JP7293890B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents
液体吐出ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP7293890B2 JP7293890B2 JP2019108433A JP2019108433A JP7293890B2 JP 7293890 B2 JP7293890 B2 JP 7293890B2 JP 2019108433 A JP2019108433 A JP 2019108433A JP 2019108433 A JP2019108433 A JP 2019108433A JP 7293890 B2 JP7293890 B2 JP 7293890B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid ejection
- ejection head
- individual
- head according
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
前記ノズル基板の前記第2面と対向する第3面を有し、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の流路が形成された流路基板と、
前記流路基板の前記第3面に前記複数の流路にそれぞれ対応して形成された複数の圧電素子であって、前記第1方向に並べられた複数の圧電素子とを備え、
前記流路基板の前記第3面には、前記複数の圧電素子のそれぞれから前記第1方向と交差する第2方向に引き出された複数の個別配線が形成されており、
前記ノズル基板の前記第2面には、前記第1方向に延び前記複数の圧電素子に共通する共通配線が形成されており、
前記複数の個別配線は、前記複数の圧電素子と接続される複数の第1端と、前記第2方向において前記複数の圧電素子とは反対側の複数の第2端とを有し、
前記共通配線は、前記第2方向において前記複数の第1端と前記複数の第2端との間に位置し、且つ、前記複数の個別配線から前記第1面と直交する第3方向に離隔している液体吐出ヘッドが提供される。
本発明の第1実施形態について説明する。まず、図1を参照してインクジェットプリンタ1の概略構成について説明する。尚、図1に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、図1における紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。以下では、前後左右上下の各方向語を適宜使用して説明する。
図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2、キャリッジ3、インクジェットヘッド4、搬送機構5、及びコントローラ6を主に備えている。
次に、ヘッドユニット25の構成について詳細に説明する。尚、4つのヘッドユニット25はそれぞれ同じ構成を有するため、以下では、4つのヘッドユニット25のうちの1つについて説明する。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態は、ノズルプレート及び圧力室形成プレートの構成以外は、第1実施形態と同様であるため、以下では、第2実施形態に係るノズルプレート130及び圧力室形成プレート140について、第1実施形態との相違点を中心に説明する。
4 インクジェットヘッド
25 ヘッドユニット
30、130 ノズルプレート
31 ノズル
32 ドライバ
33、44、45 電極パッド
34 共通配線
35 出力端子
36 絶縁膜
40 圧力室形成プレート
41 振動板
42 圧力室形成基板
43 圧力室
50 圧電素子
54 個別配線
60 絞り流路形成プレート
70 マニホールド流路形成プレート
81、82、83、84 バンプ
Claims (11)
- 複数のノズルが開口する第1面と、前記第1面とは反対側の第2面とを有し、ドライバが形成されたノズル基板であって、前記複数のノズルは前記第1面に沿って第1方向に並べられているノズル基板と、
前記ノズル基板の前記第2面と対向する第3面を有し、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の流路が形成された流路基板と、
前記流路基板の前記第3面に前記複数の流路にそれぞれ対応して形成された複数の圧電素子であって、前記第1方向に並べられた複数の圧電素子とを備え、
前記流路基板の前記第3面には、前記複数の圧電素子のそれぞれから前記第1方向と交差する第2方向に引き出された複数の個別配線が形成されており、
前記ノズル基板の前記第2面には、前記第1方向に延び前記複数の圧電素子に共通する共通配線が形成されており、
前記複数の個別配線は、前記複数の圧電素子と接続される複数の第1端と、前記第2方向において前記複数の圧電素子とは反対側の複数の第2端とを有し、
前記共通配線は、前記第2方向において前記複数の第1端と前記複数の第2端との間に位置し、且つ、前記複数の個別配線から前記第1面と直交する第3方向に離隔している液体吐出ヘッド。 - 前記ノズル基板の前記第2面と前記流路基板の前記第3面とは、複数のバンプを介して接続されている請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記流路基板の前記第3面の、前記第1方向の一方側の端部には、配線部材と接続される複数の第1電極パッドが形成されている請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記複数の第1電極パッドには、前記共通配線と電気的に接続される第1パッドが含まれる請求項3に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記流路基板の前記第3面の、前記複数の第1電極パッドと前記複数の圧電素子との間には、前記複数の第1電極パッドとそれぞれ複数の配線で接続された複数の第2電極パッドが形成されており、
前記複数の第2電極パッドには、前記第1パッドと接続される第2パッドが含まれており、
前記ノズル基板の前記第2面には、複数の第3電極パッドが形成されており、
前記複数の第3電極パッドには、前記共通配線と接続された第3パッドが含まれており、
前記複数のバンプには、前記第2パッドと前記第3パッドとを接続する第1バンプが含まれている請求項4に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記共通配線は、前記第3パッドから、前記第1方向に沿って前記第1方向の他方側に延びている請求項5に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記複数の圧電素子は、前記流路基板の前記第3面に形成された共通電極と、前記共通電極に前記第3方向に重ねられた圧電層と、前記圧電層に前記第3方向に重ねられた複数の個別電極とを含み、
前記複数のバンプには、前記共通配線と前記共通電極とを接続する複数の第2バンプが含まれている請求項2に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記複数の第2バンプは、前記第1方向に並べられており、
前記第1方向に隣り合う2つの第2バンプの間には、前記複数の個別配線に含まれる少なくとも1つの個別配線が配置されている請求項7に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記複数のバンプの各々の前記第3方向の厚みは、前記複数の圧電素子の各々の前記第3方向の厚みよりも大きい請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記共通配線は、前記第3パッドと接続された引出部と、前記引出部よりも前記第2方向の幅が広い幅広部とを有する請求項5又は6に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記共通配線は、絶縁膜により覆われている請求項1~10のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019108433A JP7293890B2 (ja) | 2019-06-11 | 2019-06-11 | 液体吐出ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019108433A JP7293890B2 (ja) | 2019-06-11 | 2019-06-11 | 液体吐出ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020199696A JP2020199696A (ja) | 2020-12-17 |
JP7293890B2 true JP7293890B2 (ja) | 2023-06-20 |
Family
ID=73741632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019108433A Active JP7293890B2 (ja) | 2019-06-11 | 2019-06-11 | 液体吐出ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7293890B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001205815A (ja) | 1999-11-15 | 2001-07-31 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2006116953A (ja) | 2004-09-24 | 2006-05-11 | Brother Ind Ltd | 液体噴射装置及びその製造方法 |
JP2006305987A (ja) | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2009202566A (ja) | 2008-01-31 | 2009-09-10 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法、並びに、プリンタ |
JP2014046580A (ja) | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッド |
JP2016179575A (ja) | 2015-03-24 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
JP2017064922A (ja) | 2015-09-28 | 2017-04-06 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
JP2017168748A (ja) | 2016-03-17 | 2017-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
-
2019
- 2019-06-11 JP JP2019108433A patent/JP7293890B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001205815A (ja) | 1999-11-15 | 2001-07-31 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2006116953A (ja) | 2004-09-24 | 2006-05-11 | Brother Ind Ltd | 液体噴射装置及びその製造方法 |
JP2006305987A (ja) | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2009202566A (ja) | 2008-01-31 | 2009-09-10 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法、並びに、プリンタ |
JP2014046580A (ja) | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッド |
JP2016179575A (ja) | 2015-03-24 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
JP2017064922A (ja) | 2015-09-28 | 2017-04-06 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
JP2017168748A (ja) | 2016-03-17 | 2017-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020199696A (ja) | 2020-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11305533B2 (en) | Liquid discharge apparatus and method for manufacturing the same | |
JP6736907B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、配線部材 | |
CN106553451B (zh) | 液体喷射装置 | |
JP6455167B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2011212865A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP6375992B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP6476848B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP7293890B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP2017132050A (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6676980B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP7039915B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP7247764B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
US11538978B2 (en) | Liquid discharge head | |
JP7047312B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP6878824B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
JP7002012B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2020032636A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP7151862B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP6958681B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、配線部材 | |
JP7302722B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP6476884B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6558191B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6179833B2 (ja) | 液滴吐出装置及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220607 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230509 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230522 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7293890 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |