の全体が圧電シート４１〜４４内に収まっていること、及び、圧力室１１０が平行四辺形形状を有しておりランド３７がその１つの頂点付近に設けられていることによって、流路ユニット９の上面９ａに圧力室１１０を効率よく配置することができ、さらなる圧力室１１０の高密度配置が可能となっている。

オーバーハング部５１は、圧力室１１０におけるインクの入口及び出口、即ちアパーチャ１１２及びノズル１０８との連絡孔が連通する圧力室１１０の鋭角部に形成されている。これにより、インクの圧力室１１０への流入及び流出がスムーズになるため、圧力室１１０内に気泡が残留しにくい、つまりたとえ気泡が発生したとしても当該気泡が圧力室１１０から排出されやすい。圧力室１１０内の気泡は、各ノズル１０８からのインクの吐出にばらつきを生じさせ、印刷品質を悪化させるという問題を引き起こすが、上記構成ではこのような問題を軽減することが可能である。

図６に示すように、オーバーハング部５１に対応する圧力室１１０の側面５１ａは湾曲形状である。これにより、インクの圧力室１１０への流入及び流出がスムーズになるため、圧力室１１０内に気泡がより残留しにくい、つまりたとえ気泡が発生したとしても当該気泡が圧力室１１０からより排出されやすい。

続いて、図９を参照しつつ、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の製造方法について説明する。図９は、インクジェットヘッド１に含まれるヘッド本体２の製造方法を示すフローチャートである。

先ず、流路ユニット９とアクチュエータ群２１の元となる台形部材とを別々に作製する。

流路ユニット９を作製するには、先ず９枚のステンレス鋼等の金属プレートにそれぞれパターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して孔を形成し、プレート１２２〜１３０を作製する（Ｓ１）。このとき、キャビティプレート１２２となるプレートについては、面内に多数の平行四辺形領域１０（図８参照）を想定し、当該領域１０内にそれぞれ圧力室１１０に対応する開口が形成されるようにエッチングを施す。具体的には、図７に示す内縁５１ａ₁に対応した比較的小さな孔を有するマスク（レジスト膜）と、曲面５１ｂの外縁に対応する比較的大きな孔を有するマスク（レジスト膜）との２つのマスクを用いて、一方の面から２度エッチングすることによって、オーバーハング部５１を有する圧力室１１０の側面５１ａを形成する。このようにエッチングを行うことで、上述のような形状のオーバーハング部５１を形成しやすい。

その後、プレート１２２〜１３０を、図５に示す個別インク流路１３２が形成されるように互いに位置合わせしつつエポキシ系の熱硬化性接着剤を介して積層し、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しつつ加圧する。これにより、熱硬化性接着剤が硬化してプレート１２２〜１３０が互いに固着され、流路ユニット９が得られる。

アクチュエータ群２１の元となる台形部材を作製するには、先ず圧電セラミックスのグリーンシートを４枚用意する。グリーンシートは、予め焼成による収縮量を見込んで形成される。そのうちの２枚のグリーンシート上に、それぞれ個別電極３５及び共通電極３４のパターンで導電性ペーストをスクリーン印刷する。そして、治具を用いてグリーンシート同士を位置合わせしつつ、印刷のされていないグリーンシートを２枚重ねる。この上に、共通電極３４の印刷されたパターンを上にしてグリーンシートを１枚重ね、さらに個別電極３５の印刷されたパターンを上にしてグリーンシートを１枚重ねる（Ｓ３）。

そして、Ｓ３で得られた積層体を公知のセラミックスと同様に脱脂し、所定の温度で焼成する（Ｓ４）。これにより、４枚のグリーンシートが圧電シート４１〜４４となり、導電性ペーストが個別電極３５及び共通電極３４となる。その後、各個別電極３５の延出部３８上にガラスフリットを含む金を印刷し、多数のランド３７を形成する（Ｓ５）。これにより、最上面に多数の個別電極３５及びランド３７が形成され且つ内部に共通電極３４が形成された板状体が得られる。しかる後、アクチュエータ群２１の領域である台形形状に沿って、板状体を切断する（Ｓ６）。こうして、アクチュエータ群２１の元となる台形部材が４つ得られる。

次に、流路ユニット９の上面９ａに、熱硬化性接着剤を介して４つの台形部材をそれぞれ図３に示すアクチュエータ群２１の領域に配置する（Ｓ７）。このとき各台形部材は、個別電極３５が圧力室１１０と対向するように、ランド３７の全体が平行四辺形領域１０内に収容されるように、且つ、ランド３７がオーバーハング部５１と重なり合うように、位置合わせされる。

そして、ランド３７によって支持されるようにセラミックヒータ等の加熱・加圧装置を台形部材上に載置し、流路ユニット９と台形部材との積層体を熱硬化性接着剤の硬化温度以上に加熱しながら加圧する（Ｓ８）。Ｓ９においてこの積層体を自然冷却し、その後、カッターを用いて台形部材を図８に示す多数の平行四辺形領域１０に区画するように切断する（Ｓ１０）。これにより、台形部材はアクチュエータ群２１に含まれる多数のアクチュエータ２１ａに分割される。このようにして形成されたアクチュエータ２１ａはそれぞれ、圧力室１１０に対向してその開口を塞ぐと共に、平面方向に互いに離隔している。

以上の工程によってヘッド本体２が完成する。その後、ランド３７上に熱硬化性の導電性接着剤を塗布し、ＣＯＦ５０に形成された端子とランド３７とが重なり合うように位置合わせした状態でＣＯＦ５０をヘッド本体２に向けて加圧しつつ加熱することによって、両者を接合する。さらに、リザーバユニット７１を流路ユニット９の上面９ａに固定することにより、インクジェットヘッド１が完成する。

以上に述べたように、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法によると、図８に示すようにランド３７の全体が平行四辺形領域１０内にあるので、Ｓ１０において台形部材を一直線に沿って格子状に分割すればよい。例えばランド３７が隣接する平行四辺形領域１０に跨って配置されている場合には、一直線に沿って格子状に分割することができず、Ｓ１０の工程が困難になるが、本実施形態によると、台形部材をカッターを用いて容易に分割することができる。

なお、流路ユニット９の作製工程と、アクチュエータ群２１の元となる台形部材の作製工程は、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

製造方法の変形例として、流路ユニット９上に台形部材を固定した後に、圧電シート４１上に個別電極３５及び／又はランド３７を形成してよい。また、流路ユニット９上に圧電シート４１〜４４を順次積層・焼成してよい。流路ユニット９上に固定する前に台形部材を予め分割し、分割により得られたアクチュエータ２１ａをそれぞれ流路ユニット９上に固定してよい。

続いて、図１０、図１１、及び図１２を参照しつつ、オーバーハング部の変形例について説明する。なお、上述したものと同じ構成要素については同じ参照符号を付して説明を省略する。

図１０に示す変形例において、オーバーハング部１５１は、流路ユニット９の上面９ａのやや下方で突出量が最大となっており、それより下方へと上面９ａから離れるほど突出量が減少している。オーバーハング部１５１を有する圧力室１１０は、副マニホールド流路１０５ａに連通する連絡孔とノズル１０８に連通する連絡孔とに跨った大きさの孔１５１ａが形成されるようにキャビティプレート１２２の下面からエッチングし、且つ、孔１５１ａより小さく且つこれと相似形状な孔１５１ｂが形成されるようにキャビティプレート１２２の上面からエッチングすることにより、形成されてよい。このようにキャビティプレート１２２の両面からエッチングを施すことで、キャビティプレート１２２の正確な位置に圧力室１１０を形成することができ、圧力室１１０の位置精度が高いインクジェットヘッドを製造することができる。これは、圧力室１１０を形成する２つの孔１５１ａ，１５１ｂをキャビティプレート１２２の両面からそれぞれ位置決めしつつ形成することができるからである。

図１１に示す変形例は、キャビティプレート１２２が２枚のシート２２ａ，２２ｂを含む点を除いて、図１０に示す変形例と同様である。それぞれ孔１５１ａ，１５１ｂが形成されたシート２２ａ，２２ｂを、孔１５１ａ，１５１ｂが連通して１つの孔となるように接着剤で貼り合わせることで、キャビティプレート１２２が形成されている。このようにキャビティプレート１２２が２枚のシート２２ａ，２２ｂを含むことで、圧力室１１０の側壁形状を高い自由度で決めることができる。したがって、圧力室１１０の側壁を図１１に示す形状以外にも容易に形成することができる。

図１２に示す変形例において、キャビティプレート２２２は３枚のシート２２２ａ，２２２ｂ，２２２ｃを含む。シート２２２ａ〜２２２ｃは、それぞれ孔２５１ａ，２５１ｂ，２５１ｃを有し、孔２５１ａ〜２５１ｃが重なり合うように互いに積層されている。孔２５１ａ〜２５１ｃは互いに相似な略平行四辺形形状であって、孔２５１ａは孔２５１ｂより小さく且つ孔２５１ｃより大きい。オーバーハング部２５１は、最上層のシート２２２ａにおけるシート２２２ｂからの突出部に相当する。シート２２２ｃもシート２２２ａと同じ方向に突出しているが、シート２２２ａとシート２２２ｃとの間に空隙があるために、ランド３７への加圧力はシート２２２ａの突出部に伝達され、ＣＯＦ５０の端子との接合圧又は圧電シート４１〜４４の流路ユニット９への接合圧を増大させることにシート２２２ｃは寄与しない。図１２に示す変形例に類似の例として、キャビティプレートが３枚のシートを含み、最上層に位置するシートの孔が一番大きく形成され、下位に位置するシートの孔が互いに同じサイズか或いは下位のシートほど大きなサイズの孔が形成されていてもよい。いずれにしても、圧力室の内側に突出した部分がアクチュエータやＣＯＦの積層固定時の加圧力を受け止め、この加圧力によるアクチュエータの破損が防止される。

続いて、図１３及び図１４を参照しつつ、ランド３７の位置の変形例について説明する。なお、上述したものと同じ構成要素については同じ参照符号を付して説明を省略する。

図１３及び図１４に示す変形例において、ランド３７は、全体ではなく一部のみがオーバーハング部５１と重なり合っている。図１３に示すランド３７は図７の実施形態よりも圧力室１１０から離れる方向に配置されており、図１４に示すランド３７は図７の実施形態よりも圧力室１１０に近づく方向に配置されている。図１３に示す延出部３８は図７の延出部３８よりも長く、図１４に示す延出部３８は図７の延出部よりも短い。このように、ランド３７は平面視において少なくとも一部がオーバーハング部５１と重なり合うように配置されればよい。なお、図１４に示す構成の場合、ランド３７の一部は圧力室１１０の開口上に位置することになる。アクチュエータやＣＯＦの積層固定時に、アクチュエータの破損を防ぐためには、少なくともランド３７の中心がオーバーハング部５１と重なる位置にあるとよい。

続いて、図１５（ａ），（ｂ）を参照しつつ、個別電極の変形例について説明する。なお、上述したものと同じ構成要素については同じ参照符号を付して説明を省略する。

図１５（ａ），（ｂ）に示す変形例において、個別電極１３５は、圧力室１１０の長手方向に沿って延在したＵ字型の主電極部１３６、及び、主電極部１３６における圧力室１１０の一方の鋭角部に対応する部分から延出した延出部１３８を有する。主電極部１３６は圧力室１１０の中央を避けるように配置されている。ランド１３７は、延出部１３８の先端の表面上に形成されており、上述の実施形態と同様に平面視においてその全体がオーバーハング部５１と重なり合っている。

個別電極１３５に駆動電圧が供給されると、圧電シート４１において主電極部１３６と共通電極３４とで挟まれた活性部（図１５（ｂ）に示す領域Ａ１に相当する部分）に、分極方向即ち厚み方向に電界が印加される。すると、圧電シート４１の活性部は圧電横効果により分極方向と直交する方向、即ち面方向に縮む。一方、圧電シート４２〜４４の領域Ａ１に相当する部分は自発的に変形しないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で面方向への歪みに差が生じることとなり、圧電シート４１〜４４の領域Ａ１に相当する部分が圧力室１１０に向けて凸となるように変形しようとする。しかし、圧電シート４１〜４４の領域Ａ３に相当する部分がキャビティプレート１２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４の領域Ａ１に相当する部分は圧力室１１０とは反対側に反るように変形する。これに伴って、自発的に変形しない圧電シート４１〜４４の領域Ａ２に相当する部分も圧力室１１０とは反対側に反るように変形し、図１５（ｂ）に示すように、圧電シート４１〜４４の圧力室１１０に対向する部分が圧力室１１０と反対側に凸となるように変形する。これにより、圧力室１１０の容積が増加し、圧力室１１０内に負の圧力波が発生する。そして、当該圧力波が圧力室１１０の長手方向に沿って片道伝搬して正の圧力波に転じたタイミングで個別電極１３５への電圧供給を停止すると、圧電シート４１〜４４が元の平坦な状態となり、圧力室１１０の容積が減少する。このとき、圧力室１１０の容積増加に伴って発生した圧力波と圧電シート４１〜４４の復元に伴って発生する圧力波とが合成されることにより、圧力室１１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１０８からインク滴が吐出される。

