JP2020175558A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents
液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020175558A JP2020175558A JP2019078444A JP2019078444A JP2020175558A JP 2020175558 A JP2020175558 A JP 2020175558A JP 2019078444 A JP2019078444 A JP 2019078444A JP 2019078444 A JP2019078444 A JP 2019078444A JP 2020175558 A JP2020175558 A JP 2020175558A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- pressure chamber
- diaphragm
- liquid injection
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 126
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 84
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 84
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 52
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 23
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 23
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 10
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 10
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 10
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 146
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 22
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 description 20
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 14
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 13
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 9
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 2
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1606—Coating the nozzle area or the ink chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/14241—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm having a cover around the piezoelectric thin film element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/14258—Multi layer thin film type piezoelectric element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14362—Assembling elements of heads
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14411—Groove in the nozzle plate
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/12—Embodiments of or processes related to ink-jet heads with ink circulating through the whole print head
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
1−1.液体噴射装置の全体構成
図1は、本実施形態に係る液体噴射装置100を模式的に示す構成図である。液体噴射装置100は、液体の例示であるインクを媒体12に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体12は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体12として利用される。図1に例示される通り、液体噴射装置100には、インクを貯留する液体容器14が設置される。例えば液体噴射装置100に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクが液体容器14として利用される。色彩が相違する複数種のインクが液体容器14には貯留される。
図2は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド26の分解斜視図である。図3は、図2のIII-III線の断面図である。図2に例示される通り、液体噴射ヘッド26は、第1方向の一例であるY方向に配列された複数のノズルNを具備する。本実施形態の複数のノズルNは、第2方向の一例であるX方向に相互に間隔をあけて並設された第1列L1と第2列L2とに区分される。第1列L1および第2列L2の各々は、Y方向に直線状に配列された複数のノズルNの集合である。なお、第1列L1と第2列L2との間で各ノズルNのY方向の位置を相違させること、すなわち千鳥配置またはスタガ配置も可能であるが、第1列L1と第2列L2とで各ノズルNのY方向の位置を一致させた構成を以下では便宜的に例示する。図3から理解される通り、本実施形態の液体噴射ヘッド26は、第1列L1の各ノズルNに関連する要素と第2列L2の各ノズルNに関連する要素とが略線対称に配置された構造である。
図4は、本実施形態における液体噴射ヘッド26の振動板36を示す平面図である。図5は、図4のV-V線の断面図である。図5に例示される通り、振動板36は、第1層361と第2層362とを含む積層体で構成される。第2層362は、第1層361からみて圧力室基板34とは反対側に位置する。第1層361は、二酸化シリコン(SiO2)等の弾性材料で形成される弾性膜であり、第2層362は、二酸化ジルコニウム(ZrO2)等の絶縁材料で形成される絶縁膜である。第1層361および第2層362は、それぞれ、熱酸化またはスパッタリング等の公知の成膜技術により形成される。なお、所定の板厚の板状部材のうち圧力室Cに対応する領域について板厚方向の一部を選択的に除去することで、圧力室基板34と振動板36の一部または全部とを一体に形成することも可能である。
以上の例示における各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択される2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
図8は、変形例1に係る液体噴射ヘッド26Aの断面図である。液体噴射ヘッド26Aでは、振動板36における圧力室C側の面に凹部363が設けられる。凹部363は、平面視で圧力室Cを包含することが好ましい。また、凹部363は、圧力室Cの列の列並び方向であるY方向において圧力室Cより大きく凹部363の底面と側面とを接続する面が曲面である。このため、振動板36の撓み変形時における応力集中に起因するクラック等の発生を低減することができる。なお、凹部363は、例えば、圧力室Cをエッチングにより形成する際に、振動板36をオーバーエッチングすることで形成される。凹部363の深さおよび前述の曲面の曲率半径は、それぞれ、例えば、50nm以上1000nm以下の範囲内である。また、前述の曲面の曲率半径は、凹部363の深さに対して、0.5以上1以下であることが好ましい。また、図8では、耐蝕膜35が省略されるが、耐蝕膜35を設けてもよい。
図9は、変形例2に係る液体噴射ヘッド26Bの断面図である。液体噴射ヘッド26Bでは、振動板36における圧力室Cとは反対側の面上に、樹脂で構成される樹脂層39が配置される。樹脂層39は、平面視で隔壁部342に対応する位置で、振動板36に接合される。このように、液体噴射ヘッド26Bは、圧力室Cを区画する隔壁である隔壁部342と、振動板36を介して隔壁部342に接合される樹脂層39と、を具備する。以上の構成では、振動板36の撓み変形時における応力集中に起因するクラック等の発生を低減することができる。
図10は、変形例3に係る液体噴射ヘッド26Cの断面図である。液体噴射ヘッド26Cは、配線基板46を用いない点、およびインクを循環可能な構成を有する点以外は、前述の実施形態の液体噴射ヘッド26と同様である。図10に例示される通り、液体噴射ヘッド26Cは流路形成部30Cを具備する。流路形成部30Cは、流路基板32Cと圧力室基板34との積層で構成される。また、流路形成部30CよりもZ方向の負側の領域には、振動板36と複数の圧電素子44と保護部材47と筐体部48とが設置される。他方、流路形成部30CよりもZ方向の正側の領域には、ノズル板62Cと吸振体64とが設置される。なお、液体噴射ヘッド26Cのうち中心面Oを挟んでX方向の正側の第1部分P1とX方向の負側の第2部分P2とで構造は実質的に共通する。
(1)前述の各形態では、振動板が腕部を有する場合が例示されるが、これに限定されず、腕部を有しない振動板にも本発明を適用できる。例えば、圧電素子が振動板に接合されずに当接する構成であってもよい。
Claims (12)
- 液体を収容する圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、
前記振動板を振動させる圧電素子と、を具備し、
前記振動板は、複数の層で構成され、
前記複数の層は、
圧縮応力を有する圧縮膜と、
引張り応力を有する引張り膜と、を含み、
前記圧縮膜および前記引張り膜は、前記複数の層のうち最も大きい張力差で互いに隣り合う2つの層であり、
前記圧縮膜と前記引張り膜との張力差の絶対値は、400[N/m]以下である、
液体噴射ヘッド。 - 前記圧縮膜と前記引張り膜との張力差の絶対値は、350[N/m]以下である、
請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記圧縮膜の応力の絶対値は、前記引張り膜の応力の絶対値よりも小さい、
請求項1または2に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記圧縮膜の厚さをT1[nm]とし、前記引張り膜の厚さをT2[nm]とするとき、
T1/T2は、1.2以上2.5以下の範囲内である、
請求項1から3のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記圧縮膜は、二酸化シリコンで構成される、
請求項1から4のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記引張り膜は、二酸化ジルコニウムまたは窒化シリコンで構成される、
請求項1から5のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記圧縮膜または前記引張り膜は、平面視で、前記圧電素子に重なる第1部分と、前記圧電素子に重ならない第2部分と、を有し、
前記第2部分の厚さが前記第1部分の厚さよりも薄い、
請求項1から6のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記引張り膜は、前記圧縮膜と前記圧電素子との間に配置されており、
前記振動板は、前記圧電素子に電圧が印加されない場合、前記圧力室に向けて凸状に撓む、
請求項1から7のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記圧電素子は、
前記振動板における前記圧力室とは反対側の面上に配置される第1電極と、
前記第1電極における前記圧力室とは反対側の面上に配置される圧電体層と、
前記圧電体層における前記圧力室とは反対側の面上に配置される第2電極と、を含み、
前記複数の層は、平面視で前記圧電体層の外縁と前記圧力室の外縁との間に配置され、前記第1電極または前記第2電極と一体で構成される層を含む、
請求項1から8のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記振動板が配置され、前記圧力室を構成する孔が設けられる圧力室基板と、
前記圧力室の壁面上に配置され、前記液体に対する耐性が前記圧力室基板よりも高い保護膜と、を具備し、
前記保護膜は、前記圧縮膜または前記引張り膜の一部を構成する、
請求項1から9のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 複数の前記圧力室の列並び方向において、前記振動板の圧力室側に、前記圧力室より大きい幅の凹部がある、
請求項1から10のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 請求項1から11のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドを具備する、
液体噴射装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019078444A JP7338220B2 (ja) | 2019-04-17 | 2019-04-17 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
CN202010290879.3A CN111823713B (zh) | 2019-04-17 | 2020-04-14 | 液体喷射头以及液体喷射装置 |
US16/849,000 US11273642B2 (en) | 2019-04-17 | 2020-04-15 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
EP20170045.7A EP3725530B1 (en) | 2019-04-17 | 2020-04-17 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019078444A JP7338220B2 (ja) | 2019-04-17 | 2019-04-17 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020175558A true JP2020175558A (ja) | 2020-10-29 |
JP7338220B2 JP7338220B2 (ja) | 2023-09-05 |
Family
ID=70295002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019078444A Active JP7338220B2 (ja) | 2019-04-17 | 2019-04-17 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11273642B2 (ja) |
EP (1) | EP3725530B1 (ja) |
JP (1) | JP7338220B2 (ja) |
CN (1) | CN111823713B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7325384B2 (ja) * | 2020-07-22 | 2023-08-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004034417A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2004209874A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
JP2010228274A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2012158011A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよび画像形成装置 |
JP2016147422A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び液体噴射装置 |
JP2017213713A (ja) * | 2016-05-30 | 2017-12-07 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3019845B1 (ja) * | 1997-11-25 | 2000-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
US6361154B1 (en) * | 1998-09-03 | 2002-03-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink-jet head with piezoelectric actuator |
EP1029679B1 (en) * | 1999-02-18 | 2004-12-08 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink jet recording head |
JP3725390B2 (ja) * | 1999-02-18 | 2005-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
US6447106B1 (en) * | 1999-05-24 | 2002-09-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink jet head and method for the manufacture thereof |
JP6209939B2 (ja) * | 2013-10-29 | 2017-10-11 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
US9776405B2 (en) * | 2014-10-08 | 2017-10-03 | Rohm Co., Ltd. | Inkjet apparatus and manufacturing method of inkjet apparatus |
JP6551773B2 (ja) * | 2015-02-16 | 2019-07-31 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
JP2017019168A (ja) * | 2015-07-09 | 2017-01-26 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッドとその製造方法 |
JP2018099779A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出装置 |
JP2018129402A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子及びその製造方法 |
JP6916083B2 (ja) | 2017-10-24 | 2021-08-11 | フクシマガリレイ株式会社 | 保冷庫 |
-
2019
- 2019-04-17 JP JP2019078444A patent/JP7338220B2/ja active Active
-
2020
- 2020-04-14 CN CN202010290879.3A patent/CN111823713B/zh active Active
- 2020-04-15 US US16/849,000 patent/US11273642B2/en active Active
- 2020-04-17 EP EP20170045.7A patent/EP3725530B1/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004034417A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2004209874A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
JP2010228274A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2012158011A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよび画像形成装置 |
JP2016147422A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び液体噴射装置 |
JP2017213713A (ja) * | 2016-05-30 | 2017-12-07 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111823713A (zh) | 2020-10-27 |
EP3725530A1 (en) | 2020-10-21 |
US11273642B2 (en) | 2022-03-15 |
JP7338220B2 (ja) | 2023-09-05 |
EP3725530B1 (en) | 2023-02-22 |
US20200331267A1 (en) | 2020-10-22 |
CN111823713B (zh) | 2024-02-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20110216129A1 (en) | Inkjet head and inkjet recording device | |
US8197035B2 (en) | Actuator device and liquid ejecting head including the same | |
JP7338220B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP7087310B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP7155997B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP7040090B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 | |
JP7501153B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 | |
JP7342497B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP7192460B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP7103063B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
US10913272B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
CN113442587B (zh) | 压电元件以及液滴喷出头 | |
JP6972808B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および圧電デバイス | |
JP2022035545A (ja) | 液体吐出ヘッド、およびアクチュエーター | |
JP7087296B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電デバイス | |
JP2021154495A (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および、アクチュエーター | |
JP2018176589A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電素子 | |
JP2022152144A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US8152281B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2021053853A (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および圧電デバイス | |
JP2019202534A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電デバイス | |
JP2020001369A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220315 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230419 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230725 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230807 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7338220 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |