JP7275769B2 - 圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータを備えた液体吐出装置に関する。
特許文献１には、下電極、第一圧電層、中間電極、第二圧電層及び上電極が順次積層された圧電アクチュエータが開示されている。下電極及び上電極は、上下電極接続部によって互いに電気的に接続されている。上下電極接続部から、上下電極配線が引き出されている。中間電極から、中間電極配線が引き出されている。
特開２０１０－２１４６３４号公報（図４）
特許文献１において、上下電極配線及び中間電極配線は、中間電極に対して互いに同じ側に引き出されている。この場合、上下電極配線及び中間電極配線を互いに電気的に絶縁するため、これらの間に絶縁層を設ける必要があり、構造が複雑化する。また、絶縁層を設けたとしても、配線同士の間隔が小さくなるため、電気的な信頼性が低くなる。
本発明の目的は、構造の簡素化及び電気的な信頼性の向上を共に実現できる圧電アクチュエータ及び液体吐出装置を提供することにある。
本発明の第１観点によれば、共通電極と、前記共通電極に対して前記共通電極の厚み方向の一方に配置された第１圧電体と、前記第１圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された個別電極と、前記個別電極に対して前記厚み方向の一方に配置された第２圧電体と、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された第１導電パターンと、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置され、前記第１導電パターンと絶縁された第２導電パターンと、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置され、前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンと絶縁された第３導電パターンと、を備え、前記第１導電パターンは、前記共通電極と電気的に接続され、かつ、前記個別電極と電気的に接続されず、前記第２導電パターンは、前記共通電極及び前記個別電極のいずれとも電気的に接続されず、前記第３導電パターンは、前記共通電極と電気的に接続されず、かつ、前記個別電極と電気的に接続され、前記第１導電パターンは、前記第２導電パターンに対し、前記厚み方向と直交する直交方向の一方に配置され、前記第３導電パターンは、前記第２導電パターンに対し、前記厚み方向と直交する直交方向の他方に配置されたことを特徴とする、圧電アクチュエータが提供される。
本発明の第２観点によれば、圧力室が形成された圧力室基板と、前記圧力室基板に対して前記圧力室基板の厚み方向の一方に配置され、前記圧力室を覆う振動板と、前記振動板に対して前記厚み方向の一方に配置された共通電極と、前記共通電極に対して前記厚み方向の一方に配置された第１圧電体と、前記第１圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された個別電極と、前記個別電極に対して前記厚み方向の一方に配置された第２圧電体と、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された第１導電パターンと、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置され、前記第１導電パターンと絶縁された第２導電パターンと、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置され、前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンと絶縁された第３導電パターンと、を備え、前記第１導電パターンは、前記共通電極と電気的に接続され、かつ、前記個別電極と電気的に接続されず、前記第２導電パターンは、前記共通電極及び前記個別電極のいずれとも電気的に接続されず、前記共通電極及び前記個別電極と共に前記厚み方向に前記圧力室と重なり、前記第３導電パターンは、前記共通電極と電気的に接続されず、かつ、前記個別電極と電気的に接続され、前記第１導電パターンは、前記第２導電パターンに対し、前記厚み方向と直交する直交方向の一方に配置され、前記第３導電パターンは、前記第２導電パターンに対し、前記厚み方向と直交する直交方向の他方に配置されたことを特徴とする、液体吐出装置が提供される。
本発明の第３観点によれば、第１アクチュエータ群と、第２アクチュエータ群と、を備え、第１アクチュエータ群は、第１共通電極と、前記第１共通電極に対して前記第１共通電極の厚み方向の一方に配置された第１圧電体と、前記第１圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された第１個別電極と、前記第１個別電極に対して前記厚み方向の一方に配置された第２圧電体と、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された第１導電パターンと、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置され、前記第１導電パターンと絶縁された第２導電パターンと、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置され、前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンと絶縁された第３導電パターンと、を備え、第２アクチュエータ群は、第２共通電極と、前記第２共通電極に対して前記厚み方向の一方に配置された第３圧電体と、前記第３圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された第２個別電極と、前記第２個別電極に対して前記厚み方向の一方に配置された第４圧電体と、前記第４圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された第４導電パターンと、前記第４圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置され、前記第４導電パターンと絶縁された第５導電パターンと、前記第４圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置され、前記第４導電パターン及び前記第５導電パターンと絶縁された第６導電パターンと、を備え、前記第１導電パターンは、前記第１共通電極と電気的に接続され、かつ、前記第１個別電極と電気的に接続されず、前記第２導電パターンは、前記第１共通電極及び前記第１個別電極のいずれとも電気的に接続されず、前記第３導電パターンは、前記第１共通電極と電気的に接続されず、かつ、前記第１個別電極と電気的に接続され、前記第４導電パターンは、前記第２共通電極と電気的に接続され、かつ、前記第２個別電極と電気的に接続されず、前記第５導電パターンは、前記第２共通電極及び前記第２個別電極のいずれとも電気的に接続されず、前記第６導電パターンは、前記第２共通電極と電気的に接続されず、かつ、前記第２個別電極と電気的に接続され、前記厚み方向と直交する直交方向において、前記第１導電パターンと前記第４導電パターンとの間に前記第２導電パターン及び前記第５導電パターンが配置され、前記第２導電パターンと前記第５導電パターンとの間に前記第３導電パターン及び前記第６導電パターンが配置されたことを特徴とする、圧電アクチュエータが提供される。
本発明によれば、構造の簡素化及び電気的な信頼性の向上を共に実現できる。
本発明の一実施形態に係るプリンタの平面図である。 図１のプリンタに含まれる１つのヘッドの平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったヘッドの断面図である。 図２の一点鎖線で囲まれた領域ＩＶにおける、圧電アクチュエータの製造過程を示す平面図である。 図２の一点鎖線で囲まれた領域ＩＶにおける、圧電アクチュエータの製造過程を示す平面図である。 図１のプリンタの電気的構成を示すブロック図である。 各導電パターンに印加される信号を示す図である。 図２のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面における、圧電アクチュエータの変形態様を示す図である。 本発明の一変形例に係る圧電アクチュエータを示す、図２に対応する平面図である。
先ず、図１を参照し、本発明の一実施形態に係るプリンタ１００の全体構成について説明する。
プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。
プラテン３の上面に、用紙９が載置される。
搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ４ｍ（図６参照）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。
ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方と直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル１１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配列されている。
制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１ｄ及び搬送モータ４ｍ（共に図６参照）を制御し、用紙９上に画像を記録する。
次いで、図２及び図３を参照し、ヘッド１の構成について説明する。
ヘッド１は、流路基板１０、圧電アクチュエータ３０及び配線基板９０を有する。
流路基板１０は、図３に示すように、鉛直方向（本発明に係る「厚み方向」に該当し、以下「厚み方向」という。）に積層された３枚のプレート１０ａ～１０ｃと、２枚のダンパ膜１０ｄと、プレート１０ｅとで構成されている。２枚のダンパ膜１０ｄは、プレート１０ｃの下面における、流路基板１０の幅方向（搬送方向と平行な方向。本発明に係る「直交方向」であり、以下「直交方向」という。）の一端及び他端のそれぞれに接着されている。プレート１０ｅは、プレート１０ｃの下面における直交方向の中央に接着されている。流路基板１０には、プレート１０ａ～１０ｃ，１０ｅに形成された貫通孔により、２つの共通流路１５と、複数の個別流路１６とが形成されている。
２つの共通流路１５は、直交方向の両端において、流路基板１０の長手方向（紙幅方向。本発明に係る「交差方向」に該当し、以下「交差方向」という。）に延びている。なお、図２では、共通流路１５の図示を省略している。
各個別流路１６は、図３に示すように、ノズル１１、圧力室１２、ノズル１１と圧力室１２とを連通させる連通路１３、及び、圧力室１２と共通流路１５とを連通させる連通路１４で構成されている。
各個別流路１６に含まれる圧力室１２は、図２に示すように、交差方向に千鳥状に配列され、第１圧力室群１２Ａ及び第２圧力室群１２Ｂを構成している。第１圧力室群１２Ａ及び第２圧力室群１２Ｂは、直交方向に並んでいる。第１圧力室群１２Ａ及び第２圧力室群１２Ｂは、それぞれ、交差方向に１列に等間隔で配列された複数の圧力室１２で構成されている。圧力室１２は、図２に示すように、厚み方向と直交する平面において、直交方向に長尺な略矩形状である。
第１圧力室群１２Ａに属する圧力室１２を含む個別流路１６は、２つの共通流路１５の一方（図３において左側の共通流路１５）に連通している。第２圧力室群１２Ｂに属する圧力室１２を含む個別流路１６は、２つの共通流路１５の他方（図３において右側の共通流路１５）に連通している。
各共通流路１５は、サブタンク（図示略）に連通している。サブタンクは、メインタンクに連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留している。サブタンク内のインクが、共通流路１５に供給され、さらに共通流路１５から各個別流路１６に供給される。各個別流路１６において、インクは、連通路１４を通って圧力室１２に流入する。そして当該インクは、圧電アクチュエータ３０の変形に伴い、圧力室１２の容積が変化し、圧力室１２に圧力が付与されることで、連通路１３を通ってノズル１１から吐出される。
圧力室１２は、流路基板１０を構成するプレート１０ａ～１０ｃ，１０ｅのうち、最上層のプレート１０ａ（本発明に係る「圧力室基板」）に形成された貫通孔で構成され、流路基板１０の上面に開口している。
圧電アクチュエータ３０は、図３に示すように、振動板３１、共通電極３２、第１圧電体３３、個別電極３４、第２圧電体３５、導電パターン４１～４３、メッキ層５１，５２及び配線５３を有する。
圧電アクチュエータ３０の各要素の厚み方向の位置関係は、以下のとおりである。振動板３１は、プレート１０ａに対して上方（厚み方向の一方）に配置され、共通電極３２に対して下方（厚み方向の他方）に配置されている。共通電極３２は、振動板３１に対して上方（厚み方向の一方）に配置されている。第１圧電体３３は、共通電極３２に対して上方（厚み方向の一方）に配置されている。個別電極３４は、第１圧電体３３に対して上方（厚み方向の一方）に配置されている。第２圧電体３５は、個別電極３４に対して上方（厚み方向の一方）に配置されている。導電パターン４１～４３は、それぞれ第２圧電体３５に対して上方（厚み方向の一方）に配置され、かつ、互いに絶縁されている。第１メッキ層５１は、第１導電パターン４１に対して上方（厚み方向の一方）に配置されている。第２メッキ層５２は、第２導電パターン４２に対して上方（厚み方向の一方）に配置されている。配線５３は、第３導電パターン４３に対して上方（厚み方向の一方）に配置された一端を有する。導電パターン４１～４３は、導電性材料（例えば、Ｐｔ、Ｉｒ等の金属）で構成される電極である。
圧電アクチュエータ３０は、圧力室１２毎に、アクチュエータ３０ｚを有する。アクチュエータ３０ｚは、第１圧電体３３における共通電極３２と個別電極３４とで厚み方向に挟まれた部分３０ｘと、第２圧電体３５における第２導電パターン４２と個別電極３４とで厚み方向に挟まれた部分３０ｙとで構成される。
振動板３１は、プレート１０ａの上面に接着され、プレート１０ａに形成された全ての圧力室１２を覆っている。
圧電アクチュエータ３０における振動板３１及びメッキ層５１，５２以外の要素（共通電極３２、第１圧電体３３、個別電極３４、第２圧電体３５、導電パターン４１～４３及び配線５３）は、第１アクチュエータ群３０Ａ及び第２アクチュエータ群３０Ｂを構成している。第１アクチュエータ群３０Ａ及び第２アクチュエータ群３０Ｂは、第１圧力室群１２Ａ及び第２圧力室群１２Ｂにそれぞれ対応し、直交方向に並んでいる。
ここで、図４及び図５を参照し、圧電アクチュエータ３０の製造過程において、振動板３１をプレート１０ａの上面に接着した後の工程を説明する。
先ず、図４（ａ）に示すように、振動板３１の上面に、共通電極３２をエッチング等により形成する。
共通電極３２は、アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂ毎に設けられ、対応する圧力室群１２Ａ，１２Ｂに属する複数の圧力室１２のそれぞれと厚み方向に重なる複数の第１部分３２ａと、複数の第１部分３２ａそれぞれの直交方向の一端から直交方向の一方に延びる複数の第２部分３２ｂと、複数の第２部分３２ｂを連結する第３部分３２ｃとを有する。
第１部分３２ａは、厚み方向と直交する平面において、直交方向に長尺な矩形状である。第１部分３２ａは、直交方向及び交差方向の双方において、圧力室１２よりも短い。第１部分３２ａの全体が、圧力室１２と厚み方向に重なる。
第２部分３２ｂは、厚み方向と直交する平面において、直交方向に長尺な矩形状である。第２部分３２ｂは、直交方向及び交差方向の双方において、第１部分３２ａよりも短い。第２部分３２ｂは、圧力室１２と厚み方向に重なる部分と、圧力室１２と厚み方向に重ならない部分とを含む。
第３部分３２ｃは、圧力室１２と厚み方向に重ならず、交差方向に延びている。
第１アクチュエータ群３０Ａに属する共通電極３２と、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する共通電極３２とは、圧電アクチュエータ３０の直交方向の中央を通って交差方向に延びる直線に対し、対称に配置されている。直交方向において、第１アクチュエータ群３０Ａに属する共通電極３２の第３部分３２ｃと、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する共通電極３２の第３部分３２ｃとの間に、圧力室群１２Ａ，１２Ｂに属する全ての圧力室１２が配置されている。
次に、図４（ｂ）に示すように、第１圧電体３３及び個別電極３４をエッチング等により形成する。
第１圧電体３３及び個別電極３４は、圧力室１２毎に設けられる。
第１圧電体３３は、厚み方向と直交する平面において、直交方向に長尺な矩形状である。第１圧電体３３は、直交方向において、第１部分３２ａ及び圧力室１２のいずれよりも長く、交差方向において、第１部分３２ａよりも長くかつ圧力室１２よりも短い。第１圧電体３３は、第１部分３２ａ及び圧力室１２に対し、直交方向の一方及び他方のそれぞれにおいて突出する。第１圧電体３３は、第１部分３２ａ及び第２部分３２ｂの上面に形成された部分と、振動板３１の上面に形成された部分とを含む。また、第１圧電体３３は、圧力室１２と厚み方向に重なる部分と、圧力室１２と厚み方向に重ならない部分とを含む。
個別電極３４は、第１圧電体３３の上面に形成される。個別電極３４は、厚み方向と直交する平面において、第１圧電体３３と同じ形状を有する。
次に、図４（ｃ）に示すように、第２圧電体３５をエッチング等により形成する。
第２圧電体３５は、アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂ毎に設けられ、交差方向に延び、対応する圧力室群１２Ａ，１２Ｂに属する複数の圧力室１２の全てと厚み方向に重なる。第２圧電体３５は、対応するアクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する共通電極３２、第１圧電体３３及び個別電極３４を覆うように、振動板３１上に形成される。
第２圧電体３５は、圧力室１２毎に、直交方向の一方の面に形成された第１凹部３５ｘと、直交方向の他方の面に形成された第２凹部３５ｙとを有する。このとき、第１凹部３５ｘを介して共通電極３２の第３部分３２ｃが露出され、第２凹部３５ｙを介して個別電極３４が露出されている。
第２圧電体３５は、圧力室１２間の隔壁１２ｗと厚み方向に重なる部分に、スリット３５ｚを有する。隔壁１２ｗは、プレート１０ａ（図３参照）において、交差方向に互いに隣接する圧力室１２間の部分である。スリット３５ｚは、第２圧電体３５を厚み方向に貫通している。スリット３５ｚは、交差方向において隔壁１２ｗよりも長く、圧力室１２の交差方向の端部とも厚み方向に重なる。
次に、図５（ａ）に示すように、第２圧電体３５の上面に、導電パターン４１～４３をエッチング等により形成する。
アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂ毎に、第１導電パターン４１、第２導電パターン４２、及び、複数の第３導電パターン４３が設けられる。
各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂにおいて、第１導電パターン４１及び第２導電パターン４２はそれぞれ交差方向に延び、複数の第３導電パターン４３は交差方向に一列に配列される。また、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂにおいて、第１導電パターン４１は第２導電パターン４２に対して直交方向の一方に配置され、複数の第３導電パターン４３は第２導電パターン４２に対して直交方向の他方に配置される。
第１導電パターン４１は、共通電極３２の第３部分３２ｃと、厚み方向に重なる。第１導電パターン４１は、第２圧電体３５に形成された複数の第１凹部３５ｘを介して、第３部分３２ｃと電気的に接続される。具体的には、図３に示すように、第１導電パターン４１が、第１凹部３５ｘにおいて、共通電極３２と接触する。なお、第１導電パターン４１は、個別電極３４と電気的に接続されない。
第２導電パターン４２は、直交方向において、圧力室１２よりも長い。第２導電パターン４２は、共通電極３２の第１部分３２ａ及び個別電極３４と共に、対応する圧力室群１２Ａ，１２Ｂに属する複数の圧力室１２と厚み方向に重なる。第２導電パターン４２は、第２圧電体３５の直交方向において第１凹部３５ｘと第２凹部３５ｙとの間の部分と、厚み方向に重なる。なお、第２導電パターン４２は、共通電極３２及び個別電極３４のいずれとも電気的に接続されない。
各第３導電パターン４３は、各個別電極３４における直交方向の他方の端部と、厚み方向に重なる。各第３導電パターン４３は、第２圧電体３５に形成された各第２凹部３５ｙを介して、各個別電極３４と電気的に接続される。具体的には、図３に示すように、第３導電パターン４３が、第２凹部３５ｙにおいて、個別電極３４と接触する。なお、第３導電パターン４３は、共通電極３２と電気的に接続されない。
図２に示すように、直交方向において、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第１導電パターン４１と第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第１導電パターン４１との間に、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第２導電パターン４２、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第２導電パターン４２、第１アクチュエータ群３０Ａに属する複数の第３導電パターン４３、及び、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する複数の第３導電パターン４３が配置されている。
交差方向において、第１アクチュエータ群３０Ａに属する２つの第３導電パターン４３の間に、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する１つの第３導電パターン４３が配置され、また、交差方向において、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する２つの第３導電パターン４３の間に、第１アクチュエータ群３０Ａに属する１つの第３導電パターン４３が配置されている。また、第１アクチュエータ群３０Ａ複数の第３導電パターン４３と、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する複数の第３導電パターン４３とは、直交方向に離隔している。即ち、第１アクチュエータ群３０Ａに属する複数の第３導電パターン４３と、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する複数の第３導電パターン４３とは、交差方向に千鳥状に配列されている。
圧電アクチュエータ３０は、さらに、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第１導電パターン４１と第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第１導電パターン４１とを接続する２つの第１接続パターン６１、及び、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第２導電パターン４２と第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第２導電パターン４２とを接続する２つの第２接続パターン６２を有する。
２つの第１接続パターン６１のうち、一方は、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する第１導電パターン４１における交差方向の一端に接続し、他方は、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する第１導電パターン４１における交差方向の他端に接続している。各第１接続パターン６１は、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第１導電パターン４１から直交方向の他方に突出した第１突出部４１ｐと、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第１導電パターン４１から直交方向の他方に突出した第１突出部４１ｐとが、互いに接続されることで構成されている。
２つの第２接続パターン６２のうち、一方は、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する第２導電パターン４２における交差方向の一端に接続し、他方は、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する第２導電パターン４２における交差方向の他端に接続している。各第２接続パターン６２は、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第２導電パターン４２から直交方向の他方に突出した第２突出部４２ｐと、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第２導電パターン４２から直交方向の他方に突出した第２突出部４２ｐとが、互いに接続されることで構成されている。
各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂは、共通電極３２、第１圧電体３３、個別電極３４、第２圧電体３５、導電パターン４１～４３、メッキ層５１，５２及び配線５３に加え、第１導電パターン４１における交差方向の一端及び他端のそれぞれから突出した２つの第１突出部４１ｐと、第２導電パターン４２における交差方向の一端及び他端のそれぞれから突出した２つの第２突出部４２ｐとを有する。各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する第１突出部４１ｐ及び第２突出部４２ｐは、直交方向において、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第１導電パターン４１と第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第１導電パターン４１との間に配置されている。また、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂにおいて、第１突出部４１ｐ、第２突出部４２ｐ及び複数の第３導電パターン４３が、交差方向に並んでいる。
アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂ全体において、第１接続パターン６１、第２接続パターン６２及び複数の第３導電パターン４３が、交差方向に並んでいる。複数の第３導電パターン４３に対して、交差方向の両側に、第１接続パターン６１及び第２接続パターン６２が配置されている。交差方向において、２つの第１接続パターン６１の間に２つの第２接続パターン６２が配置され、２つの第２接続パターン６２の間に複数の第３導電パターン４３が配置されている。
接続パターン６１，６２は、導電パターン４１～４３と同時に形成される。
次に、図５（ｂ）に示すように、メッキ層５１，５２及び配線５３を形成する。
第１メッキ層５１は、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する第１導電パターン４１の上面に形成される部分と、２つの第１接続パターン６１（図２参照）の上面に形成される部分とを含む。第１メッキ層５１は、厚み方向と直交する平面において、複数の第３導電パターン４３の四方を囲う。即ち、第１メッキ層５１は、厚み方向と直交する平面において、ロの字状である。
第２メッキ層５２は、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する第２導電パターン４２の上面に形成される部分５２ａ，５２ｂと、２つの第２接続パターン６２（図２参照）の上面に形成される部分とを含む。第２メッキ層５２は、厚み方向と直交する平面において、略ロの字状である。
第１部分５２ａは、対応する圧力室群１２Ａ，１２Ｂに属する複数の圧力室１２に対して直交方向の一方に配置され、厚み方向に圧力室１２と重ならない。第２部分５２ｂは、対応する圧力室群１２Ａ，１２Ｂに属する複数の圧力室１２に対して直交方向の他方に配置され、厚み方向に圧力室１２と重ならない。各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する第２導電パターン４２の上面に形成される部分５２ａ，５２ｂは、交差方向の両端で互いに接続し、２つの第２接続パターン６２（図２参照）の上面に形成される部分と連結される。
配線５３は、第３導電パターン４３毎に設けられ、第３導電パターン４３と電気的に接続される。配線５３は、第３導電パターン４３の上面に配置された一端と、振動板３１における直交方向の中央の上面に配置された他端とを有する。配線５３は、第３導電パターン４３から、直交方向の他方に引き出される。図２に示すように、第１アクチュエータ群３０Ａに属する複数の第３導電パターン４３のそれぞれに接続された複数の配線５３と、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する複数の第３導電パターン４３のそれぞれに接続された複数の配線５３とは、交差方向に千鳥状に配列される。
厚み方向と直交する平面において、複数の配線５３は第２メッキ層５２に囲まれ、第２メッキ層５２は第１メッキ層５１に囲まれる。
以上の工程により、圧電アクチュエータ３０が完成する。
なお、図２では、メッキ層５１，５２の図示を省略している。図４（ｂ），（ｃ）及び図５（ａ），（ｂ）では、流路基板１０に形成された圧力室１２以外の要素（ノズル１１及び連通路１３，１４）の図示を省略している。図５（ａ），（ｂ）では、第１圧電体３３等の図示を省略している。
配線基板９０は、ＣＯＦ（Chip On Film）等からなり、圧電アクチュエータ３０における直交方向の中央に固定された一端（図２及び図３参照）と、制御部５（図１及び図６参照）に接続された他端とを有する。配線基板９０の一端と他端との間には、ドライバＩＣ１ｄが実装されている（図３参照）。
配線基板９０の一端は、図２に示すように、交差方向に延び、第１接続パターン６１、第２接続パターン６２及び複数の配線５３のそれぞれと接続されている。配線基板９０は、第１接続パターン６１と電気的に接続される配線（図示略）と、第２接続パターン６２と電気的に接続される配線（図示略）と、複数の配線５３のそれぞれと電気的に接続される複数の配線９３（図３参照）とを有する。これら配線は、ドライバＩＣ１ｄと電気的に接続されている。また、これら配線のうち、第２接続パターン６２と電気的に接続される配線は、接地されている。
ドライバＩＣ１ｄは、制御部５からの制御信号に基づいて、第２接続パターン６２（ひいては、第２導電パターン４２）をグランド電位（０Ｖ）に保持しつつ（図７（ａ）参照）、各配線５３（ひいては、第３導電パターン４３）に、高電位（例えば２０Ｖ）と高電位よりも低い低電位（例えば０Ｖ）とで構成される第１パルス信号Ｐ１を印加し（図７（ｂ）参照）、第１接続パターン６１（ひいては、第１導電パターン４１）に、グランド電位（０Ｖ）と負電位（例えば－３Ｖ）とで構成される第２パルス信号Ｐ２を印加する（図７（ｃ）参照）。第２パルス信号Ｐ２は、第１パルス信号Ｐ１によって第３導電パターン４３に高電位が印加されているときは（即ち、図７に示す期間Ａでは）グランド電位、第１パルス信号Ｐ１によって第３導電パターン４３に低電位が印加されているときは（即ち、図７に示す期間Ｂでは）負電位となるように構成されている。負電位は、アクチュエータ３０ｚの抗電界を超えない電位である。
期間Ａでは、図８（ａ）に示すように、部分３０ｘ，３０ｙの双方が、厚み方向と直交する方向に収縮する。これにより、圧電アクチュエータ３０における圧力室１２と厚み方向に重なる部分が、圧力室１２に向かって（下向きに）凸となるように、撓む。このとき圧力室１２は、振動板３１及び圧電体３３，３５がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。
期間Ｂでは、図８（ｂ）に示すように、部分３０ｘの収縮が解消される一方、部分３０ｙが、厚み方向と直交する方向に若干拡張する。これにより、圧電アクチュエータ３０における圧力室１２と厚み方向に重なる部分が、圧力室１２から離れる方向に（上向きに）凸となるように、若干撓む。このとき圧力室１２は、振動板３１及び圧電体３３，３５がフラットな場合と比べ、容積が若干大きくなっている。
記録処理の開始前、各アクチュエータ３０ｚは図８（ａ）の状態に維持される。記録処理が開始されると、インクを吐出させるべきノズル１１に対応するアクチュエータ３０ｚが、図８（ａ）から図８（ｂ）、さらに図８（ａ）の状態に変化し、圧力室２０に圧力が付与されることで、ノズル１１からインクが吐出される。
なお、第２圧電体３５にスリット３５ｚが形成されており、隔壁１２ｗ上には圧電体３３，３５が配置されていない。これにより、アクチュエータ３０ｚが撓み易くなっている。スリット３５ｚ内には、第２導電パターン４２が配置され、共通電極３２や個別電極３４は配置されていない。
以上に述べたように、本実施形態によれば、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂにおいて、第１導電パターン４１及び第３導電パターン４３が、第２導電パターン４２に対して直交方向に互いに反対側に配置されている（図５参照）。また、直交方向において、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第１導電パターン４１と、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第１導電パターン４１（本発明に係る「第４導電パターン」）との間に、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第２導電パターン４２と、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第２導電パターン４２（本発明に係る「第５導電パターン」）とが配置され、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第２導電パターン４２と第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第２導電パターン４２との間に、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第３導電パターン４３と、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第３導電パターン４３（本発明に係る「第６導電パターン」）とが配置されている（図２参照）。仮に、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂにおいて、第１導電パターン４１及び第３導電パターン４３が第２導電パターン４２に対して直交方向において互いに同じ側に配置された場合、第１導電パターン４１と第３導電パターン４３との間に絶縁層を設ける必要があり、構造が複雑化すると共に、第１導電パターン４１と第３導電パターン４３との間隔が小さくなるため、電気的な信頼性が低くなる。これに対し、本構成によれば、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂにおいて、第１導電パターン４１及び第３導電パターン４３が第２導電パターン４２に対して直交方向において互いに反対側に配置されているため、上記の問題を抑制できる（即ち、構造の簡素化及び電気的な信頼性の向上を共に実現できる）。
各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂにおいて、第１突出部４１ｐ、第２突出部４２ｐ及び複数の第３導電パターン４３が、交差方向に並んでいる（図２参照）。これにより、圧電アクチュエータ３０において、第１突出部４１ｐ、第２突出部４２ｐ及び複数の第３導電パターン４３が交差方向に並んだ領域に、１枚の配線基板９０を固定できる。したがって、導電パターン４１～４３に対して個別に配線基板を設ける場合に比べ、部品点数が削減され、製造も容易である。
直交方向において、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第１導電パターン４１と第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第１導電パターン４１との間に、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第２導電パターン４２、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第２導電パターン４２、第１アクチュエータ群３０Ａに属する複数の第３導電パターン４３、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する複数の第３導電パターン４３、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第１突出部４１ｐ、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第１突出部４１ｐ、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第２突出部４２ｐ、及び、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第２突出部４２ｐが配置されている（図２参照）。この場合、圧電アクチュエータ３０において、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第１導電パターン４１と第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第１導電パターン４１との間の領域に、１枚の配線基板９０を固定すればよく、アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに対して個別に配線基板を設ける場合に比べ、部品点数が削減され、製造も容易である。
第１アクチュエータ群３０Ａに属する第１突出部４１ｐと、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第１突出部４１ｐとが、互いに接続され、第１アクチュエータ群３０Ａに属する第２突出部４２ｐと、第２アクチュエータ群３０Ｂに属する第２突出部４２ｐとが、互いに接続されている（図２参照）。この場合、突出部同士が離れている場合に比べ、配線基板９０の直交方向の固定領域を小さくできる。したがって、配線基板９０の長さを過度に長くする必要がなく、材料費を低減できる。
アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂ全体において、第１接続パターン６１、第２接続パターン６２及び複数の第３導電パターン４３が、交差方向に並んでいる（図２参照）。これにより、圧電アクチュエータ３０において、第１接続パターン６１、第２接続パターン６２及び複数の第３導電パターン４３が交差方向に並んだ領域に、１枚の配線基板９０を固定できる。したがって、アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂ毎に配線基板を設ける場合に比べ、部品点数が削減され、製造も容易である。
圧電アクチュエータ３０は、複数の第１接続パターン６１及び複数の第２接続パターン６２を備えている（図２参照）。これにより、配線基板９０との接点が複数設けられることで、各アクチュエータ群３０Ａ，３０Ｂに属する第１導電パターン４１及び第２導電パターン４２の電圧降下を抑制することができる。
第１導電パターン４１は、第２圧電体３５に形成された第１凹部３５ｘを介して共通電極３２と電気的に接続され、第３導電パターン４３は、第２圧電体３５に形成された第２凹部３５ｙを介して個別電極３４と電気的に接続され、第２導電パターン４２は、第２圧電体３５の直交方向において第１凹部３５ｘと第２凹部３５ｙとの間の部分と、厚み方向に重なる（図５（ａ）参照）。これにより、第１導電パターン４１及び第３導電パターン４３が第２導電パターン４２に対して直交方向に互いに反対側に配置される構成を、実効的に実現できる。
圧電アクチュエータ３０は、第１導電パターン４１に対して厚み方向の一方に配置された第１メッキ層５１をさらに備えている（図３及び図５（ｂ）参照）。これにより、第１導電パターン４１について、電気抵抗を小さくし、電圧降下を抑制できる。ひいては、複数のアクチュエータ３０ｚ間における印加電圧の差を小さくし、吐出のばらつきを抑制できる。
共通電極３２に対して厚み方向の他方に、振動板３１が配置されている（図３参照）。つまり、導電パターン４１～４３は振動板３１から厚み方向に離隔した位置にある。したがって、導電パターン４１～４３のそれぞれに対する配線作業を容易に行える。
圧電アクチュエータ３０は、第２導電パターン４２に対して厚み方向の一方に配置された第２メッキ層５２をさらに備えている（図３及び図５（ｂ）参照）。これにより、第２導電パターン４２について、電気抵抗を小さくし、電圧降下を抑制できる。ひいては、複数のアクチュエータ３０ｚ間における印加電圧の差を小さくし、吐出のばらつきを抑制できる。また、第２導電パターン４２における厚み方向に圧力室１２と重なる部分にメッキ層が設けられると、アクチュエータ３０ｚの変形が阻害され得る。これに対し、本構成では、第２メッキ層５２が第２導電パターン４２における厚み方向に圧力室１２と重ならない部分に設けられているため、アクチュエータ３０ｚの変形の阻害を抑制できる。
第２メッキ層５２は、接地されている。これにより、第２導電パターン４２の電気的な信頼性が確保され、第２導電パターン４２に対して保護膜を形成する必要がなくなる。
制御部５は、第２導電パターン４２をグランド電位に保持し、第３導電パターン４３に第１パルス信号Ｐ１を印加し、第１導電パターン４１に第２パルス信号Ｐ２を印加する（図７参照）。圧電体３３，３５は、ゾルゲル法で形成されると、引張応力を有する傾向にある。また、電極３２，３４や導電パターン４１～４３は、Ｐｔ等の貴金属で構成されると、結晶化時の熱処理等で、引張応力を有し得る。このように圧電体３３，３５、電極３２，３４や導電パターン４１～４３が引張応力を有する場合において、第１導電パターン４１及び第２導電パターン４２をグランド電位に保持しかつ第３導電パターン４３に第１パルス信号Ｐ１を印加すると、期間Ｂにおいて、圧電アクチュエータ３０における圧力室１２と厚み方向に重なる部分が、圧力室１２に向かって（下向きに）凸となるように撓んだ状態となり、その後の期間Ａにおけるアクチュエータ３０ｚの変形量を大きくし難い。この点、本構成では、期間Ｂにおいて、第１導電パターン４１に負電位が印加されることで、圧電アクチュエータ３０における圧力室１２と厚み方向に重なる部分が、圧力室１２から離れる方向に（上向きに）凸となるように、若干撓む。これにより、引張応力に起因する圧力室１２に向かって凸となる撓みを緩和でき、その後の期間Ａにおけるアクチュエータ３０ｚの変形量を大きくできる。
制御部５は、第２導電パターン４２をグランド電位に保持し、第１導電パターン４１に第２パルス信号Ｐ２を印加する（図７参照）。導電パターン４１～４３は、振動板３１から厚み方向に離隔した位置にあり、圧電体に覆われず、露出され得る。露出された導電パターンは、空気との接触により変質し易く、パルス信号が印加されると、より変質し易くなる。特に第２導電パターン４２は、厚み方向に圧力室１２と重なり、アクチュエータ３０ｚを構成するため、変質すると、アクチュエータ３０ｚの変形に影響が生じ得る。この点、本構成では、第２導電パターン４２がグランド電位に保持されるため、第２導電パターン４２の変質を抑制できる。
＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
