JP7415737B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、圧電層と電極層とを備えた圧電アクチュエータに関する。

特許文献１には、圧電層と、圧電層上に配置された電極層（駆動電極、高電位電極及び低電位電極）とを備えた圧電アクチュエータが示されている。特許文献１（図１０、図１１）において、中間層に設けられた高電位電極の連結部と、最下層に設けられた低電位電極の連結部とは、それぞれ左右方向（第２方向）に延び、かつ、左右方向に隙間をあけて並んでいる。

特開２０１８－０３４４７４号公報

圧電アクチュエータの焼成工程において、電極層が設けられた部分に熱収縮が生じることが知られている。ここで、上記２つの連結部（第１延在部分及び第２延在部分）は、それぞれ、前後方向（第３方向）に延びる複数の分岐部分（複数のＶＣＯＭ電極を導通させる連結部、複数のグランド電極を導通させる連結部）に電荷を供給するため、大きな電流が流れる。そのため、上記２つの連結部（第１延在部分及び第２延在部分）は、抵抗を下げるために幅を大きくする必要があり、熱収縮による変形量が大きくなる。一方、上記２つの連結部（第１延在部分及び第２延在部分）の隙間では熱収縮が生じないことから、当該隙間に局所的な折れ曲がりが生じ得る。

さらに、上記のような折れ曲がりが生じた圧電アクチュエータを流路部材等に接着する際には、折れ曲がり部分に、平坦にしようとする応力が集中し、圧電アクチュエータが破損し得る。また、折れ曲がりが解消されないまま、圧電アクチュエータを流路部材等に接着すると、接着不良となり得る。

本発明の目的は、局所的な折れ曲がりを抑制できる圧電アクチュエータを提供することにある。

本発明の第１観点に係る圧電アクチュエータは、第１面及び第２面を有する圧電層であって、前記第１面及び前記第２面は前記圧電層の厚み方向に沿った第１方向に互いに離隔した圧電層と、前記圧電層の前記第１面に配置された第１電極層と、前記圧電層の前記第２面に配置された第２電極層と、を備え、前記第１電極層は、前記第１方向と直交する第２方向に延びる第１延在部分、及び、前記第１延在部分から分岐し、前記第１方向と直交しかつ前記第２方向と交差する第３方向に延びる複数の第１分岐部分を含む、第１電極部を有し、前記第２電極層は、前記第２方向に延びる第２延在部分、及び、前記第２延在部分から分岐し、前記第３方向に延びる複数の第２分岐部分を含む、第２電極部を有し、前記第２方向において、前記第１延在部分の前記第２方向の一端と、前記第２延在部分の前記第２方向の他端との間に、前記第１延在部分の前記第２方向の他端、及び、前記第２延在部分の前記第２方向の一端が位置し、前記第２方向において、前記第１延在部分の前記他端と、前記第２延在部分の前記一端との間に、隙間があり、前記第２方向において前記第１延在部分の前記他端と前記第２延在部分の前記一端とに跨り、前記隙間と前記第１方向に重なる部分を有する導電部であって、前記第１電極層を構成する少なくとも１つの第１導電部材と、前記第２電極層を構成し、前記第１導電部材と前記第１方向に部分的に重なる少なくとも１つの第２導電部材とを含む、導電部をさらに備えたことを特徴とする。

本発明の第２観点に係る圧電アクチュエータは、第１面及び第２面を有する圧電層であって、前記第１面及び前記第２面は前記圧電層の厚み方向に沿った第１方向に互いに離隔した圧電層と、前記圧電層の前記第１面に配置された第１電極層と、前記圧電層の前記第２面に配置された第２電極層と、を備え、前記第１電極層は、前記第１方向と直交する第２方向に延びる第１延在部分、及び、前記第１延在部分から分岐し、前記第１方向と直交しかつ前記第２方向と交差する第３方向に延びる複数の第１分岐部分を含む、第１電極部と、前記第２方向に延びる第２延在部分、及び、前記第２延在部分から分岐し、前記第３方向に延びる複数の第２分岐部分を含む、第２電極部と、を有し、前記第２方向において、前記第１延在部分の前記第２方向の一端と、前記第２延在部分の前記第２方向の他端との間に、前記第１延在部分の前記第２方向の他端、及び、前記第２延在部分の前記第２方向の一端が位置し、前記第２方向において、前記第１延在部分の前記他端と、前記第２延在部分の前記一端との間に、隙間があり、前記第２方向において前記第１延在部分の前記他端と前記第２延在部分の前記一端とに跨り、前記隙間と前記第１方向に重なる部分を有する導電部であって、前記第２電極層を構成する少なくとも１つの導電部材を含む、導電部をさらに備えたことを特徴とする。

本発明によれば、導電部を設けたことで、第１延在部分と第２延在部分との隙間に熱収縮が生じない部分がなくなる。これにより、局所的な折れ曲がりを抑制できる。

本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタの全体構成図である。 図１のヘッドの平面図である。 図２の領域ＩＩＩの拡大図である。 図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。 図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。 図５の断面におけるアクチュエータ部の動作を示す図である。 図２の圧電アクチュエータを構成する３つの圧電層のうち、最も上方の圧電層の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータを構成する３つの圧電層のうち、中間の圧電層の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータを構成する３つの圧電層のうち、最も下方の圧電層の上面を示す平面図である。 （ａ）は、図８に示す領域ＸＡの拡大図である。（ｂ）は、図９に示す領域ＸＢの拡大図である。（ｃ）は、領域ＸＡと領域ＸＢとにおける電極の配置態様を示す図である。 図１０（ｃ）のＸＩ－ＸＩ線に沿った断面図である。 本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータを示す図１１相当の図である。

以下の説明において、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。Ｘ方向及びＹ方向は共にＺ方向と直交する。Ｘ方向はＹ方向と直交する。Ｚ方向は第１方向、Ｘ方向は第３方向、Ｙ方向は第２方向に該当する。

＜プリンタの全体構成＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成について説明する。

プリンタ１は、ヘッド３と、キャリッジ２と、２つの搬送ローラ対４とを備えている。

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿ってＹ方向に移動可能である。

ヘッド３は、シリアル式であって、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド３の下面（Ｚ方向において下方を向く面）には、複数のノズル１５が形成されている。

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

プリンタ１の制御部（図示略）は、キャリッジ２と共にヘッド３をＹ方向に移動させながらノズル１５からインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

＜ヘッドの構成＞
ヘッド３は、図２に示すように、流路ユニット２１と、圧電アクチュエータ２２とを有する。

＜流路ユニットの構成＞
流路ユニット２１は、図４に示すように、Ｚ方向に積層された４枚のプレート３１～３４で構成されている。

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。プレート３２には、圧力室１０毎に、連通路１２，１３が形成されている。連通路１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端及び他端とＺ方向に重なっている。プレート３３には、連通路１３毎に、連通路１４が形成されている。連通路１４は、対応する連通路１３とＺ方向に重なっている。プレート３３には、さらに、１２本のマニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、Ｘ方向に配列された圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）毎に設けられている。各マニホールド流路１１は、Ｘ方向に延び、対応する列１０Ｒに属する複数の圧力室１０と連通路１２を介して連通している。プレート３４には、複数のノズル１５が形成されている。各ノズル１５は、連通路１４とＺ方向に重なっている。

プレート３１の上面において、圧電アクチュエータ２２が配置されない領域に、４つのインク供給口８が形成されている（図２参照）。各インク供給口８は、インクカートリッジ（図示略）と連通し、かつ、３本のマニホールド流路１１と連通している。インクカートリッジから各インク供給口８に供給されたインクは、３本のマニホールド流路１１に供給される。各マニホールド流路１１から、各列１０Ｒに属する複数の圧力室１０に、連通路１２を介してインクが供給される。そして後述のように圧電アクチュエータ２２が駆動することで、圧力室１０内のインクに圧力が付与され、連通路１３，１４を通ってノズル１５からインクが吐出される。

＜圧電アクチュエータの構成＞
圧電アクチュエータ２２は、図４に示すように、流路ユニット２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２は、Ｚ方向に積層された３つの圧電層４１～４３及びインク分離層４４と、複数の駆動電極５１と、高電位電極５２と、低電位電極５３とを有する。

インク分離層４４は、プレート３１の上面に配置され、プレート３１に形成された全ての圧力室１０を覆っている。インク分離層４４は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、チタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料、合成樹脂材料等からなる。

圧電層４３は、インク分離層４４の上面に配置されている。圧電層４２は、圧電層４３の上面に配置されている。圧電層４１は、圧電層４２の上面４２ｍに配置されている。圧電層４１～４３は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなる。

複数の駆動電極５１は、図３に示すように、圧電層４１の上面に、圧力室１０のそれぞれに対応して配置されている。各駆動電極５１は、主部５１ａと、突出部５１ｂとを有する。主部５１ａは、対応する圧力室１０の略全域とＺ方向に重なっている。突出部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出し、対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。突出部５１ｂには、ＣＯＦ（Chip On Film）（図示略）の配線と電気的に接続される接点が設けられている。ＣＯＦに実装されたドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して各駆動電極５１に対して個別に、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを付与する。

図７に示すように、圧電層４１の上面には、複数の駆動電極５１に加え、２つの高電位端子５４と、２つの低電位端子５５とが配置されている。ドライバＩＣは、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して、各高電位端子５４に高電位（ＶＤＤ電位）を付与し、各低電位端子５５に低電位（ＧＮＤ電位）を付与する。

高電位電極５２は、図４に示すように、圧電層４２の上面４２ｍに配置され、Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２とに挟まれている。

高電位電極５２は、図８に示すように、２つの第１延在部分５２１，５２２と、各第１延在部分５２１，５２２から分岐した複数の第１分岐部分５２３と、Ｘ方向に配列されかつ第１分岐部分５２３によって連結された複数の個別部５２ａと、第１延在部分５２１，５２２のそれぞれに接続する接続部分５２４，５２５とを含む。各個別部５２ａは、各圧力室１０のＸ方向の中央部とＺ方向に重なる（図５参照）。

第１延在部分５２１は、圧電層４２のＸ方向の一端４２ａにおいて、圧電層４２のＹ方向の一端４２ｃから中央に向かって、Ｙ方向に延びている。第１延在部分５２１は、Ｙ方向の一端５２１ａ及び他端５２１ｂを有する。

第１延在部分５２２は、圧電層４２のＸ方向の他端４２ｂにおいて、圧電層４２のＹ方向の他端４２ｄから中央に向かって、Ｙ方向に延びている。第１延在部分５２２は、Ｙ方向の一端５２２ａ及び他端５２２ｂを有する。

第１延在部分５２１の他端５２１ｂ、及び、第１延在部分５２２の他端５２２ｂは、それぞれ、Ｘ方向において第１分岐部分５２３が延びる側とは反対側に、切欠きＮを有する。第１延在部分５２１，５２２は、それぞれ、切欠きＮを除いた幅広部５２１ｘ，５２２ｘと、切欠きＮにより形成された幅狭部５２１ｙ，５２２ｙとを有する。幅狭部５２１ｙ，５２２ｙは、幅広部５２１ｘ，５２２ｘよりもＸ方向の長さが短い。

第１延在部分５２１から、３つの第１分岐部分５２３が、圧電層４２のＸ方向の一端４２ａから他端４２ｂに向かって、Ｘ方向に延びている。第１延在部分５２２から、４つの第１分岐部分５２３が、圧電層４１のＸ方向の他端４２ｂから一端４２ａに向かって、Ｘ方向に延びている。即ち、第１延在部分５２１から第１分岐部分５２３が延びる方向と、第１延在部分５２２から第１分岐部分５２３が延びる方向とは、互いに逆である。

