JP7040090B2 - 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射するヘッドユニットを複数備えた液体噴射ヘッド、及び、これを備える液体噴射装置に関するものである。

この液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッドがあるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

上記の液体噴射ヘッドとしては、ヘッドユニットが複数配列されることで、より長尺な液体噴射ヘッドとして構成されたものも提案されている。例えば、特許文献１には、支持部材としての固定板に複数のヘッドユニットが接着剤で固定され、当該固定板がホルダー部材に取り付けられており、全体として所定方向（例えば、ノズル列方向）に長尺な記録ヘッドが開示されている。また、ヘッドユニットには、アクチュエーターに駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブルの一端が接続されており、このフレキシブルケーブルの他端は、ホルダー部材に配置された回路基板と接続されている。このフレキシブルケーブルとヘッドユニットとの実装部分（換言すると、固定領域）、及び、フレキシブルケーブルと回路基板との実装部分は、それぞれ液体噴射ヘッドの長尺方向に沿っている。すなわち、当該実装部分における複数の端子が液体噴射ヘッドの長尺方向に沿っている。このような構成の液体噴射ヘッドでは、例えば、構成部材同士の熱膨張率の相違により、反りが生じる場合がある。特に、長尺方向において反りがより大きくなりやすい。そして、上記のように電気的な接点であるフレキシブルケーブルの実装部分が液体噴射ヘッドの長尺方向に沿っている構成では、当該長尺方向の反りによって当該実装部分に剥離が生じやすいという問題があった。このため、特許文献１の液体噴射ヘッドでは、反りを防止するために金属製の矯正板が複数設けられている。これにより液体噴射ヘッドに反りが生じることを抑制している。

特開２０１５－２３１７２２号公報

上記のように矯正板により液体噴射ヘッドの反りを抑制する構成では、その分、部品点数が増加し、また、矯正板を配置することにより構成部材の寸法や形状等に制約が生じるという問題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、構成部材の反りによるフレキシブルケーブルの実装部分の剥離を抑制することが可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体を噴射するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットが有するヘッド基板に一端部が固定されたフレキシブルケーブルと、
前記ヘッドユニットが複数固定された共通部材と、
を備え、
前記共通部材は、互いに直交する３つの方向をそれぞれ第１方向、第２方向、第３方向としたとき、前記第１方向と前記第２方向とにより定まる仮想面に置いたときに前記第３方向が厚さ方向となり、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
前記第３方向からの平面視において、前記フレキシブルケーブルと前記ヘッド基板とが固定された固定領域は、前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であることを特徴とする。

本発明によれば、フレキシブルケーブルとヘッド基板とが固定された固定領域、すなわち、ヘッド基板におけるフレキシブルケーブルの実装部分が、共通部材の長尺方向である第１方向よりも第２方向に長尺であるので、共通部材や他の第１方向に長尺な構成部材が第１方向において反った場合においても、固定領域において剥離が生じにくくなる。このため、反りを抑制するための矯正板等の部材を別途備えない場合であっても、実装部分の接続不良等を抑制することが可能となる。

また、本発明は、液体を噴射するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットが有するヘッド基板に一端部が固定され、当該ヘッドユニットに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと、
前記ヘッドユニットが複数固定された共通部材と、
を備え、
前記共通部材は、互いに直交する３つの方向をそれぞれ第１方向、第２方向、第３方向としたとき、前記第１方向と前記第２方向とにより定まる仮想面に置いたときに前記第３方向が厚さ方向となり、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
前記フレキシブルケーブルにおいて、前記ヘッド基板に沿った部分と前記ヘッド基板に交差する方向に延びる部分との間の曲げ部は、前記第３方向からの平面視で前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であることを特徴とする。

本発明によれば、フレキシブルケーブルにおいて、ヘッド基板に沿った部分とヘッド基板に交差する方向に延びる部分との間の曲げ部が、共通部材の長尺方向である第１方向よりも第２方向に長尺であるので、共通部材や他の第１方向に長尺な構成部材が第１方向において反った場合においても、固定領域、すなわち、ヘッド基板におけるフレキシブルケーブルの実装部分において剥離が生じにくくなる。このため、反りを抑制するための矯正板等の部材を別途備えない場合であっても、実装部分の接続不良等を抑制することが可能となる。

上記各構成において、前記フレキシブルケーブルの他端部が固定された回路基板を備え、
前記平面視において前記フレキシブルケーブルと前記回路基板とが固定された領域は、前記第１方向よりも前記第２方向に長尺である構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、フレキシブルケーブルと回路基板とが固定された領域、すなわち、回路基板におけるフレキシブルケーブルの実装部分が、第１方向よりも第２方向に長尺であることにより、共通部材や他の第１方向に長尺な構成部材が第１方向において反った場合においても、当該実装部分において剥離が生じにくくなる。

上記各構成において、前記フレキシブルケーブルの他端部が固定された回路基板を備え、
前記フレキシブルケーブルにおいて、前記回路基板に沿った部分と前記回路基板に交差する方向に延びる部分との間の曲げ部は、前記第１方向よりも前記第２方向に長尺である構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、回路基板に沿った部分と回路基板に交差する方向に延びる部分との間の曲げ部が第１方向よりも第２方向に長尺であることにより、共通部材や他の第１方向に長尺な構成部材が第１方向において反った場合においても、回路基板におけるフレキシブルケーブルの実装部分において剥離が生じにくくなる。

また、本発明は、液体を噴射するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットが有するヘッド基板に一端部が固定され、当該ヘッドユニットに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと、
前記ヘッドユニットが複数固定された共通部材と、
前記フレキシブルケーブルの他端部が固定された回路基板と、
を備え、
前記共通部材は、互いに直交する３つの方向をそれぞれ第１方向、第２方向、第３方向としたとき、前記第１方向と前記第２方向とにより定まる仮想面に置いたときに前記第３方向が厚さ方向となり、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
前記第３方向からの平面視において前記フレキシブルケーブルと前記回路基板とが固定された領域は、前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であることを特徴とする。

本発明によれば、フレキシブルケーブルと回路基板とが固定された領域、すなわち、回路基板におけるフレキシブルケーブルの実装部分が、第１方向よりも第２方向に長尺であることにより、共通部材や他の第１方向に長尺な構成部材が第１方向において反った場合においても、当該実装部分において剥離が生じにくくなる。

さらに、本発明は、液体を噴射するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットが有するヘッド基板に一端部が固定され、当該ヘッドユニットに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと、
前記ヘッドユニットが複数固定された共通部材と、
前記フレキシブルケーブルの他端部が固定された回路基板と、
を備え、
前記共通部材は、互いに直交する３つの方向をそれぞれ第１方向、第２方向、第３方向としたとき、前記第１方向と前記第２方向とにより定まる仮想面に置いたときに前記第３方向が厚さ方向となり、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
前記フレキシブルケーブルにおいて、前記回路基板に沿った部分と前記回路基板に交差する方向に延びる部分との間の曲げ部は、前記第３方向からの平面視において前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であることを特徴とする。

本発明によれば、回路基板に沿った部分と回路基板に交差する方向に延びる部分との間の曲げ部が第１方向よりも第２方向に長尺であることにより、共通部材や回路基板や他の第１方向に長尺な構成部材が第１方向において反った場合においても、回路基板におけるフレキシブルケーブルの実装部分において剥離が生じにくくなる。

上記各構成において、前記回路基板は、複数設けられ、
前記共通部材との間で前記複数の回路基板を覆い、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺なカバー部材を備えた構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、回路基板が複数あるので、回路基板が１つだけの場合と比較して、それぞれの回路基板のサイズを小さくすることができ、回路基板の反りを低減することができる。このため、回路基板におけるフレキシブルケーブルの実装部分において剥離が生じにくくなる。また、カバー部材と共通部材とで回路基板が挟まれるので、回路基板を保護することができる。

上記各構成において、前記フレキシブルケーブルは、前記ヘッド基板と前記回路基板との間で撓んでいる構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、フレキシブルケーブルがヘッド基板と回路基板との間で撓んでいるので、共通部材や他の第１方向に長尺な構成部材が反ったとしても、撓んでいる分だけフレキシブルケーブルの長さに余裕があるため、当該反りの影響を緩和することができる。その結果、フレキシブルケーブルの実装部分における剥離をより確実に抑制することが可能となる。

上記各構成において、前記フレキシブルケーブルは、前記ヘッド基板と前記回路基板との間で折り曲げられている構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、フレキシブルケーブルがヘッド基板と回路基板との間で折り曲げられているので、共通部材や他の第１方向に長尺な構成部材が反ったとしても、折り曲げられている分だけフレキシブルケーブルの長さに余裕があるため、当該反りの影響を緩和することができる。その結果、フレキシブルケーブルの実装部分における剥離をより確実に抑制することが可能となる。

上記各構成において、前記平面視において前記第２方向よりも前記第１方向に長尺なホルダー部材を備え、
前記ホルダー部材は、
第１面側に形成されて前記ヘッドユニットが収容された第１凹部と、前記第１面とは反対側の第２面側に形成されて前記回路基板が収容された第２凹部と、を有する構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、第１面側及び第２面側のそれぞれに凹部が設けられているので、各凹部を区画している壁等の構造の強度が、第１面側及び第２面側において揃えられる。その結果、ホルダー部材に反りや捻じれ等の変形が生じにくい。

上記各構成において、前記ホルダー部材の熱膨張率と前記共通部材の熱膨張率とが異なる構成を採用することができる。

この構成によれば、熱膨張率の相違によりホルダー部材と共通部材とに反りが生じやすい場合においても、フレキシブルケーブルの実装部分の剥離を抑制することができる。このため、熱膨張率の相違に制約されず、ホルダー部材と共通部材の材料の選択自由度が向上する。また、材料によって反りが大きい方を予め把握することができ、当該構成部材に配置されたフレキシブルケーブルの実装部分の長尺方向を第２方向とする対策が採りやすい。

上記各構成において、前記ヘッドユニットは、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
複数の前記ヘッドユニットは、前記第１方向に沿って配列された構成を採用することができる。

この構成によれば、液体噴射ヘッドを第１方向に長尺化することができる。

上記各構成において、前記平面視において前記フレキシブルケーブルと前記ヘッド基板とが固定された領域は、前記ヘッドユニットと前記共通部材とを固定する領域と重なる構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、フレキシブルケーブルとヘッド基板とが固定された領域がヘッドユニットと共通部材とを固定する領域と重ならない構成と比較してヘッド基板を小型化することができ、ヘッドユニットをより高密度に配置することが可能となる。また、固定領域の面積をより広く確保できるのでヘッドユニットと共通部材とをより確実に固定することが可能となる。

上記各構成において、前記フレキシブルケーブルが前記ヘッド基板から離間する位置は、前記第１方向において、前記ヘッドユニットの中心に対して偏っており、
複数の前記ヘッドユニットの内、前記第１方向の両側に位置する前記ヘッドユニットの前記ヘッド基板に固定された前記フレキシブルケーブルは、前記第１方向において前記共通部材の中心からより遠くに配置された構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、複数のヘッドユニットの内、第１方向の両側に位置するヘッドユニットの前記ヘッド基板に固定された前記フレキシブルケーブルは、発熱しやすいフレキシブルケーブルが第１方向において共通部材の中心からより遠く（換言すると、より外側）に配置されることにより、液体噴射ヘッド内における温度勾配を低減することができる。その結果、温度変化に基づく各ヘッドユニットの特性のばらつきを抑制することが可能となる。

上記各構成において、前記一端部における配線の太さは、前記他端部における配線の太さよりも細い構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、フレキシブルケーブルの一端部における配線の太さが、他端部における配線の太さよりも細いことにより、ヘッド基板との固定領域の第２方向における寸法を小さくすることができる。これにより、ヘッドユニットの第２方向におけるサイズをより小型化することが可能となる。これに対し、他端部における配線の太さが、一端部における配線の太さよりも太いことにより、配線の抵抗を低減することが可能となる。

上記各構成において、前記一端部における配線のピッチは、前記他端部における配線のピッチよりも狭い構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、フレキシブルケーブルにおいて一端部における配線のピッチが他端部における配線のピッチよりも狭いことにより、ヘッド基板との固定領域の第２方向における寸法を小さくすることができる。これにより、ヘッドユニットの第２方向におけるサイズをより小型化することが可能となる。これに対し、他端部における配線のピッチが、一端部における配線のピッチよりも広いことにより、他端部の配線作業が容易となる。

上記各構成において、前記一端部における配線が並ぶ方向は、前記フレキシブルケーブルの幅方向であり、
前記他端部における配線が並ぶ方向は、当該フレキシブルケーブルの長さ方向である構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、一端部の配線が並ぶ方向が当該フレキシブルケーブルの幅方向であることにより、一端部のヘッド基板との固定領域の第２方向における寸法を小さくすることができる。これにより、ヘッドユニットの第２方向におけるサイズをより小型化することが可能となる。これに対し、他端部の配線が並ぶ方向は、当該フレキシブルケーブルの長さ方向であることにより、当該他端部における配線のレイアウトの自由度が高まる。すなわち、他端部における配線のピッチや太さをより自由に設定することが可能となる。

そして、本発明の液体噴射装置は、上記何れかの構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。

本発明によれば、共通部材や他の第１方向に長尺な構成部材の反りによるフレキシブルケーブルの実装部分における剥離を抑制することが可能であるため、液体噴射装置の信頼性がより高まる。

液体噴射装置の一形態の構成について説明する斜視図である。 液体噴射ヘッドの一形態の分解斜視図である。 液体噴射ヘッドの一形態の下面図である。 図３におけるＡ－Ａ線断面図である。 図３におけるＢ－Ｂ線断面図である。 ヘッドユニットの一形態の分解斜視図である。 ヘッドユニットの部分的な平面図である。 ヘッドユニットのＸ方向における断面図である。 図７におけるＣ－Ｃ線断面図である。 フレキシブルケーブルの一形態の構成について説明する正面図である。 フレキシブルケーブル及び流路形成基板の固定領域と流路形成基板及び固定板の固定領域との関係について説明する図である。 フレキシブルケーブル及び流路形成基板の固定領域と流路形成基板及び固定板の固定領域との関係の他の例について説明する図である。 第２実施形態における液体噴射ヘッドの分解斜視図である。 第２実施形態における液体噴射ヘッドのＹ方向における断面図である。 第２実施形態におけるフレキシブルケーブルの構成について説明する図である。 フレキシブルケーブルの端子部と流路形成基板のヘッド基板端子部との電気的な接合に関する変形例について説明する模式図である。 フレキシブルケーブルの変形例の構成について説明する図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッド３と称する。）を搭載したインクジェット式プリンター（以下、単にプリンター１と称する。）を例に挙げて説明する。

プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。なお、図において、互いに直交する３つの方向をそれぞれＸ方向（本発明における第２方向に相当）、Ｙ方向（本発明における第１方向に相当）、及びＺ方向（本発明における第３方向に相当）として示している。プリンター１は、記録紙等の記録媒体Ｓの表面に液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、複数のヘッドユニット４を備える記録ヘッド３、記録媒体Ｓを搬送する搬送機構５、及び、ヘッドユニット４（図２参照）の各ノズル面に対向する位置に搬送された記録媒体Ｓを支持する媒体支持部６（又はプラテンとも呼ばれる）等を装置本体７の内部に備えている。

本実施形態における記録ヘッド３は、記録媒体Ｓの搬送方向をＸ方向とし、このＸ方向よりも当該Ｘ方向に直交するＹ方向に長尺なラインヘッドである。また、この記録ヘッド３をＸ方向及びＹ方向で定まる仮想面に置いたときのＺ方向が当該記録ヘッド３や当該記録ヘッド３を構成している各構成部材の厚さ方向（換言すると、各構成部材の積層方向）である。この厚さ方向は、構成部材、特に、後述するホルダー部材１５や固定板１７等の共通部材のＸ方向、Ｙ方向、及び、Ｚ方向の各寸法のうち、最も小さい寸法となる方向である。この記録ヘッド３には、液体の一種であるインクを貯留した図示しないインクカートリッジの内部と連通する液体供給チューブ８が接続されている。インクカートリッジからのインクは、液体供給チューブ８を介して後述する流路部材１３に供給される。なお、インクカートリッジを記録ヘッド３の上面に装着する構成を採用することもできる。また、記録ヘッド３には、制御部からの駆動信号等を記録ヘッドに供給するＦＦＣ等の図示しない外部配線が、ケーブル挿通口９を通じて後述する回路基板１６のコネクター３６に接続されるように構成されている。

搬送機構５は、媒体支持部６よりもＸ方向における上流側に上下一対に配置された第１の搬送ローラー１０ａと、媒体支持部６よりもＸ方向における下流側に上下一対に配置された第２の搬送ローラー１０ｂと、を備えている。供給側からの記録媒体Ｓは、これらの搬送ローラー１０ａ，１０ｂの駆動により、上下のローラーに挟まれた状態で媒体支持部６上を通過して排出側に向けて搬送される。また、搬送機構が、無端ベルトやドラムにより構成されるものもあり、このような構成では、ベルトやドラムが媒体支持部として機能する。さらに、媒体支持部としては、記録媒体を静電気力により吸着させる構成のものや、吸引ポンプ等で負圧を発生させることで記録媒体を吸着させる構成のものを採用することもできる。

図２は、斜め上方から見た記録ヘッド３の分解斜視図であり、図３は、記録ヘッド３の下面図、図４は図３におけるＡ－Ａ線断面図（即ち、Ｘ方向における断面図）、図５は図３におけるＢ－Ｂ線断面図（即ち、Ｙ方向における断面図）である。本実施形態における記録ヘッド３は、各ヘッドユニット４へインクを供給する流路が内部に形成された流路部材１３と、カバー部材１４と、ホルダー部材１５と、回路基板１６と、ヘッドユニット４と、固定板１７と、を備えている。

ホルダー部材１５は、Ｚ方向からの平面視においてＸ方向よりもＹ方向に長尺な略直方体上の部材であり、例えば、合成樹脂により作製されている。このホルダー部材１５の下面（本発明における第１面に相当）側には、複数のヘッドユニット４を収容する第１収容凹部１９（本発明における第１凹部に相当）が設けられている。また、ホルダー部材１５の上面（本発明における第２面に相当）側には、回路基板１６を収容する第２収容凹部２０（本発明における第２凹部に相当）が、仕切板２１により第１収容凹部１９と隔てられた状態で形成されている。仕切板２１の周囲には、当該仕切板２１に交差する方向に延びる側壁２２が形成されている。この側壁２２は、仕切板２１の四方の縁から第１収容凹部１９側及び第２収容凹部２０側のそれぞれに向けて延設されている。このため、ホルダー部材１５は、図４及び図５に示されるように、断面視において略Ｈ字状を呈している。また、第１収容凹部１９の深さＤ１と、第２収容凹部２０の深さＤ２とは、同程度に揃えられている。より具体的には、Ｄ１とＤ２のそれぞれが、仕様・設計上の収容凹部１９，２０の深さの中心値に対して８０％以上１２０％以下の範囲内となるように設定されている。より望ましくは、Ｄ１とＤ２のそれぞれが上記中心値に対して９５％以上１０５％以下の範囲内である。このように、ホルダー部材１５の上面側及び下面側のそれぞれに収容凹部１９，２０が形成されているので、側壁２２が耐力壁として機能して、仕切板２１が変形することが抑制される。また、深さＤ１，Ｄ２、すなわち、側壁２２の仕切板２１からの高さが第１収容凹部１９側と第２収容凹部２０側とで同程度に揃えられているため、収容凹部１９，２０をそれぞれ区画している壁等の構造の強度に偏りが生じにくい。これにより、Ｙ方向に長尺なホルダー部材１５の変形がより効果的に抑制される。

第１収容凹部１９は、ホルダー部材１５の下面に開口する凹形状を呈し、固定板１７に固定された複数のヘッドユニット４が内部に収容される。すなわち、第１収容凹部１９の下面側の開口が固定板１７によって封止され、第１収容凹部１９と固定板１７とによって区画された空間内に各ヘッドユニット４が収容される。なお、第１収容凹部１９は、ヘッドユニット４毎に設けられていてもよく、複数のヘッドユニット４に亘って連続して設けられていてもよい。このようなホルダー部材１５は、各ヘッドユニット４に共通な共通部材の一種とも言える。

ホルダー部材１５には、同じく平面視においてＸ方向よりもＹ方向に長尺なヘッドユニット４が当該Ｙ方向に沿って互い違いに配置されている。ヘッドユニット４は、複数のノズル２４がＹ方向に列設されてなるノズル列２５ａ，２５ｂが形成されたノズルプレート２６や、圧力室５１等の流路が形成された流路形成基板４５や、ノズル２４からインクを噴射させるための駆動源（換言すると、アクチュエーター）として機能する圧電素子６０等がユニット化されたヘッドチップである。図３に示されるように、各ヘッドユニット４は、ノズル列２５がＹ方向に沿った姿勢（すなわち、ヘッドユニット４の長尺方向がＹ方向に沿った姿勢）で、Ｘ方向、すなわち記録媒体Ｓの搬送方向における配置位置を互い違いに異ならせてＹ方向に複数配列されている。このようにＹ方向に長尺なヘッドユニット４をＹ方向に沿って配列することにより、記録ヘッド３を長尺化することができる。すなわち、所謂ラージフォーマットと呼ばれるより大型な記録ヘッド３が得られる。なお、隣り合うヘッドユニット４同士は、互いのノズル列２５における一部のノズル２４のＹ方向における配置位置が重複するような位置関係になっている。このため、Ｙ方向に亘って連続したノズル２４の列を形成することができる。なお、本実施形態においては、合計４つのヘッドユニット４が設けられた構成を例示したが、これには限られない。

図２に示されるように、ホルダー部材１５の仕切板２１には、カバー部材１４側からのインクをヘッドユニット４側に供給するための連通流路２７が、当該仕切板２１の厚さ方向、即ち、Ｚ方向を貫通する状態で形成されている。この連通流路２７の第２収容凹部２０側の開口部には、カバー部材１４の下面に突設された流路接続部３１（図４及び図５参照）が接続される。本実施形態において、この連通流路２７は、各ヘッドユニット４に対して２つずつ設けられている。また仕切板２１には、ヘッドユニット４のフレキシブルケーブル２９が挿通される配線挿通口２８が、当該仕切板２１の厚さ方向を貫通する状態で設けられている。第１収容凹部１９に収容されたヘッドユニット４のフレキシブルケーブル２９は、仕切板２１の下面側、すなわち第１収容凹部１９が側から配線挿通口２８に挿通されて、仕切板２１の上面側、すなわち第２収容凹部２０側に引き出される。

第２収容凹部２０には、回路基板１６が配置されている。回路基板１６は、電子部品や配線等が設けられたリジット基板からなる。本実施形態においては、２つのヘッドユニット４に対して１枚の回路基板１６が設けられている。このため、第２収容凹部２０には、合計２枚の回路基板１６が第２収容凹部２０に配置されている。なお、２つのヘッドユニット４に対して１枚の回路基板１６が設けられる構成に限られず、各ヘッドユニット４についてそれぞれ１枚の回路基板１６が設けられてもよいし、第２収容凹部２０に配置された全ヘッドユニット４に共通の１枚の回路基板１６が設けられてもよい。複数の回路基板１６が設けられた構成では、回路基板１６が１つだけの場合と比較してそれぞれの回路基板１６のサイズを小さくすることができ、個々の回路基板１６の反りの大きさを低減できる。このため、回路基板１６におけるフレキシブルケーブル２９の実装部分において剥離が生じにくくなる。

図２に示されるように、本実施形態における回路基板１６は、Ｚ方向からの平面視において、対応する２つのヘッドユニット４の配置レイアウトに倣ったクランク状を呈している。この回路基板１６の上面（換言すると、カバー部材１４に対向する側の面）には、フレキシブルケーブル２９の第２端子部３４が接続される回路基板端子部３５が設けられている。本実施形態において回路基板端子部３５は、平面視においてＸ方向よりもＹ方向に沿って長尺である。すなわち、回路基板端子部３５を構成する端子がＹ方向に沿って配設されている。また、回路基板１６の上面において、ホルダー部材１５の連通流路２７に対応する位置には、カバー部材１４の流路接続部３１が挿入される逃げ穴３７が設けられている。すなわち、カバー部材１４の流路接続部３１は、逃げ穴３７を通じて連通流路２７と接続される。さらに、回路基板１６の上面には、上記ケーブル挿通口９を通して第２収容凹部２０内に挿入された外部配線が接続されるコネクター３６が設けられている。

カバー部材１４は、平面視においてＸ方向よりもＹ方向に長尺な直方体状の部材であり、ホルダー部材１５と同様に合成樹脂から作製されている。このカバー部材１４は、ホルダー部材１５の第２収容凹部２０の上部開口を塞ぐ状態で、接着剤による接着、ネジ止め、又は溶着等の固定手法によりホルダー部材１５に固定されている。このカバー部材１４の内部には、ホルダー部材１５の連通流路２７にインクを供給する供給流路３９が設けられている。平面視において、供給流路３９は、カバー部材１４の上面における開口位置から、ホルダー部材１５の対応する連通流路２７と重なる位置まで、カバー部材１４の内部で当該カバー部材１４の上下面に沿った方向に延在されている。そして、連通流路２７の下流側の一部は、カバー部材１４の下面に突設された流路接続部３１内に形成されており、当該流路接続部３１の端面（連通流路２７と接続される側の面）に開口している。

固定板１７は、平面視においてＸ方向よりもＹ方向に長尺な金属製の板材である。この固定板１７は、第１収容凹部１９の開口を塞ぐ状態でホルダー部材１５の下面に接着等により固定されている。固定板１７には、各ヘッドユニット４のノズル面２６ａ（図３参照）を露出させる開口部４０が、ヘッドユニット４毎に設けられている。固定板１７の上面（換言すると、第１収容凹部１９側の面）において開口部４０の周縁部にヘッドユニット４がそれぞれ接着剤等により固定される。このように、本実施形態における固定板１７は、複数のヘッドユニット４に共通な共通部材の一種として機能する。この固定板１７とカバー部材１４とは、互いにホルダー部材１５を介して間接的に固定されている。このため、回路基板１６は、固定板１７とカバー部材１４との間において覆われている。これにより、回路基板１６がインクや埃等から保護される。

本実施形態において、カバー部材１４の上面には、合計４つの流路部材１３がＸ方向に並べて配置されている。各流路部材１３の上面には、流路部材１３の液体供給チューブ８に対応する流入口４１が開口している。流入口４１は、流路部材１３の内部に形成された液体流路を介してカバー部材１４の上面に開口した供給流路３９と連通されている。この流路部材１３は、液体供給チューブ８から供給されたインクについてヘッドユニット４側への供給圧力を調整すると共に、図示しないフィルターにより当該インクをろ過する機能を有している。そして、流路部材１３から供給流路３９、連通流路２７を通じてヘッドユニット４にインクが供給される。

図６は、ヘッドユニット４の一形態の分解斜視図である。また、図７はヘッドユニット４の部分的な（即ち、後述する収容空部５０の近傍の）平面図である。同図においてリザーバー形成基板４７、コンプライアンス基板４８、及びフレキシブルケーブル２９の図示が省略されている。さらに、図８は、ヘッドユニット４のＸ方向における断面図、図９は、図７におけるヘッドユニット４のＣ－Ｃ線断面図である。本実施形態におけるヘッドユニット４は、平面視においてＸ方向よりもＹ方向に長尺な直方体状を呈している。このヘッドユニット４の上面（換言すると、第１収容凹部１９に収容された状態における仕切板２１側の面）における長手方向であるＹ方向の一端部に設けられた配線用開口４３から配線基板としてのフレキシブルケーブル２９が挿入されている。また、ヘッドユニット４の上面のＹ方向における中央部には、２つのインク導入口４４が設けられている。インク導入口４４は、連通流路２７と連通されて流路部材１３からのインクが導入される部分である。

本実施形態におけるヘッドユニット４は、流路形成基板４５（本発明におけるヘッド基板の一種）と、ノズルプレート２６と、保護基板４６と、リザーバー形成基板４７と、コンプライアンス基板４８と、駆動ＩＣ４９と、フレキシブルケーブル２９と、を備えている。ノズルプレート２６、流路形成基板４５、及び保護基板４６は、この順に接着剤等により積層され、さらに保護基板４６上にはリザーバー形成基板４７及びコンプライアンス基板４８がこの順に積層されている。また、駆動ＩＣ４９は、流路形成基板４５とリザーバー形成基板４７との間で、保護基板４６に形成された収容空部５０に配置されている。

流路形成基板４５は、例えば、シリコン単結晶板からなる。この流路形成基板４５には、異方性エッチングによって、複数の圧力室５１がノズル２４毎に対応してＹ方向に沿って並設されている。本実施形態においては、ノズルプレート２６に形成された２列のノズル列２５に対応させて圧力室５１の列が流路形成基板４５に２列形成されている。また、流路形成基板４５において圧力室５１のＸ方向の外側の領域には、液体供給路としての連通部５２が形成され、さらに、連通部５２と各圧力室５１とが、圧力室５１毎に設けられたインク供給路５３を介して連通されている。インク供給路５３は、圧力室５１よりも狭い幅で形成されており、連通部５２から圧力室５１に流入するインクに流路抵抗を付与する。

ノズルプレート２６には、各圧力室５１のインク供給路５３とは反対側の端部において連通するノズル２４が穿設されている。このノズルプレート２６は、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、又はステンレス鋼などからなる。本実施形態におけるノズルプレート２６は、流路形成基板４５よりも一回り小さく形成されている。そして、流路形成基板４５とノズルプレート２６とは、接着剤や熱溶着フィルム等によって接合されている。このノズルプレート２６において、流路形成基板４５が接合された面とは反対側の下面がノズル面である。本実施形態においては、流路形成基板４５の下面の略中央部に接合されたノズルプレート２６の周囲に固定板１７が接合されるように構成されている。すなわち、流路形成基板４５の下面に固定板１７が接合されると、当該固定板１７に形成された開口部４０内にノズルプレート２６が配置される（図３～図５参照）。

流路形成基板４５におけるノズルプレート２６が接合された面と反対側の面には、振動板を構成する弾性膜５５が形成されている。弾性膜５５は、例えば二酸化シリコンからなる。弾性膜５５上には、酸化膜からなる絶縁膜５６が形成されている。この絶縁膜５６は、例えば酸化ジルコニウムから構成されている。これらの弾性膜５５と絶縁膜５６とにより振動板が構成されている。

絶縁膜５６上には、白金（Ｐｔ）などの金属やルテニウム酸ストロンチウム（ＳｒＲｕＯ）などの金属酸化物からなる下電極５７と、ペロブスカイト構造の圧電体層５８と、金（Ａｕ）、イリジウム（Ｉｒ）などの金属からなる上電極５９と、からなる圧電素子６０が形成されている。一般的には、圧電素子６０のいずれか一方の電極が共通電極とされ、他方の電極及び圧電体層５８が各圧力室５１に対応してパターニングされている。そして、両電極５７，５９への駆動電圧の印加により圧電歪みが生じる部分が圧電体能動部として機能する。なお、本実施形態では、下電極５７が圧電素子６０の共通電極とされ、上電極５９が圧電素子６０の個別電極とされているが、駆動ＩＣ４９や配線の都合で、下電極５７が圧電素子６０の個別電極とされ、上電極５９が圧電素子６０の共通電極とされる構成を採用することも可能である。いずれの場合においても、圧力室５１毎に圧電体能動部が形成されている。また、ここでは、圧電素子６０と当該圧電素子６０の駆動により変位が生じる弾性膜５５及び絶縁膜５６からなる振動板とがアクチュエーターとして機能する。

各圧電素子６０を構成する上電極５９には、例えば、金（Ａｕ）等からなる引き出し電極としてのリード電極６１が接続されており、このリード電極６１は、圧力室５１の列の間の領域まで引き出されている。このリード電極６１は、例えば、金（Ａｕ）等からなる金属層が圧電素子６０毎にパターニングされることによって形成されている。

保護基板４６は、圧電素子６０に対向する領域に、圧電素子６０の変形を阻害しない程度の空間を確保した状態の圧電素子収容空部６３を有する。圧電素子収容空部６３は、各圧力室５１の各列に対応して２つ設けられている。この保護基板４６は、圧電素子６０が形成された流路形成基板４５に接着剤によって接着されている。保護基板４６の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、樹脂、シリコン基板等が採用される。また、保護基板４６には、流路形成基板４５の連通部５２に対応する領域から圧電素子収容空部６３上にわたってインク貯留空部６４が設けられている。本実施形態におけるインク貯留空部６４は、圧力室５１の列に沿って一連に設けられており、流路形成基板４５の連通部５２と連通して各圧力室５１に共通のインク室となるリザーバー６５（又はマニホールドとも呼ばれる）を構成している。

さらに、保護基板４６において、圧力室５１の列間に対応する領域には、保護基板４６を厚さ方向、即ちＺ方向に貫通する収容空部５０が設けられている。そして、圧電素子６０から引き出されたリード電極６１の先端部が、収容空部５０の底部に露出している。そして、本実施形態における駆動ＩＣ４９は、収容空部５０内に収容されている。収容空部５０に露出したリード電極６１の先端部上に駆動ＩＣ４９が配置され、リード電極６１の先端部と駆動ＩＣ４９の図示しない出力端子とが電気的に接続されている。また、流路形成基板４５上には、駆動ＩＣ４９の図示しない入力端子部と電気的に接続されるヘッド基板端子部６２が、上記配線用開口４３に対応する位置まで延設されている（図７及び図９参照）。ヘッド基板端子部６２は、複数の端子がＸ方向に沿って並設されて構成されている。このヘッド基板端子部６２は、厳密には、流路形成基板４５に積層された振動板（即ち、弾性膜５５及び絶縁膜５６）上に形成されているが、便宜上、ヘッド基板端子部６２は、流路形成基板４５上に間接的に形成されているものとする。このヘッド基板端子部６２には、配線用開口４３に挿通されたフレキシブルケーブル２９の第１端子部３３が接続されている。このように、ヘッド基板端子部６２は、流路形成基板４５において平面視で当該流路形成基板４５の中央部に対してＹ方向における一端部に偏って配置されている。なお、フレキシブルケーブル２９の詳細については後述する。

保護基板４６上には、リザーバー形成基板４７が配置されている。このリザーバー形成基板４７の略中央部には、収容空部５０の上部に蓋をするようにＹ方向に沿って桁６７が形成されている。桁６７と駆動ＩＣ４９との間には、熱伝導部材６８が配置され、桁６７と駆動ＩＣ４９とにそれぞれ接触している。熱伝導部材６８としては、接着剤等の樹脂、シリコングリース、セラミックフィラーをシリコンに高充填したグリース、放熱シートを用いることができる。

リザーバー形成基板４７の上には、封止膜６９及び支持版７０とからなるコンプライアンス基板４８が接合されている。封止膜６９は、可撓性を有する材料（例えば、厚さが数μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜６９によってリザーバー６５を構成するインク貯留空部６４の一方の面が封止されている。また、支持版７０は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが数十μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成されている。この支持版７０のインク貯留空部６４に対向する領域は、厚さ方向であるＺ方向に完全に除去された貫通開口７１となっているため、インク貯留空部６４の一方面は可撓性を有する封止膜６９のみで封止されている。

このようなヘッドユニット４では、流路部材１３からインクを取り込み、リザーバー６５からノズル２４に至るまでのインク流がインクで満たされた状態で、プリンター１の制御部から回路基板１６及びフレキシブルケーブル２９を通じて駆動信号等が駆動ＩＣ４９に伝送され、当該駆動ＩＣ４９の制御により各圧電素子６０に選択的に駆動信号が印加される。圧電素子６０は、印加された駆動信号の波形に応じて変形し、この変形により各圧力室５１内に圧力変動が生じる。そして、この圧力変動によってノズル２４からインク滴が噴射される。なお、ヘッドユニット４の構成は、例示したものには限られず、種々の構成のものを採用することができる。例えば、コンプライアンス基板４８に関し、ヘッドユニット４の上面側に配置された構成を例示したが、流路形成基板４５の下面側に配置される構成を採用することもできる。すなわち、当該構成の場合、流路形成基板４５の下面の略中央部に接合されたノズルプレート２６の周囲に、当該ノズルプレート２６を露出させるための開口を備えたコンプライアンス基板４８が接合される。この場合、固定板１７は、コンプライアンス基板４８に接合され、当該固定板１７の開口部４０内には、ノズルプレート２６のみが露出することになる。

図１０は、フレキシブルケーブル２９の一形態の構成を説明する正面図である。本発明に係るフレキシブルケーブル２９は、ポリイミド等の矩形状のベースフィルム７２の一方の面に配線７３，７４のパターンや端子部３３，３４が形成されている。なお、同図において配線７３，７４については一部のみを図示している。このフレキシブルケーブル２９の一端部（換言すると、図１０における下端部）には、上記ヘッド基板端子部６２に接続される第１端子部３３が設けられている。第１端子部３３は、フレキシブルケーブル２９の幅方向、即ち、ヘッドユニット４に接続された状態におけるＸ方向に沿って並設された複数の第１端子７６を有しており、Ｙ方向よりもＸ方向に長尺となっている。このため、フレキシブルケーブル２９の一端部における配線７３も、フレキシブルケーブル２９の幅方向に沿って並んでいる。

また、フレキシブルケーブル２９の他端部であって、当該フレキシブルケーブル２９の幅方向における一側の縁部（換言すると、図９における左側の縁部）には、上記回路基板１６の回路基板端子部３５に接続される第２端子部３４が、当該フレキシブルケーブル２９の長さ方向に沿って形成されている。第２端子部３４は、ベースフィルム７２の長さ方向に沿って並設された複数の第２端子７７を有しており、当該長さ方向に長尺となっている。このため、フレキシブルケーブル２９の他端部における配線７３も、フレキシブルケーブル２９の長さ方向に沿って並んでいる。

このように、フレキシブルケーブル２９の一端部における配線７３が並ぶ方向が当該フレキシブルケーブル２９の幅方向であることにより、フレキシブルケーブル２９の一端部の流路形成基板４５との固定領域のＸ方向における寸法を小さくすることができる。これにより、ヘッドユニット４のＸ方向におけるサイズをより小型化することが可能となる。そして、フレキシブルケーブル２９の幅は、ヘッドユニット４のＸ方向における幅よりも狭いことが望ましい。これにより、フレキシブルケーブル２９の大きさ（特に幅）の制約を受けることなくヘッドユニット４をより高密度に配置することが可能となる。また、フレキシブルケーブル２９の他端部の配線が並ぶ方向が、当該フレキシブルケーブルの長さ方向であることにより、当該他端部における配線のレイアウト等の自由度が高まる。すなわち、以下に説明するように、他端部における配線７３のピッチや太さをより自由に設定することが可能となる。

ここで、第１端子７６の幅（換言すると、端子並設方向の寸法）は、第２端子７７の幅よりも狭くなっている。このため、これらの端子７６，７７を接続する配線７３の太さに関し、第１端子７６側（換言すると、一端部）では相対的に細く、第２端子７７側（換言すると、他端部）では相対的に太くなっている。また、第１端子７６の形成ピッチは、第２端子７７の形成ピッチよりも狭くなっている。このため、配線７３の形成ピッチに関しても、第１端子７６側では相対的に狭く、第２端子７７側では相対的に広くなっている。このような構成を採用することにより、フレキシブルケーブル２９の一端部における第１端子部３３の幅を小さくすることができる。このため、この第１端子部３３が接続される流路形成基板４５のヘッド基板端子部６２のＸ方向における幅を小さくすることができる。これにより、ヘッドユニット４のＸ方向における小型化に寄与することが可能となる。また、フレキシブルケーブル２９の他端部では、配線７３の太さが一端部よりも太いので、配線抵抗を低減することが可能となる。特に、本実施形態においては、他端部において一端部の第１端子部３３からより遠い位置にある配線７３ほど配線長が長くなるので、これに伴い抵抗が大きくなりやすいところ、配線７３の太さをより太くすることで、抵抗が増大することを低減することができる。また、配線７３の形成ピッチが一端部よりも広いので、回路基板１６に対する配線作業が容易となる。これにより電気的な接触不良等が低減される。

このフレキシブルケーブル２９の一端部の第１端子部３３は、流路形成基板４５におけるヘッド基板端子部６２に接続される。ヘッド基板端子部６２へのフレキシブルケーブル２９の実装作業において、フレキシブルケーブル２９の一端部は、例えば、仮想的に設定された折り曲げ線Ｌ１（図１０参照）から端子部３３，３４や配線７３が形成されている一方の面とは反対側の他方の面側に向けて屈曲（換言すると、山折り）される（図５、図６、及び図９参照）。以下、この曲げ部分を第１曲げ部７８と称する。これにより、第１曲げ部７８よりも第１端子部３３側の部分が、ヘッド基板である流路形成基板４５に沿った状態とされて、ヘッド基板端子部６２に対向する。本実施形態においてはこの部分が、ヘッド基板である流路形成基板４５に沿った部分に相当する。また、この場合において、第１曲げ部７８よりも他端側の部分が、流路形成基板４５に交差する方向（換言すると、流路形成基板４５から離間する方向）に延びる部分である。なお、「流路形成基板４５に沿った」状態に関し、第１曲げ部７８よりも第１端子部３３側の部分が流路形成基板４５の上面（換言すると、実装面）に完全に平行である状態には限られず、フレキシブルケーブル２９の他の部分よりも流路形成基板４５の上面により平行に近い状態となっていれば流路形成基板４５に沿った状態である（なお、後述する「回路基板１６に沿った」状態も同様）。また、第１曲げ部７８に関し、本実施形態においては角のある状態に折り曲げられた構成を例示したが、より緩やかに曲げられた、ある程度幅のある部分（曲率がより小さいもの）であってもよい（なお、後述する第２曲げ部７９についても同様）。

そして、フレキシブルケーブル２９の第１端子部３３とヘッド基板端子部６２とは、例えば、非導電性接着剤（ＮＣＰ：Non-Conductive Paste）或いはこれをシート状にしたものにより電気的に接続され、フレキシブルケーブル２９の一端部が流路形成基板４５に固定される。非導電性接着剤は、導電性粒子を含まないため、隣り合う端子間の間隔が比較的狭い構成においても隣接端子間のショートを防止しつつ素子側端子と配線側端子との接合が可能である。このため、端子の高密度化に対応することができる。

第１端子部３３とヘッド基板端子部６２との電気的な接続部分、すなわち、フレキシブルケーブル２９と流路形成基板４５とが互いに固定された固定領域（換言すると、実装部分）は、流路形成基板４５の実装面に直交する平面視においてＹ方向よりもＸ方向に長尺となっている。換言すると、第１曲げ部７８が、平面視でＹ方向よりもＸ方向に長尺となっている。このため、例えば記録ヘッド３の構成部材の熱膨張率の違いにより、特にＹ方向に長尺な構成部材が当該Ｙ方向において反った場合においても、実装部分や第１曲げ部７８がＹ方向に沿っている構成と比較して、実装部分に対して反りによる応力が作用しにくい。このため、本実施形態のように、より長尺な構成部材を有する記録ヘッド３においても、電気的な接点である第１端子部３３とヘッド基板端子部６２との実装部分の剥離を抑制することが可能となる。このため、ヘッド構成部材の反りを抑制するための矯正板等の部材を別途要することなく、実装部分の接続不良等を抑制することが可能となる。

フレキシブルケーブル２９において、第１曲げ部７８より他端側の部分は、流路形成基板４５から回路基板１６側に離間する方向に、すなわち、流路形成基板４５に交差する方向に延びるように起立され、ヘッドユニット４の配線用開口４３から上方に引き出される。ヘッドユニット４が第１収容凹部１９に収容される際、配線用開口４３から引き出されたフレキシブルケーブル２９は、ホルダー部材１５の仕切板２１に設けられた配線挿通口２８に挿通されて、第２収容凹部２０側に引き出される。第２収容凹部２０側に引き出されたフレキシブルケーブル２９の他端部は、仮想的に設定された折り曲げ線Ｌ２（図１０参照）から端子部３３，３４や配線７３が形成されている一方の面側に向けて屈曲（換言すると、谷折り）される（図５参照）。以下、この曲げ部分を第２曲げ部７９と称する。この状態では、第２曲げ部７９よりも第２端子部３４側の部分が、回路基板１６の実装面に沿った状態とされて回路基板端子部３５に対向する。そして、この場合、フレキシブルケーブル２９において第２曲げ部７９よりも一端側の部分が、回路基板１６に交差する方向（換言すると、回路基板１６から離間する方向）に延びる部分である。

フレキシブルケーブル２９の第２端子部３４と回路基板端子部３５とは、第１端子部３３とヘッド基板端子部６２との接合時と同様に、非導電性接着剤等により電気的に接続され、フレキシブルケーブル２９の他端部が回路基板１６に固定される。なお、端子部同士の接続には、例示した非導電性接着剤に限られず、異方性導電接着剤（ＡＣＰ：Anisotropic Conductive Paste）やハンダ等により電気的に接続しても良い。

図５に示されるように、フレキシブルケーブル２９の一端部における第１端子部３３がヘッド基板端子部６２に固定され、他端部における第２端子部３４が回路基板端子部３５に固定されて、フレキシブルケーブル２９の実装が完了した状態では、フレキシブルケーブル２９が流路形成基板４５と回路基板１６との間で撓んだ状態となる。本実施形態においては、第１曲げ部７８から第２曲げ部７９までの長さが、流路形成基板４５の上面（換言すると、実装面）から回路基板１６の上面（換言すると、実装面）までの距離に対して１０１〔％〕以上、１４０〔％〕以下に調整されている。このように当該部分の長さに余裕が持たされているので、Ｘ方向よりもＹ方向に長尺な構成部材が反ったとしても、その分、当該反りの影響を緩和することができる（すなわち、反りが生じた場合においてもフレキシブルケーブル２９がピンと張った状態となり難い）。その結果、フレキシブルケーブル２９の実装部分における剥離をより確実に抑制することが可能となる。

ここで、図５、図６、及び図９等に示されるように、各ヘッドユニット４においてフレキシブルケーブル２９が流路形成基板４５から離間する位置（即ち、第１曲げ部７８の位置）は、Ｙ方向において、ヘッドユニット４の中心に対して一方の端部に偏っている。そして、図２に示されるように、複数のヘッドユニット４の内、Ｙ方向の両側に位置するヘッドユニット４の流路形成基板４５に固定されたフレキシブルケーブル２９は、Ｙ方向において固定板１７或はホルダー部材１５等の共通部材の中心からより遠くに配置されている。このように発熱しやすいフレキシブルケーブル２９が、共通部材の中心（或は、記録ヘッド３の中心）からより遠くに配置されることにより、すなわち、比較的温度が下がりやすい位置（換言すると、温度が逃げやすい位置）であるより外側に配置されることにより、記録ヘッド３内における温度勾配を低減することができる。その結果、温度変化に基づく各ヘッドユニット４の噴射特性のばらつきを抑制することが可能となる。

図１１は、フレキシブルケーブル２９及び流路形成基板４５の固定領域（換言すると、実装部分）と流路形成基板４５及び固定板１７の固定領域との関係を説明するＹ方向における部分断面図である。また、図１２は、フレキシブルケーブル２９及び流路形成基板４５の固定領域（実装部分）と流路形成基板４５及び固定板１７の固定領域との関係の他の例について説明するＹ方向における部分断面図である。図１１に示されるように、本実施形態においては、フレキシブルケーブル２９と流路形成基板４５との固定領域（換言すると、実装部分）、すなわち、第１端子部３３とヘッド基板端子部６２との接続領域が、流路形成基板４５と固定板１７との固定領域と平面視で重なっている。すなわち、流路形成基板４５と固定板１７の固定領域におけるＹ方向における幅をｗ１としたとき、この幅ｗ１の範囲内にフレキシブルケーブル２９と流路形成基板４５との固定領域が位置している。これに対し、図１２の例においては、フレキシブルケーブル２９と流路形成基板４５との固定領域が、流路形成基板４５と固定板１７の固定領域と重なっておらず、幅ｗ１の範囲から内側（換言すると、Ｙ方向における流路形成基板４５の中心側）に外れている。この場合、流路形成基板４５と固定板１７との固定領域として必要な幅ｗ１が一定であるとすると、その分、図１２の例の構成では、流路形成基板４５のＹ方向における長さｗ３が長くなってしまう。また、長さｗ３を小さく抑えようとすると、固定領域として必要な幅ｗ１を確保することが難しく、これにより接着強度が弱くなるおそれがある。これに対し、本実施形態における構成によれば、図１２の例よりも流路形成基板４５のＹ方向における長さｗ２を短くすることができる。これにより、流路形成基板４５を小型化することができ、ひいてはヘッドユニット４をより小型化することができる。このため、ヘッドユニット４をより高密度に配置することが可能となる。また、固定領域の面積をより広く確保できるのでヘッドユニット４と固定板１７とをより確実に固定することが可能となる。

なお、本実施形態におけるフレキシブルケーブル２９及び流路形成基板４５の固定領域に関し、Ｙ方向が長尺である一方でＸ方向において短いため、固定領域の面積は比較的小さいものとなっている。このような固定領域が、例えばヘッド基板の全面に亘るような構成では、フレキシブルケーブル２９が大型化するという問題がある。また、フレキシブルケーブル２９と固定対象の基板との熱膨張率の相違による剥離等が生じやすいという問題がある。これに対し、本実施形態におけるフレキシブルケーブル２９及び流路形成基板４５の固定領域は、面積は小さいものの、フレキシブルケーブル２９のサイズを小さく抑えることができるので、ヘッドユニット４の小型化に寄与することができる。また、フレキシブルケーブル２９と流路形成基板４５との間に熱膨張率の相違があったとしてもその影響を抑えることができる。

本実施形態では、合成樹脂製のホルダー部材１５の熱膨張率と、金属製の固定板１７の熱膨張率とが異なっている。この両者の熱膨張率の相違により、ホルダー部材１５と固定板１７とに反りが生じやすい場合においても、フレキシブルケーブル２９の実装部分の剥離を抑制することができる。このため、熱膨張率の相違に制約されず、ホルダー部材１５と固定板１７の材料の選択自由度が向上する。また、材料に基づいて反りが大きい（又は、反りが生じやすい）構成部材を予め把握することができ、当該構成部材に配置されたフレキシブルケーブル２９の実装部分の長尺方向をＸ方向とする等のように対策・管理がしやすい。そして、Ｙ方向に長尺な構成部材の反りによるフレキシブルケーブル２９の実装部分における剥離を抑制することが可能であるため、プリンター１の信頼性が向上する。

図１３は、第２実施形態における記録ヘッド３の分解斜視図である。また、図１４は、第２実施形態における記録ヘッド３のＹ方向における断面図である。さらに、図１５は、第２実施形態におけるフレキシブルケーブル２９の正面図である。なお、第１実施形態と同一の構成には同一の符号を付してその説明は適宜省略する。本実施形態においては、第１実施形態における固定板１７が設けられていない。そして、第１実施形態においてヘッドユニット４毎に個別に設けられていたノズルプレート２６が、本実施形態においては、複数のヘッドユニット４に共通な共通部材として機能する。すなわち、本実施形態におけるノズルプレート２６は、平面視でＸ方向よりもＹ方向に長尺な一枚の板材から構成されており、各ヘッドユニット４に対応する領域に複数のノズル２４及びこれらのノズル２４が並設されてなるノズル列２５がそれぞれ形成されている。また、上記第１実施形態では複数の回路基板１６が設けられた構成であったが、本実施形態においては、ホルダー部材１５に収容される全てのヘッドユニット４に共通の一枚の回路基板１６となっている。この回路基板１６において、ホルダー部材１５の配線挿通口２８に対応する位置に、配線用開口部８１が形成されている。すなわち、回路基板１６に対するフレキシブルケーブル２９の配線作業の際、フレキシブルケーブル２９は、ホルダー部材１５の仕切板２１に設けられた配線挿通口２８に挿通されると共に、配線用開口部８１に挿通されて、回路基板１６の上面側に引き出される。

図１５に示されるように、本実施形態における第２端子部３４は、フレキシブルケーブル２９の他端部において当該フレキシブルケーブル２９の幅方向（換言すると、Ｘ方向）に沿って形成されている。すなわち、第２端子部３４を構成する第２端子７７が、フレキシブルケーブル２９の幅方向に沿って並設されている。このため、フレキシブルケーブル２９の他端部における配線７３も、フレキシブルケーブル２９の幅方向に沿って並んでいる。これに対応して、回路基板１６の回路基板端子部３５もＸ方向に沿って形成されている。そして、第２端子部３４と回路基板端子部３５との電気的な接続部分、すなわち、フレキシブルケーブル２９と回路基板１６とが互いに固定された固定領域（換言すると、実装部分）は、平面視においてＸ方向に長尺となっている。換言すると、第２曲げ部７９が、平面視でＹ方向よりもＸ方向に長尺となっている。このため、本実施形態においても、記録ヘッド３の構成部材のうち平面視でＸ方向よりもＹ方向に長尺な構成部材が当該Ｙ方向において反った場合においても、電気的な接点である第２端子部３４と回路基板端子部３５の実装部分の剥離を抑制することが可能となる。なお、他の構成については、第１実施形態と同様である。

図１６は、フレキシブルケーブル２９の端子部３３と流路形成基板４５のヘッド基板端子部６２との電気的な接合に関する変形例を説明する模式図である。上記各実施形態においては、フレキシブルケーブル２９と流路形成基板４５との固定領域、あるいは、フレキシブルケーブル２９と回路基板１６との固定領域において、フレキシブルケーブル２９の端子部３３，３４がそれぞれヘッド基板端子部６２及び回路基板端子部３５と電気的に接合された構成を例示したが、これには限られない。例えば、図１６に示される変形例では、フレキシブルケーブル２９と流路形成基板４５との固定領域とは異なる位置にヘッド基板端子部６２が設けられている。そして、フレキシブルケーブル２９と流路形成基板４５とが接着剤により固定される一方、フレキシブルケーブル２９の端子部３３とヘッド基板端子部６２とは、ワイヤー８３を介したワイヤーボンディングにより電気的に接合されている。同様に、フレキシブルケーブル２９の第２端子部３４と、回路基板１６の回路基板端子部３５との接合に関しても同様にワイヤーボンディングに電気的に接合されてもよい。

このような、ワイヤーボンディングにより電気的な接続を行う構成を採用することにより、フレキシブルケーブル２９が固定される対象であるヘッド基板は、必ずしも電極端子や配線等が設けられたものには限られない。例えば、上記保護基板４６にフレキシブルケーブル２９が固定され、当該部分からワイヤーボンディングにより流路形成基板４５上のヘッド基板端子部６２と第１端子部３３とが電気的に接続される構成を採用することも可能である。この例の場合、保護基板４６が本発明におけるヘッド基板に相当する。

図１７は、フレキシブルケーブル２９の他の変形例について説明する正面図である。上記第１実施形態では、フレキシブルケーブル２９が流路形成基板４５と回路基板１６との間で撓んでいる構成を例示したが、これには限られず、例えば、フレキシブルケーブル２９が流路形成基板４５と回路基板１６との間で折り曲げられている構成を採用することもできる。例えば、図１７に示される変形例のフレキシブルケーブル２９は、途中の第１屈曲部８４とこれとは異なる位置の第２の屈曲部８５とでそれぞれ略９０°ずつ屈曲されている。このようなフレキシブルケーブル２９の折り曲げの仕方は、実装対象の基板における端子部の形成位置等のレイアウトに応じて任意に選択することができる。このようにフレキシブルケーブル２９が流路形成基板４５と回路基板１６との間で折り曲げられていることにより、上記第１実施形態と同様に、フレキシブルケーブル２９の長さに余裕が持たされている。これにより、Ｘ方向よりもＹ方向に長尺な構成部材が反ったとしても、その分、当該反りの影響を緩和することができる。その結果、フレキシブルケーブル２９の実装部分における剥離をより確実に抑制することが可能となる。

また、上記実施形態における記録ヘッド３として、記録媒体Ｓに対して幅方向の走査を伴うことなくインクを噴射する所謂ライン型記録ヘッドを例示したが、これには限られず、記録媒体Ｓの幅方向に往復走査させながらインクを噴射させる所謂シリアル型記録ヘッドにも同様に本発明を適用することができる。

そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、本発明は、複数のヘッドユニットを共通部材に固定する構成を採用する他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…ヘッドユニット，５…搬送機構，６…媒体支持部，７…装置本体，８…液体供給チューブ，９…ケーブル挿通口，１０…搬送ローラー，１３…流路部材，１４…カバー部材，１５…ホルダー部材，１６…回路基板，１７…固定板，１９…第１収容凹部，２０…第２収容凹部，２１…仕切板，２２…側壁，２４…ノズル，２５…ノズル列，２６…ノズルプレート，２７…連通流路，２８…配線挿通口，２９…フレキシブルケーブル，３１…流路接続部，３３…第１端子部，３４…第２端子部，３５…回路基板端子部，３６…コネクター，３７…逃げ穴，３９…供給流路，４０…開口部，４１…流入口，４３…配線用開口，４４…インク導入口，４５…流路形成基板，４６…保護基板，４７…リザーバー形成基板，４８…コンプライアンス基板，４９…駆動ＩＣ，５０…収容空部，５１…圧力室，５２…連通部，５３…個別供給路，５５…弾性膜，５６…絶縁膜，５７…下電極，５８…圧電体層，５９…上電極，６０…圧電素子，６１…リード電極，６２…ヘッド基板端子部，６３…圧電素子収容空部，６４…インク貯留空部，６５…リザーバー，６７…桁，６８…熱伝導部材，６９…封止膜，７０…支持版，７１…貫通開口，７２…ベースフィルム，７３…配線，７６…第１端子，７７…第２端子，７８…第１曲げ部，７９…第２曲げ部，８１…配線用開口部，８３…ワイヤー，８４…第１屈曲部，８５…第２屈曲部

Claims (17)

1. 液体を噴射するヘッドユニットと、
   前記ヘッドユニットが有するヘッド基板に一端部が固定されたフレキシブルケーブルと、
   前記ヘッドユニットが複数固定された共通部材と、
   を備え、
   前記共通部材は、互いに直交する３つの方向をそれぞれ第１方向、第２方向、第３方向としたとき、前記第１方向と前記第２方向とにより定まる仮想面に置いたときに前記第３方向が厚さ方向となり、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
   前記第３方向からの平面視において、前記フレキシブルケーブルと前記ヘッド基板とが固定された固定領域は、前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であり、
   前記ヘッドユニットは、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
   複数の前記ヘッドユニットは、前記第１方向に沿って配列されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 液体を噴射するヘッドユニットと、
   前記ヘッドユニットが有するヘッド基板に一端部が固定され、当該ヘッドユニットに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと、
   前記ヘッドユニットが複数固定された共通部材と、
   を備え、
   前記共通部材は、互いに直交する３つの方向をそれぞれ第１方向、第２方向、第３方向としたとき、前記第１方向と前記第２方向とにより定まる仮想面に置いたときに前記第３方向が厚さ方向となり、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
   前記フレキシブルケーブルにおいて、前記ヘッド基板に沿った部分と前記ヘッド基板に交差する方向に延びる部分との間の曲げ部は、前記第３方向からの平面視で前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であり、
   前記ヘッドユニットは、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
   複数の前記ヘッドユニットは、前記第１方向に沿って配列されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
3. 前記フレキシブルケーブルの他端部が固定された回路基板を備え、
   前記平面視において前記フレキシブルケーブルと前記回路基板とが固定された領域は、
   前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記フレキシブルケーブルの他端部が固定された回路基板を備え、
   前記フレキシブルケーブルにおいて、前記回路基板に沿った部分と前記回路基板に交差する方向に延びる部分との間の曲げ部は、前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
5. 液体を噴射するヘッドユニットと、
   前記ヘッドユニットが有するヘッド基板に一端部が固定され、当該ヘッドユニットに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと、
   前記ヘッドユニットが複数固定された共通部材と、
   前記フレキシブルケーブルの他端部が固定された回路基板と、
   を備え、
   前記共通部材は、互いに直交する３つの方向をそれぞれ第１方向、第２方向、第３方向としたとき、前記第１方向と前記第２方向とにより定まる仮想面に置いたときに前記第３方向が厚さ方向となり、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
   前記第３方向からの平面視において前記フレキシブルケーブルと前記回路基板とが固定された領域は、前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であり、
   前記ヘッドユニットは、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
   複数の前記ヘッドユニットは、前記第１方向に沿って配列されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
6. 液体を噴射するヘッドユニットと、
   前記ヘッドユニットが有するヘッド基板に一端部が固定され、当該ヘッドユニットに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと、
   前記ヘッドユニットが複数固定された共通部材と、
   前記フレキシブルケーブルの他端部が固定された回路基板と、
   を備え、
   前記共通部材は、互いに直交する３つの方向をそれぞれ第１方向、第２方向、第３方向としたとき、前記第１方向と前記第２方向とにより定まる仮想面に置いたときに前記第３方向が厚さ方向となり、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
   前記フレキシブルケーブルにおいて、前記回路基板に沿った部分と前記回路基板に交差する方向に延びる部分との間の曲げ部は、前記第３方向からの平面視において前記第１方向よりも前記第２方向に長尺であり、
   前記ヘッドユニットは、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺であり、
   複数の前記ヘッドユニットは、前記第１方向に沿って配列されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
7. 前記回路基板は、複数設けられ、
   前記共通部材との間で前記複数の回路基板を覆い、前記第２方向よりも前記第１方向に長尺なカバー部材を備えたことを特徴とする請求項３から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記フレキシブルケーブルは、前記ヘッド基板と前記回路基板との間で撓んでいることを特徴とする請求項３から請求項７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記フレキシブルケーブルは、前記ヘッド基板と前記回路基板との間で折り曲げられていることを特徴とする請求項３から請求項７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 前記共通部材は、前記平面視において前記第２方向よりも前記第１方向に長尺なホルダー部材と固定板とを備え、
    前記複数のヘッドユニットは前記固定板に固定され、
    前記ホルダー部材は、
    第１面側に形成されて前記ヘッドユニットが収容された第１凹部と、前記第１面とは反対側の第２面側に形成されて前記回路基板が収容された第２凹部と、を有することを特徴とする請求項３から請求項９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
11. 前記ホルダー部材の熱膨張率と前記固定板の熱膨張率とが異なることを特徴とする請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。
12. 前記平面視において前記フレキシブルケーブルと前記ヘッド基板とが固定された領域は、前記ヘッドユニットと前記共通部材とを固定する領域と重なることを特徴とする請求項１から請求項１１の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
13. 前記フレキシブルケーブルが前記ヘッド基板から離間する位置は、前記第１方向において、前記ヘッドユニットの中心に対して偏っており、
    複数の前記ヘッドユニットの内、前記第１方向の両側に位置する前記ヘッドユニットの前記ヘッド基板に固定された前記フレキシブルケーブルは、前記第１方向において前記共通部材の中心からより遠くに配置されたことを特徴とする請求項１から請求項１２の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
14. 前記一端部における配線の太さは、前記他端部における配線の太さよりも細いことを特徴とする請求項１から請求項１３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
15. 前記一端部における配線のピッチは、前記他端部における配線のピッチよりも狭いことを特徴とする請求項１から請求項１４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
16. 前記一端部における配線が並ぶ方向は、前記フレキシブルケーブルの幅方向であり、
    前記他端部における配線が並ぶ方向は、当該フレキシブルケーブルの長さ方向であることを特徴とする請求項１から請求項１５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
17. 請求項１から請求項１６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。

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