JP6375992B2 - 液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents
液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6375992B2 JP6375992B2 JP2015034799A JP2015034799A JP6375992B2 JP 6375992 B2 JP6375992 B2 JP 6375992B2 JP 2015034799 A JP2015034799 A JP 2015034799A JP 2015034799 A JP2015034799 A JP 2015034799A JP 6375992 B2 JP6375992 B2 JP 6375992B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- individual electrodes
- piezoelectric film
- common electrode
- individual
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 83
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 67
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 10
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 36
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 31
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 6
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1646—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
前記共通電極は、前記隣接する2つの第2個別電極と対向する部分の間に、前記第1配線と重ならないように、前記第2方向における前記一方側から切り欠かれた切欠形状を有し、前記第1配線は、前記露出部から前記圧電膜の上面まで連続的に形成されていることを特徴とするものである。
ものである。
図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2と、キャリッジ3と、インクジェットヘッド4と、カートリッジホルダ5と、搬送機構6と、制御装置7等を備えている。
次に、インクジェットヘッド4の詳細構成について説明する。図2は、4つのヘッドユニット20が取り付けられたキャリッジ3の断面図である。図3は、インクジェットヘッド4の1つのヘッドユニット20の上面図である。
次に、ヘッドユニット20の具体的な構成について説明する。尚、インクジェットヘッド4の4つのヘッドユニット20は、全て同じ構成であるため、そのうちの1つについて説明を行い、他のヘッドユニット20については説明を省略する。図4は、図3のIV-IV線断面図である。図5は、ヘッドユニット20(上部基板46)の上面図である。図6(a)は図5のA−A線断面図、(b)は図5のB−B線断面図である。尚、図5では、図4、図6に示されている保護部材42が二点鎖線で概略的に示されている。
4 インクジェットヘッド
20 ヘッドユニット
30 ノズル
46 上部基板
49 圧電アクチュエータ
51a 第1圧力室
51b 第2圧力室
57 振動膜
60a 第1個別電極
60b 第2個別電極
61 圧電膜
62 共通電極
63 補助導体
63a 第1導電部
63b 第2導電部
63a 第3導電部
64 スリット
65 第1露出部
68 切欠部
70 電気接続部
71a 第1駆動接点
71b 第2駆動接点
72 グランド接点
73a 第1配線
73b 第2配線
80 切欠部
81 開口部
83 補助導体
85 第1露出部
Claims (21)
- 第1方向に沿って配列された複数の第1圧力室と、前記第1方向に沿って配列され、且つ、前記複数の第1圧力室に対して前記第1方向と直交する第2方向における一方側に配置された複数の第2圧力室とを有する流路基板と、
前記第1圧力室と対向する複数の第1個別電極と、
前記第2圧力室と対向する複数の第2個別電極と、
複数の前記第1個別電極と複数の前記第2個別電極とを覆うように配置された圧電膜と、
前記圧電膜を覆い、且つ、前記複数の第1個別電極及び前記複数の第2個別電極と対向するように配置された共通電極と、
前記第1個別電極の前記圧電膜から露出した露出部に接続され、前記露出部から、前記第1方向において隣接する2つの前記第2個別電極の間を通過して、前記第2方向における前記一方側に延びる第1配線と、を備え、
前記共通電極は、前記隣接する2つの第2個別電極と対向する部分の間に、前記第1配線と重ならないように、前記第2方向における前記一方側から切り欠かれた切欠形状を有し、
前記第1配線は、前記露出部から前記圧電膜の上面まで連続的に形成されていることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記圧電膜の、前記第1方向において隣接する2つの前記第2個別電極の間の部分には、前記第2方向に沿って延びるスリットが形成され、
前記第1個別電極が、前記スリットまで延びて、前記スリットにおいて前記圧電膜から露出した部分を有し、前記スリットから露出した部分が前記露出部であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 - 前記共通電極の異なる2つの部分と接触する補助導体を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置。
- 前記補助導体は、前記第1個別電極よりも前記第2方向における他方側において前記第1方向に延び、且つ、前記第1方向において離れた前記共通電極の2つの部分と接触する第1導電部を有することを特徴とする請求項3に記載の液体吐出装置。
- 前記補助導体は、前記第1導電部から、前記第1方向に隣接する2つの前記第1個別電極の間において前記第2方向に延び、且つ、前記共通電極と接触する、第2導電部を有することを特徴とする請求項4に記載の液体吐出装置。
- 前記2つの第2個別電極の間を通過する前記第1配線の前記第1方向における幅と、前記2つの第1個別電極の間に配置された前記第2導電部の前記第1方向における幅とが等しいことを特徴とする請求項5に記載の液体吐出装置。
- 前記補助導体と前記第1配線とが同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項5又は6の何れかに記載の液体吐出装置。
- 前記補助導体と前記第1配線の厚みが同じであることを特徴とする請求項5〜7の何れかに記載の液体吐出装置。
- 前記第2導電部が配置されている領域において、前記共通電極に開口部が形成されていることを特徴とする請求項5〜8の何れかに記載の液体吐出装置。
- 前記共通電極の、前記第1方向に隣接する2つの第2個別電極と対向する部分の間に、前記第2方向に延びる切欠部が形成され、
前記共通電極の、前記第1方向に隣接する2つの第1個別電極と対向する部分の間に形成された前記開口部も、前記第2方向に延びており、
前記切欠部と前記開口部の間で、前記第2方向における長さと、前記第1方向における幅が、共に等しいことを特徴とする請求項9に記載の液体吐出装置。 - 前記補助導体は、
前記複数の第1個別電極及び前記複数の第2個別電極よりも前記第1方向における外側において、前記第1導電部から前記第2方向の前記一方側に延びる、第3導電部を有することを特徴とする請求項4〜10の何れかに記載の液体吐出装置。 - 前記第2個別電極から前記第2方向における前記一方側に延びる第2配線を備えていることを特徴とする請求項11に記載の液体吐出装置。
- 前記流路基板の、前記第2圧力室よりも前記第2方向における前記一方側に設けられ、前記第1配線と接続される第1接点と、前記第2配線と接続される第2接点と、前記補助導体の前記第3導電部に接続される第3接点とを有する、電気接続部を備えていることを特徴とする請求項12に記載の液体吐出装置。
- 前記補助導体は、前記第1方向に隣接する2つの前記第1個別電極の間において前記第2方向に延び、前記第2方向において離れた前記共通電極の2つの部分と接触することを特徴とする請求項3に記載の液体吐出装置。
- 前記2つの第2個別電極の間を通過する前記第1配線の前記第1方向における幅と、前記2つの第1個別電極の間に配置された前記補助導体の前記第1方向における幅とが等しいことを特徴とする請求項14に記載の液体吐出装置。
- 前記補助導体と前記第1配線とが同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項14又は15に記載の液体吐出装置。
- 前記補助導体と前記第1配線の厚みが同じであることを特徴とする請求項14〜16の何れかに記載の液体吐出装置。
- 前記第1配線は、金又はアルミニウムで形成されていることを特徴とする請求項1〜17の何れかに記載の液体吐出装置。
- 圧電アクチュエータの製造方法であって、
流路基板に、第1方向に沿って配列された複数の第1個別電極と、前記第1方向に沿って配列され、且つ、前記複数の第1個別電極に対して前記第1方向と直交する第2方向における一方側に配置された複数の第2個別電極とを形成する、個別電極形成工程と、
前記複数の第1個別電極及び前記複数の第2個別電極を覆うように圧電膜を成膜する、成膜工程と、
前記第1個別電極の一部分を覆っている前記圧電膜を除去して、前記圧電膜から露出する露出部を形成する露出部形成工程と、
前記圧電膜の前記流路基板と反対側の面に、前記複数の第1個別電極及び前記複数の第2個別電極と対向し、且つ、前記第1方向に隣接する2つの前記第2個別電極と対向する部分の間に、前記第2方向における前記一方側から切り欠かれた切欠形状を有する共通電極を形成する、共通電極形成工程と、
前記共通電極形成工程の後に、前記露出部に接続され、且つ、前記2つの第2個別電極の間の前記共通電極の前記切欠形状が形成された領域を通過して、前記第2方向における前記一方側に延びる配線を形成する、配線形成工程と、
を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記配線形成工程において、前記配線を、前記露出部から前記圧電膜の上面まで連続的に延びるように形成することを特徴とする請求項19に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記共通電極の異なる2つの部分とそれぞれ接触する補助導体を形成する、補助導体形成工程を備え、
前記配線と前記補助導体とを、同じ材料を用いて同一の成膜プロセスによって形成することを特徴とする請求項19又は20に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015034799A JP6375992B2 (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | 液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
US15/053,035 US9566789B2 (en) | 2015-02-25 | 2016-02-25 | Liquid discharge apparatus and method for producing piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015034799A JP6375992B2 (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | 液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016155305A JP2016155305A (ja) | 2016-09-01 |
JP6375992B2 true JP6375992B2 (ja) | 2018-08-22 |
Family
ID=56690222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015034799A Active JP6375992B2 (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | 液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9566789B2 (ja) |
JP (1) | JP6375992B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6492756B2 (ja) | 2015-02-25 | 2019-04-03 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
JP7040090B2 (ja) * | 2017-06-15 | 2022-03-23 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
CN109130489B (zh) * | 2017-06-15 | 2021-12-07 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射头、以及液体喷射装置 |
JP7014065B2 (ja) * | 2018-06-29 | 2022-02-01 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
JP7035853B2 (ja) * | 2018-06-29 | 2022-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置 |
JP7237531B2 (ja) * | 2018-11-02 | 2023-03-13 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドとその製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1169670C (zh) * | 2000-02-25 | 2004-10-06 | 松下电器产业株式会社 | 喷墨头及喷墨式记录装置 |
JP2003246065A (ja) | 2001-12-20 | 2003-09-02 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2005059430A (ja) * | 2003-08-14 | 2005-03-10 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
JP4218594B2 (ja) | 2004-06-08 | 2009-02-04 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
JP5194371B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2013-05-08 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、液体移送装置及び圧電アクチュエータの製造方法 |
JP2008218917A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Fujifilm Corp | 圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ及び液体吐出ヘッド |
JP2008273218A (ja) * | 2008-08-22 | 2008-11-13 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びアクチュエータユニットの製造方法 |
JP2014054835A (ja) | 2012-08-17 | 2014-03-27 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
JP6028944B2 (ja) | 2012-08-17 | 2016-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射装置 |
JP6123992B2 (ja) * | 2013-03-05 | 2017-05-10 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及びその製造方法 |
JP6168281B2 (ja) * | 2013-03-13 | 2017-07-26 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP6179153B2 (ja) | 2013-03-26 | 2017-08-16 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
JP6492756B2 (ja) | 2015-02-25 | 2019-04-03 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
-
2015
- 2015-02-25 JP JP2015034799A patent/JP6375992B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-25 US US15/053,035 patent/US9566789B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9566789B2 (en) | 2017-02-14 |
US20160243829A1 (en) | 2016-08-25 |
JP2016155305A (ja) | 2016-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6492756B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6375992B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP6790366B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
EP3147122B1 (en) | Liquid ejecting device | |
JP6492648B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP6476848B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP7002026B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
US10493760B2 (en) | Liquid jet apparatus and method for manufacturing liquid jet apparatus | |
JP2018065269A (ja) | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
JP7039915B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP7151862B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP7302722B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP6822503B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP7002012B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP7247764B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP6558191B2 (ja) | 液体吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180626 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180709 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6375992 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |