JP2017213713A

JP2017213713A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置

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Publication number: JP2017213713A
Application number: JP2016107524A
Authority: JP
Inventors: 黒田　隆彦; Takahiko Kuroda; 隆彦黒田
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2016-05-30
Filing date: 2016-05-30
Publication date: 2017-12-07

Abstract

【課題】振動板の膜厚の均一性が良好であり、振動板全体の応力バランスを自由に制御することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】ノズル６と、該ノズル６に連通する加圧液室５と、該加圧液室５の壁面の一部を構成する振動板３と、該振動板３を介して前記加圧液室５の反対側に設けられ、かつ、前記加圧液室５に圧力を発生させる圧力発生手段２と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記振動板３は、少なくとも２種類の膜を合計２０層以上積層してなることを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置に関する。

プリンタやファクシミリ装置、複写装置、プロッタ等の画像記録装置あるいは画像形成装置として用いるインクジェット記録装置において使用する液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する加圧液室（吐出室、圧力室、インク流路とも称される）と、この加圧液室内のインクを加圧するエネルギーを発生する素子を備え、加圧するエネルギーによって液室内の記録液に圧力を作用させてノズルから液滴を吐出させる。

従来から、高画質なインクジェット記録装置を実現するために、ノズルを高密度化することがなされてきたが、高密度化に伴い、クロストークなどの解決すべき問題が生じている。この問題を解決するために、液体吐出ヘッドにおける振動板に着目した種々の技術が提案されている。

ノズル開口を高密度化に配列したインクジェットヘッドでは、各加圧液室隔壁幅が小さくなり、隔壁の剛性が低下し、隔壁が振動板の張力の影響を受けてクロストークが生じる。これを解決するために、加圧液室を形成した後、圧電素子を駆動していない状態で振動板の撓みを抑制することが求められる。
特許文献１では、クロストークの抑制を目的として、振動板（下部電極層も含む）の張力を規定しており、振動板層と下部電極層の圧縮応力の張力和と振動板の圧縮応力の張力和の差が大きい方の２割以内と規定している。つまり、引張と圧縮の応力和の差が大きくならないように、圧縮と引張の張力バランスをとり、加圧液室形成後の振動板撓みを抑制し、クロストークの抑制を図っている。

ノズル密度を高密度化するに当たり、振動板の厚みを薄くする必要があるが、これまでの方法（高濃度ボロン層を利用した異方性エッチ）では、薄い振動板（２μｍ以下程度）を精度よく撓みなく形成できない。
特許文献２では、薄い振動板を撓みなく成膜するために引張応力を有する膜と圧縮応力を有する膜を交互に積層し、４層構成とし、全体として引張り応力性を有するようにしている。

特許文献３では、特許文献２と同様に、加圧液室形成後に振動板の撓みと剛性のバランスを図れるように引張応力を有する膜と、圧縮応力を有する膜をＬＰＣＶＤ（Low Pressure CVD）法で３層以上積層することにより、所望の振動板剛性と撓みの制御を行う試みがなされている。

現行では、振動板は複数層から形成されており、例えば特許文献３における現行の薄膜ＰＺＴを有するアクチュエータの振動板は、ＬＰＣＶＤ法で成膜されたシリコン窒化膜、シリコン酸化膜、ポリシリコン膜の積層で例えば合計９層から形成されている。この場合、振動板剛性の均一性、コスト、歩留り等を考慮すると、なるべく層毎に装置を変えて成膜すること、及び積層数を減らすことが求められる。

しかし、振動板剛性を主に決めているシリコン窒化膜は、膜応力が１ＧＰａ以上あり、一度に厚く成膜することができず、バッファ層に圧縮応力を有するシリコン酸化膜やポリシリコン膜で応力を緩和する必要があり、結果的に多層膜となってしまっている。また、特にポリシリコン膜を積層することにより、ＰＺＴ結晶性に影響を与える振動板最表面のラフネスも大きくなり、ラフネス制御する工程も必要となり、工程増加、特性バラツキを大きくする要因となっている。

また、振動板を構成する膜の膜厚について、ウェハ面内の膜厚（剛性）の均一性が液体吐出特性に影響していることから、チップ内で振動板の膜厚（剛性）の均一性が更に要求されており、現行の振動板の構成や成膜方法では、次世代ヘッドの要求値を満たすことはできていない。
以上のことから、振動板の膜厚が均一であり、振動板全体の応力バランスが制御された液体吐出ヘッドが求められていた。

そこで本発明は、振動板の膜厚の均一性が良好であり、振動板全体の応力バランスを自由に制御することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、ノズルと、該ノズルに連通する加圧液室と、該加圧液室の壁面の一部を構成する振動板と、該振動板を介して前記加圧液室の反対側に設けられ、かつ、前記加圧液室に圧力を発生させる圧力発生手段と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記振動板は、少なくとも２種類の膜を合計２０層以上積層してなることを特徴とする。

本発明によれば、振動板の膜厚の均一性が良好であり、振動板全体の応力バランスを自由に制御することができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例における斜視図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例における加圧液室長手方向の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例における加圧液室短手方向の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例における振動板の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例における加圧液室長手方向の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例における加圧液室長手方向の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例における加圧液室長手方向の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例における加圧液室短手方向の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例における加圧液室短手方向の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例における加圧液室短手方向の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例における振動板の断面図である。本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例における振動板の断面図である。本発明に係る液体吐出ユニットの一例を示す模式図である。本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す模式図である。本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す模式図である。本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す模式図である。インクジェット記録装置の構成の一例を示す斜視図である。インクジェット記録装置の構成の一例を示す側面図である。

以下、本発明に係る液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。

本発明は、ノズルと、該ノズルに連通する加圧液室と、該加圧液室の壁面の一部を構成する振動板と、該振動板を介して前記加圧液室の反対側に設けられ、かつ、前記加圧液室に圧力を発生させる圧力発生手段と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記振動板は、少なくとも２種類の膜を合計２０層以上積層してなることを特徴とする。

（第１の実施形態）
本発明の詳細について、一実施形態を例に挙げて説明する。
図１は、本実施形態の液体吐出ヘッドの斜視図である。図２は、本実施形態の液体吐出ヘッドにおける加圧液室長手方向の断面図である。図３は、本実施形態の液体吐出ヘッドにおける加圧液室短手方向の断面図である。

図示される液体吐出ヘッド１は、ノズル基板３００の面部に設けたノズル孔６から液滴を吐出させるサイドシュータータイプのものであり、アクチュエータ基板１００に液体吐出エネルギーを発生する圧電体素子２（圧力発生手段）、振動板３を備えている。また、加圧液室隔壁４、加圧液室５、流体抵抗部７、及び共通液室８が形成されており、各加圧液室５は、加圧液室隔壁４で仕切られている。

アクチュエータ基板１００上に設けられるサブフレーム基板２００には、外部から液滴を供給する液滴供給口６６と共通液室流路９、及び振動板３が撓むことができるようにザグリ６７が形成されている。

また、引き出し配線層（引き出し配線４０）を保護する目的でパッシベーション膜５０が形成されている。ノズル基板３００には、個々の加圧液室５に対応した位置にノズル孔６（ノズル）が形成されている。
これらアクチュエータ基板１００、サブフレーム基板２００、及びノズル基板３００を接合することにより、液体吐出ヘッド１が形成されている。

アクチュエータ基板１００は、図１、図２、図３に示すように、加圧液室５の一部壁面を形成する振動板３と振動板３を介して加圧液室５と対向する側に圧電体素子２が形成されている。また、共通液室８の振動板３面は、共通液室流路９が形成されており、ここから液滴であるインクを外部から供給できるようになっている。

図２に示すように、圧電体素子２は振動板３を介して加圧液室５に対向する側に形成されており、共通電極１０、個別電極１１、圧電体１２から形成されている。圧電体素子２は、振動板３を介して加圧液室５に圧力を発生させる。

このように形成された液体吐出ヘッド１においては、各加圧液室５内に液体、例えば記録液（インク）が満たされた状態で、制御部から画像データに基づいて、記録液の吐出を行いたいノズル孔６に対応する個別電極１１に対してパルス電圧を印加する。この場合、電極には、発振回路により、引き出し配線４０、層間絶縁膜４５に形成された接続孔３０を介して例えば２０Ｖのパルス電圧が印加される。この電圧パルスを印加することにより、圧電体１２は、電歪効果により圧電体１２そのものが振動板３と平行方向に縮み、振動板３が加圧液室５方向に撓む。これにより、加圧液室５内の圧力が急激に上昇して、加圧液室５に連通するノズル孔６から記録液が吐出する。

次にパルス電圧印加後は、縮んだ圧電体１２が元に戻ることから、撓んだ振動板３は元の位置に戻るため、加圧液室５内が共通液室８内に比べて負圧となる。そして、外部から液滴供給口６６を介して供給されているインクが共通液室流路９、共通液室８から流体抵抗部７を介して加圧液室５に供給される。

これを繰り返すことにより、液滴を連続的に吐出でき、液体吐出ヘッドに対向して配置される被記録媒体（用紙）に画像を形成する。

ここで、本発明の特徴である振動板３は、ＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）法を用いて少なくとも２種類の膜を合計２０層以上積層してなる。
ＡＬＤ法は、その成膜原理から、ＬＰＣＶＤ（Low Pressure CVD）法に比べて、ウェハ面内の膜厚をより均一にすることができる。そのため、振動板の剛性、応力バランスの均一性が高くなり、ノズル列が３００個程ある液体吐出ヘッドでは、ノズル間のインク吐出特性の精度が向上する。加えて、成膜表面のラフネス（粗さ）がＬＰＣＶＤ法に比べてスムースであるので、後に形成する圧電体の品質（結晶性）が向上し、精度よく、高精度なアクチュエータを形成できる。

また、ＬＰＣＶＤ法では、各振動板構成層を形成するためには、１層毎に装置を変える必要があり、成膜後大気開放するため、各振動板構成膜の界面が、大気成分に汚染されたり、異物が介在したりしやすい。このため、界面の密着性に問題が生ずることがあり、歩留り、及び信頼性が懸念される場合がある。

これに対して、ＡＬＤ法は、真空中で連続成膜されるため、ＬＰＣＶＤ法に比べて膜間の介在物がほとんどなく、安定した振動板を形成することができ、信頼性が向上する。また、ＡＬＤ法を用いることにより、１台の装置で一括して連続成膜が可能となり、大幅な工数コスト低減、プロセス時間短縮の効果が得られる。

本実施形態における振動板について、図４を用いて説明する。図４は、振動板３の断面模式図を示す図である。本実施形態における振動板３は、ＡＬＤ法を用いて少なくとも２種類の膜を合計２０層以上積層してなることを特徴とする。本実施形態における２種類の膜は、圧縮応力を有する膜６０と、引張応力を有する膜６１であり、圧縮応力を有する膜６０と、引張応力を有する膜６１は交互に成膜されている。

振動板３が圧縮応力を有する膜６０と、引張応力を有する膜６１との２種類の膜を有することにより、振動板全体の応力制御と振動板撓み量を制御できるため、ノズル孔を１単位としたビット間での変位量のバラツキを抑制することができ、信頼性をより向上させることができる。

また、圧縮応力を有する膜６０と、引張応力を有する膜６１を交互に成膜することにより、振動板の内部応力を厚さ方向に均一に分散できる。このため、振動板内の膜剥がれや割れが抑制でき、信頼性をより向上させ、安定した液体吐出ヘッドが実現できる。
附言すると、圧縮応力を有する膜６０と、引張応力を有する膜６１を交互に成膜することにより、界面での応力が抑えられるため、界面の応力によるストレスが緩和されるので、アクチュエータ駆動時の界面剥がれが抑制される。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一実施形態について図５Ａ〜図５Ｃ及び図６Ａ〜図６Ｃを用いて説明する。図５Ａ〜図５Ｃは加圧液室長手方向の断面図であり、図６Ａ〜図６Ｃは加圧液室短手方向の断面図である。図５Ａ〜図５Ｃにおける（ａ）〜（ｊ）と図６Ａ〜図６Ｃにおける（ａ）〜（ｊ）はそれぞれ対応している。

（ａ）アクチュエータ基板１００として面方位（１１０）のシリコン単結晶基板（例えば厚さ４００μｍ）上に振動板３を成膜する。この振動板３は、ＡＬＤ法を用いて、圧縮応力を有する膜６０として例えばシリコン酸化膜、引張応力を有する膜６１として例えばアルミナ膜を成膜する。圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１の成膜は、振動板３全体で、所望の剛性が得られ、且つ撓まないように、応力バランスを考慮し、圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１の膜厚を設定し成膜する。

このとき、図４のように圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１は、その膜厚とそれぞれの有する応力値の積が圧縮と、引張の膜で同じ値になるように設定し、交互に成膜する。
例えば、圧縮応力を有する膜６０であるシリコン酸化膜の応力値は７０ＧＰａ、引張応力値を有する膜６１であるアルミナ膜の応力値は２１０ＧＰａ程度であるので、シリコン酸化膜とアルミナ膜の膜厚は、各々１５ｎｍと５ｎｍとして交互に成膜する。

２種類の膜の膜厚としては、０．１ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが好ましい。本実施形態において、圧縮応力を有する膜６０及び引張応力を有する膜６１の膜厚は、０．１ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが好ましい。この場合、振動板の内部応力を厚さ方向に均一に分散できるため、振動板内の膜剥がれや割れがより抑制され、信頼性がより向上する。

ここで、圧縮応力を有する膜６０や引張応力を有する膜６１は、シリコン酸化膜やアルミナ膜に限らずＡＬＤ法で成膜できる膜であれば、他の膜であってもよい。
圧縮応力を有する膜６０としては、例えばその他にも、酸化タンタル（Ｔａ_２Ｏ_５）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）等を用いることができる。
引張応力を有する膜６１としては、例えばその他にも、シリコン窒化膜、チタン窒化膜（ＴｉＮ膜）等を用いることができる。

ＡＬＤ法は、ＬＰＣＶＤ法の気相反応ではなく、表面反応で、例えば「第１プリカーサー表面吸着⇒余剰プリカーサー除去（排気）⇒第２プリカーサー表面吸着⇒余剰プリカーサー除去⇒第１、第２プリカーサー反応⇒不要反応生成物除去反応」の１サイクルで、理想的には所望の分子層１層が成膜される。プリカーサー（前駆体）種を１サイクル毎に変えれば、最小単位である分子層１層毎に異種の膜を連続性膜できる。

プリカーサーとしては、特に制限されるものではなく、適宜変更することが可能であり、例えばＴＭＡ（トリメチルアルミニウム）、水、オゾン等を用いることができる。

また、本実施形態のＡＬＤ法の条件としては例えば以下のようにする。圧縮応力を有する膜６０としてシリコン酸化膜、引張応力を有する膜６１としてアルミナ膜を適用する。シリコン酸化膜のプリカーサーとしては、SAM.24（Ｈ_２Ｓｉ（Ｎ（Ｃ_２Ｈ_５）_２）_２）とオゾン、アルミナ膜膜のプリカーサーとしては、ＴＭＡとオゾンを用い、３００℃の真空中で交互に各プリカーサーをチャンバー内へ導入させる。

本実施形態では、振動板３の内訳として、圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１をＡＬＤ法で成膜している。本実施形態では、振動板３全体で所望の剛性をもたせて、極力撓まないようにするために、圧縮応力を有する膜６０の張力（膜厚×応力）と、引張応力を有する膜６１の張力との差分が０に近くなるように各膜厚を設定する。すなわち、圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１とを交互に成膜して形成した本実施形態における振動板３は張力に偏りを有していない。

そして、圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１の１層ずつ成膜したものを１単位として、振動板３を所望の膜厚（剛性）にするために複数単位の成膜を連続的に行い、振動板３内部で応力の偏りがほぼない振動板を形成する。

振動板３を形成した後、振動板３の上に共通電極１０を成膜する。共通電極１０としては、例えば、Ｔｉを３０ｎｍ、Ｐｔを１５０ｎｍ厚でスパッタ法により成膜する。

（ｂ）次に、共通電極１０上に圧電体１２としてＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を例えばスピンコート法で複数回に分けて成膜し、最終的に２μｍ厚で成膜する。その上に、個別電極１１（上部電極）として例えばＰｔをスパッタ法で１００ｎｍ成膜する。
ここで、圧電体１２の成膜方法は、スピンコート法に限らず、例えばスパッタ法、イオンプレーティング法、エアーゾル法、ゾルゲル法、あるいはインクジェット法等などで成膜してもよい。

そして、リソエッチ法により、後に形成する加圧液室５に対応する位置に圧電体素子２を形成するため、個別電極１１と圧電体１２をパターニングする。その後、共通電極１０をリソエッチ法でパターニングする。このとき、後に共通液室流路９となる箇所の共通電極１０もパターニングする。

（ｃ）次に、共通電極１０、圧電体１２と後に形成する引き出し配線４０とを絶縁するために、層間絶縁膜４５を成膜する。層間絶縁膜４５は、例えばプラズマＣＶＤ法でＳｉＯ_２膜を成膜する。層間絶縁膜４５としては、圧電体１２や電極材料に影響を及ぼさず、絶縁性を有する膜であれば、プラズマＣＶＤ法によるＳｉＯ_２膜以外の膜でもよい。

次に、個別電極１１と引き出し配線４０とを接続する接続孔３０をリソエッチ法で形成する。なお、ここでは図示していないが、共通電極１０も引き出し配線４０と接続する場合は、同様に接続孔を形成する。

（ｄ）次に、引き出し配線４０として、例えばＴｉＮ／Ａｌを各々膜厚３０ｎｍ／１μｍをスパッタ法で成膜する。ＴｉＮは、接続孔３０の底部で、個別電極１１、あるいは共通電極１０の材料であるＰｔが、引き出し配線４０の材料であるＡｌと直接接することにより、後の工程による熱履歴で合金化し、体積変化によるストレスによる膜剥がれ等を防止するために、合金化を防ぐバリア層として適用している。また、後のサブフレーム基板２００との接合部４８となる箇所にも配線パターン４２を形成する。

（ｅ）次に、パッシベーション膜５０として、例えばプラズマＣＶＤ法でシリコン窒化膜を１０００ｎｍ厚で成膜する。

（ｆ）その後、リソエッチ法で、引き出し配線４０の引き出し配線パッド部４１とアクチュエータ部（圧電体素子２部分）、及び共通液室流路９部分の開口も行う。

（ｇ）次に、リソエッチ法により、共通液室流路９部分、後の共通液室８部分になる箇所の振動板３を除去する。なお、図示される（ｇ）は（ｆ）と同じである。

（ｈ）次に、アクチュエータ部に対応した位置にザグリ６７を形成したサブフレーム基板２００とアクチュエータ基板１００の接合部４８を介して、接着剤で接合する。このとき、接着剤は、一般的な薄膜転写装置により、サブフレーム基板２００側に厚さ１〜４μｍ程度塗布している。

そして、その後の加圧液室５、共通液室８、流体抵抗部７を形成するためにアクチュエータ基板１００を所望の厚さｔ（例えば厚さ８０μｍ）になるように、公知の技術で研磨する。研磨法以外にもエッチングなどでもよい。

（ｉ）次に、リソグラフィ法により、加圧液室５、共通液室８、流体抵抗部７以外の隔壁部をレジストで被覆する。その後、アルカリ溶液（ＫＯＨ溶液、あるいはＴＭＨＡ溶液）で異方性ウェットエッチを行い、加圧液室５、共通液室８、流体抵抗部７を形成する。なお、アルカリ溶液による異方エッチ以外にＩＣＰエッチャーを用いたドライエッチで加圧液室５、共通液室８、流体抵抗部７を形成してもよい。

（ｊ）次に、別に形成した各加圧液室５に対応した位置にノズル孔６を開口したノズル基板３００を接合と液滴供給口６６、アクチュエータ部の位置に対応したザグリ６７を備えたサブフレーム基板２００をアクチュエータ基板１００に接合することにより、液体吐出ヘッド１が完成する。

このように、本発明ではＡＬＤ法を用いることにより、成膜種を分子層毎に成膜できることから、振動板全体の応力バランスもレシピの変更のみで自由に制御することができる。また、引張応力を有する膜や圧縮応力を有する膜の膜厚、成膜順番、及び積層数を自由に設定することができ、振動板剛性、応力のバランス設定の自由度を高くすることができる。

従来品の振動板は、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜したポリシリコン膜（圧縮応力を有する膜）、シリコン窒化膜（引張応力を有する膜）、シリコン酸化膜（圧縮応力を有する膜）の３種類の膜種を厚さ１００ｎｍから６００ｎｍ程度で９層積層している（例えば特許文献３参照）。また、特許文献２では、引張応力を有する膜と圧縮応力を有する膜を交互に合計４層積層している。

一方、本実施形態では、ＡＬＤ法で成膜した厚さ数ｎｍ〜数十ｎｍ程度の圧縮応力を有する膜と引張応力を有する膜を合計１００層以上積層している。本発明では少なくとも２種類の膜を合計２０層以上積層してなることを特徴としているが、合計で１００層以上積層していることが好ましい。この場合、振動板の膜厚の均一性をより向上させることができ、振動板全体の応力バランスをより自由に制御することができる。

振動板の積層数がおおよそ２０層以上の場合は、従来の方法、例えばＬＰＣＶＤ法で数ｎｍ〜数十ｎｍ厚の成膜は現実的ではない。本発明のように、２種の非常に薄い膜を均一性良く成膜するには、ＡＬＤ法で成膜するのが現実的である。

積層数や膜厚については、振動板の断面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）、あるいはＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）分析することにより観測し、測定することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の詳細について、さらにその他の実施形態を例に挙げて説明する。上記の実施形態と共通する事項については説明を省略する。
本実施形態における振動板３は、上記第１の実施形態と同様に、図４に示されるように圧縮応力を有する膜６０と、引張応力を有する膜６１は交互に成膜されている。

本実施形態と上記第１の実施形態との相違を説明する。
第１の実施形態では、圧縮応力を有する膜６０の張力（膜厚×応力）と、引張応力を有する膜６１の張力との差分が０に近くなるように各膜厚を設定している。すなわち、圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１とを交互に成膜して形成した振動板３は張力に偏りを有していない。

一方、本実施形態では、圧縮応力を有する膜６０の張力（膜厚×応力）と、引張応力を有する膜６１の張力との差分が０から外れている。すなわち、圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１とを交互に成膜して形成した振動板３は張力に偏りを有している。

加圧液室加工後の振動板の撓み量は、液体吐出特性に影響を与える。本実施形態では、圧縮応力を有する膜と引張応力を有する膜の膜厚や応力を調整することにより、振動板の張力を所望の範囲になるように調整し、形成した振動板が所望の液体吐出特性を有する形状になるようにする。これにより、振動板全体の応力を任意に変更できるため、振動板上の下部電極、圧電体、及び上部電極を含めて、加圧液室加工後の振動板の撓みの効果を最適化することができ、より安定した信頼性の高い液体吐出ヘッドを得ることができる。

なお、本実施形態において、圧縮応力を有する膜６０及び引張応力を有する膜６１の膜厚は、０．１ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが好ましい。この場合、振動板の内部応力を厚さ方向に均一に分散できるため、振動板内の膜剥がれや割れがより抑制され、信頼性がより向上する。

（第３の実施形態）
次に、本発明の詳細について、さらにその他の実施形態を例に挙げ、図７、図８を用いて説明する。図７、図８は、振動板３の断面模式図を示す図である。上記の実施形態と共通する事項については説明を省略する。

上記第１の実施形態では、圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１とをお互いの張力がほぼつり合うように膜厚を設定し、交互に所望の膜厚まで成膜している。
実際の液体吐出ヘッドでは、振動板３の上に成膜される共通電極１０、圧電体１２、及び個別電極１１の膜が成膜される。これにより、これら振動板３の上に成膜された膜の応力の影響を受けて、加圧液室５を形成した後、振動板３が撓む場合がある。振動板３の撓みは、液体吐出の効率に影響を与えるため、加圧液室５を形成した後の振動板３の撓み方向を制御することが好ましい。

本実施形態では、圧縮応力を有する膜６０及び引張応力を有する膜６１のうち一方を加圧液室５側又は圧電体素子２側（圧力発生手段側）に偏らせて成膜する。この場合、振動板３の張力を調整することにより、加圧液室５を加工した後の振動板３撓みを制御することができる。また、圧縮応力を有する膜６０、引張応力を有する膜６１の膜厚を各々厚くでき、また圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１の界面が少なくなるので、異種膜間で剥がれるリスクが低減され、より安定で信頼性の高い液体吐出ヘッドを得ることができる。

また、圧縮応力を有する膜６０及び引張応力を有する膜６１のうち一方を加圧液室５側又は圧電体素子２側に偏らせて成膜することで、圧縮応力を有する膜６０の張力と引張応力を有する膜６１の張力とに差が生じることとなる。この張力差を利用して、振動板３全体を所望の方向（圧電体素子側又は加圧液室側）に撓ませることができる。

振動板３全体を所望の方向に撓ませるには、例えば、圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１を１層ずつ成膜した時に張力差を生じるように膜厚を最適化し、この２層を１単位として、必要な振動板３の剛性が得られる膜厚まで連続成膜する。

例えば、図７に示されるように、圧電体素子２側に凸となるように振動板３を撓ませたい場合は、加圧液室５側に引張応力を有する膜６１のみを連続成膜し、その後に圧縮応力を有する膜６０を所望の膜厚まで連続成膜する。なお、図７では、振動板３の面方向中央に対して、加圧液室５側に引張応力が強くなるように分布をもたせている。

また、図８に示されるように、加圧液室５側に凸となるように振動板３を撓ませたい場合は、図７とは逆に圧電体素子２側に引張応力を有する膜６１のみを連続成膜し、その後圧縮応力を有する膜６０を所望の膜厚まで連続成膜する。なお、図８では、振動板３の面方向中央に対して、圧電体素子２側に引張応力が強くなるように分布をもたせている。

図７及び図８では、圧縮応力を有する膜６０と引張応力を有する膜６１の上下にシリコン酸化膜６０ａを形成している。この場合、シリコン酸化膜６０ａは圧縮応力を有する膜となるが、圧電体素子側は、下部電極層との密着性層、加圧液室側は、加圧液室加工のエッチングストップ層の目的で形成される。

本実施形態のようにすることにより、加圧液室５を形成後に積極的に振動板３の撓み量を制御できるため、第１の実施形態に比べて、更に高品質で、信頼性の高い液体吐出ヘッドを歩留りよく実現できる。

（第４の実施形態）
次に、本発明に係る液体吐出ユニット、液体を吐出する装置について説明する。本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同装置の要部平面説明図、図１０は同装置の要部側面説明図である。

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズル１１からなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。

供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。

この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズル１１が形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１１を参照して説明する。図１１は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１２を参照して説明する。図１２は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス、壁紙や床材などの建材、衣料用のテキスタイルなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液、又は、アミノ酸、たんぱく質、カルシウムを含む溶液及び分散液なども含まれる。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、図１０で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図１１で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、図１２で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。

また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

（第５の実施形態）
次に、液体を吐出する装置の一例として、インクジェット記録装置の例を挙げて、図１３の斜視図と図１４の機構部の構成を示す側面図を参照して説明する。
このインクジェット記録装置９０は、装置本体の内部に走査方向に移動可能なキャリッジ９８とキャリッジ９８に搭載した液体吐出ヘッド１及び液体吐出ヘッド１へインクを供給するインクカートリッジ９９等で構成される印字機構部９１等を収納し、装置本体の下方部には前方側から多数枚の用紙９２を積載可能な給紙カセット（あるいは給紙トレイでもよい）９３を抜き差し自在に装着されている。また、用紙９２を手差しで給紙するために開かれる手差しトレイ９４を有し、給紙カセット９３あるいは手差しトレイ９４から給送される用紙９２を取り込み、印字機構部９１によって所要の画像を記録した後、後面側の装着された排紙トレイ９５に排紙する。

