JP2018167420A - アクチュエータ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】駆動素子同士の間隔を大きくすることなく、複数の駆動素子に共通の共通電極における部分間での電位のばらつきを抑える。【解決手段】複数の圧電素子４１が搬送方向に並ぶことによって構成される圧電素子列が、走査方向に２列に並んでいる。各圧電素子列を構成する圧電素子４１から引き出された個別配線５２は、２列の圧電素子列の間の領域まで延び、その先端部が個別接点５３となっている。各圧電素子列において、構成する複数の圧電素子４１に共通の共通電極４９から引き出された複数の共通配線５５は、２列の圧電素子列の間の領域まで延び、その先端部が共通接点５６となっている。共通接点５６は、個別配線５２の長さ方向における個別接点５３の延長線上に位置している。【選択図】図４

Description

本発明は、アクチュエータ装置に関する。

特許文献１に記載の圧電素子では、圧電体層の下面に、第一の方向に沿って並んだ複数の第１電極が配置され、圧電体層の上面に、複数の第１電極にまたがって延びた第２電極が配置されている。各第１電極は、第一の方向と直交する第二の方向の片側に引き出された個別リード配線と接続されている。また、圧電素子の振動板の上面には、配線電極が配置されている。配線電極は、第２電極の第一の方向の両端部と接続されている。また、隣接する個別リード配線の間には、それぞれ、第二の方向に延びて、第２電極と配線電極とを接続する共通リード配線が配置されている。これにより、第２電極の部分間での電位のばらつきを抑えることができる。

特開2011-194783号公報

ここで、特許文献１では、上述したように、隣接する個別リード配線の間に共通リード配線が配置されているため、個別リード配線同士の間隔（第１電極同士の間隔）を小さくすることが難しく、圧電素子が大型化してしまう。

本発明の目的は、複数の駆動素子同士の間隔を大きくすることなく、複数の駆動素子に共通の共通電極における部分間での電位のばらつきを抑えることが可能なアクチュエータ装置を提供することである。

本発明のアクチュエータ装置は、第１電極と第２電極とをそれぞれを有し、第１方向に配列された複数の駆動素子と、前記複数の駆動素子の前記第１電極から、前記駆動素子の配置面と平行、且つ、前記第１方向と交差する第２方向に引き出され、前記第１方向に間隔を空けて並ぶ複数の第１個別配線と、前記複数の第１個別配線の先端部にそれぞれ設けられた複数の第１個別接点と、前記複数の駆動素子の前記第２電極が互いに導通してなる共通電極から引き出された第１共通接点と、を有するアクチュエータと、前記アクチュエータの前記複数の第１個別接点と前記第１共通接点に接合される配線部材と、を備え、前記第１共通接点は、前記第１個別配線の前記第１個別接点の先の延長線上の位置に配置されている。

本発明の実施の形態に係るプリンタ１の概略構成図である。 ヘッドユニット１６の平面図である。 インク供給部材２７の図示を省略したヘッドユニット１６の平面図である。 インク供給部材２７と保護部材２６の図示を省略したヘッドユニット１６の平面図である。 図２のＶ-Ｖ線断面図である。 ＣＯＦ２５の基材７１の下面７１ａの平面図である。 ＣＯＦ２５の基材７１の上面７１ｂの平面図である。 図７のVIII−VIII線断面図である。 変形例１のＣＯＦ１０１の基材７１の下面７１ａの平面図である。 変形例１のＣＯＦ１０１の基材７１の上面７１ｂの平面図である。 変形例２のインク供給部材２７の図示を省略したヘッドユニット１１０の平面図である。 変形例２のＣＯＦ１１１の基材７１の下面７１ａの平面図である。 変形例２のＣＯＦ１１１の基材７１の上面７１ｂの平面図である。 変形例３の図５に対応するヘッドユニット１３０の断面図である。 変形例３のＣＯＦ１３１の基材１３２の下面１３２ａの平面図である。 変形例３のＣＯＦ１３１の基材１３２の上面１３２ｂの平面図である。 変形例４の、インク供給部材２７と保護部材２６の図示を省略したヘッドユニット１４０の平面図である。 変形例５の、インク供給部材２７と保護部材２６の図示を省略したヘッドユニット１５０の平面図である。 変形例６のヘッドユニット２００の平面図である。 図１９のXX−XX線断面図である。 変形例６のＣＯＦ２５０の基材２６１の下面２６１ａの平面図である。 変形例６のＣＯＦ２５０の基材２６１の上面２６１ｂの平面図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

＜プリンタの概略構成＞
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５とを備えている。なお、以下では、図１において記録用紙１００が搬送される方向を、プリンタ１の前後方向（本発明の「第１方向」、「第３方向」）と定義する。また、記録用紙１００の幅方向をプリンタ１の左右方向（本発明の「第２方向」、「第４方向」）と定義する。さらに、前後方向及び左右方向と直交する、図１の紙面垂直方向をプリンタ１の上下方向と定義する。

プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０、１１に沿って左右方向（以下、走査方向ということもある）に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端状のベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によってベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３が走査方向に移動する。

インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、走査方向に並ぶ４つのヘッドユニット１６を備えている。４つのヘッドユニット１６は、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクカートリッジ１７が装着されるカートリッジホルダ７と、図示しないチューブによってそれぞれ接続されている。

各ヘッドユニット１６は、その下面（図１の紙面奥側の面）に形成された複数のノズル３６（図４、図５参照）を有する。各ヘッドユニット１６は、インクカートリッジ１７から供給されたインクを、ノズル３６からプラテン２に載置された記録用紙１００に向けて吐出する。なお、ヘッドユニット１６の詳細については、後ほど説明する。

搬送機構５は、前後方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８、１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８、１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を前方（以下、搬送方向ということもある）に搬送する。

＜ヘッドユニットの詳細＞
次に、インクジェットヘッド４のヘッドユニット１６の構成について詳細に説明する。なお、４つのヘッドユニット１６はそれぞれ同じ構成を有するものであるため、以下では、４つのヘッドユニット１６のうちの１つについて説明する。

図２〜図５に示すように、ヘッドユニット１６は、第１流路部材２１、第２流路部材２２、ノズルプレート２３、圧電アクチュエータ２４、ＣＯＦ（Chip On Film）２５、保護部材２６、インク供給部材２７等を備えている。なお、図２〜図４においては、ＣＯＦ２５の図示を省略している。また、本実施の形態では、圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５とを合わせたものが、本発明の「アクチュエータ装置」に相当する。

＜第１流路部材、第２流路部材、ノズルプレート＞
第１流路部材２１、第２流路部材２２、及び、ノズルプレート２３は、それぞれ矩形の平面形状を有し、上から、第１流路部材２１、第２流路部材２２、ノズルプレート２３の順で、上下に積層されている。第１流路部材２１の上に、後述する圧電素子４１（本発明の「駆動素子」）を成膜プロセスで形成する関係上、第１流路部材２１には、シリコン単結晶基板が用いられている。

第１流路部材２１には、水平面に沿って平面的に配置された複数の圧力室２８が形成されている。各圧力室２８は、走査方向に長い矩形の平面形状を有する。複数の圧力室２８は、搬送方向に配列され、走査方向に並ぶ２つの圧力室列を構成している。また、２つの圧力室列の間で、圧力室２８の搬送方向における位置は互いに異なっている。より具体的には、各圧力室列における圧力室２８の配列間隔をＰとしたときに、左右２つの圧力室列の間では、圧力室２８の搬送方向における位置が、Ｐ／２ずつずれている。

図５に示すように、第１流路部材２１の上面には、後述する圧電アクチュエータ２４の振動膜４０が形成され、この振動膜４０によって複数の圧力室２８が覆われている。振動膜４０は、例えば、第１流路部材２１を構成するシリコン単結晶基板の表面が酸化されることにより形成された、二酸化シリコンの膜である。

第２流路部材２２は、第１流路部材２１の下側に配置されている。図４、図５に示すように、第２流路部材２２は、第１流路部材２１よりも一回り大きな平面形状を有し、全周にわたって、その縁部が第１流路部材２１よりも外側に張り出している。別の言い方をすれば、第２流路部材２２は、第１流路部材２１に対して左右に張り出した２つの第１張出部２２ａと、前後に張り出した２つの第２張出部２２ｂとを有する。

図４、図５に示すように、第２流路部材２２の左右２つの第１張出部２２ａには、２つの圧力室列にそれぞれ対応して搬送方向に延びる２つのマニホールド流路３０がそれぞれ形成されている。すなわち、各マニホールド流路３０の開口３０ａは、第１流路部材２１から露出している。２つのマニホールド流路３０には、後述するインク供給部材２７を介して、１つのインクカートリッジ１７からのインクが供給される。すなわち、本実施形態では、２つのマニホールド流路３０に同色のインクが供給される。

また、第２流路部材２２には、マニホールド流路３０と、マニホールド流路３０と圧力室２８とを繋ぐ連通路３２とが形成されている。各圧力室２８は、連通路３２及び絞り流路３１を介して、対応するマニホールド流路３０と連通している。さらに、第２流路部材２２には、各圧力室２８と、後述するノズルプレート２３のノズル３６とを連通させる連通路３３も形成されている。

ノズルプレート２３には、複数の圧力室２８にそれぞれ対応する複数のノズル３６が形成されている。各ノズル３６は、連通路３３を介して圧力室２８と連通している。複数のノズル３６は、２つの圧力室列に対応する２つのノズル列を形成している。上述した圧力室列と同様、２つのノズル列の間においても、ノズル３６の搬送方向の位置がＰ／２ずつずれている。

＜圧電アクチュエータ＞
圧電アクチュエータ２４は、第１流路部材２１の上方に配置されている。圧電アクチュエータ２４は、振動膜４０と、振動膜４０の上に配置された複数の圧電素子４１を有する。

上述したように、振動膜４０は、第１流路部材２１の上面に形成されて、複数の圧力室２８を覆っている。振動膜４０の厚みは、例えば、１．０〜１．５μｍである。振動膜４０の上面の、複数の圧力室２８と重なる位置には、複数の圧電素子４１がそれぞれ配置されている。複数の圧電素子４１は、圧力室２８と同様、走査方向に並ぶ２つの圧電素子列３９ａ、３９ｂを構成している。圧力室列と同様、２つの圧電素子列３９ａ、３９ｂの間においても、圧電素子４１の搬送方向の位置がＰ／２ずつずれている。

個々の圧電素子４１の構成について説明する。各圧電素子４１は、振動膜４０の上に配置された下電極４２（本発明の「第１電極」）と、下電極４２の上に配置された圧電膜４３と、圧電膜４３の上に配置された上電極４４（本発明の「第２電極」）を有する。

下電極４２は、振動膜４０の上面において、圧力室２８と重なるように配置されている。この下電極４２は、後述するドライバＩＣ７４から個別に電位が付与される、いわゆる個別電極である。下電極４２の、走査方向の内側の端部からは、引出部４５が引き出されている。下電極４２及び引出部４５は、例えば、白金（Ｐｔ）で形成されている。また、その厚みは、例えば、０．１μｍである。

圧電膜４３は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料により形成される。圧電膜４３の厚みは、例えば、１．０〜２．０μｍである。図３〜図５に示すように、本実施形態では、左側の圧電素子列３９ａを構成する複数の圧電素子４１の圧電膜４３が繋がり、右側の圧電素子列３９ｂを構成する複数の圧電素子４１の圧電膜４３が繋がっている。これにより、振動膜４０の上には、左側の圧力室列を覆う圧電体４６と、右側の圧力室列を覆う圧電体４６の、２つの圧電体４６が配置されている。

図４、図５に示すように、下電極４２から引き出された引出部４５は、下電極４２から走査方向の内側に延び、その先端部が圧電体４６から露出している。各引出部４５の、圧電体４６から露出した先端部には、後述する個別配線５２が接続される。

上電極４４は、圧電膜４３の上面に配置されている。上電極４４は、例えば、イリジウムで形成されている。また、上電極４４の厚みは、例えば、０．１μｍである。圧電体４６の上面において、複数の圧電素子４１の上電極４４が互いに繋がることにより、圧電体４６の上面のほぼ全域を覆う共通電極４９が構成されている。

共通電極４９の上には補助導体５０が設けられている。図４に示すように、補助導体５０は、圧電体４６の左右方向外側の縁部、及び、前後方向両側の２つの縁部の上において共通電極４９に積層されている。補助導体５０は、例えば、金（Ａｕ）で形成されている。また、補助導体５０の厚みは、共通電極４９の厚みよりも大きい。また、補助導体５０の、前後方向の両端部のうち、圧電素子列３９ａと圧電素子列３９ｂとの間の領域に位置する部分は、ＣＯＦ２５との接続を行うための共通接点５４となっている。

また、引出部４５の、圧電体４６から露出した端部には個別配線５２（本発明の「第１個別配線」）が接続されている。各個別配線５２は、対応する引出部４５の先端部から、走査方向における内側に延びている。個別配線５２は、例えば、金（Ａｕ）で形成され、補助導体５０と同じ成膜プロセスで形成可能である。また、個別配線５２は、振動膜４０の上面の、圧電素子列３９ａと圧電素子列３９ｂとの間の領域まで延びており、その先端部がＣＯＦ２５との接続を行うための個別接点５３（本発明の「第１個別接点」）となっている。そして、圧電素子列３９ａから引き出された複数の個別接点５３と、圧電素子列３９ｂから引き出された複数の個別接点５３とが、搬送方向に交互に並んでいる。

また、共通電極４９の左右方向の内側の端部には、複数の共通配線５５（本発明の「第１共通配線」）が接続されている。共通配線５５は、例えば、金（Ａｕ）で形成され、補助導体５０と同じ成膜プロセスで形成可能である。また、共通配線５５は、共通電極４９との接続部分から、振動膜４０の圧電素子列３９ａと圧電素子列３９ｂとの間の領域まで走査方向に延びており、その先端部がＣＯＦ２５との接続を行うための共通接点５６（本発明の「第１共通接点」）となっている。

これにより、圧電素子列３９ａから引き出された複数の共通接点５６（以下、共通接点５６ａとすることがある）は、圧電素子列３９ｂから引き出された複数の個別配線５２の長さ方向における、複数の個別接点５３の延長線上に位置し、複数の個別接点５３よりも左側の位置で搬送方向に配列されている。また、圧電素子列３９ｂから引き出された複数の共通接点５６（以下、共通接点５６ｂとすることがある）は、圧電素子列３９ａから引き出された複数の個別配線５２の長さ方向における、複数の個別接点５３の延長線上に位置し、複数の個別接点５３よりも右側の位置で搬送方向に配列されている。また、図４に示すように、個別配線５２の長さ方向における、共通接点５６と個別接点５３との離間距離Ｄ１は、搬送方向における２つの圧電素子列３９ａ、３９ｂから引き出された複数の個別接点５３の配列間隔Ｄ２よりも大きくなっている。例えば、配列間隔Ｄ２が４０μｍ程度であるのに対して、離間距離Ｄ１が１００μｍ程度である。

＜保護部材＞
図２、図３、図５に示すように、保護部材２６は、第１流路部材２１の上側に複数の圧電素子４１を覆うように配置されている。具体的には、保護部材２６は、振動膜４０や圧電膜４３等の様々な膜が積層された構造を有する圧電アクチュエータ２４の上に、接着剤で接合されている。

保護部材２６は、左右２つの凹状のカバー部２６ａと、２つのカバー部２６ａの間に形成された穴２６ｂとを有する。保護部材２６が第１流路部材２１の上に配置された状態では、左側のカバー部２６ａが、左側の圧電素子列３９ａを覆い、右側のカバー部２６ａが、右側の圧電素子列３９ｂを覆う。また、穴２６ｂから複数の個別接点５３と、２つの共通接点５４と、複数の共通接点５６が露出する。なお、保護部材２６の材質は特に限定されないが、例えば、シリコンで形成されたものを好適に採用できる。

＜ＣＯＦ＞
図６、図７に示すように、ＣＯＦ２５は、基材７１と、複数の個別接点７２（本発明の「第２個別接点」）と、複数の個別配線７３（本発明の「第２個別配線」）と、ドライバＩＣ７４と、２つの共通接点７５と、複数の共通接点７６ａ、７６ｂ（本発明の「第２共通接点」）と、共通配線７７、７８（本発明の「第２共通配線」）とを有する。

基材７１はポリイミドなどの合成樹脂材料からなる、フィルム状の部材である。基材７１は、保護部材２６の穴２６ｂから露出した、圧電アクチュエータ２４の圧電素子列３９ａと圧電素子列３９ｂの間の部分の上面に接合されている。また、基材７１は、圧電アクチュエータ２４との接合部分から右側に引き出され、途中で上方に曲がって延びている。また、基材７１は、圧電アクチュエータ２４との接合部分の左側に、その縁７１ｃが位置している。なお、本実施の形態では、このように、基材７１が途中で上方に曲がって延びているが、以下では、便宜上、基材７１の圧電アクチュエータ２４と接合される側の面（圧電アクチュエータ２４側の面）を基材７１の下面７１ａとし、これと反対側の面（圧電アクチュエータ２４と反対側の面）を基材７１の上面７１ｂとして説明を行う。

複数の個別接点７２は、基材７１の下面７１ａの、複数の個別接点５３と対向する部分に配置され、対応する個別接点５３と接続されている。これにより、圧電素子列３９ａから引き出された複数の個別接点５３と接続される複数の個別接点７２と、圧電素子列３９ｂから引き出された複数の個別接点５３接続される複数の個別接点７２とが、搬送方向に交互に並んでいる。また、複数の個別接点７２は、基材７１に形成されたスルーホール８１（図８参照）を介して、基材７１の上面７１ｂに引き出されている。

複数の個別配線７３は、基材７１の上面７１ｂに配置されている。複数の個別配線７３は、複数の個別接点７２に対応しており、基材７１の上面７１ｂに引き出された個別接点７２と接続され、個別接点７２との接続部分から右側に直線的に延びている。ドライバＩＣ７４は、基材７１の上方に延びた部分の上面７１ｂに実装されている。各個別配線７３の個別接点７２と反対側の端は、ドライバＩＣ７４と接続されている。そして、個別配線７３、個別接点７２及び個別配線５２を介して、ドライバＩＣ７４から複数の下電極４２に個別に、グランド電位、及び、２０Ｖ程度の駆動電位のうちいずれかの電位が選択的に付与される。また、ドライバＩＣ７４は、基材７１の上面７１ｂに配置された配線７９等を介して図示しない制御装置に接続されており、制御装置によってその動作が制御される。

２つの共通接点７５は、基材７１の下面７１ａの、２つの共通接点５４と対向する部分に配置され、対応する共通接点５４と接続されている。また、共通接点５４は基材７１に形成された図示しないスルーホールを介して基材７１の上面７１ｂに引き出されている。複数の共通接点７６ａは、基材７１の下面７１ａの、複数の共通接点５６ａと対向する部分に配置され、対応する共通接点５６ａと接続されている。これにより、複数の共通接点７６ａは、複数の個別接点７２よりも左側の位置において搬送方向に配列される。また、複数の共通接点７６ａは、図示しないスルーホールを介して、基材７１の上面７１ｂに引き出されている。

複数の共通接点７６ｂは、基材７１の下面７１ａの、複数の共通接点５６ｂと対向する部分に配置され、対応する共通接点５６ｂと接続されている。これにより、複数の共通接点７６ｂは、複数の個別接点７２よりも右側の位置において搬送方向に配列される。

共通配線７７は、基材７１の下面７１ａに配置されている。共通配線７７は、複数の部分７７ａと１つの部分７７ｂとを有する。複数の部分７７ａは、複数の共通接点７６ｂに対して個別に設けられている。部分７７ａは共通接点７６ｂと接続され、共通接点７６ｂとの接続部分から走査方向の右側に延びている。また、基材７１は、図６に示す折れ曲がり線Ｌ１において上方に折り曲げられており、部分７７ａは、折れ曲がり線Ｌ１に対して共通接点７６ｂと反対側まで延びている。部分７７ｂは、搬送方向に延びて、複数の部分７７ａの走査方向の右端部同士を接続させている。また、部分７７ｂの搬送方向の両端部は、図示しないスルーホールを介して、基材７１の上面７１ｂに引き出されている。

共通配線７８は、基材７１の上面７１ｂに配置されている。共通配線７８は、搬送方向に延びて、基材７１の上面７１ｂに引き出された複数の共通接点５６ａと接続される部分７８ａと、部分７８ａの搬送方向の両端部からそれぞれ走査方向の右側に延びた２つの部分７８ｂとを有する。また、２つの部分７８ｂは、基材７１の上面７１ｂに引き出された、共通接点７５、及び、共通配線７７の部分７７ｂの搬送方向の両端部と接続されている。共通配線７８は、図示しない電源に接続され、グランド電位に保持されている。これにより、共通電極４９（上電極４４）が、共通配線７７、７８、共通接点７５、７６ａ、７６ｂ、共通配線５５及び補助導体５０を介してグランド電位に保持される。

また、本実施の形態では、図８に示すように、圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５とが、ＮＣＦ（Non-conductive Film）８０（本発明の「非導電性接着剤」）によって接合されており、圧電アクチュエータ２４の個別接点５３と、ＣＯＦ２５の個別接点７２とが直接接触することで導通している。また、図示は省略するが、同様に、圧電アクチュエータ２４の共通接点５４と、ＣＯＦ２５の共通接点７５、及び、圧電アクチュエータ２４の共通接点５６と、ＣＯＦ２５の共通接点７６ａ、７６ｂとが、それぞれ直接接触することで導通している。すなわち、本実施の形態では、圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５とが、いわゆるＮＣＦ接合によって接合されている。

＜圧電素子の動作＞
圧電素子４１の動作について説明する。圧電素子４１は、予め下電極４２が上電極４４と同じグランド電位に保持されている。圧電素子４１を駆動させるときには、下電極４２の電位をグランド電位から駆動電位に切り換える。すると、下電極４２と上電極４４との間の電位差により、圧電膜４３に厚み方向の電界が作用する。この電界により、圧電膜４３は厚み方向に伸びて面方向に収縮し、その結果、圧力室２８を覆う振動膜４０が圧力室２８側に凸となるように撓む。これにより、圧力室２８の容積が減少して圧力室２８内のインクの圧力が上昇し、圧力室２８に連通するノズル３６からインクの液滴が吐出される。

＜インク供給部材＞
図２に示すように、インク供給部材２７は、第２流路部材２２とほぼ同じ大きさの矩形の平面形状を有し、第２流路部材２２及び保護部材２６の上方に配置されている。インク供給部材２７の材質は特に限定されないが、例えば、合成樹脂で形成される。図２、図５に示すように、インク供給部材２７の走査方向の中央部には、保護部材２６の穴２６ｂと重なり、且つ、この穴２６ｂよりも幅が大きい穴２７ａが形成されている。図５に示すように、圧電アクチュエータ２４に接続されたＣＯＦ２５は、保護部材２６の穴２６ｂとインク供給部材２７の穴２７ａを通過して上方へ延びている。

インク供給部材２７は、インクカートリッジ１７が装着されたカートリッジホルダ７（図１参照）と接続されている。インク供給部材２７内にはインク供給流路５８が形成されており、インク供給流路５８の下端は、第２流路部材２２の第１張出部２２ａに形成されたマニホールド流路３０と連通する。この構成により、カートリッジホルダ７のインクカートリッジ１７内のインクが、インク供給部材２７のインク供給流路５８を介して、第２流路部材２２のマニホールド流路３０に供給される。

ここで、以上に説明した実施の形態と異なり、共通配線５５がなく、共通電極４９が、共通接点５４を介してのみ、ＣＯＦ２５の共通配線７８と接続されている場合を考える。この場合には、共通電極４９の内部抵抗により、共通電極４９の、共通接点５４から近い搬送方向の端部と、共通接点５４から遠い搬送方向の中央部との間で電位にばらつきが生じる。共通電極４９の部分間にこのような電位のばらつきが生じると、圧電素子４１間で駆動特性が変わり、その結果、ノズル３６間でインクの吐出特性が変わってしまう虞がある。

これに対して、本実施の形態では、圧電素子列３９ａ、３９ｂの共通電極４９の、搬送方向における複数の箇所から、共通配線５５が引き出されている。そして、共通電極４９は、補助導体５０の搬送方向の両端部に位置する共通接点５４に加えて、各共通配線５５の先端部に設けられた共通接点５６を介して、ＣＯＦ２５の共通配線７７、７８に接続されている。これにより、共通電極４９の部分間の電位のばらつきを抑えることができる。

また、本実施の形態では、振動膜４０の上面の、左側の圧電素子列３９ａから引き出された個別配線５２の延長線上に位置する領域に、右側の圧電素子列３９ｂから引き出された共通配線５５（共通接点５６ｂ）を配置している。また、振動膜４０の上面の、右側の圧電素子列３９ｂから引き出された個別配線５２の延長線上に位置する領域に、左側の圧電素子列３９ａから引き出された共通配線５５（共通接点５６ａ）を配置している。したがって、共通配線５５を配置するために、個別配線５２同士の間隔を広げることなく、各個別配線５２から近い位置に共通配線５５を配置することができる。

また、本実施の形態では、２つの圧電素子列３９ａ、３９ｂから引き出された複数の個別接点５３、２つの共通接点５４、及び、複数の共通接点５６が、圧電素子列３９ａと圧電素子列３９ｂとの間の領域に配置されている。このように、本実施の形態では、ＣＯＦ２５との接続を行うための接点を１箇所に集めることで、圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５との接合面積を小さくすることができる。

また、本実施の形態のように、圧電素子列３９ａと圧電素子列３９ｂとの間で個別配線５２の位置が搬送方向にずれているため、圧電素子列３９ａから引き出された個別配線５２の延長線上に位置する領域は、圧電素子列３９ｂから引き出された隣接する２つの個別配線５２の間のスペースとなっている。また、圧電素子列３９ｂから引き出された個別配線５２の延長線上に位置する領域は、圧電素子列３９ａから引き出された隣接する２つの個別配線５２の間のスペースとなっている。このように、本実施の形態では、振動膜４０の上面の空いたスペースを利用して、共通配線５５を配置することができる。

ここで、個別配線５２と共通配線５５（共通接点５６）との距離が小さすぎると、個別配線５２と共通配線５５とがショートしてしまう虞がある。そこで、本実施の形態では、個別配線５２の長さ方向における個別接点５３と共通接点５６との離隔距離Ｄ１を、搬送方向における個別接点５３の配列間隔Ｄ２よりも大きくしている。これにより、個別配線５２と共通配線５５とがショートしてしまうのを防止することができる。

また、本実施の形態では、各圧電素子列３９ａ、３９ｂから引き出された複数の個別接点５３、及び、複数の共通接点５６が、振動膜４０の上面の、圧電膜４３から走査方向の内側に離れた領域に配置されている。これにより、複数の個別接点５３と複数の共通接点５６とが、同一の平面上に配置され、圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５との接合が簡単になる。

また、本実施の形態では、振動膜４０の上面の、保護部材２６の穴２６ｂ及びインク供給部材２７の穴２７ａから露出した部分、すなわち、保護部材２６及びインク供給部材２７と重ならない部分に、接点５３、５４、５６が配置されている。これにより、接点５３、５４、５６に対してＣＯＦ２５を接続することができる。

また、圧電アクチュエータ２４と接合される基材７１の下面７１ａには、複数の個別接点７２よりも右側に複数の共通接点７６ｂが配置されている。そのため、本実施の形態と異なり、基材７１の下面７１ａに個別配線を設けると、例えば、後述の変形例１（図９参照）のように、複数の共通接点７６ｂを迂回するように個別配線を引き回す必要がある。これに対して、本実施の形態では、共通接点７６ａ、７６ｂのない基材７１の上面７１ｂに個別配線７３を配置するため、個別配線７３の引き回しの自由度を高くすることができる。

また、本実施の形態では、圧電アクチュエータ２４において、複数の個別配線５２が搬送方向（本発明の「第１方向」）に配列されているのに対して、ＣＯＦ２５において複数の個別接点７２が搬送方向（本発明の「第３方向」）に配列されている。すなわち、本発明の第３方向が本発明の第１方向と平行な方向である。また、圧電アクチュエータ２４において、個別配線５２が圧電素子４１から走査方向（本発明の「第２方向」）に引き出されているのに対して、ＣＯＦ２５の基材７１が、圧電アクチュエータ２４との接続部分から、走査方向（本発明の「第４方向」）に延びている。すなわち、本発明の第４方向が、本発明の第２方向と平行な方向となっている。これにより、圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５とによって構成されるアクチュエータ装置を構造の簡単なものとすることができる。

また、本実施の形態では、圧電アクチュエータ２４に、複数の個別接点５３、２つの共通接点５４及び複数の共通接点５６といった多数の接点が高密度に配置されている。また、これに対応して、ＣＯＦ２５の基材７１の下面７１ａに、複数の個別接点７２、２つの共通接点７５及び複数の共通接点７６ａ、７６ｂといった多数の接点が高密度に配置されている。そこで、本実施の形態では、圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５とを、ＮＣＦ８０を用いたＮＣＦ接合によって接合している。これにより、上記のように多数の接点が高密度に配置されている場合に、接点間がショートしてしまうのを防止することができる。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。

上述の実施の形態では、個別接点７２を基材７１の上面７１ｂに引き出し、個別配線７３やドライバＩＣ７４を基材７１の上面に配置したが、これには限られない。例えば、変形例１では、図９、図１０に示すように、ＣＯＦ１０１において、基材７１の下面７１ａにドライバＩＣ７４が実装されている。そして、複数の個別接点７２は、基材７１の上面７１ｂには引き出されておらず、基材７１の下面７１ａに配置された複数の個別配線１０２と接続されている。複数の個別配線１０２は、共通接点７６ｂを迂回するように延び、ドライバＩＣ７４と接続されている。

また、変形例１では、２つの共通接点７５及び複数の共通接点７６ａ、７６ｂが基材７１の下面７１ａから上面７１ｂに引き出され、基材７１の上面７１ｂに配置された共通配線１０３と接続されている。共通配線１０３は、共通接点７５、７６ａ、７６ｂにわたって走査方向及び搬送方向に延びた部分１０３ａと、部分１０３ａの搬送方向の両端部から右側に延びた２つの部分１０３ｂとを有する。また、変形例１では、図９に示すように、共通接点７６ａのすぐ右側に位置する折れ曲がり線Ｌ２において上方に折り曲げられている。

また、上述の実施の形態や変形例１では、２つの圧電素子列３９ａ、３９ｂの両方から共通接点５６ａ、５６ｂが引き出されているが、これには限られない。

例えば、変形例２では、図１１に示すように、圧電アクチュエータ１１０において、左側の圧電素子列３９ａからのみ、共通接点５６ａが引き出されている。すなわち、圧電アクチュエータ１１０には、右側の圧電素子列３９ｂから引き出された共通接点５６ｂ（図３参照）が存在しない。そして、図１２、図１３に示すように、ＣＯＦ１１１において、基材７１の下面７１ａに、複数の個別接点７２と接続される複数の個別配線１１２が配置されている。また、２つの共通接点７５及び複数の共通接点７６ａは、基材７１の上面７１ｂに引き出されている。また、基材７１の上面７１ｂに、２つの共通接点７５及び複数の共通接点７６ａと接続される共通配線１１３が配置されている。なお、変形例２では、ＣＯＦ１１１に共通接点７６ｂ（図６参照）が存在しない。

複数の個別配線１１２は、対応する個別接点７２と接続され、個別接点７２との接続部分から右側に向かって延びている。共通配線１１３は、複数の共通接点７６ａにわたって搬送方向に延びた部分１１３ａと、部分１１３ａの搬送方向の両端部から走査方向の右側に延びて、基材７１の上面７１ｂに引き出された共通接点７５と接続される２つの部分１１３ｂとを有する。

この場合には、ＣＯＦ１１１に、個別接点７２よりも基材７１の縁７１ｃから離れた共通接点７６ｂがなく、共通接点７６ａは、個別接点７２よりも基材７１の縁７１ｃに近い位置に配置されている。そして、個別配線１１２が、個別接点７２との接続部分から、共通接点７６ａと反対側（基材７１の縁７１ｃから離れる方向）に延びている。これにより、個別配線１１２を、共通接点７６ａを迂回するように引き回すことなくドライバＩＣ７４まで直線的に延ばすことができる。

また、上述の実施の形態では、ＣＯＦ２５が、圧電アクチュエータ２４との接合部分から、走査方向の片側にのみ引き出されていたが、これには限られない。変形例３では、図１４に示すように、ヘッドユニット１３０において、ＣＯＦ１３１の基材１３２が、圧電アクチュエータ２４との接合部分から走査方向の両側に引き出され、途中で上方に曲がって延びている。具体的には、図１５、図１６に示すように、基材１３２は、共通接点７６ａのすぐ左側に位置する折れ曲がり線Ｌ３、及び、共通接点７６ｂのすぐ右側に位置する折れ曲がり線Ｌ４において、それぞれ上方に折れ曲がっている。これにより、変形例４では、ＣＯＦ１３１の途中部分に、接点７２、７５、７６ａ、７６ｂが配置されている。また、ＣＯＦ１３１において、基材１３２の圧電アクチュエータ２４との接合部分の両側に位置する部分の下面１３２ａに、それぞれ、ドライバＩＣ７４が実装されている。

また、変形例３では、図１５に示すように、個別接点７２ａと接続される個別配線１３３ａが、基材１３２の下面１３２ａに配置され、隣接する共通接点７６ｂの間の領域を通って、左側のドライバＩＣ７４まで直線的に延びている。また、個別接点７２ｂと接続される個別配線１３３ｂは、基材１３２の下面１３２ａに配置され、隣接する共通接点７６ａの間の領域を通って、右側のドライバＩＣ７４まで直線的に延びている。すなわち、変形例４では、個別接点７２ａと接続される個別配線１３３ａと、個別接点７２ｂと接続される個別配線１３３ｂとが、個別接点７２ａ、７２ｂとの接続部分から走査方向の互いに反対側に延びている。

この場合、搬送方向において、個別接点７２ａが、隣接する共通接点７６ｂの間に位置するため、個別配線１３３ａを個別接点７２ａからドライバＩＣ７４まで直線的に延ばすことができる。すなわち、個別配線１３３ａを、共通接点７６ｂを迂回するように引き回す必要がない。また、搬送方向において、個別接点７２ｂが、隣接する共通接点７６ａの間に位置するため、個別配線１３３ｂを個別接点７２ｂからドライバＩＣ７４まで直線的に延ばすことができる。すなわち、個別配線１３３ｂを、共通接点７６ａを迂回するように引き回す必要がない。

また、変形例３では、図１６に示すように、共通接点７５、７６ａ、７６ｂは、基材１３２の上面１３２ｂに引き出されている。共通配線１３４は、基材１３２の上面１３２ｂに配置されている。共通配線１３４は、共通接点７５、７６ａ、７６ｂにわたって走査方向及び搬送方向に延びた部分１３４ａと、部分１３４ａの搬送方向の両端部から、走査方向の両側に延びた２つの部分１３４ｂとを有する。

また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ２４の複数の個別配線５２、及び、複数の個別接点５３、７２が搬送方向に並び、ＣＯＦ２５が圧電アクチュエータ２４との接合部分から走査方向に延びていたが、これには限られない。例えば、複数の個別接点５３、７２が、複数の個別配線５２が並ぶ搬送方向（本発明の「第１方向」）に対して傾いた方向（本発明の「第３方向」）に並んでおり、ＣＯＦが圧電アクチュエータ２４との接合部分から、上記第３方向と交差する第４方向に延びていてもよい。また、このとき、第４方向は、走査方向（本発明の「第２方向」）と平行な方向であってもよいし、走査方向に対して傾いた方向であってもよい。あるいは、第３方向が搬送方向と平行な方向であり、第４方向が走査方向に対して傾いた方向であってもよい。

また、上述の実施の形態では、全ての個別配線５２の個別接点５３の延長線上に、共通接点５６が配置されていたが、これには限られない。変形例４では、図１７に示すように、ヘッドユニット１４０において、圧電素子列３９ａから引き出された複数の個別配線５２を、隣接する３つの個別配線５２によってそれぞれ構成される、搬送方向に並んだ４つの配線群１４１ａに区分する。そして、各配線群１４１ａを構成する個別配線５２のうち、搬送方向の中央に位置する１つの個別配線５２の延長線上にのみ、圧電素子列３９ｂから引き出された共通接点１４２ａが配置されている。

同様に、変形例４では、圧電素子列３９ｂから引き出された複数の個別配線５２を、隣接する３つの個別配線５２によってそれぞれ構成される、搬送方向に並んだ４つの配線群１４１ｂに区分する。そして、各配線群１４１ｂを構成する個別配線５２のうち、搬送方向の中央に位置する１つの個別配線５２の延長線上にのみ、圧電素子列３９ａから引き出された共通接点１４２ｂが配置されている。

変形例４のように、一部の個別配線５２の延長線上にのみ共通接点１４２ａ、１４２ｂを配置する場合でも、共通電極４９の電位のばらつきを抑えることができる。また、この場合には、上述の実施の形態の場合と比較して、共通配線の数が少ない分、圧電アクチュエータにおける配線や接点の密度を小さくすることができる。

なお、配線群１４１ａ、１４１ｂの数は４つであることには限られず、２つ、３つ又は５つ以上であってもよい。また、各配線群１４１ａ、１４１ｂを構成する個別配線５２の数は３つであることには限られず、２つ又は４つ以上であってもよい。また、配線群１４１ａの間、及び、配列群１４１ｂの間で、個別配線５２の数が異なっていてもよい。

また、配線群１４１ａ、１４１ｂを構成する複数の個別配線５２のうち、搬送方向の中央に位置する１つの個別配線５２の延長線上に、共通接点１４２ａ、１４２ｂが配置されることにも限られない。配線群１４１ａ、１４１ｂを構成する複数の個別配線５２のうち、搬送方向の中央以外の１つの個別配線５２の延長線上に、共通接点１４２ａ、１４２ｂが配置されていてもよい。

また、上述の実施の形態では、２つの圧電素子列３９ａ、３９ｂから引き出された複数の個別接点５３が搬送方向に並び、複数の共通接点５６ａが、複数の個別接点５３よりも左側の位置において搬送方向に並び、複数の共通接点５６ｂが、複数の個別接点５３よりも右側の位置において搬送方向に並んでいる。すなわち、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ２４に、個別接点５３の接点列と、共通接点５６ａの接点列と、共通接点５６ｂの接点列の合計３列の接点列が、走査方向に並んでいる。しかしながら、これには限られない。

例えば、変形例５では、図１８に示すように、ヘッドユニット１５０において、圧電素子列３９ａから引き出された複数の個別接点１５１ａと複数の共通接点１５２ａとが、搬送方向に交互に並んで１つの接点列１５３ａ（本発明の「第１の接点列」）を形成している。また、圧電素子列３９ｂから引き出された複数の個別接点１５１ｂと複数の共通接点１５２ｂとが、搬送方向に交互に並んで１つの接点列１５３ｂ（本発明の「第２の接点列」）を形成している。すなわち、変形例６では、個別接点５３と共通接点５６とが交互に並ぶ接点列が、走査方向に２列に並んでいる。なお、この場合でも、個別接点１５１ａの長さ方向の延長線上に共通接点１５２ｂが配置され、個別接点１５１ｂの長さ方向の延長線上に共通接点１５２ａが配置される。

変形例５の場合には、上述の実施の形態の場合と比較して、走査方向に並ぶ接点列の数が少ないため、圧電アクチュエータのＣＯＦ２５との接続を行うための接点が配置される領域の走査方向の長さが短い。これにより、ＣＯＦ２５の圧電アクチュエータとの接合部分の面積を小さくすることができる。

また、上述の実施の形態では、複数の個別配線５２の長さ方向が走査方向と平行であったが、これには限られない。個別配線５２の長さ方向が、走査方向に対して傾いた方向であってもよい。また、この場合、個別配線５２間で、個別配線５２の長さ方向の走査方向に対する傾きが異なっていてもよい。そして、この場合には、走査方向に対して傾いた、各個別配線の長さ方向における延長線上に共通接点を設ければよい。

また、上述の実施の形態では、走査方向における個別接点５３と共通接点５６との離間距離Ｄ１が、搬送方向における個別接点５３の配列間隔Ｄ２よりも大きくなっていたが、離間距離Ｄ１は、配列間隔Ｄ２以下であってもよい。

また、上述の実施の形態では、共通接点５６が、個別接点５３の配置面である振動膜４０の上面に配置されていたが、これには限られない。例えば、個別接点５３と共通接点５６とが、振動膜４０の上面以外の同じ面上に配置されていてもよい。あるいは、共通接点５６は、圧電膜４３の上面など、個別接点５３の配置面とは異なる面に配置されていてもよい。

また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ２４の上面に保護部材２６が配置され、接点５３、５４、５６が、保護部材２６と重ならない位置に配置されていたが、これには限られない。例えば、圧電アクチュエータ２４の上面に保護部材２６が配置されていなくてもよい。

また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５とをＮＣＦ接合によって接合したが、これには限られない。例えば、圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５との間にＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film、異方性導電膜）を配置し、ＣＯＦ２５を、加熱しつつ、圧電アクチュエータ２４に向けて押圧することによって、ＡＣＦの対応する接点に挟まれた部分に導電性を持たせて接点同士を導通させる、いわゆるＡＣＦ接合によって圧電アクチュエータ２４とＣＯＦ２５とを接合させてもよい。

また、以上の例では、走査方向並んだ２つの圧電素子列３９の間の領域に個別接点を配置したが、これには限られない。例えば、変形例６では、図１９、図２０に示すように、ヘッドユニット２００は、流路基板２２１、ノズルプレート２２０、及び、圧電アクチュエータ２２２を備えている。

流路基板２２１は、複数の圧力室２２６が形成された基板である。ノズルプレート２２０は、複数のノズル２２４が形成された薄板状の部材であり、流路基板２２１の下面に接合されている。圧電アクチュエータ２２２は、流路基板２２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２２は、振動膜２３０、複数の圧電素子２４０、保護膜２４３、層間絶縁膜２３６、配線２３５、及び、配線保護膜２３７を有する。

圧電アクチュエータ２２２の、複数の圧力室２２６の走査方向のノズル２２４と反対側の端部とそれぞれ重なる位置には、複数の連通孔２２２ａが形成されている。そして、これら複数の連通孔２２２ａを介して、複数の圧力室２２６に供給される。

振動膜２３０は、流路基板２２１の上面の全域に、複数の圧力室２２６を覆うように配置されている。複数の圧電素子２４０は、振動膜２３０を挟んで、複数の圧力室２２６とそれぞれ対向して配置されている。各圧電素子２４０は、下電極２３１（本発明の「第２電極」）、圧電膜２３２、及び、上電極２３３（本発明の「第１電極」）を有する。

下電極２３１は、振動膜２３０の上面の、圧力室２２６と対向する領域に形成されている。また、図１９に示すように、複数の圧力室２２６の間の領域には下電極２３１と同じ材料によって導電膜２３８が形成され、この導電膜２３８により、複数の圧電素子２４０の間で下電極２３１同士が導通している。言い換えれば、振動膜２３０の上面のほぼ全域に、複数の下電極２３１とそれらの間の導電膜２３８からなる、１つの大きな共通電極２３９が配置されている。

圧電膜２３２は、振動膜２３０の圧力室２２６と対向する領域において、下電極２３１の上に形成されている。圧電膜２３２は、圧力室２２６よりも小さい、走査方向に長い矩形の平面形状を有する。上電極２３３は、圧電膜２３２よりも一回り小さい、矩形の平面形状を有する。上電極２３３は、圧電膜２３２の上面の中央部に形成されている。保護膜２３４は、複数の圧電素子２４０の圧電膜２３２に跨って、振動膜２３０の上面のほぼ全域にわたって形成されている。

層間絶縁膜２３６は、保護膜２３４の上に形成されている。層間絶縁膜２３６の上には、複数の個別配線２３５（本発明の「第１個別配線」）が配置される。個別配線２３５の一端部は、圧電膜２３２の右端部の上面に、保護膜２３４及び層間絶縁膜２３６を介して被さるように配置されている。また、保護膜２３４と層間絶縁膜２３６の、上電極２３３の右端部を覆う部分には、これらの膜を貫通するように配置されたスルーホール２５５が設けられている。そして、スルーホール２５５を介して個別配線２３５と上電極２３３の右端部とが導通している。また、複数の圧電素子２４０に対応する複数の個別配線２３５は、上電極２３３からそれぞれ右方へ引き出されている。

なお、左右２つの圧電素子列２４１ａ、２４１ｂのうち、左側の圧電素子列２４１ａから引き出された個別配線２３５は、右側の圧電素子列２４１ｂの圧電素子２４０間において、層間絶縁膜２３６の上に配置されている。すなわち、左側の圧電素子２４０に接続された個別配線２３５は、隔壁２２８の上方において、右側の２つの圧電素子２４０の間を通過して右方へ延びている。

個別配線２３５の下の層間絶縁膜２３６は、流路基板２２１の右端部まで形成されている。流路基板２２１の右端部においては、層間絶縁膜２３６の上に、複数の個別接点２４２（本発明の「第１個別接点」）が搬送方向に並べて配置されている。上電極２３３から右方へ引き出された配線２３５は個別接点２４２と接続されている。また、流路基板２２１の右端部には、複数の個別接点２４２よりもさらに右側に、搬送方向に延びた共通接点２４３（本発明の「第１共通接点」）が配置されている。これにより、共通接点２４３は、複数の配線２３５の長さ方向における、複数の個別接点２４２の延長線上に配置されている。一方、共通電極２３９は、共通接点２４３と対向する位置まで右側まで延びている。そして、共通接点２４３は、保護膜２３４及び層間絶縁膜２３６を貫通する複数のスルーホール２４５を介して、共通電極２３９と接続されている。複数のスルーホール２４５は、例えば、保護膜２３４及び層間絶縁膜２３６の、個別配線２３５の個別接点２４２の延長線上の位置に配置されている。

配線保護膜２３７は、層間絶縁膜２３６の上に、複数の個別配線２３５を覆うように形成されている。配線保護膜２３７は、流路基板２２１の右端部まで延び、個別配線２３５の個別接点２４２との接続箇所までの部分を覆っている。一方、複数の個別接点２４２と共通接点２４３は、配線保護膜２３７から露出している。

図１９、図２０に示すように、圧電アクチュエータ２２２の右端部の上面には、ＣＯＦ２５０がそれぞれ接合されている。そして、ＣＯＦ２５０は、図２１、図２２に示すように、基材２６１と、複数の個別接点２６２（本発明の「第２個別接点」）と、複数の個別配線２６３（本発明の「第２個別配線」）と、ドライバＩＣ２６４と、１つの共通接点２６５（本発明の「第２共通接点」）と、２つの共通配線２６６（本発明の「第２共通配線」）とを備えている。

基材２６１は、ポリイミドなどの合成樹脂材料などからなるフィルム状の部材である。複数の個別接点２６２は、基材２６１の下面２６１ａの個別接点２４２と対向する部分に配置され、個別接点２４２と接続されている。また、個別接点２６２は、基材２６１に形成された図示しないスルーホールを介して基材２６１の上面２６１ｂに引き出されている。複数の個別配線２６３は、基材２６１の上面２６１ｂに配置されている。複数の個別配線２６３は複数の個別接点２６２に対して個別のものであり、基材２６１の上面２６１ｂに引き出された個別接点２６２と接続され、個別接点２６２との接続部分から走査方向の右側に向かって延びている。複数の個別配線２６３の個別接点２６２と反対側の端は、基材２６１の上面２６１ｂに配置されたドライバＩＣ２６４に接続されている。

共通接点２６５は、基材２６１の下面２６１ａの共通接点２４３と対向する部分に配置され、搬送方向に延びており、共通接点２４３と接続されている。共通配線２６６は、基材２６１の下面２６１ａに配置されている。共通配線２６６は、共通接点２６５の搬送方向の両端部に接続され、共通接点２６５との接続部分から走査方向の右側に向かって延びている。

変形例６の場合にも、個別配線２３５の長さ方向における個別接点２４２の延長線上に搬送方向に延びた共通接点２４３が配置され、共通電極２３９と共通接点２４３とが、搬送方向に並んだ複数のスルーホール２４５を介して接続されているため、圧電素子２４０同士の間隔を広げることなく、共通電極２３９の電位を均一にすることができる。

また、上述の実施の形態や変形例１〜５等、変形例６以外の場合においても、複数の圧電素子４１の下電極４２同士が繋がって共通電極を形成し、上電極４４が個別電極となっていてもよい。なお、この場合には、上電極４４が本発明の第１電極に相当し、下電極４２が本発明の第２電極に相当する。

また、以上の例では、圧電アクチュエータが走査方向にならんだ２つの圧電素子列３９ａ、３９ｂを有するものであったが、これには限られない。例えば、圧電アクチュエータが圧電素子列を１つだけ有するものであってもよい。

また、以上では、圧電膜を第１電極と第２電極とで挟んだ圧電素子を有する圧電アクチュエータにＣＯＦが接合されたアクチュエータ装置に本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。第１電極と第２電極とを有する圧電素子以外の駆動素子を備えたアクチュエータと、アクチュエータに接続される配線部材とを備えたアクチュエータ装置に本発明を適用することも可能である。

また、アクチュエータ装置は、インクジェットヘッドに用いられるものであることにも限られない。インクジェットヘッド以外の装置に用いられるアクチュエータ装置に本発明を適用することも可能である。

２４ 圧電アクチュエータ
２５ ＣＯＦ
２６ 保護部材
３９ａ、３９ｂ 圧電素子列
４１ 圧電素子
４２ 下電極
４４ 上電極
５２ 個別配線
５３ 個別接点
５５ 共通配線
５６ 共通接点
７１ 基材
７２ 個別接点
７３ 個別配線
７６ａ、７６ｂ 共通接点
７７ 共通配線
８０ 非導電性接着剤
１０１、１１１、１２１、１３１、２５０ ＣＯＦ
１０２、１１２、１２２ａ、１２２ｂ、１３３ａ、１３３ｂ 個別配線
１０３、１１３、１２３、１３４ 共通配線
１４１ａ、１４１ｂ 配線群
１４２ａ、１４２ｂ 共通接点
１５１ａ、１５１ｂ 個別接点
１５２ａ、１５２ｂ 共通接点
１５３ａ、１５３ｂ 接点列
２２２ 圧電アクチュエータ
２３１ 下電極
２３２ 圧電膜
２３３ 上電極
２３９ 共通電極
２４０ 圧電素子
２５０ ＣＯＦ
２６１ 基材
２６２ 個別接点
２６３ 個別配線
２６５ 共通接点
２６６ 共通配線

Claims (19)

1. 第１電極と第２電極とをそれぞれを有し、第１方向に配列された複数の駆動素子と、
   前記複数の駆動素子の前記第１電極から、前記駆動素子の配置面と平行、且つ、前記第１方向と交差する第２方向に引き出され、前記第１方向に間隔を空けて並ぶ複数の第１個別配線と、
   前記複数の第１個別配線の先端部にそれぞれ設けられた複数の第１個別接点と、
   前記複数の駆動素子の前記第２電極が互いに導通してなる共通電極から引き出された第１共通接点と、を有するアクチュエータと、
   前記アクチュエータの前記複数の第１個別接点と前記第１共通接点に接合される配線部材と、を備え、
   前記第１共通接点は、前記第１個別配線の前記第１個別接点の先の延長線上の位置に配置されていることを特徴とするアクチュエータ装置。
2. 前記複数の駆動素子は、前記第２方向に並ぶ２つの駆動素子列を形成し、
   前記２つの駆動素子列の間で、前記駆動素子の位置が前記第１方向にずれており、
   前記第１個別配線が、各駆動素子列を形成する前記駆動素子の前記第１電極から、前記２つの駆動素子列の間の領域まで引き出され、
   一方の駆動素子列から引き出された前記第１個別配線と、他方の駆動素子列から引き出された前記第１個別配線とが、前記第１方向に交互に並んでいることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。
3. 各駆動素子列を形成する複数の前記駆動素子について、前記第２電極同士が互いに導通することにより前記共通電極が形成され、
   第１共通配線が、前記一方の駆動素子列の前記共通電極から、前記２つの駆動素子列の間の領域にまで引き出され、
   前記第１共通配線の先端部に設けられた前記第１共通接点が、前記他方の駆動素子列から引き出された前記第１個別配線の前記第１個別接点の延長線上に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ装置。
4. 前記一方の駆動素子列から引き出された前記第１共通接点は、前記第１方向において、前記一方の駆動素子列から引き出された２本の前記第１個別配線の間の領域に配置されていることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ装置。
5. 前記一方の駆動素子列から引き出された前記第１個別接点と前記第１共通接点とが、前記第１方向に交互に配置されて、第１の接点列を形成し、
   前記他方の駆動素子列から引き出された前記第１個別接点と前記第１共通接点とが、前記第１方向に交互に配置されて、前記第１の接点列と前記第２方向に並ぶ、第２の接点列を形成していることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ装置。
6. 前記配線部材は、
   基材と、
   前記基材の前記アクチュエータ側の面に配置され、前記複数の第１個別接点とそれぞれ接続される複数の第２個別接点と、
   前記基材の前記アクチュエータ側の面に配置され、前記第１共通接点と接続される第２共通接点と、
   前記複数の第２個別接点にそれぞれ繋がる複数の第２個別配線と、
   前記第２共通接点に繋がる第２共通配線と、を有することを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載のアクチュエータ装置。
7. 前記一方の駆動素子列から引き出された前記第１共通接点が、前記他方の駆動素子列のから引き出された前記第１個別配線の延長線上に配置され、
   前記他方の駆動素子列から引き出された前記第１共通接点が、前記一方の駆動素子列から引き出された前記第１個別配線の延長線上に配置され、
   前記基材の前記アクチュエータ側の面において、
   前記一方の駆動素子列から引き出された複数の前記第１個別接点と接続される前記複数の第２個別接点と、前記他方の駆動素子列から引き出された複数の前記第１個別接点と接続される前記複数の第２個別接点とが、第３方向に並び、
   前記一方の駆動素子列から引き出された前記第１共通接点と接続される前記第２共通接点が、前記他方の駆動素子列から引き出された複数の前記第１個別接点と接続される前記複数の第２個別接点に対して、前記基材と平行で、且つ、前記第３方向と交差する第４方向の一方側に配置され、
   前記他方の駆動素子列から引き出された前記第１共通接点と接続される前記第２共通接点が、前記一方の駆動素子列から引き出された複数の前記第１個別接点と接続される前記複数の第２個別接点に対して、前記第４方向の他方側に配置されていることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ装置。
8. 前記一方の駆動素子列から引き出された複数の前記第１個別接点と接続される前記第２個別接点が、前記他方の駆動素子列から引き出された前記第１共通接点と接続される前記第２共通接点よりも、前記第４方向において前記基材の縁に近い位置に配置され、
   前記一方の駆動素子列から引き出された前記第１個別接点と接続される前記第２個別配線は、前記配線部材の前記アクチュエータ側の面に配置され、前記第２個別接点から、前記他方の駆動素子列から引き出された前記第１共通接点と接続される前記第２共通接点を迂回して、前記基材の縁から離れる方向に延びていることを特徴とする請求項７に記載のアクチュエータ装置。
9. 前記基材の前記第４方向における途中部に、前記複数の第２個別接点と前記第２共通接点が配置され、
   前記第４方向において、前記一方の駆動素子列から引き出された前記第１個別接点と接続される前記第２個別配線と、前記他方の駆動素子列から引き出された前記第１個別接点と接続される前記第２個別配線とが、互いに反対側に延びていることを特徴とする請求項７に記載のアクチュエータ装置。
10. 前記２つの駆動素子列のうち、前記一方の駆動素子列の前記共通電極に対してのみ、前記第１共通接点が配置され、
    前記一方の駆動素子列から引き出された前記第１共通接点が、前記他方の駆動素子列から引き出された前記第１個別配線の延長線上に配置され、
    前記基材の前記アクチュエータ側の面において、
    前記一方の駆動素子列から引き出された複数の前記第１個別接点と接続される前記複数の第２個別接点と、前記他方の駆動素子列から引き出された複数の前記第１個別接点と接続される前記複数の第２個別接点とが、第３方向に並び、
    前記一方の駆動素子列から引き出された前記第１共通接点と接続される前記第２共通接点が、前記他方の駆動素子列から引き出された複数の前記第１個別接点と接続される前記複数の第２個別接点に対して、前記第３方向と交差する第４方向の一方側に配置されていることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ装置。
11. 前記第３方向が前記第１方向と平行な方向であり、
    前記第４方向が前記第２方向と平行な方向であることを特徴とする請求項７〜１０のいずれかに記載のアクチュエータ装置。
12. 前記複数の第２個別配線が、前記基材の前記アクチュエータ側の面に配置され、
    前記第２共通接点が、前記基材の前記アクチュエータと反対側の面に引き出され、
    前記第２共通配線が、前記基材の前記アクチュエータと反対側の面に配置されていることを特徴とする請求項６〜１１のいずれかに記載のアクチュエータ装置。
13. 前記複数の第２個別接点が、前記基材の前記アクチュエータと反対側の面に引き出され、
    前記複数の第２個別配線が、前記基材の前記アクチュエータと反対側の面に配置されていることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ装置。
14. 前記複数の第１個別配線が、それぞれ２以上の前記第１個別配線を含む複数の配線群に区分され、
    各配線群に属する前記２以上の第１個別配線のうちのいずれか１つの前記第１個別配線の前記第１個別接点の延長線上に、前記第１共通接点が配置されていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のアクチュエータ装置。
15. 前記第１共通接点は、前記複数の第１個別接点の配置面と同じ面に配置されていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載のアクチュエータ装置。
16. 前記駆動素子は、前記第１電極と前記第２電極との間に配置された圧電膜を有し、
    前記複数の第１個別接点と前記第１共通接点は、前記圧電膜から離れた領域に配置されていること特徴とする請求項１５に記載のアクチュエータ装置。
17. 前記第１個別配線の配線長さ方向における前記第１個別接点と前記第１共通接点との離間距離が、前記複数の第１個別接点の前記第１方向における配列間隔よりも大きいことを特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載のアクチュエータ装置。
18. 前記アクチュエータに、前記複数の駆動素子を覆うように配置される保護部材をさらに備え、
    前記複数の第１個別接点及び前記第１共通接点は、前記アクチュエータの前記保護部材と重ならない領域に配置されていることを特徴とする請求項１〜１７のいずれかに記載のアクチュエータ装置。
19. 前記配線部材は、非導電性接着剤によって前記アクチュエータに接合されていることを特徴とする請求項１〜１８のいずれかに記載のアクチュエータ装置。

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