JP5423252B2 - 圧電アクチュエータの製造方法、及び、液体移送装置の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 71
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 5
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 33
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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Description
前記圧電層を形成する圧電層形成工程と、前記圧電層形成工程で形成された前記圧電層を前記基板の前記一表面に押圧して接着する接着工程を備え、
前記接着工程の前に、前記圧電層の外周部の前記基板と接着される領域に、凹部又は凸部を形成するものであり、
前記圧電層に電極を形成する電極形成工程をさらに備え、前記圧電層形成工程において複数の前記圧電層を形成し、前記電極形成工程において、1つの前記圧電層の一方の面に前記電極を形成するとともに、その圧電層の外周部の前記電極の形成面と同じ面に、前記電極と同じ材料で凸状パターンを形成し、
前記電極及び前記凸状パターンが形成された前記圧電層を、前記一方の面において他の前記圧電層と重ね合わせることを特徴とするものである。
前記圧電アクチュエータの製造工程は、前記圧電層を形成する圧電層形成工程と、前記圧電層形成工程で形成された前記圧電層を前記基板の前記一表面に接着する接着工程を備え、
前記接着工程の前に、前記圧電層の外周部の前記基板と接着される領域に、凹部又は凸部を形成するものであり、
前記圧電アクチュエータの製造工程は、前記圧電層に電極を形成する電極形成工程をさらに備え、前記圧電層形成工程において複数の前記圧電層を形成し、前記電極形成工程において、1つの前記圧電層の一方の面に前記電極を形成するとともに、その圧電層の外周部の前記電極の形成面と同じ面に、前記電極と同じ材料で凸状パターンを形成し、
前記電極及び前記凸状パターンが形成された前記圧電層を、前記一方の面において他の前記圧電層と重ね合わせることを特徴とするものである。
また、本発明においては、複数の圧電層のうちの1つの圧電層の一方の面に電極を形成するとともに、その圧電層の外周部の、前記電極の形成面と同じ面に、前記電極と同じ材料で凸状パターンを同時に形成し、電極及び凸状パターンが形成された面を別の圧電層と重ね合わせる。すると、圧電層間に凸状パターンが存在する部分においては、凸状パターンのない部分と比べて、複数の圧電層の積層体の厚みが大きくなるため、この積層体の基板との接着領域に凹凸が生じる。このように、圧電層への電極形成と同時に外周部に凸状パターンを形成するだけで、積層体の外周部の接着領域に凹凸を簡単に設けることができる。
インクを噴射しない待機状態においては、ドライバIC51によって、複数の個別電極43にはそれぞれグランド電位が付与されている。また、ドライバIC51によって、第1共通電極44は常時駆動電位に保持されるとともに、第2共通電極45は常時グランド電位に保持されている。従って、待機状態では、個別電極43と第1共通電極44(対向電極部44a)の間に電圧が印加されることになり、電極43,44の間に挟まれる第1活性部35に厚み方向の電界が作用する。この電界の方向は第1活性部35の分極方向と平行であるから、この第1活性部35は厚み方向と直交する面方向に収縮する。ここで、圧電層40〜42の下側に位置する振動板33は、流路ユニットの上面に固定されているため、第1活性部35の面方向の収縮に伴って、振動板33の圧力室10と対向する部分が、圧力室10側(図3(c)における下側)に凸となるように変形した状態となる。このとき、圧力室10は、圧電層40が変形していない状態と比較して、その容積が小さくなっている。
まず、流路ユニット31の製造工程について述べる。まず、流路ユニット31を構成する4枚のプレート11〜14のそれぞれに、ノズル15、圧力室10、マニホールド16等のインク流路を構成する孔をエッチングやレーザー加工等の公知の方法により形成する。そして、図3(b)、(c)に示されるように、4枚のプレート11〜14を積層して接合する。また、このとき、最上層に位置するプレート11の上面に、圧電アクチュエータ32の金属製の振動板33を先に接合しておく。尚、これらのプレートの接合方法は特に限定されるものではないが、例えば、接着剤(エポキシ系の熱硬化性接着剤)を用いて接着することができる。あるいは、流路ユニット31を構成する金属製の3枚のプレートと振動板33は、金属拡散接合により接合してもよい。
10 圧力室
31 流路ユニット
32,32A,32B 圧電アクチュエータ
33 振動板
40〜42 圧電層
43 個別電極
44 第1共通電極
45 第2共通電極
45a 対向電極部
45b 導通部
45c 電極部分
53,54,55,56 電極部分
58 凸状パターン
60 圧電層
61 振動板
63 個別電極
64 共通電極
70 圧電層
73 振動板
74 個別電極
75 共通電極
80 圧電層
80a 凹部
81 振動板
Claims (4)
- 基板とこの基板の一表面に配置された圧電層を備えた圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記圧電層を形成する圧電層形成工程と、
前記圧電層形成工程で形成された前記圧電層を前記基板の前記一表面に押圧して接着する接着工程を備え、
前記接着工程の前に、前記圧電層の外周部の前記基板と接着される領域に、凹部又は凸部を形成するものであり、
前記圧電層に電極を形成する電極形成工程をさらに備え、
前記圧電層形成工程において複数の前記圧電層を形成し、
前記電極形成工程において、1つの前記圧電層の一方の面に前記電極を形成するとともに、その圧電層の外周部の前記電極の形成面と同じ面に、前記電極と同じ材料で凸状パターンを形成し、
前記電極及び前記凸状パターンが形成された前記圧電層を、前記一方の面において他の前記圧電層と重ね合わせることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記電極形成工程において、前記圧電層に、複数の個別電極、及び、これら複数の個別電極と前記圧電層を挟んで対向する複数の対向電極部とこれら複数の対向電極部と共通に導通する導通部を有する共通電極を形成し、
前記共通電極の前記導通部を前記圧電層の外周部の前記一方の面に形成するとともに、この導通部に櫛歯状の前記凸状パターンを形成することを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記圧電層の外周部の前記基板と接着される領域に、前記凹部又は前記凸部を、前記圧電層の全周にわたって形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、基板とこの基板の一表面に配置された圧電層を備え、前記圧力室を覆うように前記流路ユニットに設けられる圧電アクチュエータを有する液体移送装置の製造方法であって、
前記圧電アクチュエータの製造工程は、
前記圧電層を形成する圧電層形成工程と、
前記圧電層形成工程で形成された前記圧電層を前記基板の前記一表面に接着する接着工程を備え、
前記接着工程の前に、前記圧電層の外周部の前記基板と接着される領域に、凹部又は凸部を形成するものであり、
前記圧電アクチュエータの製造工程は、前記圧電層に電極を形成する電極形成工程をさらに備え、
前記圧電層形成工程において複数の前記圧電層を形成し、
前記電極形成工程において、1つの前記圧電層の一方の面に前記電極を形成するとともに、その圧電層の外周部の前記電極の形成面と同じ面に、前記電極と同じ材料で凸状パターンを形成し、
前記電極及び前記凸状パターンが形成された前記圧電層を、前記一方の面において他の前記圧電層と重ね合わせることを特徴とする液体移送装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009199326A JP5423252B2 (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 圧電アクチュエータの製造方法、及び、液体移送装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009199326A JP5423252B2 (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 圧電アクチュエータの製造方法、及び、液体移送装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011054593A JP2011054593A (ja) | 2011-03-17 |
JP5423252B2 true JP5423252B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=43943345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009199326A Active JP5423252B2 (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 圧電アクチュエータの製造方法、及び、液体移送装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5423252B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6127993B2 (ja) * | 2014-01-30 | 2017-05-17 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
US12052923B2 (en) | 2020-03-30 | 2024-07-30 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator and method of manufacturing piezoelectric actuator |
JP7547898B2 (ja) | 2020-09-28 | 2024-09-10 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07235705A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-09-05 | Toko Inc | 圧電素子とその製造方法 |
JP3752974B2 (ja) * | 2000-07-26 | 2006-03-08 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
JP2002036570A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-05 | Kyocera Corp | 圧電セラミックスを用いた貼付構造体及びこれを用いたインクジェット記録ヘッド |
EP1865311A4 (en) * | 2005-03-18 | 2012-03-14 | Ngk Insulators Ltd | PIEZOELECTRIC ELEMENT INSPECTION METHOD, INSPECTION DEVICE, AND POLARIZATION PROCESSING METHOD |
-
2009
- 2009-08-31 JP JP2009199326A patent/JP5423252B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011054593A (ja) | 2011-03-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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