例えば、圧電アクチュエータは、第１接続パターン及び第２接続パターンを１つずつ備えてもよい。具体的には、図２に示すヘッド１の圧電アクチュエータ３０は、２つの第１接続パターン６１及び２つの第２接続パターン６２を備えているが、これに限定されず、例えば、図９に示す変形例のように、ヘッド２０１の圧電アクチュエータ２３０は、１つの第１接続パターン６１及び１つの第２接続パターン６２を備えてもよい。図２では、第１導電パターン４１及び第２導電パターン４２における交差方向の一端及び他端のそれぞれから突出部４１ｐ，４２ｐが突出しているが、図９では、第１導電パターン４１及び第２導電パターン４２における交差方向の一端から突出部４１ｐ，４２ｐが突出し、第１導電パターン４１及び第２導電パターン４２における交差方向の他端からは突出部が突出していない。
第１アクチュエータ群に属する第１突出部と、第２アクチュエータ群に属する第１突出部とが、互いに離隔してもよい。第１アクチュエータ群に属する第２突出部と、第２アクチュエータ群に属する第２突出部とが、互いに離隔してもよい。
第１及び第２アクチュエータ群に対して個別に配線基板を設けてもよい。また、第１～第３導電パターンに対して個別に配線基板を設けてもよい。
圧電アクチュエータは、複数のアクチュエータ群を備えることに限定されず、１つのアクチュエータ群を備えてもよい。
第２メッキ層は、第２導電パターンにおける厚み方向に圧力室と重なる部分に設けられてもよい。第１メッキ層や第２メッキ層を省略してもよい。
制御部は、第１導電パターンをグランド電位に保持し、第２導電パターンに第２パルス信号を印加してもよい。なお、この場合は、第２導電パターンの変質を防止するため、第２導電パターン上に保護膜を形成することが好ましい。
第１～第３導電パターンに対して厚み方向の他方に、振動板が配置されてもよい。具体的には、厚み方向において圧力室に近い側から順に、振動板、第１～第３導電パターン、第２圧電体、個別電極、第１圧電体、共通電極が積層されてもよい。
本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。さらに、本発明に係る圧電アクチュエータは、液体吐出装置以外の任意の装置に適用可能である。
１；２０１ ヘッド
１０ａ プレート（圧力室基板）
１２ 圧力室
３０；２３０ 圧電アクチュエータ
３０Ａ 第１アクチュエータ群
３０Ｂ 第２アクチュエータ群
３０ｚ アクチュエータ
３１ 振動板
３２ 共通電極
３３ 第１圧電体
３４ 個別電極
３５ 第２圧電体
３５ｘ 第１凹部
３５ｙ 第２凹部
４１ 第１導電パターン
４１ｐ 第１突出部
４２ 第２導電パターン
４２ｐ 第２突出部
４３ 第３導電パターン
５１ 第１メッキ層
５２ 第２メッキ層
６１ 第１接続パターン
６２ 第２接続パターン
９０ 配線基板
１００ プリンタ（液体吐出装置）
Ｐ１ 第１パルス信号
Ｐ２ 第２パルス信号

Claims (15)

  1. 共通電極と、
    前記共通電極に対して前記共通電極の厚み方向である第１方向の一方に配置された第１圧電体と、
    前記第１圧電体に対して前記第１方向の一方に配置された個別電極と、
    前記個別電極に対して前記第１方向の一方に配置された第２圧電体と、
    前記第２圧電体に対して前記第１方向の一方に配置された第１導電パターンと、
    前記第２圧電体に対して前記第１方向の一方に配置され、前記第１導電パターンと絶縁された第２導電パターンと、
    前記第２圧電体に対して前記第１方向の一方に配置され、前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンと絶縁された第３導電パターンと、を備え、
    前記第１導電パターンは、前記共通電極と電気的に接続され、かつ、前記個別電極と電気的に接続されず、
    前記第２導電パターンは、前記共通電極及び前記個別電極のいずれとも電気的に接続されず、
    前記第３導電パターンは、前記共通電極と電気的に接続されず、かつ、前記個別電極と電気的に接続され、
    前記第１導電パターンは、前記第２導電パターンに対し、前記第１方向と直交する第２方向の一方に配置され、
    前記第３導電パターンは、前記第２導電パターンに対し、前記第１方向と直交する第２方向の他方に配置されたことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
  2. 複数の前記第３導電パターンが、前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向に配列され、
    前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンは、それぞれ、前記第３方向に延び、
    前記第１導電パターンにおける前記第３方向の一端及び他端の少なくとも一方から前記第２方向の他方に突出した第１突出部と、
    前記第２導電パターンにおける前記第３方向の一端及び他端の少なくとも一方から前記第２方向の他方に突出した第２突出部と、をさらに備え、
    前記第１突出部、前記第２突出部及び前記複数の第３導電パターンが、前記第３方向に並ぶことを特徴とする、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
  3. 前記第１導電パターン、前記第２導電パターン、前記第３方向に配列された前記複数の第３導電パターン、前記第１突出部及び前記第２突出部から構成される第１アクチュエータ群と、
    前記第１導電パターン、前記第２導電パターン、前記第３方向に配列された前記複数の第３導電パターン、前記第１突出部及び前記第２突出部から構成され、前記第２方向に前記第１アクチュエータ群と並ぶ第２アクチュエータ群と、を備え、
    前記第２方向において、前記第１アクチュエータ群に属する前記第１導電パターンと前記第２アクチュエータ群に属する前記第１導電パターンとの間に、前記第１アクチュエータ群に属する前記第２導電パターン、前記第２アクチュエータ群に属する前記第２導電パターン、前記第１アクチュエータ群に属する前記複数の第３導電パターン、前記第２アクチュエータ群に属する前記複数の第３導電パターン、前記第１アクチュエータ群に属する前記第１突出部、前記第２アクチュエータ群に属する前記第１突出部、前記第１アクチュエータ群に属する前記第２突出部、及び、前記第２アクチュエータ群に属する前記第２突出部が配置されたことを特徴とする、請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
  4. 前記第１アクチュエータ群に属する前記第１突出部と、前記第２アクチュエータ群に属する前記第１突出部とが、互いに接続され、
    前記第１アクチュエータ群に属する前記第２突出部と、前記第２アクチュエータ群に属する前記第２突出部とが、互いに接続されたことを特徴とする、請求項３に記載の圧電アクチュエータ。
  5. 前記第２圧電体は、前記第２方向の一方の面に形成された第１凹部と、前記第２方向の他方の面に形成された第２凹部とを有し、
    前記第１導電パターンは、前記第１凹部を介して前記共通電極と電気的に接続され、
    前記第３導電パターンは、前記第２凹部を介して前記個別電極と電気的に接続され、
    前記第２導電パターンは、前記第２圧電体の前記第２方向において前記第１凹部と前記第２凹部との間の部分と、前記第１方向に重なることを特徴とする、請求項１～４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
  6. 前記第１導電パターンに対して前記第１方向の一方に配置された第１メッキ層をさらに備えたことを特徴とする、請求項１～５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
  7. 前記共通電極に対して前記第１方向の他方に配置された振動板をさらに備えたことを特徴とする、請求項１～６のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
  8. 圧力室が形成された圧力室基板と、
    前記圧力室基板に対して前記圧力室基板の厚み方向である第１方向の一方に配置され、前記圧力室を覆う振動板と、
    前記振動板に対して前記第１方向の一方に配置された共通電極と、
    前記共通電極に対して前記第１方向の一方に配置された第１圧電体と、
    前記第１圧電体に対して前記第１方向の一方に配置された個別電極と、
    前記個別電極に対して前記第１方向の一方に配置された第２圧電体と、
    前記第２圧電体に対して前記第１方向の一方に配置された第１導電パターンと、
    前記第２圧電体に対して前記第１方向の一方に配置され、前記第１導電パターンと絶縁された第２導電パターンと、
    前記第２圧電体に対して前記第１方向の一方に配置され、前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンと絶縁された第３導電パターンと、を備え、
    前記第１導電パターンは、前記共通電極と電気的に接続され、かつ、前記個別電極と電気的に接続されず、
    前記第２導電パターンは、前記共通電極及び前記個別電極のいずれとも電気的に接続されず、前記共通電極及び前記個別電極と共に前記第１方向に前記圧力室と重なり、
    前記第３導電パターンは、前記共通電極と電気的に接続されず、かつ、前記個別電極と電気的に接続され、
    前記第１導電パターンは、前記第２導電パターンに対し、前記第１方向と直交する第２方向の一方に配置され、
    前記第３導電パターンは、前記第２導電パターンに対し、前記第１方向と直交する第２方向の他方に配置されたことを特徴とする、液体吐出装置。
  9. 前記第２導電パターンに対して前記第１方向の一方に配置された第２メッキ層をさらに備え、
    前記第２メッキ層は、前記第２導電パターンにおける前記第１方向に前記圧力室と重ならない部分に設けられたことを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出装置。
  10. 前記第２メッキ層は、接地されたことを特徴とする、請求項９に記載の液体吐出装置。
  11. 制御部をさらに備え、
    前記制御部は、
    前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンの一方を、グランド電位に保持し、
    前記第３導電パターンに、高電位と前記高電位よりも低い低電位とで構成される第１パルス信号を印加し、
    前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンの他方に、前記第３導電パターンに前記高電位が印加されているときはグランド電位、前記第３導電パターンに前記低電位が印加されているときは負電位となる、第２パルス信号を印加することを特徴とする、請求項８～１０のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
  12. 前記制御部は、
    前記第２導電パターンをグランド電位に保持し、
    前記第１導電パターンに前記第２パルス信号を印加することを特徴とする、請求項１１に記載の液体吐出装置。
  13. 第１アクチュエータ群と、第２アクチュエータ群と、を備え、
    第１アクチュエータ群は、第１共通電極と、前記第１共通電極に対して前記第１共通電極の厚み方向である第１方向の一方に配置された第１圧電体と、前記第１圧電体に対して前記第１方向の一方に配置された第１個別電極と、前記第１個別電極に対して前記第１方向の一方に配置された第２圧電体と、前記第２圧電体に対して前記第１方向の一方に配置された第１導電パターンと、前記第２圧電体に対して前記第１方向の一方に配置され、前記第１導電パターンと絶縁された第２導電パターンと、前記第２圧電体に対して前記第１方向の一方に配置され、前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンと絶縁された第３導電パターンと、を備え、
    第２アクチュエータ群は、第２共通電極と、前記第２共通電極に対して前記第１方向の一方に配置された第３圧電体と、前記第３圧電体に対して前記第１方向の一方に配置された第２個別電極と、前記第２個別電極に対して前記第１方向の一方に配置された第４圧電体と、前記第４圧電体に対して前記第１方向の一方に配置された第４導電パターンと、前記第４圧電体に対して前記第１方向の一方に配置され、前記第４導電パターンと絶縁された第５導電パターンと、前記第４圧電体に対して前記第１方向の一方に配置され、前記第４導電パターン及び前記第５導電パターンと絶縁された第６導電パターンと、を備え、
    前記第１導電パターンは、前記第１共通電極と電気的に接続され、かつ、前記第１個別電極と電気的に接続されず、
    前記第２導電パターンは、前記第１共通電極及び前記第１個別電極のいずれとも電気的に接続されず、
    前記第３導電パターンは、前記第１共通電極と電気的に接続されず、かつ、前記第１個別電極と電気的に接続され、
    前記第４導電パターンは、前記第２共通電極と電気的に接続され、かつ、前記第２個別電極と電気的に接続されず、
    前記第５導電パターンは、前記第２共通電極及び前記第２個別電極のいずれとも電気的に接続されず、
    前記第６導電パターンは、前記第２共通電極と電気的に接続されず、かつ、前記第２個別電極と電気的に接続され、
    前記第１方向と直交する第２方向において、前記第１導電パターンと前記第４導電パターンとの間に前記第２導電パターン及び前記第５導電パターンが配置され、前記第２導電パターンと前記第５導電パターンとの間に前記第３導電パターン及び前記第６導電パターンが配置されたことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
  14. 前記第１導電パターンと前記第４導電パターンとを接続する第１接続パターンと、
    前記第２導電パターンと前記第５導電パターンとを接続する第２接続パターンと、をさらに備え、
    複数の前記第３導電パターン及び複数の前記第６導電パターンが、それぞれ、前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向に配列され、
    前記第１接続パターン、前記第２接続パターン、前記複数の第３導電パターン及び前記複数の第６導電パターンが、前記第３方向に並ぶことを特徴とする、請求項１３に記載の圧電アクチュエータ。
  15. 複数の前記第１接続パターン及び複数の前記第２接続パターンを備えたことを特徴とする、請求項１４に記載の圧電アクチュエータ。
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