JP7106940B2

JP7106940B2 - 液体吐出ヘッド

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Publication number: JP7106940B2
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Inventors: 圭司蔵
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Description

本発明は、流路ユニットと流路ユニットに積層された圧電アクチュエータと備えた液体吐出ヘッドに関する。

特許文献１の図８には、Ｘ方向（第１方向）及びＹ方向（第２方向）に平行な吐出面を有する流路ユニットと、Ｚ方向（第３方向）において流路ユニットに積層された圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドが示されている。圧電アクチュエータは、Ｚ方向において流路ユニットの圧力室と重なる第１活性部と、Ｘ方向において互いに離隔した２つの第２活性部と、を備えている。特許文献１の図８では、圧力室、第１活性部及び２つの第２活性部を通るＸ方向及びＺ方向に沿った断面において、２つの第２活性部は、Ｘ方向において第１活性部から互いに同じ距離離隔している。

特開２００９－０９６１７３号公報

第１活性部と２つの第２活性部とから構成されるアクチュエータ部において、変形回数の増加に伴う変形量の低下（以下、「駆動劣化」という。）が問題となり得る。特許文献１の図８の構成では、圧力室、第１活性部及び２つの第２活性部を通るＸ方向及びＺ方向に沿った断面において、２つの第２活性部がＸ方向において第１活性部から互いに同じ距離離隔しているため、後述の実験結果から明らかなように、アクチュエータ部の駆動劣化が顕著になる。

本発明の目的は、アクチュエータ部の駆動劣化を抑制できる、液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明の第１観点に係る液体吐出ヘッドは、第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行な吐出面であって、吐出口を画定する面である吐出面を有し、前記吐出口と連通する圧力室が形成された流路ユニットと、前記吐出面と直交する第３方向において、前記流路ユニットに積層された圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記第３方向に積層された複数の圧電層を有する圧電体と、第１電極と、前記第３方向において前記第１電極から離隔した第２電極と、前記第３方向において前記第１電極から離隔した第３電極と、を備え、前記圧電体は、前記第３方向において前記第１電極と前記第２電極とに挟まれた第１部分であって、前記第３方向において前記圧力室と重なる部分を有する第１部分と、前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第２部分と、前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第３部分であって、前記第１方向において前記第２部分から離隔した第３部分と、を有し、前記第１部分は、前記第１方向において前記第２部分と前記第３部分との間に配置された部分を有し、前記圧電アクチュエータは、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、前記第１部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、前記第１部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、前記第２部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、前記第２部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第２部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、前記第３部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、前記第３部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第３部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、前記第２部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第２部分の前記一端と前記第１部分の前記一端との間の位置にあり、前記第３部分の前記一端は、（ａ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記第１部分の前記他端との間の位置、（ｂ）前記第１方向において、前記第１部分の前記他端と同じ位置、及び、（ｃ）前記第１方向において、前記第１部分の前記他端と前記第３部分の前記他端との間の位置であって、前記第１部分の前記他端から前記第３部分の前記一端までの前記第１方向の距離が、前記第２部分の前記他端から前記第１部分の前記一端までの前記第１方向の距離よりも短くなる位置のいずれかにあることを特徴とする。

本発明の第２観点に係る液体吐出ヘッドは、第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行な吐出面であって、吐出口を画定する面である吐出面を有し、前記吐出口と連通する圧力室が形成された流路ユニットと、前記吐出面と直交する第３方向において、前記流路ユニットに積層された圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記第３方向に積層された複数の圧電層を有する圧電体と、第１電極と、前記第３方向において前記第１電極から離隔した第２電極と、前記第３方向において前記第１電極から離隔した第３電極と、を備え、前記圧電体は、前記第３方向において前記第１電極と前記第２電極とに挟まれた第１部分であって、前記第３方向において前記圧力室と重なる部分を有する第１部分と、前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第２部分と、前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第３部分であって、前記第２方向において前記第２部分と異なる位置にある第３部分と、を有し、前記第３部分は、前記第１方向において前記第２部分と前記第１部分との間に配置された部分を有し、前記圧電アクチュエータは、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、前記第１部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、前記第１部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、前記第２部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、前記第２部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第２部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、前記第３部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、前記第３部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第３部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、前記第２部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第２部分の前記一端と前記第１部分の前記一端との間の位置にあり、前記第３部分の前記他端は、（ａ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記第１部分の前記他端との間の位置、（ｂ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と同じ位置、及び、（ｃ）前記第１方向において、前記第３部分の前記一端と前記第１部分の前記一端との間の位置であって、前記第３部分の前記他端から前記第１部分の前記一端までの前記第１方向の距離が、前記第２部分の前記他端から前記第１部分の前記一端までの前記第１方向の距離よりも短くなる位置のいずれかにあることを特徴とする。

本発明の第１観点は、「第２部分の他端は、第１方向において、第２部分の一端と第１部分の一端との間の位置にあり、第３部分の一端は、（ａ）第１方向において、第１部分の一端と第１部分の他端との間の位置、（ｂ）第１方向において、第１部分の他端と同じ位置、及び、（ｃ）第１方向において、第１部分の他端と第３部分の他端との間の位置であって、第１部分の他端から第３部分の一端までの第１方向の距離が、第２部分の他端から第１部分の一端までの第１方向の距離よりも短くなる位置のいずれかにある」という要件を満たす。本発明の第２観点は、「第２部分の他端は、第１方向において、第２部分の一端と第１部分の一端との間の位置にあり、第３部分の他端は、（ａ）第１方向において、第１部分の一端と第１部分の他端との間の位置、（ｂ）第１方向において、第１部分の一端と同じ位置、及び、（ｃ）第１方向において、第３部分の一端と第１部分の一端との間の位置であって、第３部分の他端から第１部分の一端までの第１方向の距離が、第２部分の他端から第１部分の一端までの第１方向の距離よりも短くなる位置のいずれかにある」という要件を満たす。上記要件のいずれかを満たした構成では、後述の実験結果のとおり、第２部分には駆動劣化が生じ得るが、第３部分は、アクチュエータ部の変形回数の増加に伴い、当該部分の収縮によるアクチュエータ部の変形量が増加し、１つのアクチュエータ部全体としての駆動劣化が抑制される。つまり、上記要件のいずれかを満たすことで、アクチュエータ部の駆動劣化を抑制できる。

本発明によれば、アクチュエータ部の駆動劣化を抑制できる。

本発明の第１実施形態に係るヘッドを含むプリンタの全体構成図である。図１のヘッドの平面図である。図２の圧電アクチュエータにおける３つの圧電層それぞれの上面を示す平面図であり、（ａ）は最上層の圧電層の上面、（ｂ）は中間の圧電層の上面、（ｃ）は最下層の圧電層の上面、を示す。図２及び図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。図２及び図３の領域Ｖの拡大図である。図５のＶＩ－ＶＩ線に沿った断面におけるアクチュエータ部の動作を示す図である。Ｘ方向の位置ズレが生じた場合のアクチュエータ部の動作を示す、図６に対応する図である。本発明の第２実施形態に係るヘッドにおける図５相当の平面図である。図８のＩＸ－ＩＸ線に沿った断面におけるアクチュエータ部の動作を示す図である。図８のＸ－Ｘ線に沿った断面におけるアクチュエータ部の動作を示す図である。Ｘ方向の位置ズレが生じた場合のアクチュエータ部の動作を示す、図９に対応する図である。Ｘ方向の位置ズレが生じた場合のアクチュエータ部の動作を示す、図１０に対応する図である。駆動劣化に関する実験結果を示すグラフである。位置ズレに関する解析１の結果を示すグラフである。位置ズレに関する解析２の結果を示すグラフである。（ａ）～（ｃ）は、それぞれ、本発明の第１、第２及び第３変形例に係るヘッドの図６に対応する図である。（ａ）は、本発明の第４変形例に係るヘッドの図９に対応する図である。（ｂ）（ｃ）は、それぞれ、本発明の第５変形例に係るヘッドの図９及び図１０に対応する図である。本発明の第６変形例に係るヘッドの図８に対応する図である

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド３を含むプリンタ１の全体構成について説明する。

なお、以下の説明において、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。Ｘ方向及びＹ方向は共にＺ方向と直交する。Ｘ方向はＹ方向と直交する。Ｘ方向は第１方向、Ｙ方向は第２方向、Ｚ方向は第３方向に相当する。

プリンタ１は、ヘッド３、キャリッジ２及び２つの搬送ローラ対４を備えている。

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿ってＹ方向に移動可能である。

ヘッド３は、シリアル式であって、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド３の下面（Ｚ方向において下方を向く面）には、３２個の吐出口１５ｘが開口している。ヘッド３の下面は、３２個の吐出口１５ｘを画定する吐出面３４ｘである（図４参照）。吐出面３４ｘは、Ｘ方向及びＹ方向に平行で、Ｚ方向と直交する。

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

プリンタ１の制御部（図示略）は、キャリッジ２と共にヘッド３をＹ方向に移動させながら吐出口１５ｘからインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

次に、図２～図５を参照し、ヘッド３の構成について説明する。

ヘッド３は、図２に示すように、流路ユニット２１、圧電アクチュエータ２２及びＣＯＦ（Chip On Film）２３を有する。

流路ユニット２１は、Ｘ方向の一端２１ａ及びＸ方向の他端２１ｂが共にＹ方向に平行であり、Ｙ方向の一端２１ｃ及びＹ方向の他端２１ｄが共にＸ方向に平行である。圧電アクチュエータ２２は、Ｘ方向の一端２２ａ及びＸ方向の他端２２ｂが共にＹ方向に平行であり、Ｙ方向の一端２２ｃ及びＹ方向の他端２２ｄが共にＸ方向に平行である。つまり、流路ユニット２１及び圧電アクチュエータ２２は、共に、Ｚ方向から見て略矩形である。流路ユニット２１は、Ｚ方向から見て圧電アクチュエータ２２よりも一回り大きいサイズを有する。

流路ユニット２１は、図４に示すように、Ｚ方向に積層された４枚のプレート３１～３４を有する。

プレート３１には、３２個の圧力室１０が形成されている。３２個の圧力室１０は、それぞれ、図２に示すように、Ｚ方向から見て略矩形であり、Ｙ方向の長さがＸ方向の長さよりも長い。３２個の圧力室１０は、４つの圧力室列９を形成している。４つの圧力室列９は、それぞれ、Ｘ方向に延び、８個の圧力室１０で構成されている。４つの圧力室列９のそれぞれにおいて、８個の圧力室１０は、Ｘ方向に等間隔で配置されている。４つの圧力室列９は、Ｙ方向に並んでいる。

プレート３２には、図４に示すように、圧力室１０毎に、貫通孔１２，１３が形成されている。貫通孔１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端１０ｃ及びＹ方向の他端１０ｄとＺ方向に重なっている。ここで、インクは、貫通孔１２をＺ方向に流れ、圧力室１０をＹ方向に流れる。貫通孔１２におけるＺ方向と直交する断面積は、圧力室１０におけるＹ方向と直交する断面積よりも小さい。したがって、貫通孔１２は絞り流路として機能する。

プレート３３には、貫通孔１３毎に、貫通孔１４が形成されている。貫通孔１４は、対応する貫通孔１３とＺ方向に重なっている。

プレート３３には、さらに、４本のマニホールド流路１１が形成されている。４本のマニホールド流路１１は、図２に示すように、４つの圧力室列９のそれぞれに対応する。各マニホールド流路１１は、Ｘ方向に延び、対応する圧力室列９の８個の圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する。

プレート３１の上面において、圧電アクチュエータ２２が配置されない領域に、４つのインク供給口８が形成されている。４つのインク供給口８は、それぞれ、４本のマニホールド流路１１のＸ方向の一端（図２の下端）と、Ｚ方向に重なる位置にある。４つのインク供給口８から、４本のマニホールド流路１１のそれぞれに、インクが供給される。

プレート３４には、３２個のノズル１５が形成されている。３２個のノズル１５は、それぞれ、貫通孔１４とＺ方向に重なっている。プレート３４の下面（吐出面３４ｘ）に開口したノズル１５の開口が、吐出口１５ｘに相当する。

４つのマニホールド流路１１は、それぞれ、対応する圧力室列９の８個の圧力室１０と、貫通孔１２を介して連通している。圧力室１０は、それぞれ、ノズル１５の吐出口１５ｘと、貫通孔１３、１４を介して連通している。

圧電アクチュエータ２２は、図４に示すように、Ｚ方向において流路ユニット２１に積層され、プレート３１の上面に配置されている。

圧電アクチュエータ２２は、圧電体４０、インク分離層４４、３２個の駆動電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３を有する。

圧電体４０は、Ｚ方向に積層された３つの圧電層４１～４３を有する。圧電層４１～４３及びインク分離層４４は、Ｘ方向及びＹ方向に沿った平面において互いに同じ形状及びサイズを有し、図２に示すようにＺ方向から見て略矩形の圧電アクチュエータ２２の外形を画定している。

インク分離層４４は、図４に示すように、プレート３１の上面に配置され、プレート３１に形成された全ての圧力室１０を覆っている。インク分離層４４は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料、合成樹脂材料等からなる。

圧電層４３は、インク分離層４４の上面に配置されている。圧電層４２は、圧電層４３の上面に配置されている。圧電層４１は、圧電層４２の上面に配置されている。圧電層４１～４３は、それぞれ、Ｚ方向においてインク分離層４４と重なっている。圧電層４１～４３は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。

３２個の駆動電極５１と、高電位電極５２と、低電位電極５３とは、Ｚ方向の位置が互いに異なっている。具体的には、Ｚ方向において上から順に、３２個の駆動電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３が配置されている。３２個の駆動電極５１は、高電位電極５２及び低電位電極５３よりも、Ｚ方向において圧力室１０から離隔している。高電位電極５２は、低電位電極５３よりも、Ｚ方向において圧力室１０から離隔している。高電位電極５２及び低電位電極５３は、それぞれ、Ｚ方向において３２個の駆動電極５１から離隔している。

なお、本実施形態は、流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間の位置ズレが生じていない状態であり、以下に述べる圧電アクチュエータ２２の電極や活性部と流路ユニット２１の圧力室１０との位置関係は、位置ズレが無い場合のものである。

３２個の駆動電極５１は、図２に示すように、圧電層４１の上面に、プレート３１に形成された圧力室１０のそれぞれに対応して設けられている。３２個の駆動電極５１は、それぞれ、主部５１ａと、突出部５１ｂとを有する。主部５１ａは、Ｚ方向から見て、略矩形の２つの部分がＸ方向にズレた状態でＹ方向に並んだ形状であり、対応する圧力室１０とＺ方向に重なる部分と、対応する圧力室１０とＺ方向に重ならない部分とを含む。突出部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出した部分であり、その全体が対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。３２個の駆動電極５１において、突出部５１ｂの突出方向は互いに同じである。突出部５１ｂには、ＣＯＦ２３の配線と電気的に接続される接点が設けられている。

ＣＯＦ２３に実装されたドライバＩＣ２４は、ＣＯＦ２３の配線を介して、３２個の駆動電極５１に対して個別に、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを付与する。

高電位電極５２は、図４に示すように、圧電層４２の上面に形成され、Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間に配置されている。

高電位電極５２は、図３（ｂ）に示すように、３２個の個別部５２ａ、４つの接続部５２ｂ、接続部５２ｃ及び引出部５２ｄを有する。３２個の個別部５２ａは、プレート３１に形成された圧力室１０のそれぞれのＸ方向の中央部と、Ｚ方向に重なっている。４つの接続部５２ｂは、４つの圧力室列９のそれぞれに対応する。各接続部５２ｂは、Ｘ方向に延び、当該圧力室列９の８個の圧力室１０のそれぞれに対応する個別部５２ａのＹ方向の一端（図３（ｂ）の右端）同士を接続している。接続部５２ｃは、Ｙ方向に延び、４つの接続部５２ｂのＸ方向の一端（図３（ｂ）の下端）同士を接続している。引出部５２ｄは、接続部５２ｃのＹ方向の他端（図３（ｂ）の左端）から、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の一端２２ａからＸ方向の他端２２ｂに向けて、引き出されている。引出部５２ｄが接続部５２ｃから延びる方向は、４つの接続部５２ｂが接続部５２ｃから延びる方向と同じである。引出部５２ｄは、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｘ（図３（ａ）参照）を介して、表面電極７２と接続されている。表面電極７２は、圧電層４１の上面に、引出部５２ｄとＺ方向に重なるように配置されている。表面電極７２は、ＣＯＦ２３の配線と電気的に接続されている。

ドライバＩＣ２４は、ＣＯＦ２３の配線を介して、高電位電極５２に高電位（ＶＤＤ電位）を付与する。

低電位電極５３は、図４に示すように、圧電層４３の上面に形成され、Ｚ方向において圧電層４２と圧電層４３との間に配置されている。

低電位電極５３は、図３（ｃ）に示すように、３２個の個別部５３ａ、４つの接続部５３ｂ、接続部５３ｃ及び引出部５３ｄを有する。Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０の間に、個別部５３ａが配置されている。さらに、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の一端２２ａと、一端２２ａにＸ方向に隣接する圧力室１０との間に、個別部５３ａが配置されている。３２個の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の一端（図３（ｃ）の下端）に位置する４つの個別部５３ａを除く個別部５３ａは、それぞれ、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、当該２つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する。上記４つの個別部５３ａは、それぞれ、一端２２ａにＸ方向に隣接する４つの圧力室１０と、Ｚ方向に重なる部分を有する。４つの接続部５３ｂは、４つの圧力室列９のそれぞれに対応する。各接続部５３ｂは、Ｘ方向に延び、当該圧力室列９の８個の圧力室１０のそれぞれに対応する個別部５３ａのＹ方向の他端（図３（ｃ）の左端）同士を接続している。接続部５３ｃは、Ｙ方向に延び、４つの接続部５３ｂのＸ方向の他端（図３（ｃ）の上端）同士を接続している。接続部５３ｃは、他端２２ｂにＸ方向に隣接する４つの圧力室１０のそれぞれと、Ｚ方向に重なる部分を有する。引出部５３ｄは、接続部５３ｃのＹ方向の他端（図３（ｃ）の左端）から、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂからＸ方向の一端２２ａに向けて、引き出されている。引出部５３ｄが接続部５３ｃから延びる方向は、４つの接続部５３ｂが接続部５３ｃから延びる方向と同じである。引出部５３ｄは、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｙ（図３（ａ）参照）及び圧電層４２に形成された貫通孔４２ｙ（図３（ｂ）参照）を介して、表面電極７３と接続されている。表面電極７３は、圧電層４１の上面に、引出部５３ｄとＺ方向に重なるように配置されている。表面電極７３は、ＣＯＦ２３の配線と電気的に接続されている。

ドライバＩＣ２４は、ＣＯＦ２３の配線を介して、低電位電極５３に低電位（ＧＮＤ電位）を付与する。

以上のような電極５１～５３の配置により、３２個の駆動電極５１のうち、Ｘ方向の他端（図３（ａ）の上端）に位置する４つの駆動電極５１を除く駆動電極５１は、それぞれ、図５に示すように、主部５１ａのＸ方向の中央部において、高電位電極５２の個別部５２ａとＺ方向に重なり、主部５１ａのＸ方向の両端部において、低電位電極５３の個別部５３ａとＺ方向に重なっている。上記４つの駆動電極５１は、それぞれ、主部５１ａのＸ方向の中央部において、高電位電極５２の個別部５２ａとＺ方向に重なり、主部５１ａのＸ方向の一端において、低電位電極５３の個別部５３ａとＺ方向に重なり、主部５１ａのＸ方向の他端において、低電位電極５３の接続部５３ｃとＺ方向に重なっている。

圧電層４１のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と高電位電極５２とに挟まれた部分を、「第１活性部６１」という。圧電層４２，４３のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と低電位電極５３とに挟まれた部分を、「第２活性部６２～６５」という。第１活性部６１は主に上向きに分極され、第２活性部６２～６５は主に下向きに分極されている。

本実施形態において、駆動電極５１が「第１電極」、高電位電極５２が「第２電極」、低電位電極５３が「第３電極」に該当する。第１活性部６１が「第１部分」、第２活性部６２が「第２部分」、第２活性部６３が「第３部分」、第２活性部６４が「第４部分」、第２活性部６５が「第５部分」に該当する。

圧電アクチュエータ２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部６１と４つの第２活性部６２～６５とから構成されるアクチュエータ部６０を有する。ここで、第２活性部６２～６５は、クロストークを抑制する機能を有する。クロストークとは、ある圧力室１０におけるアクチュエータ部６０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象をいう。

なお、本実施形態は、上記のとおり流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間の位置ズレが生じていない状態であり、３２個の圧力室１０のそれぞれに対し、Ｘ方向において第１活性部６１の中央６１ｃが圧力室１０の中央と同じ位置にある。

以下、図５の左方のアクチュエータ部６０及び圧力室１０を参照し、１つのアクチュエータ部６０における活性部６１～６５間の位置関係、１つのアクチュエータ部６０の活性部６１～６５とこれに対応する１つの圧力室１０との位置関係等について説明する。

第１活性部６１は、Ｚ方向において圧力室１０と重なる部分を有する。具体的には、第１活性部６１は、圧力室１０のＸ方向の中央部と、Ｚ方向に重なっている。また、第１活性部６１は、Ｘ方向において第２活性部６２，６３の間及び第２活性部６４，６５の間に配置された部分と、Ｚ方向において第２活性部６３，６４と重なる部分とを有する。

第２活性部６２，６３は、Ｙ方向において互いに同じ位置にある。第２活性部６４，６５は、Ｙ方向において互いに同じ位置にある。第２活性部６２，６３と第２活性部６４，６５とは、Ｙ方向において互いに異なる位置にある。具体的には、第２活性部６２，６３は、Ｙ方向において圧力室１０のＹ方向の略中央と他端１０ｄとの間に配置されている。第２活性部６４，６５は、Ｙ方向において圧力室１０のＹ方向の略中央と一端１０ｃとの間に配置されている。第２活性部６２，６３は、Ｘ方向において、互いに離隔し、第１活性部６１を挟んでいる。第２活性部６４，６５は、Ｘ方向において、互いに離隔し、第１活性部６１を挟んでいる。第２活性部６４は、Ｘ方向において、第２活性部６２，６３の間に配置されている。

第２活性部６２，６５は、Ｚ方向から見た形状及びサイズが互いに同じである。第２活性部６３，６４は、Ｚ方向から見た形状及びサイズが互いに同じである。第２活性部６２，６５のＸ方向の長さは、第２活性部６３，６４のＸ方向の長さよりも長い。

第２活性部６２，６５は、Ｘ方向において第１活性部６１から離隔し、Ｚ方向において圧力室１０と重なっていない。第２活性部６２は、Ｘ方向において、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の一端２２ａ（図３参照）と、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａ（図５の左端）との間に位置する。第２活性部６５は、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂ（図５の右端）と、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂ（図３参照）との間に位置する。他端１０ｂは、Ｘ方向において、一端１０ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。

第２活性部６３，６４は、それぞれ、その全体が、Ｚ方向において圧力室１０と重なっている。第２活性部６２は、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと中央との間に位置する。第２活性部６２は、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の中央と他端１０ｂとの間に位置する。

圧力室１０及び活性部６１～６５のＸ方向の端部間の位置関係は、以下のとおりである。

第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａ及び他端６１ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと他端１０ｂとの間に位置する。他端６１ｂは、Ｘ方向において、一端６１ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。

第２活性部６２のＸ方向の一端６２ａ及び他端６２ｂは、Ｘ方向において、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の一端２２ａと、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａとの間に位置する。他端６２ｂは、Ｘ方向において、一端６２ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。また、他端６２ｂは、Ｘ方向において、一端６２ａと、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａとの間に位置する。

第２活性部６３のＸ方向の一端６３ａ及び他端６３ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと他端１０ｂとの間に位置する。一端６３ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間（詳細には、第１活性部６１のＸ方向の中央６１ｃと他端６１ｂとの間）に位置する。他端６３ｂは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂとの間に位置する。他端６３ｂは、Ｘ方向において、一端６３ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。

第２活性部６４のＸ方向の一端６４ａ及び他端６４ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと他端１０ｂとの間に位置する。一端６４ａは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａとの間に位置する。他端６４ｂは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間（詳細には、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと中央６１ｃとの間）に位置する。他端６４ｂは、Ｘ方向において、一端６４ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。

第２活性部６５のＸ方向の一端６５ａ及び他端６５ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。他端６５ｂは、Ｘ方向において、一端６５ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。また、一端６５ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと、他端６５ｂとの間に位置する。

第２活性部６２のＸ方向の他端６２ｂから第１活性部６１のＸ方向の中央６１ｃまでのＸ方向の距離ｄ２、及び、中央６１ｃから第２活性部６５のＸ方向の一端６５ａまでのＸ方向の距離ｄ５は、互いに同じである。距離ｄ２，ｄ５は、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａから他端１０ｂまでのＸ方向の距離（即ち、圧力室１０のＸ方向の長さ）Ｄの半分よりも長い。

第１活性部６１のＸ方向の中央６１ｃから第２活性部６３のＸ方向の他端６３ｂまでのＸ方向の距離ｄ３、及び、第２活性部６４のＸ方向の一端６４ａから中央６１ｃまでのＸ方向の距離ｄ４は、互いに同じである。距離ｄ３，ｄ４は、距離Ｄの半分以下である（本実施形態では、距離Ｄの半分よりも短い）。

圧電体４０には、第２活性部６２と第２活性部６４とを繋ぐ第１接続部分６８と、第２活性部６３と第２活性部６５とを繋ぐ第２接続部分６９とが形成されている。接続部分６８，６９は、圧電層４２，４３のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と低電位電極５３とに挟まれた部分である。第１接続部分６８は、第２活性部６２のＹ方向の一端（図５の下端）の辺に沿って配置されており、そのＸ方向の長さが第２活性部６２のＸ方向の長さよりも長く、Ｘ方向において第２活性部６２と第２活性部６４とを繋いでいる。第２接続部分６９は、第２活性部６３のＹ方向の一端（図５の下端）の辺に沿って配置されており、そのＸ方向の長さが第２活性部６３のＸ方向の長さよりも長く、Ｘ方向において第２活性部６３と第２活性部６５とを繋いでいる。第２活性部６２と第２活性部６４とは、Ｘ方向において第１接続部分６８を挟んで互いに離隔し、かつ、Ｙ方向において互いに隣接している。第２活性部６３と第２活性部６５とは、Ｘ方向において第２接続部分６９を挟んで互いに離隔し、かつ、Ｙ方向において互いに隣接している。

Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０のうちの一方（図５の左方の圧力室１０）に対して設けられた第２活性部６５と、他方（図５の右方の圧力室１０）に対して設けられた第２活性部６２とは、Ｙ方向に部分的に重なっている。即ち、他方に対して設けられた第２活性部６２は、一方に対して設けられた第２活性部６５と、Ｙ方向において重なる部分を有する。

突出部５１ｂは、Ｚ方向において第２活性部６５と重なる部分から、Ｙ方向（第２活性部６３から第２活性部６５に向かう方向）に突出している。

次に、図６を参照し、ある吐出口１５ｘからインクを吐出させる際の、当該吐出口１５ｘに対応するアクチュエータ部６０の動作について説明する。なお、図６は、１つの圧力室１０と、当該圧力室１０に対応する１つのアクチュエータ部６０の第１活性部６１、第２活性部６２，６３を通るＸ方向及びＺ方向に沿った断面であり、第２活性部６２，６３の動作を示す。１つの圧力室１０と、当該圧力室１０に対応する１つのアクチュエータ部６０の第１活性部６１、第２活性部６４，６５を通るＸ方向及びＺ方向に沿った断面は、図６をＸ方向に反転させたものであり、第２活性部６４，６５の動作はそれぞれ第２活性部６３，６２の動作と同様である。

プリンタ１が記録動作を開始する前は、図６（ａ）に示すように、３２個の駆動電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、３２個のアクチュエータ部６０のそれぞれにおいて、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部６１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部６１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、圧電体４０及びインク分離層４４からなる積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、上記積層体がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

プリンタ１が記録動作を開始し、ある吐出口１５ｘからインクが吐出させる際には、先ず、図６（ｂ）に示すように、当該吐出口１５ｘに対応する駆動電極５１の電位が低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り替えられる。このとき、当該アクチュエータ部６０において、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部６１の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部６２～６５にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部６２～６５が面方向に収縮する。ただし、第２活性部６２～６５は、上記のとおりクロストーク抑制機能を有するものであり、流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間の位置ズレが無い場合、アクチュエータ部６０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき上記積層体は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積は、図６（ａ）に比べて大きくなる。

その後、図６（ａ）に示すように、当該吐出口１５ｘに対応する駆動電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り替えられる。このとき、当該アクチュエータ部６０において、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差がなくなることで、第２活性部６２～６５の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差が生じることで、第１活性部６１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部６１が面方向に収縮する。これにより、上記積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、吐出口１５ｘからインクが吐出される。

以上に述べたように、本実施形態のヘッド３は、「第２活性部６２のＸ方向の他端６２ｂは、Ｘ方向において、第２活性部６２のＸ方向の一端６２ａと第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａとの間の位置にあり、第２活性部６３のＸ方向の一端６３ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間の位置にある」という要件を満たす（図５参照）。当該要件を満たす場合、後述の実験結果のとおり、第２活性部６２には駆動劣化が生じ得るが、第２活性部６３は変形回数の増加に伴い変形量が増加し、１つのアクチュエータ部６０全体としての駆動劣化が抑制される。つまり、上記要件を満たすことで、アクチュエータ部６０の駆動劣化を抑制できる。

本実施形態のヘッド３は、さらに、「第２活性部６５のＸ方向の一端６５ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと第２活性部６５のＸ方向の他端６５ｂとの間の位置にあり、第２活性部６４のＸ方向の他端６４ｂは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間の位置にある」という要件を満たす（図５参照）。当該要件を満たす場合、後述の実験結果のとおり、第２活性部６５には駆動劣化が生じ得るが、第２活性部６４は、アクチュエータ部６０の変形回数の増加に伴い、当該部分の収縮によるアクチュエータ部６０の変形量が増加する。また、本構成では、駆動劣化の抑制に寄与する第２活性部６３，６４をＹ方向に配置したことで、Ｙ方向に亘ってアクチュエータ部６０の駆動劣化を抑制できる。

圧力室１０は、Ｙ方向の長さがＸ方向の長さよりも長い（図５参照）。この場合、圧力室１０の長手方向であるＹ方向に亘ってアクチュエータ部６０の駆動劣化を抑制できるため、安定した吐出性能を維持できる。

第２活性部６２のＸ方向の他端６２ｂから第１活性部６１のＸ方向の中央６１ｃまでのＸ方向の距離ｄ２、及び、中央６１ｃから第２活性部６５のＸ方向の一端６５ａまでのＸ方向の距離ｄ５は、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａから他端１０ｂまでのＸ方向の距離Ｄの半分よりも長い。また、第１活性部６１のＸ方向の中央６１ｃから第２活性部６３のＸ方向の他端６３ｂまでのＸ方向の距離ｄ３、及び、第２活性部６４のＸ方向の一端６４ａから中央６１ｃまでのＸ方向の距離ｄ４は、距離Ｄの半分以下である（図５参照）。これらの場合、流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間のＸ方向の位置ズレによるアクチュエータ部６０の変形量の低下を抑制できる。以下、当該効果について、具体的に説明する。

図７の例は、圧電アクチュエータ２２が図５の右方に位置ズレしたものであり、第２活性部６２の一部が圧力室１０とＺ方向に重なっている。即ち、第２活性部６２は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分と、圧力室１０とＺ方向に重ならない部分とを含む。第２活性部６３も、圧力室１０とＺ方向に重なる部分と、圧力室１０とＺ方向に重ならない部分とを含む。第２活性部６４は圧力室１０のＸ方向の中央に近づき、第２活性部６５は圧力室１０からＸ方向にさらに離隔している。

図７の例においても、図６と同様、駆動電極５１の電位の変化に応じて、第１活性部６１の収縮（図７（ａ））と、第２活性部６２～６５の収縮（図７（ｂ））とが順次生じる。しかし、位置ズレが無い場合（図６）に比べ、後述の解析結果から理解されるように、第１活性部６１の収縮によるアクチュエータ部６０の下向きに凸となるように撓む変形の変形量が小さくなり、第２活性部６２，６３の収縮によるアクチュエータ部６０の上向きに凸となるように撓む変形の変形量が大きくなる。つまり、Ｘ方向の位置ズレが有る場合の１つのアクチュエータ部６０の変形量は、第１活性部６１の収縮によるアクチュエータ部６０の変形量が小さくなることで、位置ズレが無い場合の１つのアクチュエータ部６０の変形量よりも低下するが、第２活性部６２，６３の収縮によるアクチュエータ部６０の変形量が大きくなることで（図７（ｂ））、１つのアクチュエータ部６０全体としての変形量の低下が抑制される。

図７の例とは逆に、圧電アクチュエータ２２が図５の左方に位置ズレし、第２活性部６４，６５が、圧力室１０とＺ方向に重なる部分と、圧力室１０とＺ方向に重ならない部分とを含むことになった場合は、第２活性部６４，６５の収縮によるアクチュエータ部６０の変形量が大きくなる。具体的には、位置ズレが無い場合に比べ、第１活性部６１が小さくなり、第２活性部６４，６５の収縮によるアクチュエータ部６０の変形量が大きくなる。つまり、Ｘ方向の位置ズレが有る場合の１つのアクチュエータ部６０の変形量は、第１活性部６１の収縮によるアクチュエータ部６０の変形量が小さくなることで、位置ズレが無い場合の１つのアクチュエータ部６０の変形量よりも低下するが、第２活性部６４，６５の収縮によるアクチュエータ部６０の変形量が大きくなることで、１つのアクチュエータ部６０全体としての変形量の低下が抑制される。

本実施形態において、図５の左方の圧力室１０に対して設けられた駆動電極５１、高電位電極５２、低電位電極５３、第１活性部６１、第２活性部６２～６５がそれぞれ「第１電極」「第２電極」「第３電極」「第１部分」「第２～第５部分」に該当する。図５の右方の圧力室１０に対して設けられた駆動電極５１、高電位電極５２、低電位電極５３、第１活性部６１、第２活性部６２～６５がそれぞれ「第４電極」「第５電極」「第６電極」「第６部分」「第７～第１０部分」に該当する。ここで、図５の右方の圧力室１０に対して設けられた第２活性部６２は、図５の左方の圧力室１０に対して設けられた第２活性部６５と、Ｙ方向において重なる部分を有する。この場合、第２活性部６２，６５同士がＹ方向に重ならない場合に比べ、第２活性部６２，６５が２つの圧力室１０間において占める領域が大きくなり、第２活性部６２，６５によるクロストーク抑制効果が確実に得られる。ここで、クロストークとは、ある圧力室１０におけるアクチュエータ部６０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象をいう。

突出部５１ｂは、その全体がＺ方向において圧力室１０と重ならない位置に配置されている（図５参照）。突出部５１ｂがＹ方向において圧力室１０と重なる部分を有する場合、アクチュエータ部６０の変形が阻害され得る。本構成では、当該問題を抑制できる。

圧電体４０には、第２活性部６２と第２活性部６４とを繋ぐ第１接続部分６８と、第２活性部６３と第２活性部６５とを繋ぐ第２接続部分６９とが形成されている。この場合、駆動電極５１と低電位電極５３との間でＹ方向の位置ズレが生じても、Ｘ方向において第２活性部が存在しない領域が生じ難く、第２活性部によるクロストーク抑制効果を維持できる。具体的には、例えば駆動電極５１が図５の上方に位置ズレした場合でも、その位置ズレ量が第１接続部分６８のＹ方向の長さ未満であれば、第１接続部分６８が維持される。駆動電極５１が図５の下方に位置ズレした場合でも、その位置ズレ量が第２接続部分６９のＸ方向の長さ未満であれば、第２接続部分６９が維持される。また、圧電体４０において電極で挟まれない領域にはクラックが生じ易いが、本構成ではクラックを抑制できる。

第２活性部６３のＸ方向の一端６３ａは、「Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間の位置にある」という要件を満たす（図５参照）。この場合、第２活性部６３は、後述の実験結果のとおり、アクチュエータ部６０の変形回数の増加に伴い、当該部分の収縮によるアクチュエータ部６０の変形量がより確実に増加する。したがって、アクチュエータ部６０の駆動劣化をより確実に抑制できる。

＜第２実施形態＞
続いて、図８～図１２を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッドについて説明する。

本実施形態は、図８に示すように、３２個の駆動電極２５１及び低電位電極２５３における３２個の個別部２５３ａの形状が第１実施形態（図５）と異なる。これに伴い、本実施形態では、第２活性部２６２～２６５の配置や形状が第１実施形態と異なっている。

３２個の駆動電極２５１は、それぞれ、主部２５１ａと、突出部２５１ｂとを有する。主部２５１ａは、Ｚ方向から見て凸形状であり、対応する圧力室１０とＺ方向に重なる部分と、対応する圧力室１０とＺ方向に重ならない部分とを含む。突出部２５１ｂは、主部２５１ａからＹ方向に突出した部分であり、その全体が対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。３２個の駆動電極２５１において、突出部２５１ｂの突出方向は互いに同じである。突出部２５１ｂには、ＣＯＦ２３（図２）の配線と電気的に接続される接点が設けられている。

以下、図８の左方のアクチュエータ部２６０及び圧力室１０を参照し、１つのアクチュエータ部２６０における活性部６１，２６２～２６５間の位置関係、１つのアクチュエータ部２６０の活性部６１，２６２～２６５とこれに対応する１つの圧力室１０との位置関係等について説明する。

第１活性部６１は、Ｘ方向において第２活性部２６３，２６５の間及び第２活性部２６２，２６４の間に配置された部分と、Ｚ方向において第２活性部２６３，２６５と重なる部分とを有する。

第２活性部２６３，２６５は、Ｙ方向において互いに同じ位置にある。第２活性部２６２，２６４は、Ｙ方向において互いに同じ位置にある。第２活性部２６３，２６５と第２活性部２６２，２６４とは、Ｙ方向において互いに異なる位置にある。具体的には、第２活性部２６３，２６５は、Ｙ方向において圧力室１０のＹ方向の略中央と他端１０ｄとの間に配置されている。第２活性部２６２，２６４は、Ｙ方向において圧力室１０のＹ方向の略中央と一端１０ｃとの間に配置されている。第２活性部２６３，２６５は、Ｘ方向において、互いに離隔し、第１活性部６１を挟んでいる。第２活性部２６２，２６４は、Ｘ方向において、互いに離隔し、第１活性部６１を挟んでいる。

第２活性部２６３は、Ｘ方向において、第２活性部２６２と第１活性部６１との間に配置された部分を有する。第２活性部２６５は、Ｘ方向において、第１活性部６１と第２活性部２６４との間に配置された部分を有する。第２活性部２６５は、Ｘ方向において、第２活性部２６３と圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に配置されている。第２活性部２６４は、Ｘ方向において、第２活性部２６２と圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂ（図３参照）との間に配置されている。

第２活性部２６２～２６５は、Ｚ方向から見た形状及びサイズが互いに同じである。

第２活性部２６３，２６５は、それぞれ、その全体が、Ｚ方向において圧力室１０と重なっている。第２活性部２６３は、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと中央との間に位置する。第２活性部２６５は、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の中央と他端１０ｂとの間に位置する。

第２活性部２６２，２６４は、Ｘ方向において第１活性部６１から離隔し、Ｚ方向において圧力室１０と重なっていない。第２活性部２６２は、Ｘ方向において、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の一端２２ａ（図３参照）と、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａ（図８の左端）との間に位置する。第２活性部２６５は、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂ（図８の右端）と、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂ（図３参照）との間に位置する。

圧力室１０及び活性部６１，２６２～２６５のＸ方向の端部間の位置関係は、以下のとおりである。

第２活性部２６３のＸ方向の一端２６３ａ及び他端２６３ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと他端１０ｂとの間に位置する。一端２６３ａは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａとの間に位置する。他端２６３ｂは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間（詳細には、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと中央６１ｃとの間）に位置する。他端２６３ｂは、Ｘ方向において、一端２６３ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。

第２活性部２６５のＸ方向の一端２６５ａ及び他端２６５ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと他端１０ｂとの間に位置する。一端２６５ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間（詳細には、第１活性部６１のＸ方向の中央６１ｃと他端６１ｂとの間）に位置する。他端２６５ｂは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂとの間に位置する。他端２６５ｂは、Ｘ方向において、一端２６５ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。

第２活性部２６２のＸ方向の一端２６２ａ及び他端２６２ｂは、Ｘ方向において、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の一端２２ａと、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａとの間に位置する。他端２６２ｂは、Ｘ方向において、一端２６２ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。また、他端２６２ｂは、Ｘ方向において、一端６２ａと、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａとの間に位置する。

第２活性部２６４のＸ方向の一端２６４ａ及び他端２６４ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。他端２６４ｂは、Ｘ方向において、一端２６４ａと、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。また、一端２６４ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと、他端２６４ｂとの間に位置する。

第２活性部２６３のＸ方向の一端２６３ａから第１活性部６１のＸ方向の中央６１ｃまでのＸ方向の距離ｓ３、及び、中央６１ｃから第２活性部２６５のＸ方向の他端２６５ｂまでのＸ方向の距離ｓ５は、互いに同じである。距離ｓ３，ｓ５は、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａから他端１０ｂまでのＸ方向の距離（即ち、圧力室１０のＸ方向の長さ）Ｄの半分以下である（本実施形態では、距離Ｄの半分よりも短い）。

