JP2022148821A - 液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板、液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】電流集中に因って液体の吐出が不安定になることを抑え、製作コストも抑えることのできる液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板を提供する。
【解決手段】実施形態の液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板は、複数の駆動回路、各チャネルの個別配線、各チャネルの共通配線、及び熱圧着用の配線端子部を備える。複数の駆動回路は、液体を吐出する複数のチャネルに夫々与える駆動信号を出力する。各チャネルの個別配線は、駆動回路に夫々接続する。各チャネルの共通配線は、基板先端側に配置した共通電極部に接続する。熱圧着用の配線端子部は、共通電極部と駆動回路との間に、個別配線と共通配線を櫛歯状に配列している。
【選択図】図４

Description

本発明の実施形態は、液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板、及び液体吐出ヘッドに関する。

所定量の液体を所定の位置に供給する液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えばインクジェットプリンタ、３Ｄプリンタ、分注装置などに搭載する。インクジェットプリンタは、インクの液滴をインクジェットヘッドから吐出して、記録媒体の表面に画像等を形成する。３Ｄプリンタは、造形材の液滴を造形材吐出ヘッドから吐出し、硬化させて、三次元造形物を形成する。分注装置は、試料の液滴を吐出して複数の容器等へ所定量供給する。

液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルとアクチュエーターを備えるチャネルを複数有している。液体吐出ヘッドは、複数のチャネルの中から液体を吐出するチャネルを選択し、駆動ＩＣでアクチュエーターに駆動信号を与えて駆動させる。複数のチャネルのアクチュエーターは、例えばアクチュエーター基板に形成する。

アクチュエーターを駆動する駆動ＩＣは、アクチュエーター基板に接続するフレキシブルプリント配線板に搭載する。駆動ＩＣは、アクチュエーター基板及びフレキシブルプリント配線板に形成した個別配線を通じてアクチュエーターの一方の電極に駆動信号を与える。アクチュエーターの他方の電極は、共通配線を通じて例えばグランド（ＧＮＤ）に接続する。この場合、個別配線と共通配線をアクチュエーター基板上で３次元構造にする必要があり、製作コストが高くなることが多い。

また、各チャネルの共通配線を共通接続する共通電極を、アクチュエーター基板上にチャネルの配列方向に沿って形成すると、複数のチャネルを同時に駆動させた際に電流集中が生じる。そのため、特に配列方向の中央付近に位置するチャネルのアクチュエーターは、電圧降下により液体の吐出が不安定になることがある。

特開２０１６－４３４８４公報 特開平９－２８６０９９公報

本発明が解決しようとする課題は、電流集中に因って液体の吐出が不安定になることを抑え、製作コストも抑えることのできる液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板、及び液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明の実施形態の液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板は、複数の駆動回路、各チャネルの個別配線、各チャネルの共通配線、及び熱圧着用の配線端子部を備える。複数の駆動回路は、液体を吐出する複数のチャネルに夫々与える駆動信号を出力する。各チャネルの個別配線は、駆動回路に夫々接続する。各チャネルの共通配線は、基板先端側に配置した共通電極部に接続する。熱圧着用の配線端子部は、共通電極部と駆動回路との間に、個別配線と共通配線を櫛歯状に配列している。

第１実施形態に従うインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタの全体構成図である。 上記インクジェットヘッドの斜視図である。 上記インクジェットヘッドのアクチュエーターの断面図である。 上記インクジェットヘッドのアクチュエーター基板、フレキシブルプリント配線板及びプリント基板の平面図である。 上記インクジェットヘッドのアクチュエーター基板、フレキシブルプリント配線板及びプリント基板を接続した状態を示す側面図である。 上記インクジェットヘッドの駆動系の構成図である。 第２実施形態に従うインクジェットヘッドのアクチュエーター基板、フレキシブルプリント配線板及びプリント基板の平面図である。 フレキシブルプリント配線板の部分拡大図である。 上記インクジェットヘッドのアクチュエーター基板、フレキシブルプリント配線板及びプリント基板を接続した状態を示す側面図である。

以下、実施形態に従う液体吐出ヘッドについて、添付図面を参照しながら詳述する。なお、各図において、同一構成は同一の符号を付している。

（第１実施形態）
実施形態の液体吐出ヘッドを搭載した画像形成装置の一例として、記録媒体に画像を印刷するインクジェットプリンタ１０を説明する。図１は、インクジェットプリンタ１０の概略構成を示す。インクジェットプリンタ１０は、筐体１１の内部に、記録媒体の一例であるシートＳを収納するカセット１２、シートＳの上流搬送路１３、カセット１２内から取り出したシートＳを搬送する搬送ベルト１４、搬送ベルト１４上のシートＳに向けてインクの液滴を吐出する複数のインクジェットヘッド１００～１０３、シートＳの下流搬送路１５、排出トレイ１６、及び制御基板１７を配置する。ユーザーインターフェイスである操作部１８は、筐体１１の上部側に配置する。

シートＳに印刷する画像データは、例えば外部接続機器であるコンピュータ２００で生成する。コンピュータ２００で生成した画像データは、ケーブル２０１、コネクタ２０２，２０３を通してインクジェットプリンタ１０の制御基板１７に送る。

ピックアップローラ２０４は、カセット１２からシートＳを一枚ずつ上流搬送路１３へ供給する。上流搬送路１３は、送りローラ対１３１、１３２と、シート案内板１３３、１３４で構成する。シートＳは、上流搬送路１３を経由して、搬送ベルト１４の上面に送る。図中の矢印１０４は、カセット１２から搬送ベルト１４へのシートＳの搬送経路を示す。

搬送ベルト１４は、表面に多数の貫通孔を形成した網状の無端ベルトである。駆動ローラ１４１、従動ローラ１４２，１４３の３本のローラは、搬送ベルト１４を回転自在に支持する。モータ２０５は、駆動ローラ１４１を回転することによって搬送ベルト１４を回転させる。モータ２０５は、駆動装置の一例である。図中１０５は、搬送ベルト１４の回転方向を示す。搬送ベルト１４の裏面側に、負圧容器２０６を配置する。負圧容器２０６は、減圧用のファン２０７と連結する。ファン２０７は、形成する気流によって負圧容器２０６内を負圧にし、搬送ベルト１４の上面にシートＳを吸着保持させる。図中１０６は、気流の流れを示す。

液体吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッド１００～１０３は、搬送ベルト１４上に吸着保持したシートＳに対して、例えば１ｍｍの僅かな隙間を介して対向するように配置する。インクジェットヘッド１００～１０３は、シートＳに向けてインクの液滴を夫々吐出する。インクジェットヘッド１００～１０３は、下方をシートＳが通過する際に画像を印刷する。各インクジェットヘッド１００～１０３は、吐出するインクの色が異なることを除けば、同じ構造である。インクの色は、例えば、シアン，マゼンタ，イエロー，ブラックである。

インクジェットヘッド１００～１０３は、夫々、インク流路３１１～３１４を介してインクタンク３１５～３１８及びインク供給圧力調整装置３２１～３２４と連結する。各インクタンク３１５～３１８は、各インクジェットヘッド１００～１０３の上方に配置する。待機時に、インクジェットヘッド１００～１０３のノズル２５（図２参照）からインクが漏れ出ないように、各インク供給圧力調整装置３２１～３２４は、各インクジェットヘッド１００～１０３内を大気圧に対して負圧、例えば－１．２ｋＰａに調整している。画像形成時、各インクタンク３１５～３１８のインクは、インク供給圧力調整装置３２１～３２４によって各インクジェットヘッド１００～１０３に供給する。

画像形成後、搬送ベルト１４から下流搬送路１５へシートＳを送る。下流搬送路１５は、送りローラ対１５１，１５２，１５３，１５４と、シートＳの搬送経路を規定するシート案内板１５５，１５６で構成する。シートＳは、下流搬送路１５を経由し、排出口１５７から排出トレイ１６へ送る。図中矢印１０７は、シートＳの搬送経路を示す。

続いて、インクジェットヘッド１００～１０３の構成について説明する。以下は、図２～図６を参照しながら、インクジェットヘッド１００について説明しているが、インクジェットヘッド１０１～１０３もインクジェットヘッド１００と同じ構造である。

図２に示すように、インクジェットヘッド１００は、液体吐出部の一例であるノズルヘッド部２、フィルム配線基板の一例であるフレキシブルプリント配線板３を備えている。ノズルヘッド部２は、ノズルプレート２１、アクチュエーター基板２２、アクチュエーター基板２２に形成した圧力室５１及び空気室５２の開口部を封止する封止部材２３、及び封止部材２３に形成したインク供給口２４を備えている。インク供給口２４は、図１のインク供給圧力調整装置３２１にインク流路３１１を介して接続する。

フレキシブルプリント配線板３は、ノズルヘッド部２のアクチュエーター基板２２、及び中継基板としてのプリント基板４と接続する。フレキシブルプリント配線板３は、ドライバチップである駆動用のＩＣ（Integrated Circuit）３１を搭載している（以下、駆動ＩＣと称す）。なお、駆動用ＩＣ３１は、フレキシブルプリント配線板３とは別の基板に搭載され、その別の基板からフレキシブルプリント配線板３に接続されるようにしてもよい。駆動ＩＣ３１は、プリント基板４を介して送られてくるインクジェットプリンタ１０の制御基板１７からのプリントデータを一時的に格納し、所定のタイミングでインクを吐出するように駆動信号を各チャネルに与える。

ノズルプレート２１は、例えばポリイミドなどの樹脂又はステンレスなどの金属で形成した矩形状のプレートである。インクを吐出するノズル２５は、ノズルプレート２１の表面に複数形成する。ノズル密度は、例えば１５０～１２００ｄｐｉの範囲内に設定する。

アクチュエーター基板２２は、例えば絶縁性のセラミックスで形成した矩形状の基板である。図３に示すように、アクチュエーター基板２２に、インクの圧力室５１と空気室５２を第１の方向例えばＸ方向に沿って交互に複数形成する。圧力室５１は、ノズル２５と連通する。圧力室５１は、例えばアクチュエーター基板２２或いは封止部材２３に形成した共通インク室（不図示）を介してインク供給口２４と連通する。すなわち、ノズルヘッド部２は、インク供給口２４を通じて各チャネルの圧力室５１にインクを供給する。つまり、ノズルヘッド部２は、液体吐出部と液体供給部を兼ねている。一方、圧力室５１に隣接して配置した空気室５２は、ノズル２５及び共通インク室（不図示）とは連通しない閉鎖空間とする。圧力室５１及び空気室５２は、アクチュエーター基板２２に、例えば分極方向が相反する方向（一例として対向方向）に積層した２枚の圧電部材２６，２７を、第２の方向例えばＺ方向に例えば矩形の溝状に切り欠くことによって形成する。すなわち、圧力室５１と空気室５２の間は、第３の方向例えばＹ方向に積層した圧電部材２６，２７を側壁にして仕切っている。

電極５３は、圧力室５１の底面及び両側面に一体的に形成する。圧力室５１の電極５３は、配線電極である個別配線５４と接続する。電極５５は、空気室５２の底面及び両側面に一体的に形成する。空気室５２の電極５５は、配線電極である共通配線５６と接続する。すなわち、圧力室５１の電極５３と個別配線５４の接続点がアクチュエーター５の一方の端子である。空気室５２の電極５５と共通配線５６の接続点がアクチュエーター５の他方の端子である。電極５３，５５、個別配線５４及び共通配線５６は、例えばニッケル薄膜で形成する。個別配線５４は、駆動ＩＣ３１の駆動ドライバＤ（すなわち、駆動回路）に接続する。各チャネルの駆動ドライバＤは、各チャネルのアクチュエーター５に対し、駆動信号として駆動電圧Ｖ１を夫々与える。共通配線５６は、例えばグランド（ＧＮＤ）に接続する。この構成により、駆動電圧Ｖ１を与えたアクチュエーター５は、圧電部材２６，２７の分極軸と交差（望ましくは、直交）する方向に電界が印加され、圧力室５１のＸ方向の側壁となっている圧電部材２６，２７がシアモードでＸ方向に対称に変形する。

すなわち、インクの圧力室５１は、圧電部材２６，２７を用いた柱状の一対のアクチュエーター５に挟まれて形成している。その柱状のアクチュエーター５の両壁、すなわち圧力室５１の内側の壁と外側の壁に電位差を与え、アクチュエーター５を充電することによってアクチュエーター５を変形させる。これにより圧力室５１の容積が変化し、その結果、圧力室５１内のインク圧が変化する。この変化の大きさとタイミングを調整することによって、ノズル２５からインクを吐出する。

図４は、アクチュエーター基板２２、フレキシブルプリント配線板３、及びプリント基板４の配線を夫々示す。図４は、各基板２２，３，４を互いに接続する前の平面図である。図５は、各基板２２，３，４を互いに接続した状態を示す側面図である。アクチュエーター基板２２とフレキシブルプリント配線板３は、互いの端子部２０，３０同士を接続する。フレキシブルプリント配線板３とプリント基板４は、互いの端子部３２，４０同士を接続する。

既述のように、アクチュエーター基板２２は、アクチュエーター５の一方の端子に個別配線５４を接続し、アクチュエーター５の他方の端子に共通配線５６を接続する。各端子から引き出した個別配線５４と共通配線５６は、端子部２０まで形成する。端子部２０の個別配線５４と共通配線５６は、例えば交互に互いに等間隔で並列に形成する。個別配線５４及び共通配線５６は、例えば、ニッケル、アルミ、金またはこれらの合金などで薄膜状に形成する。絶縁性確保のため、例えば端子部２０を除いた領域に絶縁層や絶縁部材などを設ける。端子部２０における、個別配線５４と共通配線５６の配線幅と配線間隔は、夫々、例えば１０μｍ～３０μｍの範囲内から選択する。各配線５４，５６の厚みは、例えば０．４μｍとする。

フレキシブルプリント配線板３は、例えばポリイミドなどの合成樹脂フィルムを用いたフレキシブルなプリント配線基板である。駆動ＩＣ３１は、例えばシリコン半導体基板上に形成したドライバチップである。フレキシブルプリント配線板３には、出力配線３３、入力配線３４、電圧Ｖ１の電源配線３５、グランド配線３６、共通電極部３７、共通配線３８、及び共通通過配線３９を形成する。これら配線及び駆動ＩＣ３１は、フレキシブルプリント配線板３の片面に形成するのが好ましい。両面に形成するとスルーホールなどが追加で必要になるからである。駆動ＩＣ３１から引き出した出力配線３３は、端子部３０にまで形成する。出力配線３３は、フレキシブルプリント配線板３に形成した個別配線である。出力配線３３の本数は、アクチュエーター基板２２側の個別配線５４の本数と例えば同じにする。

共通電極部３７は、基板先端側（すなわち、アクチュエーター基板２２側）に、基板表面の一方向例えば幅方向に沿って形成する。共通電極部３７から駆動ＩＣ３１側に引き出した共通配線３８は、端子部３０にまで形成する。このとき、端子部３０では、出力配線（個別配線）３３と共通配線３８を、例えば交互に互いに等間隔で並列に形成する。すなわち、出力配線（個別配線）３３と共通配線３８を櫛歯状に配列する。この櫛歯状の端子部３０は、熱圧着用の配線端子部となる。共通電極部３７は、全てのアクチュエーター５に充放電電流を供給する必要があるため、共通配線３８よりも幅を広くしている。共通電極部３７の電極幅は、例えば０．８ｍｍである。このように、共通電極部３７をアクチュエーター基板２２ではなくフレキシブルプリント配線板３に形成すると、アクチュエーター基板２２に形成する場合よりも共通電極部３７を厚くすることができる。共通電極部３７の厚みは、例えば８μｍである。その結果、駆動時の電流集中による電圧降下を抑えることができる。

