JP6127993B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Description
また、本発明によると、低誘電部を、第1定電位電極の第2圧電層と反対側に、第1定電位電極と重なるように配置すれば、第1定電位電極の第1圧電層側を通って第2定電位電極に至る電気力線が低誘電部を通る。これにより、低誘電部がない場合と比較して、第1定電位電極と第2定電位電極との電位差によって第2活性部を形成する部分に発生する電界を小さくすることができる。
また、本発明によると、低誘電部を、第1圧電層の第2圧電層側の面に配置し、低誘電部が配置された第1圧電層の第2圧電層側の面に第1定電位電極を配置すれば、第1定電位電極の第1圧電層側を通って第2定電位電極に至る電気力線が低誘電部を通る。これにより、第1定電位電極と第2定電位電極との電位差によって第2活性部を形成する電界を特に小さくすることができる。
41、42、43 圧電層
44 下部電極
45 中間電極
44a、45a 重なり部
44b、45b 接続部
46 上部電極
47 低誘電部材
61 第1活性部
62 第2活性部
63 部分
Claims (8)
- 第1圧電層と、前記第1圧電層と積層された第2圧電層とを含む積層体と、
前記第2圧電層の前記第1圧電層と反対側の面に配置された駆動電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に、前記駆動電極との間で前記第2圧電層を挟むように配置され、所定の第1電位に保持可能に構成された第1定電位電極と、
前記駆動電極との間で、前記第1圧電層及び前記第2圧電層の、前記第1定電位電極と重ならない部分を挟むように配置され、前記第1電位と異なる第2電位に保持可能に構成された第2定電位電極と、を備え、
前記第2圧電層の前記駆動電極と前記第1定電位電極とに挟まれた部分は、前記第2圧電層の厚み方向に分極された第1活性部となっており、
前記第1圧電層及び2圧電層の、前記駆動電極と前記第2定電位電極とに挟まれ、且つ、前記第1定電位電極と重ならない部分は、第1活性部と反対向きに分極された第2活性部となっており、
前記第1圧電層の前記第2圧電層側の面に、前記第1圧電層よりも誘電率が小さい低誘電部が設けられ、
前記第1定電位電極が、前記低誘電部が配置された前記第1圧電層の前記第2圧電層側の面に配置されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記低誘電部は、前記第1活性部の全域と重なっていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 複数の前記駆動電極が、前記第1圧電層及び前記第2圧電層の面方向に沿った所定の第1方向に配列され、
前記第1定電位電極は、
前記第1方向に沿って配列され、複数の前記駆動電極と対向する複数の第1対向部と、
前記第1方向に延びて、前記第1圧電層及び前記第2圧電層の面方向と平行で且つ前記第1方向と直交する第2方向における、前記複数の第1対向部の片側の端部同士を導通させる第1導通部と、を備え、
前記第2定電位電極は、
前記第1方向に沿って配列され、複数の前記駆動電極と対向する複数の第2対向部と、
前記第1方向に延びて、前記第2方向における前記複数の第2対向部の片側の端部同士を導通させる第2導通部と、を備え、
前記低誘電部は、前記複数の第1対向部に対して個別に設けられ、各第1対向部の全域と重なっており、前記第1導通部とは重なっていないことを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第1定電位電極と前記第2定電位電極とが、前記第1圧電層及び前記第2圧電層の面方向と平行な所定の一方向に離れて配置され、
前記一方向において、前記低誘電部が前記第1定電位電極からはみ出していることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。 - 前記積層体が、前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側に積層された絶縁層をさらに含み、
前記一方向における前記低誘電部の前記第1定電位電極からのはみ出し量が、前記一方向における前記第1定電位電極と前記第2定電位電極との間隔よりも短いことを特徴とする請求項4に記載の圧電アクチュエータ。 - 第1圧電層と、前記第1圧電層と積層された第2圧電層と、前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側に積層された絶縁層とを含む積層体と、
前記第2圧電層の前記第1圧電層と反対側の面に配置された駆動電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に、前記駆動電極との間で前記第2圧電層を挟むように配置され、所定の第1電位に保持可能に構成された第1定電位電極と、
前記駆動電極との間で、前記第1圧電層及び前記第2圧電層の、前記第1定電位電極と重ならない部分を挟むように配置され、前記第1電位と異なる第2電位に保持可能に構成された第2定電位電極と、を備え、
前記第2圧電層の前記駆動電極と前記第1定電位電極とに挟まれた部分は、前記第2圧電層の厚み方向に分極された第1活性部となっており、
前記第1圧電層及び2圧電層の、前記駆動電極と前記第2定電位電極とに挟まれ、且つ、前記第1定電位電極と重ならない部分は、第1活性部と反対向きに分極された第2活性部となっており、
前記第1圧電層と前記絶縁層との間に、前記第1定電位電極と重なるように配置され、前記第1圧電層よりも誘電率が小さい低誘電部が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 第1圧電層と、前記第1圧電層と積層された第2圧電層とを含む積層体と、
前記第2圧電層の前記第1圧電層と反対側の面に配置された駆動電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に、前記駆動電極との間で前記第2圧電層を挟むように配置され、所定の第1電位に保持可能に構成された第1定電位電極と、
前記駆動電極との間で、前記第1圧電層及び前記第2圧電層の、前記第1定電位電極と重ならない部分を挟むように配置され、前記第1電位と異なる第2電位に保持可能に構成された第2定電位電極と、を備え、
前記第2圧電層の前記駆動電極と前記第1定電位電極とに挟まれた部分は、前記第2圧電層の厚み方向に分極された第1活性部となっており、
前記第1圧電層及び2圧電層の、前記駆動電極と前記第2定電位電極とに挟まれ、且つ、前記第1定電位電極と重ならない部分は、第1活性部と反対向きに分極された第2活性部となっており、
第1圧電層の前記第1定電位電極と重なる部分と、前記第1圧電層の記第2活性部を形成する部分との間に、前記第1圧電層よりも誘電率が小さい低誘電部が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記低誘電部が、前記第1圧電層の厚み方向の全体にわたって延びていることを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチュエータ。
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JP2014015657A JP6127993B2 (ja) | 2014-01-30 | 2014-01-30 | 圧電アクチュエータ |
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JP6127993B2 true JP6127993B2 (ja) | 2017-05-17 |
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