第２活性部２６２のＸ方向の他端２６２ｂから第１活性部６１のＸ方向の中央６１ｃまでのＸ方向の距離ｓ２、及び、中央６１ｃから第２活性部２６４のＸ方向の一端２６４ａまでのＸ方向の距離ｓ４は、互いに同じである。距離ｓ２，ｓ４は、距離Ｄの半分よりも長い。

圧電体４０には、第２活性部２６２と第２活性部２６３とを繋ぐ第１接続部分２６８と、第２活性部２６４と第２活性部２６５とを繋ぐ第２接続部分２６９とが形成されている。接続部分２６８，２６９は、圧電層４２，４３のうち、Ｚ方向において駆動電極２５１と低電位電極２５３とに挟まれた部分である。第１接続部分２６８は、第２活性部２６２のＹ方向の他端（図８の上端）の辺に沿って配置されており、そのＸ方向の長さが第２活性部２６２のＸ方向の長さよりも長く、Ｘ方向において第２活性部２６２と第２活性部２６３とを繋いでいる。第２接続部分２６９は、第２活性部２６４のＹ方向の他端（図８の上端）の辺に沿って配置されており、そのＸ方向の長さが第２活性部２６４のＸ方向の長さよりも長く、Ｘ方向において第２活性部２６４と第２活性部２６５とを繋いでいる。第２活性部２６２と第２活性部２６３とは、Ｘ方向において第１接続部分２６８を挟んで互いに離隔し、かつ、Ｙ方向において互いに隣接している。第２活性部２６４と第２活性部２６５とは、Ｘ方向において第２接続部分２６９を挟んで互いに離隔し、かつ、Ｙ方向において互いに隣接している。

Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０のうちの一方（図８の左方の圧力室１０）に対して設けられた第２活性部２６４と、他方（図８の右方の圧力室１０）に対して設けられた第２活性部２６２とは、Ｘ方向に互いに離隔している。

突出部２５１ｂは、Ｚ方向において第２活性部２６４と重なる部分から、Ｙ方向（第２活性部２６５から第２活性部２６４に向かう方向）に突出している。

次に、図９及び図１０を参照し、ある吐出口１５ｘからインクを吐出させる際の、当該吐出口１５ｘに対応するアクチュエータ部６０の動作について説明する。

図９は、１つの圧力室１０と、当該圧力室１０に対応する１つのアクチュエータ部２６０の第１活性部６１、第２活性部２６３，２６５を通るＸ方向及びＺ方向に沿った断面である。図１０は、１つの圧力室１０と、当該圧力室１０に対応する１つのアクチュエータ部２６０の第１活性部６１、第２活性部２６２，２６４を通るＸ方向及びＺ方向に沿った断面である。

プリンタ１が記録動作を開始する前は、図９（ａ）及び図１０（ａ）に示すように、３２個の駆動電極２５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、３２個のアクチュエータ部２６０のそれぞれにおいて、駆動電極２５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部６１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部６１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、圧電体４０及びインク分離層４４からなる積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、上記積層体がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

プリンタ１が記録動作を開始し、ある吐出口１５ｘからインクが吐出させる際には、先ず、図９（ｂ）及び図１０（ｂ）に示すように、当該吐出口１５ｘに対応する駆動電極２５１の電位が低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り替えられる。このとき、当該アクチュエータ部２６０において、駆動電極２５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部６１の収縮が解消される。一方、駆動電極２５１と低電位電極２５３との電位差が生じることで、第２活性部２６２～２６５にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部２６２～２６５が面方向に収縮する。すると、上記積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、上方に引っ張られることとなり、圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓む。これにより、圧力室１０の容積が大きくなる。

その後、図９（ａ）及び図１０（ａ）に示すように、当該吐出口１５ｘに対応する駆動電極２５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り替えられる。このとき、当該アクチュエータ部２６０において、駆動電極２５１と低電位電極２５３との電位差がなくなることで、第２活性部２６２～２６５の収縮が解消される。一方、駆動電極２５１と高電位電極５２との電位差が生じることで、第１活性部６１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部６１が面方向に収縮する。これにより、上記積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、吐出口１５ｘからインクが吐出される。

以上に述べたように、本実施形態のヘッドは、「第２活性部２６２のＸ方向の他端２６２ｂは、Ｘ方向において、第２活性部２６２のＸ方向の一端２６２ａと第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａとの間の位置にあり、第２活性部２６３のＸ方向の他端２６３ｂは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間の位置にある」という要件を満たす（図８参照）。当該要件を満たす場合、後述の実験結果のとおり、第２活性部２６２には駆動劣化が生じ得るが、第２活性部２６３は、アクチュエータ部２６０の変形回数の増加に伴い、当該部分の収縮によるアクチュエータ部２６０の変形量が増加し、１つのアクチュエータ部２６０全体としての駆動劣化が抑制される。つまり、上記要件を満たすことで、アクチュエータ部２６０の駆動劣化を抑制できる。

本実施形態のヘッドは、さらに、「第２活性部２６４のＸ方向の一端２６４ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと第２活性部２６４のＸ方向の他端２６４ｂとの間の位置にあり、第２活性部２６５のＸ方向の一端２６５ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間の位置にある」という要件を満たす（図８参照）。当該要件を満たす場合、後述の実験結果のとおり、第２活性部２６４には駆動劣化が生じ得るが、第２活性部２６５は、アクチュエータ部２６０の変形回数の増加に伴い、当該部分の収縮によるアクチュエータ部２６０の変形量が増加し、１つのアクチュエータ部２６０全体としての駆動劣化が抑制される。つまり、上記要件を満たすことで、アクチュエータ部２６０の駆動劣化を抑制できる。

第２活性部２６３，２６５は、第２活性部２６２，２６４よりも、Ｙ方向において吐出口１５ｘに近い位置にある（図８参照）。この場合、吐出口１５ｘに近い領域においてアクチュエータ部２６０の駆動劣化を抑制できるため、安定した吐出性能を維持できる

第２活性部２６２のＸ方向の他端２６２ｂから第２活性部２６４のＸ方向の一端２６４ａまでのＸ方向の距離（ｓ２＋ｓ４）は、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａから他端１０ｂまでのＸ方向の距離Ｄよりも長い。また、第２活性部２６３のＸ方向の一端２６３ａから第２活性部２６５のＸ方向の他端２６５ｂまでのＸ方向の距離（ｓ３＋ｓ５）は、距離Ｄ以下である（図８参照）。これらの場合、流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間のＸ方向の位置ズレによるアクチュエータ部６０の変形量の低下を抑制できる。以下、当該効果について、具体的に説明する。

図１１及び図１２の例は、圧電アクチュエータ２２が図８の右方に位置ズレしたものであり、第２活性部２６５，２６２の一部が圧力室１０とＺ方向に重なっている。即ち、第２活性部２６５，２６２は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分と、圧力室１０とＺ方向に重ならない部分とを含む。第２活性部２６３は圧力室１０のＸ方向の中央に近づき、第２活性部２６４は圧力室１０からＸ方向にさらに離隔している。

図１１及び図１２の例においても、図９及び図１０と同様、駆動電極２５１の電位の変化に応じて、第１活性部６１の収縮（図１１（ａ）及び図１２（ａ））と、第２活性部２６２～２６５の収縮（図１１（ｂ）及び図１２（ｂ））とが順次生じる。しかし、位置ズレが無い場合（図９及び図１０）に比べ、後述の解析結果から理解されるように、第１活性部６１の収縮によるアクチュエータ部２６０の下向きに凸となるように撓む変形の変形量が小さくなり、第２活性部２６５，２６２の収縮によるアクチュエータ部２６０の上向きに凸となるように撓む変形の変形量が大きくなる。つまり、Ｘ方向の位置ズレが有る場合の１つのアクチュエータ部２６０の変形量は、第１活性部６１の収縮によるアクチュエータ部２６０の変形量が小さくなることで、位置ズレが無い場合の１つのアクチュエータ部２６０の変形量よりも低下するが、第２活性部２６５，２６２の収縮によるアクチュエータ部２６０の変形量が大きくなることで（図１１（ｂ）及び図１２（ｂ））、１つのアクチュエータ部２６０全体としての変形量の低下が抑制される。

図１１及び図１２の例とは逆に、圧電アクチュエータ２２が図８の左方に位置ズレし、第２活性部２６３，２６４が、圧力室１０とＺ方向に重なる部分と、圧力室１０とＺ方向に重ならない部分とを含むことになった場合は、第２活性部２６３，２６４の収縮によるアクチュエータ部２６０の変形量が大きくなる。具体的には、位置ズレが無い場合に比べ、第１活性部６１の収縮によるアクチュエータ部２６０の下向きに凸となるように撓む変形の変形量が小さくなり、第２活性部２６３，２６４の収縮によるアクチュエータ部２６０の上向きに凸となるように撓む変形の変形量が大きくなる。つまり、Ｘ方向の位置ズレが有る場合の１つのアクチュエータ部６０の変形量は、第１活性部６１の収縮によるアクチュエータ部２６０の変形量が小さくなることで、位置ズレが無い場合の１つのアクチュエータ部６０の変形量よりも低下するが、第２活性部２６３，２６４の収縮によるアクチュエータ部２６０の変形量が大きくなることで、１つのアクチュエータ部２６０全体としての変形量の低下が抑制される。

圧力室１０は、Ｙ方向の長さがＸ方向の長さよりも長い（図８参照）。圧力室１０の幅方向であるＸ方向において、流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間のＸ方向の位置ズレが生じると、アクチュエータ部２６０の変形量の低下が顕著になり得る。本構成では、当該問題を抑制できる。

突出部２５１ｂは、その全体がＺ方向において圧力室１０と重ならない位置に配置されている（図８参照）。突出部２５１ｂがＹ方向において圧力室１０と重なる部分を有する場合、アクチュエータ部２６０の変形が阻害され得る。本構成では、当該問題を抑制できる。

圧電体４０には、第２活性部２６２と第２活性部２６３とを繋ぐ第１接続部分２６８と、第２活性部２６４と第２活性部２６５とを繋ぐ第２接続部分２６９とが形成されている。この場合、駆動電極２５１と低電位電極２５３との間でＹ方向の位置ズレが生じても、Ｘ方向において第２活性部が存在しない領域が生じ難く、第２活性部によるクロストーク抑制効果を維持できる。具体的には、例えば駆動電極２５１が図８の下方に位置ズレした場合でも、その位置ズレ量が接続部分２６８，２６９のＹ方向の長さ未満であれば、接続部分２６８，２６９が維持される。また、圧電体４０において電極で挟まれない領域にはクラックが生じ易いが、本構成ではクラックを抑制できる。

第２活性部２６３のＸ方向の他端２６３ｂは、「Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと他端６１ｂとの間の位置にある」という要件を満たす（図８参照）。この場合、第２活性部２６３は、後述の実験結果のとおり、アクチュエータ部２６０の変形回数の増加に伴い、当該部分の収縮によるアクチュエータ部２６０の変形量がより確実に増加する。したがって、アクチュエータ部２６０の駆動劣化をより確実に抑制できる。

＜駆動劣化に関する実験＞
本願発明者は、ＩＮタイプの（即ち、Ｙ方向に亘って図９のような断面を有し、第２活性部として図８の第２活性部２６３，２６５を含み第２活性部２６２，２６４を含まない）アクチュエータ部を有するヘッドと、ＯＵＴタイプの（即ち、Ｙ方向に亘って図１０のような断面を有し、第２活性部として図８の第２活性部２６２，２６４を含み第２活性部２６３，２６５を含まない）アクチュエータ部を有するヘッドとを用いて、実験を行い、アクチュエータ部の駆動劣化について検証した。

なお、実験では、ＩＮタイプ（図９）のアクチュエータ部を、第２活性部２６３のＸ方向の一端２６３ａが圧力室１０のＸ方向の一端１０ａとＸ方向において同じ位置にあり、第２活性部２６５のＸ方向の他端２６５ｂが圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂとＸ方向において同じ位置にあるものとした。また、ＯＵＴタイプ（図１０）のアクチュエータ部を、第２活性部２６２のＸ方向の他端２６２ｂが圧力室１０のＸ方向の一端１０ａとＸ方向において同じ位置にあり、第２活性部２６４のＸ方向の一端２６４ａが圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂとＸ方向において同じ位置にあるものとした。

上記各ヘッドにおいて、アクチュエータ部を駆動させて吐出口から液体を吐出させ、一定の吐出回数毎に吐出速度を測定した。図１３において、横軸は吐出回数を示し、縦軸は吐出回数がゼロの場合を基準とした吐出速度の変化率を示す。図１３の実線及び破線は、それぞれ、ＩＮタイプ及びＯＵＴタイプのヘッドで得られた測定結果を近似曲線で表したものである。

図１３より、ＯＵＴタイプのアクチュエータ部は、吐出回数の増加（即ち、アクチュエータ部の変形回数の増加）に伴い吐出速度が低下する（即ち、変形量が低下する）一方、ＩＮタイプのアクチュエータ部は、吐出回数の増加に伴い吐出速度が上昇する（即ち、変形量が増加する）ことがわかる。ＩＮタイプのアクチュエータ部では、第２活性部が第１活性部とＺ方向に重なる部分や第１活性部とＸ方向に隣接又は近接した部分を有するため、第２活性部と第１活性部との境界に分極が不確定な部分が生じ、当該部分が駆動劣化の抑制に寄与すると推察される。

＜位置ズレに関する解析１＞
本願発明者は、ＩＮタイプ（図９）のアクチュエータ部を有するヘッドについて、以下の条件で解析を行った。
・圧電層４１の厚み（Ｚ方向の長さ）＝１５μｍ
・圧電層４２の厚み（Ｚ方向の長さ）＝１５μｍ
・圧電層４３の厚み（Ｚ方向の長さ）＝１３．３μｍ
・インク分離層４４の厚み（Ｚ方向の長さ）＝１０μｍ
・高電位電極５２のＸ方向の長さ（第１活性部６１のＸ方向の長さ）＝２２０μｍ
・圧力室１０のＸ方向の長さＤ＝３５０μｍ

図１４（ａ），（ｂ）において、横軸は、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａから第２活性部２６３のＸ方向の一端２６３ａまでのＸ方向の距離ｐ３と、第２活性部２６５のＸ方向の他端２６５ｂから圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂまでのＸ方向の距離ｐ５とを示す（図８参照）。距離ｐ３，ｐ５がプラスの場合、第２活性部２６３，２６５は、圧力室１０とＺ方向に重なる。距離ｐ３，ｐ５ゼロの場合、第２活性部２６３のＸ方向の一端２６３ａ及び第２活性部２６５のＸ方向の他端２６５ｂは、それぞれ圧力室１０のＸ方向の一端１０ａ及び他端１０ｂとＸ方向において一致する。距離ｐ３，ｐ５がマイナスの場合、第２活性部２６３，２６５は、圧力室１０とＺ方向に重ならない部分を有する。

図１４（ａ）より、距離ｐ３，ｐ５がプラスの範囲では、距離ｐ３，ｐ５がマイナスの範囲に比べ、アクチュエータ部の変形量の勾配が小さいことがわかる。また、距離ｐ３，ｐ５がプラスの場合に、図１１に示すように流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間のＸ方向の位置ズレが生じると、距離ｐ３が増加することで、第２活性部２６３の収縮によるアクチュエータ部の変形量が緩やかに低下する一方、距離ｐ５が減少することで、第２活性部２６５の収縮によるアクチュエータ部の変形量が大きく増加し、アクチュエータ部全体としての変形量の低下が抑制されることがわかる。

図１４（ｂ）において、実線は距離ｐ３，ｐ５＝５μｍの場合の解析結果を示し、破線は距離ｐ３，ｐ５＝０μｍの場合の解析結果を示す。位置ズレ量とは、第１活性部６１のＸ方向の中央６１ｃから圧力室１０のＸ方向の中央１０ｅまでのＸ方向の距離をいう。図１４（ｂ）より、図１１に示すような流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間のＸ方向の位置ズレが生じ、その位置ズレ量が増加するにつれて、距離ｐ３，ｐ５＝５μｍの場合及び距離ｐ３，ｐ５＝０μｍの場合共にアクチュエータ部の変形量が低下するが、距離ｐ３，ｐ５＝５μｍの場合の方が距離ｐ３，ｐ５＝０μｍの場合よりもアクチュエータ部の変形量の低下が抑えられることがわかる。

＜位置ズレに関する解析２＞
本願発明者は、ＯＵＴタイプ（図１０）のアクチュエータ部を有するヘッドについて、以下の条件で解析を行った。
・圧電層４１の厚み（Ｚ方向の長さ）＝１５μｍ
・圧電層４２の厚み（Ｚ方向の長さ）＝１５μｍ
・圧電層４３の厚み（Ｚ方向の長さ）＝１３．３μｍ
・インク分離層４４の厚み（Ｚ方向の長さ）＝１０μｍ
・駆動電極５１のＸ方向の長さ＝４３８μｍ
・高電位電極５２のＸ方向の長さ（第１活性部６１のＸ方向の長さ）＝２２０μｍ
・圧力室１０のＸ方向の長さＤ＝３４０μｍ

図１５（ａ），（ｂ）において、横軸は、第２活性部２６２のＸ方向の他端２６２ｂから圧力室１０のＸ方向の一端１０ａまでのＸ方向の距離ｐ２と、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂから第２活性部２６４のＸ方向の一端２６４ａまでのＸ方向の距離ｐ４とを示す（図８参照）。距離ｐ２，ｐ４がプラスの場合、第２活性部２６２，２６４は、圧力室１０とＺ方向に重ならない。距離ｐ２，ｐ４がゼロの場合、第２活性部２６２のＸ方向の他端２６２ｂ及び第２活性部２６４のＸ方向の一端２６４ａは、それぞれ圧力室１０のＸ方向の一端１０ａ及び他端１０ｂとＸ方向において一致する。距離ｐ２，ｐ４がマイナスの場合、第２活性部２６２，２６４は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する。

図１５（ａ）より、距離ｐ２，ｐ４が１５μｍのときに、アクチュエータ部の変形量の勾配がマイナスからプラスに転じることがわかる。また、距離ｐ２，ｐ４が１５μｍ以上の場合に、図１２に示すように流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間のＸ方向の位置ズレが生じると、距離ｐ４が増加することで、第２活性部２６４の収縮によるアクチュエータ部の変形量が緩やかに低下する一方、距離ｐ２が減少することで、第２活性部２６２の収縮によるアクチュエータ部の変形量が大きく増加し、アクチュエータ部全体としての変形量の低下が抑制されることがわかる。

図１５（ｂ）より、距離ｐ２，ｐ４が略１５μｍ以上の場合に、図１２に示すような流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間のＸ方向の位置ズレ（位置ズレ量＝２０μｍ）が生じると、第２活性部２６２の収縮によるアクチュエータ部の変形量が、位置ズレが無い場合に比べて増加することがわかる。

図１５（ｃ）において、実線は距離ｐ２，ｐ４＝２０μｍの場合の解析結果を示し、破線は距離ｐ２，ｐ４＝０μｍの場合の解析結果を示す。図１５（ｃ）より、図１２に示すような流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２との間のＸ方向の位置ズレが生じ、その位置ズレ量が増加するにつれて、距離ｐ２，ｐ４＝２０μｍの場合及び距離ｐ２，ｐ４＝０μｍの場合共にアクチュエータ部の変形量が低下するが、距離ｐ２，ｐ４＝２０μｍの場合の方が距離ｐ２，ｐ４＝０μｍの場合よりもアクチュエータ部の変形量の低下が抑えられることがわかる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

例えば、圧電アクチュエータにおける圧電層や電極の構成は、以下のように変更可能である。電極配置の変更に伴い、第１活性部６１及び第２活性部６２，６３の厚み（Ｚ方向の長さ）や、第１活性部６１及び第２活性部６２，６３のＺ方向の位置関係も、変更し得る。

図１６（ａ）の第１変形例は、第１実施形態の変形例であり、高電位電極５２及び低電位電極５３のＺ方向の位置が第１実施形態と逆である。Ｚ方向において上から順に、駆動電極５１、低電位電極５３及び高電位電極５２が配置されている。低電位電極５３は、Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間に配置されている。高電位電極５２は、Ｚ方向において圧電層４２と圧電層４３との間に配置されている。低電位電極５３は、高電位電極５２よりも、Ｚ方向において圧力室１０から離隔している。

さらに、第１変形例では、第２活性部６３が、第１活性部６１とＺ方向に重なる部分を有さず、第１活性部６１とＸ方向に隣接している。即ち、第２活性部６３のＸ方向の一端６３ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと同じ位置にある。また、第２活性部６３のＸ方向の他端６３ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂと同じ位置にある。

図１６（ｂ）の第２変形例は、第１実施形態の変形例であり、駆動電極５１及び高電位電極５２のＺ方向の位置が第１実施形態と逆である。Ｚ方向において上から順に、高電位電極５２、駆動電極５１及び低電位電極５３が配置されている。高電位電極５２は、圧電層４１の上面に配置されている。駆動電極５１は、Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間に配置されている。

第２変形例においても、第１変形例と同様、第２活性部６３が、第１活性部６１とＺ方向に重なる部分を有さず、第１活性部６１とＸ方向に隣接している。即ち、第２活性部６３のＸ方向の一端６３ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと同じ位置にある。また、第２活性部６３のＸ方向の他端６３ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂと同じ位置にある。

図１６（ｃ）の第３変形例は、第１実施形態の変形例であり、圧電層の数が２つである。圧電体４０は、Ｚ方向に積層された２つの圧電層４１，４２を有する。高電位電極５２及び低電位電極５３は、Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間（即ち、同一層）に配置されている。

さらに、第３変形例では、第２活性部６３が、第１活性部６１とＺ方向に重なる部分を有さず、第１活性部６１からＸ方向に離隔している。即ち、第２活性部６３のＸ方向の一端６３ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと第２活性部６３のＸ方向の他端６３ｂとの間の位置にある。第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂから第２活性部６３のＸ方向の一端６３ａまでのＸ方向の距離ｔ３は、第２活性部６２のＸ方向の他端６２ｂから第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａまでのＸ方向の距離ｔ２よりも短い。また、第２活性部６３のＸ方向の他端６３ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂと圧電アクチュエータ２２のＸ方向の他端２２ｂとの間に位置する。

第１～第３変形例において、第２活性部６４（本発明の第１観点に係る第４部分）は、第２活性部６３（本発明の第１観点に係る第３部分）と、第１活性部６１の中心軸に関して対称に配置されている。第２活性部６５（本発明の第１観点に係る第５部分）は、第２活性部６２（本発明の第１観点に係る第２部分）と、第１活性部６１の中心軸に関して対称に配置されている。したがって、第１及び第２変形例では、第２活性部６４が、第１活性部６１とＺ方向に重なる部分を有さず、第１活性部６１とＸ方向に隣接している。即ち、第２活性部６３のＸ方向の他端６４ｂは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと同じ位置にある。第３変形例では、第２活性部６４が、第１活性部６１とＺ方向に重なる部分を有さず、第１活性部６１からＸ方向に離隔している。即ち、第２活性部６４のＸ方向の他端６４ｂは、Ｘ方向において、第２活性部６４のＸ方向の一端６４ａと第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａとの間の位置にある。そして、第２活性部６４のＸ方向の他端６４ｂから第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａまでのＸ方向の距離は、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂから第２活性部６５のＸ方向の一端６５ａまでのＸ方向の距離よりも短い。

図１７（ａ）の第４変形例は、第２実施形態の変形例であり、第２活性部２６３，２６５が、第１活性部６１とＺ方向に重なる部分を有さず、第１活性部６１とＸ方向に隣接している。即ち、第２活性部２６３のＸ方向の他端２６３ｂは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａと同じ位置にある。第２活性部２６５のＸ方向の一端２６５ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと同じ位置にある。また、第２活性部２６３のＸ方向の一端２６３ａは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の一端１０ａと同じ位置にある。第２活性部２６５のＸ方向の他端２６３ｂは、Ｘ方向において、圧力室１０のＸ方向の他端１０ｂと同じ位置にある。

図１７（ｂ），（ｃ）の第５変形例は、第２実施形態の変形例であり、圧電層４１の上面のみでなく、圧電層４３の上面にも、駆動電極２５１が形成されている。高電位電極５２及び低電位電極２５３は、Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間（即ち、同一層）に配置されている。これにより、圧電層４１，４２のそれぞれに、Ｚ方向において駆動電極２５１と高電位電極５２とに挟まれた第１活性部６１、Ｚ方向において駆動電極２５１と低電位電極２５３とに挟まれた第２活性部２６２～２６５が形成されている。

さらに、第５変形例では、図１７（ｂ）に示すように、第２活性部２６３，２６５が、第１活性部６１とＺ方向に重なる部分を有さず、第１活性部６１からＸ方向に離隔している。即ち、第２活性部２６３のＸ方向の他端２６３ｂは、Ｘ方向において、第２活性部２６３のＸ方向の一端２６３ａと第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａとの間の位置にある。第２活性部２６５のＸ方向の一端２６５ａは、Ｘ方向において、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂと第２活性部２６５のＸ方向の他端２６５ｂとの間の位置にある。第２活性部２６３のＸ方向の他端２６３ｂから第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａまでのＸ方向の距離ｕ３は、第２活性部２６２のＸ方向の他端２６２ｂから第１活性部６１のＸ方向の一端６１ａまでのＸ方向の距離ｕ２（図１７（ｃ）参照）よりも短い。また、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂから第２活性部２６５のＸ方向の一端２６５ａまでのＸ方向の距離ｕ５は、第１活性部６１のＸ方向の他端６１ｂから第２活性部２６４のＸ方向の一端２６４ａまでのＸ方向の距離ｕ４よりも短い。距離ｕ３，ｕ５は互いに同じであり、距離ｕ２，ｕ４は互いに同じである。

図１８の第６変形例は、第２実施形態の変形例であり、２組の第２活性部２６２～２６５がＹ方向に並んでいる。なお、図１８では、活性部６１，２６２～２６５を実線で示し、電極５２，２５３の図示を省略している。また、第６変形例では、接続部分２６８，２６９が設けられていない。

接続部分を省略してもよい（第６変形例参照）。

分離層４４を省略してもよい。

本発明の第１観点について第１実施形態、本発明の第２観点について第２実施形態を参照して説明したが、これに限定されない。例えば、第２実施形態の第２活性部２６２，２６５がそれぞれ、本発明の第１観点の「第２部分」「第３部分」に該当するといえる。また、第１実施形態の第２活性部６２，６４がそれぞれ、本発明の第２観点の「第２部分」「第３部分」に該当するといえる。

第１部分は、第３方向において圧力室と重ならない部分を含んでもよい。

第２部分の第１方向の他端から第１部分の第１方向の中央までの第１方向の距離、及び、第１部分の第１方向の中央から第５部分の第１方向の一端までの第１方向の距離は、圧力室の第１方向の一端から他端までの第１方向の距離の半分以下であってもよい。第１部分の第１方向の中央から第３部分の第１方向の他端までの第１方向の距離、及び、第４部分の第１方向の一端から第１部分の第１方向の中央までの第１方向の距離は、圧力室の第１方向の一端から他端までの第１方向の距離より長くてもよい。

第７部分は、第２方向において第５部分と重なる部分を有さなくてよい。具体的には、図５の左方の圧力室１０に対して設けられた第２活性部６５、及び、図５の右方の圧力室１０に対して設けられた第２活性部６２の、Ｘ方向の長さが短く、これら活性部６２，６５が２つの圧力室１０間において占める領域が小さくてもよい。

圧力室は、第１方向における長さが、第２方向における長さより長くてもよい。

液体吐出ヘッドは、１色のインクを吐出することに限定されず、複数色のインクを吐出してもよい。

液体吐出ヘッドが吐出する液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。

液体吐出ヘッドは、シリアル式に限定されず、ライン式であってもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

１プリンタ
３ヘッド（液体吐出ヘッド）
１０圧力室
１０ａ一端
１０ｂ他端
１５ｘ吐出口
２１流路ユニット
２２圧電アクチュエータ
２２ａ一端
２２ｂ他端
３４ｘ吐出面
４０圧電体
４１～４３圧電層
５１；２５１駆動電極（第１電極，第４電極）
５１ｂ；２５１ｂ突出部
５２高電位電極（第２電極，第５電極）
５３；２５３低電位電極（第３電極，第６電極）
６０；２６０アクチュエータ部
６１第１活性部（第１部分，第６部分）
６１ａ一端
６１ｂ他端
６１ｃ中央
６２；２６２第２活性部（第２部分，第７部分）
６２ａ；２６２ａ一端
６２ｂ；２６２ｂ他端
６３；２６３第２活性部（第３部分，第８部分）
６３ａ；２６３ａ一端
６３ｂ；２６３ｂ他端
６４；２６４第２活性部（第４部分，第９部分）
６４ａ；２６４ａ一端
６４ｂ；２６４ｂ他端
６５；２６５第２活性部（第５部分，第１０部分）
６５ａ；２６５ａ一端
６５ｂ；２６５ｂ他端
６８；２６８第１接続部分
６９；２６９第２接続部分

Claims

第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行な吐出面であって、吐出口を画定する面である吐出面を有し、前記吐出口と連通する圧力室が形成された流路ユニットと、
前記吐出面と直交する第３方向において、前記流路ユニットに積層された圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記第３方向に積層された複数の圧電層を有する圧電体と、
第１電極と、
前記第３方向において前記第１電極から離隔した第２電極と、
前記第３方向において前記第１電極から離隔した第３電極と、を備え、
前記圧電体は、
前記第３方向において前記第１電極と前記第２電極とに挟まれた第１部分であって、前記第３方向において前記圧力室と重なる部分を有する第１部分と、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第２部分と、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第３部分であって、前記第１方向において前記第２部分から離隔した第３部分と、を有し、
前記第１部分は、前記第１方向において前記第２部分と前記第３部分との間に配置された部分を有し、
前記圧電アクチュエータは、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第１部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第１部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第２部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第２部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第２部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第３部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第３部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第３部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第２部分の前記他端は、
前記第１方向において、前記第２部分の前記一端と前記第１部分の前記一端との間の位置にあり、
前記第３部分の前記一端は、
（ａ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記第１部分の前記他端との間の位置、
（ｂ）前記第１方向において、前記第１部分の前記他端と同じ位置、及び、
（ｃ）前記第１方向において、前記第１部分の前記他端と前記第３部分の前記他端との間の位置であって、前記第１部分の前記他端から前記第３部分の前記一端までの前記第１方向の距離が、前記第２部分の前記他端から前記第１部分の前記一端までの前記第１方向の距離よりも短くなる位置
のいずれかにあることを特徴とする液体吐出ヘッド。
前記第３部分は、前記第２方向において前記第２部分と同じ位置にあり、
前記圧電体は、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第４部分であって、前記第２方向において前記第２部分及び前記第３部分と異なる位置にあり、かつ、前記第１方向において前記第２部分と前記第３部分との間に配置された第４部分と、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第５部分であって、前記第２方向において前記第４部分と同じ位置にあり、かつ、前記第１方向において前記第４部分から離隔した第５部分と、をさらに有し、
前記第１部分は、前記第１方向において前記第４部分と前記第５部分との間に配置された部分を有し、
前記第４部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第４部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第４部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第５部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第５部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第５部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第５部分の前記一端は、
前記第１方向において、前記第１部分の前記他端と前記第５部分の前記他端との間の位置にあり、
前記第４部分の前記他端は、
（ａ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記第１部分の前記他端との間の位置、
（ｂ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と同じ位置、及び、
（ｃ）前記第１方向において、前記第４部分の前記一端と前記第１部分の前記一端との間の位置であって、前記第４部分の前記他端から前記第１部分の前記一端までの前記第１方向の距離が、前記第１部分の前記他端から前記第５部分の前記一端までの前記第１方向の距離よりも短くなる位置
のいずれかにあることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧力室は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記圧力室の前記他端は、前記第１方向において、前記圧力室の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第２部分の前記他端から前記第１部分における前記第１方向の中央までの前記第１方向の距離、及び、前記第１部分の前記中央から前記第５部分の前記一端までの前記第１方向の距離は、前記圧力室の前記一端から前記圧力室の前記他端までの前記第１方向の距離の半分よりも長いことを特徴とする、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧力室は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記圧力室の前記他端は、前記第１方向において、前記圧力室の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第１部分における前記第１方向の中央から前記第３部分の前記他端までの前記第１方向の距離、及び、前記第４部分の前記一端から前記第１部分の前記中央までの前記第１方向の距離は、前記圧力室の前記一端から前記圧力室の前記他端までの前記第１方向の距離の半分以下であることを特徴とする、請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧力室の前記第２方向における長さは、前記圧力室の前記第１方向における長さよりも長いことを特徴とする、請求項２～４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記流路ユニットに、前記第１方向において前記圧力室と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に、別の圧力室が形成されており、
前記圧電アクチュエータは、
前記第１方向において前記第１電極と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に配置された第４電極と、
前記第３方向において前記第４電極から離隔した第５電極と、
前記第３方向において前記第４電極から離隔した第６電極と、を備え、
前記圧電体は、
前記第３方向において前記第４電極と前記第５電極とに挟まれた第６部分であって、前記第３方向において前記別の圧力室と重なる部分を有する第６部分と、
前記第３方向において前記第４電極と前記第６電極とに挟まれた第７部分と、
前記第３方向において前記第４電極と前記第６電極とに挟まれた第８部分であって、前記第２方向において前記第７部分と同じ位置にあり、かつ、前記第１方向において前記第７部分から離隔した第８部分と、
前記第３方向において前記第４電極と前記第６電極とに挟まれた第９部分であって、前記第２方向において前記第７部分及び前記第８部分と異なる位置にあり、かつ、前記第１方向において前記第７部分と前記第８部分との間に配置された第９部分と、
前記第３方向において前記第４電極と前記第６電極とに挟まれた第１０部分であって、前記第２方向において前記第９部分と同じ位置にあり、かつ、前記第１方向において前記第９部分から離隔した第１０部分と、をさらに有し、
前記第６部分は、前記第１方向において前記第７部分と前記第８部分との間に配置されかつ前記第１方向において前記第９部分と前記第１０部分との間に配置された部分を有し、
前記第６部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第６部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第６部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第７部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第７部分の前記他端は、前記第１方向において前記第７部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第８部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第８部分の前記他端は、前記第１方向において前記第８部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第９部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第９部分の前記他端は、前記第１方向において前記第９部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第１０部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第１０部分の前記他端は、前記第１方向において前記第１０部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第７部分の前記他端は、
前記第１方向において、前記第７部分の前記一端と前記第６部分の前記一端との間の位置にあり、
前記第８部分の前記一端は、
（ａ）前記第１方向において、前記第６部分の前記一端と前記第６部分の前記他端との間の位置、
（ｂ）前記第１方向において、前記第６部分の前記他端と同じ位置、及び、
（ｃ）前記第１方向において、前記第６部分の前記他端と前記第８部分の前記他端との間の位置であって、前記第６部分の前記他端から前記第８部分の前記一端までの前記第１方向の距離が、前記第７部分の前記他端から前記第６部分の前記一端までの前記第１方向の距離よりも短くなる位置
のいずれかにあり、
前記第１０部分の前記一端は、
前記第１方向において、前記第６部分の前記他端と前記第１０部分の前記他端との間の位置にあり、
前記第９部分の前記他端は、
（ａ）前記第１方向において、前記第６部分の前記一端と前記第６部分の前記他端との間の位置、
（ｂ）前記第１方向において、前記第６部分の前記一端と同じ位置、及び、
（ｃ）前記第１方向において、前記第９部分の前記一端と前記第６部分の前記一端との間の位置であって、前記第９部分の前記他端から前記第６部分の前記一端までの前記第１方向の距離が、前記第６部分の前記他端から前記第１０部分の前記一端までの前記第１方向の距離よりも短くなる位置
のいずれかにあり、
前記第７部分は、前記第２方向において前記第５部分と重なる部分を有することを特徴とする、請求項２～５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１電極は、前記第３方向において前記第５部分と重なる部分から、前記第２方向において前記第３部分から前記第５部分に向かう方向に突出した突出部であって、配線基板の配線と電気的に接続される接点が設けられ、かつ、前記突出部の全体が前記第３方向において前記圧力室と重ならない位置に配置された突出部を有することを特徴とする、請求項２～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２部分と前記第４部分とは、前記第１方向において互いに離隔し、かつ、前記第２方向において互いに隣接し、
前記第３部分と前記第５部分とは、前記第１方向において互いに離隔し、かつ、前記第２方向において互いに隣接し、
前記圧電体は、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた部分であって、前記第１方向において前記第２部分と前記第４部分とを繋ぐ第１接続部分と、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた部分であって、前記第１方向において前記第３部分と前記第５部分とを繋ぐ第２接続部分と、をさらに有することを特徴とする、請求項２～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行な吐出面であって、吐出口を画定する面である吐出面を有し、前記吐出口と連通する圧力室が形成された流路ユニットと、
前記吐出面と直交する第３方向において、前記流路ユニットに積層された圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記第３方向に積層された複数の圧電層を有する圧電体と、
第１電極と、
前記第３方向において前記第１電極から離隔した第２電極と、
前記第３方向において前記第１電極から離隔した第３電極と、を備え、
前記圧電体は、
前記第３方向において前記第１電極と前記第２電極とに挟まれた第１部分であって、前記第３方向において前記圧力室と重なる部分を有する第１部分と、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第２部分と、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第３部分であって、前記第２方向において前記第２部分と異なる位置にある第３部分と、を有し、
前記第３部分は、前記第１方向において前記第２部分と前記第１部分との間に配置された部分を有し、
前記圧電アクチュエータは、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第１部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第１部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第２部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第２部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第２部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第３部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第３部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第３部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第２部分の前記他端は、
前記第１方向において、前記第２部分の前記一端と前記第１部分の前記一端との間の位置にあり、
前記第３部分の前記他端は、
（ａ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記第１部分の前記他端との間の位置、
（ｂ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と同じ位置、及び、
（ｃ）前記第１方向において、前記第３部分の前記一端と前記第１部分の前記一端との間の位置であって、前記第３部分の前記他端から前記第１部分の前記一端までの前記第１方向の距離が、前記第２部分の前記他端から前記第１部分の前記一端までの前記第１方向の距離よりも短くなる位置
のいずれかにあることを特徴とする液体吐出ヘッド。
前記圧電体は、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第４部分であって、前記第２方向において前記第２部分と同じ位置にあり、かつ、前記第１方向において前記第２部分と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に配置された第４部分と、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた第５部分であって、前記第２方向において前記第３部分と同じ位置にあり、かつ、前記第１方向において前記第３部分と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に配置された第５部分と、をさらに有し、
前記第５部分は、前記第１方向において前記第１部分と前記第４部分との間に配置された部分を有し、
前記第４部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第４部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第４部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第５部分は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記第５部分の前記他端は、前記第１方向において、前記第５部分の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第４部分の前記一端は、
前記第１方向において、前記第１部分の前記他端と前記第４部分の前記他端との間の位置にあり、
前記第５部分の前記一端は、
（ａ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記第１部分の前記他端との間の位置、
（ｂ）前記第１方向において、前記第１部分の前記他端と同じ位置、及び、
（ｃ）前記第１方向において、前記第１部分の前記他端と前記第５部分の前記他端との間の位置であって、前記第１部分の前記他端から前記第５部分の前記一端までの前記第１方向の距離が、前記第１部分の前記他端から前記第４部分の前記一端までの前記第１方向の距離よりも短くなる位置
のいずれかにあることを特徴とする、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧力室は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記圧力室の前記他端は、前記第１方向において、前記圧力室の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第２部分の前記他端から前記第４部分の前記一端までの前記第１方向の距離は、前記圧力室の前記一端から前記圧力室の前記他端までの前記第１方向の距離よりも長いことを特徴とする、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧力室は、前記第１方向の一端と、前記第１方向の他端と、を有し、
前記圧力室の前記他端は、前記第１方向において、前記圧力室の前記一端と前記圧電アクチュエータの前記他端との間に位置し、
前記第３部分の前記一端から前記第５部分の前記他端までの前記第１方向の距離は、前記圧力室の前記一端から前記圧力室の前記他端までの距離以下であることを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧力室の前記第２方向における長さは、前記圧力室の前記第１方向における長さよりも長いことを特徴とする、請求項１０～１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第３部分及び前記第５部分は、前記第２部分及び前記第４部分よりも、前記第２方向において前記吐出口に近い位置にあることを特徴とする、請求項１０～１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１電極は、前記第３方向において前記第４部分と重なる部分から、前記第２方向において前記第５部分から前記第４部分に向かう方向に突出した突出部であって、配線基板の配線と電気的に接続される接点が設けられ、かつ、前記突出部の全体が前記第３方向において前記圧力室と重ならない位置に配置された突出部を有することを特徴とする、請求項１０～１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２部分と前記第３部分とは、前記第１方向において互いに離隔し、かつ、前記第２方向において互いに隣接し、
前記第４部分と前記第５部分とは、前記第１方向において互いに離隔し、かつ、前記第２方向において互いに隣接し、
前記圧電体は、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた部分であって、前記第１方向において前記第２部分と前記第３部分とを繋ぐ第１接続部分と、
前記第３方向において前記第１電極と前記第３電極とに挟まれた部分であって、前記第１方向において前記第４部分と前記第５部分とを繋ぐ第２接続部分と、をさらに有することを特徴とする、請求項１０～１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第３部分の前記一端は、
（ａ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記第１部分の前記他端との間の位置にあることを特徴とする、請求項１～８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第３部分の前記他端は、
（ａ）前記第１方向において、前記第１部分の前記一端と前記第１部分の前記他端との間の位置にあることを特徴とする、請求項９～１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。