共通通過配線３９は、共通電極部３７の両端に接続する。共通通過配線３９は、プリント基板４を接続する側の端子部３２にまで形成する。共通通過配線３９は、駆動時の電流集中を緩和するため両サイドに夫々形成するのが好ましい。

駆動ＩＣ３１から引き出した入力配線３４は、プリント基板４を接続する側の端子部３２にまで形成する。なお、駆動ＩＣ３１はシリアル通信によって制御できるので、入力配線３４の本数は、出力配線３３の数よりも少なくすることができる。

電源配線３５及びグランド配線３６は、夫々駆動ＩＣ３１に接続する。電源配線３５及びグランド配線３６は、プリント基板４を接続する側の端子部３２にまで夫々形成する。出力配線３３、入力配線３４、電源配線３５、グランド配線３６、共通電極部３７、共通配線３８、及び共通通過配線３９は、例えば銅で薄膜状に形成する。厚みは、例えば８μｍである。端子部３０の出力配線３３と共通配線３８の配線幅と配線間隔は、夫々、例えば１０μｍ～３０μｍの範囲内から選択する。入力配線３４の配線幅は、例えば０．１５ｍｍである。入力配線３４の配線間隔は、例えば０．１５ｍｍである。電源配線３５、グランド配線３６、共通通過配線３９の配線幅は、夫々、例えば０．４ｍｍである。

プリント基板４は、ガラス繊維入りのエポキシ樹脂層と銅配線層を多重に積層した硬質のスルーホール基板である。端子部４０には、出力配線４１、電源配線４２、及びグランド配線４３を夫々形成する。出力配線４１は、フレキシブルプリント配線板３の入力配線３４と接続する。電源配線４２は、フレキシブルプリント配線板３の電源配線３５と接続する。グランド配線４３は、フレキシブルプリント配線板３のグランド配線３６及び共通通過配線３９と接続する。出力配線４１には、インクジェットプリンタ１０の制御基板１７からの各アクチュエーター５を選択的に駆動させる信号を与える。電源配線４２には、駆動電圧Ｖ１を与える。グランド配線４３は、例えばインクジェットプリンタ１０の制御基板１７でグランド（ＧＮＤ）に接続する。

図５に示すように、アクチュエーター基板２２の端子部２０とフレキシブルプリント配線板３の端子部３０は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ、Anisotropic Conductive Film）６を介して接続する。すなわち、アクチュエーター基板２２の端子部２０とフレキシブルプリント配線板３の端子部３０を互いに対向するように配置し、その間にＡＣＦ６を介在させ、熱圧着ツールを用いて熱圧着させることにより、端子部２０，３０の配線を一括接続する。これにより、個別配線５４と出力配線３３、共通配線５６と共通配線３８の各々を電気的に接続できる。フレキシブルプリント配線板３とプリント基板４の接続も同様である。なお、基板先端側に形成した共通電極部３７がアクチュエーター基板２２に接して短絡しないように、フレキシブルプリント配線板３の先端部分を、くの字に曲げるのが好ましい。くの字に曲げた部分は、図５に例示したように封止部材２３上に載せてもよく、或いは、くの字に曲げた状態を自立で維持するようにしてもよい。さらに、くの字に曲げ易くするために、フレキシブルプリント配線板３の両側辺に切り欠きを設けるのが好ましい。

上述のように形成したインクジェットヘッド１００は、図６に示すように、駆動ＩＣ３１の駆動ドライバＤを各アクチュエーター５に割り当てることができる。各チャネルの駆動ドライバＤは、個別配線５４を通じて各アクチュエーター５に駆動電圧Ｖ１を与えてノズル２５からインクを吐出させることができる。

（第２実施形態）
続いて、第２実施形態に従うインクジェットヘッド１００について説明する。第２実施形態に従うインクジェットヘッド１００は、フレキシブルプリント配線板３の配線構成が異なることを除けば、第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様の構成である。従って、第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様の構成については、同じ符号を付すことで詳しい説明を省略する。

図７は、アクチュエーター基板２２、フレキシブルプリント配線板３、及びプリント基板４の配線を夫々示す。図７は、各基板２２，３，４を互いに接続する前の平面図である。図８は、フレキシブルプリント配線板３を部分拡大した平面図と側面図を併せて示している。図９は、各基板２２，３，４を互いに接続した状態を示す側面図である。

図７及び図８に示すように、本実施形態のフレキシブルプリント配線板３は、共通配線３８を、グランド配線３６から引き出して端子部３０にまで形成する。より詳細には、フレキシブルプリント配線板３上に形成したグランド配線３６の、駆動ＩＣ３１の配置領域内にある部分を共通電極部とし、各チャネルの共通配線３８を共通接続している。すなわち、グランド配線３６が共通電極部を兼ねている。このため、第１実施形態の共通電極部３７及び共通通過配線３９を省略している。

特に図８の（ａ）平面図と（ｂ）側面図に示すように、個別配線である出力配線３３は、バンプ６１を介して駆動ＩＣ３１に接続する。共通配線３８は、隣り合う出力配線３３のバンプ６１の間を通してグランド配線３６に接続する。グランド配線３６は、バンプ６２を介して駆動ＩＣ３１に接続する。電源配線３５は、バンプ６３を介して駆動ＩＣ３１に接続する。入力配線３４は、バンプ６４を介して駆動ＩＣ３１に接続する。駆動ＩＣ３１と基板表面との間は、アンダーフィル６５によって保護する。

アクチュエーター基板２２の端子部２０とフレキシブルプリント配線板３の端子部３０は、図９に示すように、ＡＣＦ６を介して接続する。フレキシブルプリント配線板３とプリント基板４の接続も同様である。本実施形態のフレキシブルプリント配線板３は、第１実施形態のような基板先端部の共通電極部３７と両サイドの共通通過配線３９を省略した分、基板面積を小さくすることができる。さらに、基板先端部を、くの字に曲げなくてよい。但し、グランド配線３６が共通電極部を兼ねた構成に限らず、例えば分離して基板上で接続するようにしてもよい。

上述のいずれかの実施形態によれば、共通電極部（共通電極部３７或いはグランド配線３６が兼用）をフレキシブルプリント配線板３に設けて各チャネルの共通配線３８を共通接続すると共に、駆動ＩＣ３１からの出力配線（個別配線）３３と共通電極部からの共通配線３８を櫛歯状に配列した端子部３０をフレキシブルプリント配線板３に設けたことにより、電流集中に因ってインクの吐出が不安定になることを抑えることができる。さらに、アクチュエーター基板２２に共通電極部を形成する場合に比べて、製作コストも抑えることができる。特にフィルムキャリアパッケージとして製作できる点で効果的である。

なお、インクジェットヘッド１００は、圧力室５１と空気室５２を交互に配置したシアモード型のアクチュエーター５に限らない。例えばノズル２５とアクチュエーター５の両方をノズルプレート２１の面上に複数配置した構成としてもよい。その他のドロップオンデマンド・ピエゾ方式のアクチュエーター５であってもよい。

上述の実施形態では、インクジェットプリンタ１０のインクジェットヘッド１００を液体吐出装置の一例として説明したが、液体吐出装置は、３Ｄプリンタの造形材吐出ヘッド、分注装置の試料吐出ヘッドであってもよい。

すなわち、上述の実施形態によれば、以下の液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板を提供することができる。
（１）液体を吐出する複数のチャネルに与える駆動信号を出力する複数の駆動回路と、
前記駆動回路に夫々接続した前記チャネルの個別配線と、
基板先端側に配置した共通電極部に接続した前記チャネルの共通配線と、
前記共通電極部と前記駆動回路との間に、前記個別配線と前記共通配線を櫛歯状に配列した熱圧着用の配線端子部と、を備える。
（２）液体を吐出する複数のチャネルに与える駆動信号を出力する複数の駆動回路を備えたドライバチップと、
前記ドライバチップ内の駆動回路に夫々接続した前記チャネルの個別配線と、
前記ドライバチップの配置領域内で共通電極部に接続した前記チャネルの共通配線と、
前記個別配線と前記共通配線を櫛歯状に配列した熱圧着用の配線端子部と、を備える。
（３）前記配線端子部は、前記個別配線と前記共通配線を交互に配列する。
（４）前記共通電極部は、前記ドライバチップに接続したグランド配線が兼ねる。
（５）前記フィルム配線基板は、前記基板先端側に配置した共通電極部の部分を折り曲げ可能である。
（６）前記フィルム配線基板の側辺には、前記折り曲げる位置に切り欠きを形成する。
（７）前記フィルム配線基板は、基板の片面に前記駆動回路、前記個別配線、前記共通配線、前記共通電極部、及び前記配線接続部を形成している。

さらに、上述の実施形態によれば、以下の液体吐出ヘッドを提供することができる。
（８）液体を吐出するノズル及びアクチュエーターを夫々備える複数のチャネルと、
前記チャネルに液体を供給する液体供給部と、
上記（１）～（７）のいずれかに記載のフィルム配線基板と、を備える。
（９）前記チャネルは、前記ノズルに連通する液体の圧力室と、前記圧力室に隣接して配置した空気室と、前記圧力室と前記空気室の間を仕切る前記アクチュエーターを備え、
前記フィルム配線基板の前記個別配線は、前記圧力室に設けた電極と電気的に接続し、前記共通配線は、前記空気室に設けた電極と電気的に接続する。

本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０ インクジェットプリンタ
１００～１０３ インクジェットヘッド
２ ノズルヘッド部
２２ アクチュエーター基板
２５ ノズル
３ フレキシブルプリント配線板（フィルム配線基板）
３０ 端子部
３１ 駆動ＩＣ（ドライバチップ）
３３ 出力配線（個別配線）
３７ 共通電極部
３８ 共通配線
４ プリント基板
５ アクチュエーター
５１ 圧力室
５２ 空気室
Ｄ 駆動ドライバ（駆動回路）

Claims (5)

1. 液体を吐出する複数のチャネルに与える駆動信号を出力する複数の駆動回路と、
   前記駆動回路に夫々接続した前記チャネルの個別配線と、
   基板先端側に配置した共通電極部に接続した前記チャネルの共通配線と、
   前記共通電極部と前記駆動回路との間に、前記個別配線と前記共通配線を櫛歯状に配列した熱圧着用の配線端子部と、を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板。
2. 液体を吐出する複数のチャネルに与える駆動信号を出力する複数の駆動回路を備えたドライバチップと、
   前記ドライバチップ内の駆動回路に夫々接続した前記チャネルの個別配線と、
   前記ドライバチップの配置領域内で共通電極部に接続した前記チャネルの共通配線と、
   前記個別配線と前記共通配線を櫛歯状に配列した熱圧着用の配線端子部と、を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板。
3. 前記配線端子部は、前記個別配線と前記共通配線を交互に配列したことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板。
4. 液体を吐出するノズル及びアクチュエーターを夫々備える複数のチャネルと、
   前記チャネルに液体を供給する液体供給部と、
   前記請求項１～３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド駆動用のフィルム配線基板と、を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
5. 前記チャネルは、前記ノズルに連通する液体の圧力室と、前記圧力室に隣接して配置した空気室と、前記圧力室と前記空気室の間を仕切る前記アクチュエーターを備え、
   前記フィルム配線基板の前記個別配線は、前記圧力室に設けた電極と電気的に接続し、前記共通配線は、前記空気室に設けた電極と電気的に接続することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。

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