接続部分５２４は、圧電層４２のＹ方向の一端４２ｃにおいて、圧電層４２のＸ方向の一端４２ａから中央に向かって、Ｘ方向に延びている。接続部分５２４は、第１延在部分５２１のＹ方向の一端５２１ａ、及び、第１延在部分５２１から分岐した複数の第１分岐部分５２３のうちＹ方向において一端４２ｃに最も近い第１分岐部分５２３に接続している。

接続部分５２５は、圧電層４２のＹ方向の他端４２ｄにおいて、圧電層４２のＸ方向の他端４２ｂから中央に向かって、Ｘ方向に延びている。接続部分５２５は、第１延在部分５２２のＹ方向の一端５２２ａ、及び、第１延在部分５２２から分岐した複数の第１分岐部分５２３のうちＹ方向において他端４２ｄに最も近い第１分岐部分５２３に接続している。

接続部分５２４，５２５は、それぞれ、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｘ（図７参照）を介して、高電位端子５４と電気的に接続されている。したがって、接続部分５２４，５２５を含む高電位電極５２は、高電位端子５４と電気的に接続されている。

圧電層４２の上面４２ｍには、高電位電極５２に加え、２つの接続電極５６と、２つの電極６１と、複数の電極６２とが配置されている。

２つの接続電極５６のうち、一方は、圧電層４２のＹ方向の一端４２ｃにおいて、接続部分５２４とＸ方向に並び、Ｘ方向に延びている。２つの接続電極５６のうち、他方は、圧電層４２のＹ方向の他端４２ｄにおいて、接続部分５２５とＸ方向に並び、Ｘ方向に延びている。２つの接続電極５６は、それぞれ、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｙ（図７参照）を介して、低電位端子５５と電気的に接続されている。

２つの電極６１のうち、一方は、圧電層４２のＸ方向の一端４２ａにおいて、第１延在部分５２１に設けられた切欠きＮ内に配置されている。２つの電極６１のうち、他方は、圧電層４２のＸ方向の他端４２ｂにおいて、第１延在部分５２２に設けられた切欠きＮ内に配置されている。電極６１は、本発明の「第１重複部分」に該当し、幅狭部５２１ｙ，５２２ｙとＸ方向に重なりかつ幅広部５２１ｘ，５２２ｘとＹ方向に重なる。

複数の電極６２は、圧電層４２のＸ方向の一端４２ａ及び他端４２ｂのそれぞれにおいて、Ｙ方向に互いに間隔をあけて配置されている。また、複数の電極６２は、圧電層４２のＸ方向の一端４２ａ及び他端４２ｂのそれぞれにおいて、第１延在部分５２１，５２２及び電極６１と共にＹ方向に並び、Ｙ方向において第１延在部分５２１，５２２及び電極６１と間隔をあけて配置されている。

電極６１，６２は、高電位端子５４及び低電位端子５５のいずれとも電気的に接続されず、ドライバＩＣから電荷が付与されない。

低電位電極５３は、図４に示すように、圧電層４３の上面に配置され、Ｚ方向において圧電層４２と圧電層４３とに挟まれている。

低電位電極５３は、図９に示すように、２つの第２延在部分５３１，５３２と、各第２延在部分５３１，５３２から分岐した複数の第２分岐部分５３３と、Ｘ方向に配列されかつ第２分岐部分５３３によって連結された複数の個別部５３ａと、第２延在部分５３１，５３２のそれぞれに接続する接続部分５３４，５３５とを含む。Ｘ方向に配列された複数の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａを除き、各個別部５３ａは、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、当該２つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する（図５参照）。上記Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａは、１つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する。各圧力室１０のＸ方向の一端及び他端とＺ方向に重なる領域と、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０の間とＺ方向に重なる領域とに、個別部５３ａが配置されている。

第２延在部分５３１は、圧電層４３のＸ方向の一端４３ａにおいて、圧電層４３のＹ方向の略中央から他端４３ｄに向かって、Ｙ方向に延びている。第２延在部分５３１は、Ｙ方向の一端５３１ａ及び他端５３１ｂを有する。

第２延在部分５３２は、圧電層４３のＸ方向の他端４３ｂにおいて、圧電層４３のＹ方向の略中央から一端４３ｃに向かって、Ｙ方向に延びている。第２延在部分５３２は、Ｙ方向の一端５３２ａ及び他端５３２ｂを有する。

Ｙ方向において、第１延在部分５２１のＹ方向の一端５２１ａと、第２延在部分５３１のＹ方向の他端５３１ｂとの間に、第１延在部分５２１のＹ方向の他端５２１ｂ、及び、第２延在部分５３１のＹ方向の一端５３１ａが位置する。Ｙ方向において、第１延在部分５２２のＹ方向の一端５２２ａと、第２延在部分５３２のＹ方向の他端５３２ｂとの間に、第１延在部分５２２のＹ方向の他端５２２ｂ、及び、第２延在部分５３２のＹ方向の一端５３２ａが位置する（図８及び図９参照）。

第２延在部分５３１から、４つの第２分岐部分５３３が、圧電層４３のＸ方向の一端４３ａから他端４３ｂに向かって、Ｘ方向に延びている。第２延在部分５３２から、３つの第２分岐部分５３３が、圧電層４３のＸ方向の他端４３ｂから一端４３ａに向かって、Ｘ方向に延びている。即ち、第２延在部分５３１から第２分岐部分５３３が延びる方向と、第２延在部分５３２から第２分岐部分５３３が延びる方向とは、互いに逆である。

なお、第２延在部分５３１から分岐した４つの第２分岐部分５３３のうち、Ｙ方向において一端４３ｃに最も近い第２分岐部分５３３と、第２延在部分５３２から分岐した３つの第２分岐部分５３３のうち、Ｙ方向において一端４３ｃに最も近い第２分岐部分５３３とは、同じである。当該第２分岐部分５３３のＸ方向の一端は第２延在部分５３１と接続し、当該第２分岐部分５３３のＸ方向の他端は第２延在部分５３２と接続している。

接続部分５３４は、圧電層４３のＹ方向の他端４３ｄにおいて、圧電層４３のＸ方向の一端４３ａから中央に向かって、Ｘ方向に延びている。接続部分５３４は、第２延在部分５３１のＹ方向の他端５３１ｂに接続している。

接続部分５３５は、圧電層４３のＹ方向の一端４３ｃにおいて、圧電層４３のＸ方向の他端４３ｂから中央に向かって、Ｘ方向に延びている。接続部分５３５は、第２延在部分５３２のＹ方向の他端５３２ｂに接続している。

接続部分５３４，５３５は、それぞれ、圧電層４２に形成された貫通孔４２ｙ（図８参照）を介して、接続電極５６と電気的に接続されている。接続電極５６は、上述のように、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｙ（図７参照）を介して、低電位端子５５と電気的に接続されている。したがって、接続部分５３４，５３５を含む低電位電極５３は、低電位端子５５と電気的に接続されている。

圧電層４３の上面には、低電位電極５３に加え、接続電極５７，５８と、２つの電極６３とが配置されている。

接続電極５７は、圧電層４３のＸ方向の一端４３ａにおいて、圧電層４３のＹ方向の一端４３ｃから中央に向かって、Ｙ方向に延びる部分５７ａと、圧電層４３のＹ方向の一端４３ｃにおいて、圧電層４３のＸ方向の一端４３ａから中央に向かって、Ｘ方向に延びる部分５７ｂとを有する。接続電極５８は、圧電層４３のＸ方向の他端４３ｂにおいて、圧電層４３のＹ方向の他端４３ｄから中央に向かって、Ｙ方向に延びる部分５８ａと、圧電層４３のＹ方向の他端４３ｄにおいて、圧電層４３のＸ方向の他端４３ｂから中央に向かって、Ｘ方向に延びる部分５８ｂとを有する。

接続電極５７，５８は、それぞれ、圧電層４２に形成された貫通孔４２ｘ（図８参照）を介して、高電位電極５２の接続部分５２４，５２５と電気的に接続されている。接続部分５２４，５２５は、上述のように、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｘ（図７参照）を介して、高電位端子５４と電気的に接続されている。したがって、接続電極５７，５８は、高電位端子５４と電気的に接続されている。

高電位電極５２の接続部分５２４，５２５の下方に、接続部分５２４，５２５と電気的に接続される接続電極５７，５８を設けたことで、ドライバＩＣから高電位端子５４に付与された電荷を、高電位電極５２に分配する経路を増やすことができ、電気的な信頼性を向上させることができる。

２つの電極６３のうち、一方は、圧電層４３のＸ方向の一端４３ａにおいて、第２延在部分５３１とＹ方向に並び、Ｙ方向に第２延在部分５３１と間隔をあけて配置されている。２つの電極６３のうち、他方は、圧電層４３のＸ方向の他端４３ｂにおいて、第２延在部分５３２とＹ方向に並び、Ｙ方向に第２延在部分５３２と間隔をあけて配置されている。Ｙ方向において、第２延在部分５３１，５３２と、接続電極５７，５８の上記部分５７ａ，５８ａとの間に、電極６３が配置されている。各電極６３は、第２延在部分５３１，５３２の一端５３１ａ，５３２ａからのＹ方向の距離が、第２延在部分５３１，５３２の他端５３１ｂ，５３２ｂからのＹ方向の距離よりも小さい。

２つの電極６３は、高電位端子５４及び低電位端子５５のいずれとも電気的に接続されず、ドライバＩＣから電荷が付与されない。

＜アクチュエータ部＞
図５に示すように、圧電層４１のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と高電位電極５２の個別部５２ａとに挟まれた部分を、第１活性部９１という。圧電層４２，４３のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と低電位電極５３の個別部５３ａとに挟まれた部分を、第２活性部９２という。第１活性部９１は主に上向きに分極され、第２活性部９２は主に下向きに分極されている。圧電アクチュエータ２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部９１と２つの第２活性部９２とから構成されるアクチュエータ部９０を有する。

ここで、図６を参照し、あるノズル１５からインクを吐出させる際の、当該ノズル１５に対応するアクチュエータ部９０の動作について説明する。

プリンタ１が記録動作を開始する前は、図６（ａ）に示すように、各駆動電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、圧電層４１～４３及びインク分離層４４からなる積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、上記積層体がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

プリンタ１が記録動作を開始し、あるノズル１５からインクが吐出させる際には、先ず、図６（ｂ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部９１の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部９２にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部９２が面方向に収縮する。ただし、第２活性部９２は、クロストーク（ある圧力室１０におけるアクチュエータ部９０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象）を抑制する機能を有するものであり、アクチュエータ部９０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき上記積層体は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積は、図６（ａ）に比べて大きくなる。

その後、図６（ａ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差がなくなることで、第２活性部９２の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差が生じることで、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向に収縮する。これにより、上記積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１５からインクが吐出される。

＜本発明の特徴＞

本実施形態において、圧電層４２が、本発明の「圧電層」に該当し、上面（第１面）４２ｍ及び下面（第２面）４２ｎを有する（図４及び図５参照）。上面４２ｍ及び下面４２ｎは、圧電層４２の厚み方向に沿ったＺ方向に互いに離隔している。

圧電層４２の上面４２ｍに配置された、高電位電極５２、接続電極５６及び電極６１，６２が、第１電極層７１を構成する（図８参照）。高電位電極５２が、本発明の「第１電極部」に該当する。

圧電層４３の上面（かつ、圧電層４２の下面４２ｎ：図４及び図５参照）に配置された、低電位電極５３、接続電極５７及び電極６３が、第２電極層７２を構成する（図９参照）。低電位電極５３が、本発明の「第２電極部」に該当する。

第１電極層７１を構成する各電極と、第２電極層７２を構成する各電極と、圧電層４１の上面に配置された複数の駆動電極５１、高電位端子５４及び低電位端子５５とは、互いに同じ材料（例えば、銀、ニッケル、金等）からなる。

ここで、図１０及び図１１を参照し、第１延在部分５２１と第２延在部分５３１との配置態様等について説明する。なお、以下の説明は、第１延在部分５２１及び第２延在部分５３１とこれらの周囲に配置された電極６１～６３等についての説明であるが、第１延在部分５２２及び第２延在部分５３２とこれらの周囲に配置された電極６１～６３等についても該当する。

図１０（ａ）に示すように、複数の第１分岐部分５２３は、Ｙ方向において第１延在部分５２１の他端５２１ｂに最も近い最端第１分岐部分５２３Ｘと、Ｙ方向において第１延在部分５２１の他端５２１ｂに２番目に近い順端第１分岐部分５２３Ｙとを含む。最端第１分岐部分５２３Ｘは、幅狭部５２１ｙ及び電極６１とＸ方向に重なる。順端第１分岐部分５２３Ｙは、幅広部５２１ｘとＸ方向に重なり、幅狭部５２１ｙ及び電極６１とＸ方向に重ならない。Ｙ方向において、順端第１分岐部分５２３ＹのＹ方向の一端５２３ａと、最端第１分岐部分５２３ＸのＹ方向の他端５２３ｂとの間に、順端第１分岐部分５２３ＹのＹ方向の他端５２３ｂ、及び、最端第１分岐部分５２３ＸのＹ方向の一端５２３ａが位置する。

電極６１及び幅狭部５２１ｙは、Ｙ方向において、順端第１分岐部分５２３Ｙの一端５２３ａと、第２延在部分５３１の一端５３１ａ（図１０（ｂ）参照）との間に位置する。さらに、本実施形態において、電極６１及び幅狭部５２１ｙは、順端第１分岐部分５２３ＹとＸ方向に重ならず、Ｙ方向において、順端第１分岐部分５２３Ｙの他端５２３ｂと、第２延在部分５３１の一端５３１ａ（図１０（ｂ）参照）との間に位置する。また本実施形態において、電極６１は、第１延在部分５２１の切欠きＮ内に収まっており、Ｙ方向において第１延在部分５２１の他端５２１ｂより外側に突出していない。

図１０（ｂ）に示すように、複数の第２分岐部分５３３は、Ｙ方向において第２延在部分５３１の一端５３１ａに最も近い最端第２分岐部分５３３Ｘを含む。最端第２分岐部分５３３Ｘは、Ｙ方向の一端５３３ａ及び他端５３３ｂを有する。一端５３３ａは、第２延在部分５３１の一端５３１ａと、Ｙ方向において同じ位置にある。

電極６３は、Ｙ方向において、第１延在部分５２１の一端５２１ａ（図８参照）と、最端第２分岐部分５３３Ｘの他端５３３ｂとの間に位置する。さらに、本実施形態において、電極６３は、最端第２分岐部分５３３ＸとＸ方向に重ならず、Ｙ方向において、第１延在部分５２１の一端５２１ａ（図８参照）と、最端第２分岐部分５３３Ｘの一端５３３ａとの間に位置する。

図１０（ｃ）に示すように、電極６３は、幅狭部５２１ｙ及び電極６１とＺ方向に重なる。つまり、電極６３は、本発明の「第２重複部分」に該当する。

図１１に示すように、Ｙ方向において、第１延在部分５２１の他端５２１ｂと、第２延在部分５３１の一端５３１ａとの間には、隙間Ｓがある。換言すると、第１延在部分５２１と第２延在部分５３１とは、隙間Ｓを介して、Ｙ方向に並んでいる。

ここで、本実施形態では、Ｙ方向において第１延在部分５２１の他端５２１ｂと第２延在部分５３１の一端５３１ａとに跨り、隙間ＳとＺ方向に重なる部分を有する、導電部８０が設けられている。

導電部８０は、第１導電部材（複数の電極６２のうち、Ｙ方向において他端５２１ｂに最も近い電極６２Ｘ）と、第２導電部材（電極６３）とを含む。

電極６２Ｘは、電極６３とＺ方向に重なる部分６２Ａと、第２延在部分５３１とＺ方向に重なる部分６２Ｃと、電極６３及び第２延在部分５３１のいずれともＺ方向に重ならない部分６２Ｂとを有する。Ｙ方向において、部分６２Ａと部分６２Ｃとの間に、部分６２Ｂが位置する。

電極６３は、第１延在部分５２１とＺ方向に重なる部分６３Ａと、電極６２ＸとＺ方向に重なる部分６３Ｃと、第１延在部分５２１及び電極６２ＸのいずれともＺ方向に重ならない部分６３Ｂとを有する。Ｙ方向において、部分６３Ａと部分６３Ｃとの間に、部分６３Ｂが位置する。

電極６２Ｘの部分６２Ａ，６２Ｂ及び電極６３の部分６３Ｂ，６３Ｃは、それぞれ、隙間ＳとＺ方向に重なる。電極６３は、隙間ＳとＺ方向に重なる領域において、電極６２ＸとＺ方向に部分的に重なる（部分６２Ａ，６３Ｃ参照）。

電極６３は、Ｙ方向において第１延在部分５２１の他端５２１ｂと電極６２Ｘとに跨っている。電極６２Ｘは、Ｙ方向において電極６３と第２延在部分５３１の一端５３１ａとに跨っている。電極６２Ｘ及び電極６３は、協働して、Ｙ方向において第１延在部分５２１の他端５２１ｂと第２延在部分５３１の一端５３１ａとに跨っている。

以上に述べたように、本実施形態によれば、第１延在部分５２１と第２延在部分５３１とが異なる層にある場合において、第１延在部分５２１と第２延在部分５３１との隙間Ｓに、第１延在部分５２１と同じ層に配置された電極６２Ｘと、第２延在部分５３１と同じ層に配置され電極６３とを含む、導電部８０を設けている（図１１参照）。これにより、第１延在部分５２１と第２延在部分５３１との隙間Ｓに、熱収縮が生じない部分がなくなる。これにより、局所的な折れ曲がりを抑制できる。ひいては、隙間Ｓに近いアクチュエータ部９０（図６参照）と隙間Ｓから離れたアクチュエータ部９０とで変形特性が異なり、インクの吐出特性にばらつきが生じる、という問題をも抑制できる。

第１延在部分５２１の他端５２１ｂに、幅狭部５２１ｙが設けられている（図１０（ａ）参照）。第１延在部分５２１のＹ方向の長さが長いと、第１延在部分５２１の熱収縮が大きくなり、第１延在部分５２１が設けられた部分の熱収縮と、導電部８０が設けられた隙間Ｓの熱収縮とに大きな差が生じ、折れ曲がりが生じ易くなる。この点、本構成では、第１延在部分５２１の他端５２１ｂに幅狭部５２１ｙを設けたことで、幅狭部５２１ｙ以外の部分（切欠きＮが形成された部分）において、第１延在部分５２１のＹ方向の長さが短くなり、熱収縮を低減できる（ひいては、隙間Ｓの熱収縮との差を低減し、折れ曲がりを抑制できる）。
また、第１延在部分５２１が配置された圧電層４２の上面４２ｍに、幅狭部５２１ｙ，５２２ｙとＸ方向に重なりかつ幅広部５２１ｘ，５２２ｘとＹ方向に重なる、電極６１が設けられている（図１０（ａ）参照）。さらに、圧電層４２の下層に、幅狭部５２１ｙ及び電極６１とＺ方向に重なる、電極６３が設けられている（図１０（ｂ），（ｃ）参照）。幅狭部５２１ｙを設けたことで、切欠きＮ部分の剛性が低下し得るが、本構成では、電極６１を設け、さらに下層に電極６３を設けたことで、切欠きＮ部分の剛性の低下を抑制できる。

Ｙ方向において、順端第１分岐部分５２３Ｙの一端５２３ａと、第２延在部分５３１の一端５３１ａ（図１０（ｂ）参照）との間に、幅狭部５２１ｙ及び電極６１が位置する（図１０（ａ）参照）。つまり、順端第１分岐部分５２３Ｙの一端５２３ａよりも、図１０（ａ）において右側に、幅狭部５２１ｙ及び電極６１が位置する。この場合、第１延在部分５２１から順端第１分岐部分５２３Ｙへの電力供給が、幅狭部５２１ｙを設けたことで損なわれる問題を抑制できる。

さらに、本実施形態において、順端第１分岐部分５２３Ｙは、幅広部５２１ｘとＸ方向に重なり、幅狭部５２１ｙとＸ方向に重ならない（図１０（ａ）参照）。換言すると、順端第１分岐部分５２３Ｙの他端５２３ｂよりも、図１０（ａ）において右側に、幅狭部５２１ｙ及び電極６１が位置する。この場合、第１延在部分５２１における順端第１分岐部分５２３Ｙとの境界部分の幅が狭くならないため、第１延在部分５２１から順端第１分岐部分５２３Ｙへの電力供給が損なわれる問題を、より確実に抑制できる。

Ｙ方向において、第１延在部分５２１の一端５２１ａ（図８参照）と、最端第２分岐部分５３３Ｘの他端５３３ｂとの間に、電極６３が位置する（図１０（ｂ）参照）。つまり、最端第２分岐部分５３３Ｘの他端５３３ｂよりも、図１０（ｂ）において左側に、電極６３が位置する。仮に、第２延在部分５３１の一端５３１ａに、最端第２分岐部分５３３ＸとＸ方向に全体的に重なる切欠きが設けられ、当該切欠き内に、最端第２分岐部分５３３ＸとＸ方向に全体的に重なるように電極６３が配置されると、第２延在部分５３１における最端第２分岐部分５３３Ｘとの境界部分の幅が狭くなり、第２延在部分５３１から最端第２分岐部分５３３Ｘへの電力供給が損なわれ得る。この点、本構成では、最端第２分岐部分５３３Ｘの他端５３３ｂよりも、図１０（ｂ）において左側に、電極６３が位置することで、第２延在部分５３１から最端第２分岐部分５３３Ｘへの電力供給が損なわれる問題を抑制できる。

さらに、本実施形態において、Ｙ方向において、第１延在部分５２１の一端５２１ａ（図８参照）と、最端第２分岐部分５３３Ｘの一端５３３ａとの間に、電極６３が位置する（図１０（ｂ）参照）。つまり、電極６３は、最端第２分岐部分５３３ＸとＸ方向に重ならない。この場合、第２延在部分５３１における最端第２分岐部分５３３Ｘとの境界部分の幅が狭くならないため、第２延在部分５３１から最端第２分岐部分５３３Ｘへの電力供給が損なわれる問題を、より確実に抑制できる。

高電位電極５２、低電位電極５３、及び、導電部８０を構成する電極６２Ｘ，６３は、互いに同じ材料からなる。この場合、製造が容易である。また、同じ材料のため、熱収縮率が揃い、熱収縮差に起因した反り等の問題を軽減できる。

高電位電極５２及び低電位電極５３は、高電位端子５４及び低電位端子５５とそれぞれ電気的に接続されるのに対し、導電部８０を構成する電極６２Ｘ，６３は、高電位端子５４及び低電位端子５５のいずれとも電気的に接続されない。導電部８０を構成する電極６２Ｘ，６３が、高電位端子５４及び低電位端子５５のいずれかと電気的に接続されると、絶縁破壊が生じ得る。この点、本構成では、導電部８０を構成する電極６２Ｘ，６３が、高電位端子５４及び低電位端子５５のいずれとも電気的に接続されないため、絶縁破壊を抑制できる。

＜第２実施形態＞
続いて、図１２を参照し、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータについて説明する。

第１実施形態では、第１延在部分５２１を含む第１電極部と、第２延在部分５３１を含む第２電極部とが、異なる層にあるが、第２実施形態では、第１延在部分２５２１を含む第１電極部と、第２延在部分２５３１を含む第２電極部とが、同じ層にある。

具体的には、圧電層４２の上面４２ｍに、第１延在部分２５２１を含む第１電極部と、第２延在部分２５３１を含む第２電極部とが、配置されている。各延在部分２５２１，２５３１からは、第１実施形態と同様、複数の分岐部分が分岐している。

Ｙ方向において、第１延在部分２５２１の他端２５２１ｂと、第２延在部分２５３１の一端２５３１ａとの間には、隙間Ｓがある。換言すると、第１延在部分２５２１と第２延在部分２５３１とは、隙間Ｓを介して、Ｙ方向に並んでいる。

ここで、本実施形態では、Ｙ方向において第１延在部分２５２１の他端２５２１ｂと第２延在部分２５３１の一端２５３１ａとに跨り、隙間ＳとＺ方向に重なる部分を有する、導電部２８０が設けられている。導電部２８０は、導電部材（圧電層４２の下面４２ｎに配置された、電極２６０）で構成される。

電極２６０は、第１延在部分２５２１とＺ方向に重なる部分２６０Ａと、第２延在部分２５３１とＺ方向に重なる部分２６０Ｃと、第１延在部分２５２１及び第２延在部分２５３１のいずれともＺ方向に重ならない部分２６０Ｂとを有する。Ｙ方向において、部分２６０Ａと部分２６０Ｃとの間に、部分２６０Ｂが位置する。部分２６０Ｂは、隙間ＳとＺ方向に重なる。このように、電極２６０は、Ｙ方向において第１延在部分２５２１の他端２５２１ｂと第２延在部分２５３１の一端２５３１ａとに跨り、隙間ＳとＺ方向に重なる部分２６０Ｂを有する。

以上に述べたように、本実施形態によれば、第１延在部分２５２１と第２延在部分２５３１とが同じ層にある場合において、第１延在部分２５２１と第２延在部分２５３１との隙間Ｓに、第１延在部分２５２１及び第２延在部分２５３１が設けられた層とは異なる層に配置された、導電部２８０を設けている（図１２参照）。この場合においても、第１実施形態と同様、第１延在部分２５２１と第２延在部分２５３１との隙間Ｓに、熱収縮が生じない部分がなくなる。これにより、局所的な折れ曲がりを抑制できる。ひいては、隙間Ｓに近いアクチュエータ部９０（図６参照）と隙間Ｓから離れたアクチュエータ部９０とで変形特性が異なり、インクの吐出特性にばらつきが生じる、という問題をも抑制できる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

第１実施形態（図１１）において、導電部８０は、２つの導電部材（電極６２Ａ，６３）で構成されるが、３以上の導電部材で構成されてもよい。

第２実施形態（図１２）において、導電部２８０は、１つの導電部材（電極２６０）で構成されるが、複数の導電部材で構成されてもよい。導電部２８０が複数の導電部材で構成される場合、当該複数の導電部材は、第１実施形態（図１１）の電極６２Ａ，６３と同様、「第１電極層を構成する少なくとも１つの第１導電部材と、前記第２電極層を構成し、前記隙間と前記第１方向に重なる領域において前記第１導電部材と前記第１方向に部分的に重なる少なくとも１つの第２導電部材とを含む」ものであってよい。

第１実施形態（図１０（ａ））において、順端第１分岐部分５２３Ｙは、幅広部５２１ｘとＸ方向に重なり、幅狭部５２１ｙとＸ方向に重ならないが、これに限定されない。例えば、順端第１分岐部分５２３Ｙは、幅狭部５２１ｙと部分的にＸ方向に重なってもよい。また、順端第１分岐部分５２３Ｙは、幅狭部５２１ｙの全体とＸ方向に重なってもよい。

第１実施形態（図１０（ｂ））において、電極６３は、Ｙ方向において、第１延在部分５２１の一端５２１ａ（図８参照）と、最端第２分岐部分５３３Ｘの一端５３３ａとの間に位置するが、これに限定されない。例えば、第２延在部分５３１の一端５３１ａに、最端第２分岐部分５３３ＸとＸ方向に重なる切欠きを設け、当該切欠き内に、電極６３を配置してもよい。

第１重複部分（第１実施形態において、図１０（ａ）に示す電極６１）は、切欠きＮ部分の剛性低下を抑制する機能を有するが、さらに、導電部として機能してもよい。

第１電極部、第２電極部及び導電部は、互いに同じ材料からなることに限定されない。例えば、これらのうちの少なくとも１つが、他とは別の材料からなってもよい。

圧電アクチュエータを構成する圧電層の数は、上述の実施形態では３つであるが、これに限定されず、任意の数であってよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。さらに、本発明に係る圧電アクチュエータは、液体吐出装置以外の任意の装置に適用可能である。

２２ 圧電アクチュエータ
４２ 圧電層
４２ｍ 上面（第１面）
４２ｎ 下面（第２面）
５２ 高電位電極（第１電極部）
５２１，５２２ 第１延在部分
５２１ｘ，５２２ｘ 幅広部
５２１ｙ，５２２ｙ 幅狭部
５２３ 第１分岐部分
５２３Ｘ 最端第１分岐部分
５２３Ｙ 順端第１分岐部分
５３ 低電位電極（第２電極部）
５３１，５３２ 第２延在部分
５３３ 第２分岐部分
５３３Ｘ 最端第２分岐部分
５４ 高電位端子
５５ 低電位端子
６１ 電極（第１重複部分）
６２Ｘ 電極（第１導電部）
６３ 電極（第２導電部，第２重複部分）
７１ 第１電極層
７２ 第２電極層
８０；２８０ 導電部
２６０ 電極（第２導電部）
Ｓ 隙間

Claims (9)

1. 第１面及び第２面を有する圧電層であって、前記第１面及び前記第２面は前記圧電層の厚み方向に沿った第１方向に互いに離隔した圧電層と、
   前記圧電層の前記第１面に配置された第１電極層と、
   前記圧電層の前記第２面に配置された第２電極層と、を備え、
   前記第１電極層は、前記第１方向と直交する第２方向に延びる第１延在部分、及び、前記第１延在部分から分岐し、前記第１方向と直交しかつ前記第２方向と交差する第３方向に延びる複数の第１分岐部分を含む、第１電極部を有し、
   前記第２電極層は、前記第２方向に延びる第２延在部分、及び、前記第２延在部分から分岐し、前記第３方向に延びる複数の第２分岐部分を含む、第２電極部を有し、
   前記第２方向において、前記第１延在部分の前記第２方向の一端と、前記第２延在部分の前記第２方向の他端との間に、前記第１延在部分の前記第２方向の他端、及び、前記第２延在部分の前記第２方向の一端が位置し、
   前記第２方向において、前記第１延在部分の前記他端と、前記第２延在部分の前記一端との間に、隙間があり、
   前記第２方向において前記第１延在部分の前記他端と前記第２延在部分の前記一端とに跨り、前記隙間と前記第１方向に重なる部分を有する導電部であって、前記第１電極層を構成する少なくとも１つの第１導電部材と、前記第２電極層を構成し、前記隙間と前記第１方向に重なる領域において前記第１導電部材と前記第１方向に部分的に重なる少なくとも１つの第２導電部材とを含む、導電部をさらに備えたことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
2. 前記第１延在部分は、幅広部と、前記幅広部よりも前記第３方向の長さが短い幅狭部であって、前記他端に設けられた幅狭部と、を有し、
   前記第１電極層は、前記幅狭部と前記第３方向に重なりかつ前記幅広部と前記第２方向に重なる第１重複部分をさらに有し、
   前記第２導電部材は、前記幅狭部及び前記第１重複部分と前記第１方向に重なる第２重複部分を含むことを特徴とする、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記複数の第１分岐部分は、前記第２方向において前記第１延在部分の前記他端に最も近い最端第１分岐部分と、前記第２方向において前記第１延在部分の前記他端に２番目に近い順端第１分岐部分と、を含み、
   前記最端第１分岐部分は、前記幅狭部と前記第３方向に重なり、
   前記第２方向において、前記順端第１分岐部分の前記第２方向の一端と、前記最端第１分岐部分の前記第２方向の他端との間に、前記順端第１分岐部分の前記第２方向の他端、及び、前記最端第１分岐部分の前記第２方向の一端が位置し、
   前記第２方向において、前記順端第１分岐部分の前記一端と、前記第２延在部分の前記一端との間に、前記幅狭部及び前記第１重複部分が位置することを特徴とする、請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記順端第１分岐部分は、前記幅広部と前記第３方向に重なり、前記幅狭部と前記第３方向に重ならないことを特徴とする、請求項３に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記第２方向において、前記第１延在部分の前記一端と、前記複数の第２分岐部分のうち前記第２延在部分の前記一端に最も近い最端第２分岐部分の前記第２方向の他端との間に、前記最端第２分岐部分の前記第２方向の一端と、前記第２重複部分とが位置することを特徴とする、請求項２～４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記第２方向において、前記第１延在部分の前記一端と、前記最端第２分岐部分の前記一端との間に、前記第２重複部分が位置することを特徴とする、請求項５に記載の圧電アクチュエータ。
7. 前記第１電極部、前記第２電極部及び前記導電部は、互いに同じ材料からなることを特徴とする、請求項１～６のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
8. 前記第１電極部は、高電位端子と電気的に接続される高電位電極であり、
   前記第２電極部は、低電位端子と電気的に接続される低電位電極であり、
   前記導電部は、前記高電位端子及び前記低電位端子のいずれとも電気的に接続されないことを特徴とする、請求項１～７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
9. 第１面及び第２面を有する圧電層であって、前記第１面及び前記第２面は前記圧電層の厚み方向に沿った第１方向に互いに離隔した圧電層と、
   前記圧電層の前記第１面に配置された第１電極層と、
   前記圧電層の前記第２面に配置された第２電極層と、を備え、
   前記第１電極層は、
   前記第１方向と直交する第２方向に延びる第１延在部分、及び、前記第１延在部分から分岐し、前記第１方向と直交しかつ前記第２方向と交差する第３方向に延びる複数の第１分岐部分を含む、第１電極部と、
   前記第２方向に延びる第２延在部分、及び、前記第２延在部分から分岐し、前記第３方向に延びる複数の第２分岐部分を含む、第２電極部と、を有し、
   前記第２方向において、前記第１延在部分の前記第２方向の一端と、前記第２延在部分の前記第２方向の他端との間に、前記第１延在部分の前記第２方向の他端、及び、前記第２延在部分の前記第２方向の一端が位置し、
   前記第２方向において、前記第１延在部分の前記他端と、前記第２延在部分の前記一端との間に、隙間があり、
   前記第２方向において前記第１延在部分の前記他端と前記第２延在部分の前記一端とに跨り、前記隙間と前記第１方向に重なる部分を有する導電部であって、前記第２電極層を構成する少なくとも１つの導電部材を含む、導電部をさらに備えたことを特徴とする、圧電アクチュエータ。

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