図１５（ａ），（ｂ）に示す変形例によると、圧力室１１０の容積を効率よく変化させることができ、比較的低い駆動電圧によってアクチュエータ２１ａを駆動することが可能である。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

例えば、オーバーハング部は、流路ユニット９の上面９ａに沿った内部空間の長さが上面９ａから離れるほど大きくなるように形成されている限り、その形状は上述したものに限定されない。また、オーバーハング部は、圧力室１１０におけるインクの入口及び出口の一方のみに設けてもよいし、入口及び出口のいずれでもない位置に設けてもよい。

上述した実施形態では、共通電極３４及び圧電シート４２〜４４が振動板として機能するが、振動板を上記以外の様々な形態とすることが可能である。例えば、４圧電シート４３，４４を導電性材料からなる平板と置換してよい。この場合、圧電シート４２が絶縁体であるため、共通電極３４と金属板とが電気的に接続されない。また、共通電極３４及び圧電シート４２，４３を省略し、圧電シート４４を共通電極として機能する振動板である導電性材料からなる平板に置換してよい。上記平板は、複数の圧力室１１０に跨って配置されてよい。また、圧電シート４３、４４を省略し、圧電シート４２を複数の圧力室１１０に跨るように形成してもよい。このとき、共通電極３４は、圧力室１１０毎に形成されていても、複数の圧力室１１０に跨って形成されていてもよい。

アクチュエータ２１ａに含まれる圧電シートや電極の材料は、上述したものに限らず、その他の公知の材料に変更してもよい。また、非活性層として、圧電シート以外の絶縁シートを用いてよい。活性部を含む層の数、非活性層の数等も適宜変更してもよく、圧電シートの積層数に伴って、個別電極及び共通電極の数も適宜変更してよい。また、上述の実施形態では共通電極３４をグランド電位に保つものとしているが、各圧力室１１０に共通の電位であればこれに限定されるものではない。上述の実施形態では活性部を含む層よりも圧力室１１０に近い側に非活性層が配置されているが、非活性層よりも圧力室１１０に近い側に活性部を含む層を配置してよいし、非活性層を設けなくてもよい。ただし、上述の実施形態のように活性部を含む層よりも圧力室１１０に近い側に非活性層を設けることで、アクチュエータ２１ａの変形効率の向上を期待することができる。

上述の実施形態では、アクチュエータ２１ａを多数含むアクチュエータ群２１が千鳥状に配置されているが、１列に配置されてもよいし、３列以上に千鳥状に配置されてもよい。また、アクチュエータ群２１の領域は台形に限定されない。さらに、アクチュエータ２１ａは群状に配置されることに限定されない。

圧力室１１０及びこれに対応する個別電極３５は、マトリクス状に配置されることに限定されず、１列に配置されてもよい。

圧力室１１０及び個別電極３５の平面形状は平行四辺形に限定されず、様々な形状であってよい。また、圧力室１１０が収容される領域１０は、平行四辺形に限定されず、様々な形状であってよい。

本発明に係るインクジェットヘッドは、ラインプリンタに限定されず、ヘッドが往復移動するシリアルプリンタにも適用可能である。また、プリンタに限定されず、インクジェット式のファクシミリやコピー機等にも適用可能である。

本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの全体的な構成を示す概略側面図である。 図１に示すインクジェットヘッドの幅方向に沿った断面図である。 図２に示すヘッド本体の平面図である。 図３に示す一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図４に示すＶ―Ｖ線断面図である。 図５に示す一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図６に示すアクチュエータの平面図である。 １のアクチュエータ群内におけるアクチュエータ及び圧力室の配置を部分的に示す説明図である。 ヘッド本体の製造方法を示すフローチャートである。 オーバーハング部の第１変形例を示す、図６に対応した図である。 オーバーハング部の第２変形例を示す、図６に対応した図である。 オーバーハング部の第３変形例を示す、図６に対応した図である。 ランドの位置に関する第１変形例を示す、図７に対応した図である。 ランドの位置に関する第２変形例を示す、図７に対応した図である。 （ａ）は、個別電極の変形例を示す平面図である。（ｂ）が、（ａ）に示すＢ―Ｂ線断面図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
２ ヘッド本体
９ 流路ユニット（流路部材）
１０ 四角形領域
２１ アクチュエータ群
２１ａ アクチュエータ
３４ 共通電極（振動板）
３５，１３５ 個別電極
３６ 主電極部
３７ ランド
３８ 延出部
４１ 圧電シート（圧電層）
４２，４３，４４ 圧電シート（振動板）
５１，１５１，２５１ オーバーハング部
５１ａ 側壁
１０１ インクジェットプリンタ
１０８ ノズル
１１０ 圧力室
１２２ キャビティプレート（流路部材）
１３２ 個別インク流路（個別液体流路）

Claims (9)

1. 液体吐出口が一端に設けられた個別液体流路の一部として形成された複数の圧力室と、前記複数の圧力室の内部空間を露出させる開口が形成された平面とを有する流路部材と、
   複数の前記開口を塞ぐように前記平面に固定された一又は複数の振動板と、
   前記平面に沿った方向に互いに離隔していると共に、前記複数の圧力室のそれぞれに対向するように前記振動板上に形成された複数の圧電層と、
   前記複数の圧電層上にそれぞれ形成された複数の個別電極と、
   前記圧電層の表面からの高さが前記個別電極よりも大きく且つ前記複数の個別電極とそれぞれ電気的に接続された複数のランドとを備えており、
   前記圧力室の側壁には、前記平面に沿った前記内部空間の長さが前記平面から離れるほど大きくなるようにオーバーハング部が形成されており、
   前記平面と直交する方向から見て、前記ランドの少なくとも一部が前記オーバーハング部と重なり合っていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記平面と直交する方向から見て、前記ランドには、前記オーバーハング部と重なり合わずに前記圧力室と重なり合う部分がないことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記平面と直交する方向から見て、前記ランドの全体が前記オーバーハング部と重なり合っていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記平面と直交する方向から見て、前記圧力室の全体が前記圧電層内に収まっていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記平面と直交する方向から見て、前記圧力室が四角形形状を有しており、前記ランドがその１つの頂点付近に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記オーバーハング部が、前記圧力室における液体の入口及び出口の少なくとも一方に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記オーバーハング部が、前記圧力室における液体の入口及び出口の両方に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記オーバーハング部に対応する前記圧力室の側壁が湾曲形状であることを特徴とする請求項６又は７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 液体吐出口が一端に設けられた個別液体流路の一部として形成された複数の圧力室と、前記複数の圧力室の内部空間を露出させる開口が形成された平面とを有する流路部材を作製する流路部材作製工程と、
   複数の前記開口を塞ぐ振動板を前記平面に固定する振動板固定工程と、
   前記振動板上に、前記複数の圧力室に対向する１枚の圧電層を配置する圧電層配置工程と、
   前記圧電層上に、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を配置する個別電極配置工程と、
   前記圧電層の表面からの高さが前記個別電極よりも大きく且つ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数のランドを形成するランド形成工程と、
   前記圧電層を、前記複数の圧力室に対向しており且つ前記平面に沿った方向に互いに離隔した複数の部分に分割する分割工程とを備えており、
   前記流路部材作製工程において、前記圧力室の側壁に、前記平面に沿った前記内部空間の長さが前記平面から離れるほど大きくなるようなオーバーハング部を形成すると共に、前記複数の開口を、前記平面を格子状に区画する複数の四角形領域内に位置させ、
   前記ランド形成工程において、前記ランドの全体を前記四角形領域内に収容すると共に、前記平面と直交する方向から見て、前記ランドの少なくとも一部を前記オーバーハング部と重なり合わせることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

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