印字機後部９１は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９６と従ガイドロッド９７とキャリッジ９８を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ９８には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する液体吐出ヘッド１を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ９８には液体吐出ヘッドに各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９９を交換可能に装着している。

インクカートリッジ９９は、上方に大気と連通する大気口、下方には液体吐出ヘッド１へインクを供給する供給口が設けられ、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により液体吐出ヘッド１へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、液体吐出ヘッド１としては各色の液体吐出ヘッド１を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個の液出ヘッドでもよい。

ここで、キャリッジ９８は後方側（用紙搬送下流側）を主ガイドロッド９６に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送上流側）を従ガイドロッド９７に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９８を主走査方向に移動走査するため、主走査モーター１０１で回転駆動される駆動プーリ１０２と従動プーリ１０３との間にタイミングベルト１０４を張装し、このタイミングベルト１０４をキャリッジ９８に固定しており、主走査モーター１０１の正逆回転によりキャリッジ９８が往復駆動される。

一方、給紙カセット９３にセットした用紙９２を液体吐出ヘッド１に下方側に搬送するために、給紙カセット９３から用紙９２を分離給装する給紙ローラー１０５及びフリクションパッド１０６と、用紙９２を案内するガイド部材１０７と、給紙された用紙９２を反転させて搬送する搬送ローラー１０８と、この搬送ローラー１０８の周面に押し付けられる搬送コロ１０９及び搬送ローラー１０８からの用紙９２の送り出し角度を規定する先端コロ１１０とを有する。搬送ローラー１０８は副走査モーターによってギア列を介して回転駆動される。

そして、キャリッジ９８の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラー１０８から送り出された用紙９２を液体吐出ヘッド１の下方側で案内するため用紙ガイド部材である印写受け部材１１１を設けている。この印写受け部材１１１の用紙搬送方向下流側には、用紙９２を排紙方向へ送り出すための回転駆動される搬送コロ１１２と拍車１１３を設け、さらに用紙９２を排紙トレイ９５に送り出す排紙ローラー１１４と拍車１１５と排紙経路を形成するガイド部材１１６、１１７とを配設している。

このインクジェット記録装置９０で記録時には、キャリッジ９８を移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している用紙９２にインクを吐出して１行分を記録し、その後、用紙９２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号または用紙９２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙９２を排紙する。

また、キャリッジ９８の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液体吐出ヘッドの吐出不良を回復するための回復装置１１８を配置している。回復装置１１８はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９８は印字待機中にはこの回復装置１１８側に移動されてキャッピン手段で液体吐出ヘッド１をキャッピングして吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係ないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出状態を維持する。

また、吐出不良が発生した場合等には、キャピング手段で液体吐出ヘッド１の吐出出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともの気泡等を吸出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。

このように、このインクジェット記録装置９０においては本発明で製造された液体吐出ヘッド１を搭載しているので、安定したインク吐出特性が得られ、画像品質が向上する。前記説明ではインクジェット記録装置９０に液体吐出ヘッド１を使用した場合について説明したが、インク以外の液滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する装置に液体吐出ヘッド１を適用してもよい。

１液体吐出ヘッド
２圧電体素子
３振動板
４加圧液室隔壁
５加圧液室
６ノズル孔
７流体抵抗部
８共通液室
９共通液室流路
１０共通電極
１１個別電極
１２圧電体
３０接続孔
４０引き出し配線
４１引き出し配線パッド
４２配線パターン
４５層間絶縁膜
４７駆動領域
４８接合部
５０パッシベーション膜
６０圧縮応力を有する膜
６１引張応力を有する膜
６６液滴供給口
６７ザグリ
９０インクジェット記録装置
９８キャリッジ
９９インクカートリッジ
９１印字機構部
９２用紙
９３給紙カセット
９４手差しトレイ
９５排紙トレイ
９６主ガイドロッド
９７従ガイドロッド
９８キャリッジ
９９インクカートリッジ
１００アクチュエータ基板
１０１主走査モーター
１０２駆動プーリ
１０３従動プーリ
１０４タイミングベルト
１０５給紙ローラー
１０６フリクションパッド
１０７ガイド部材
１０８搬送ローラー
１０９搬送コロ
１１０先端コロ
１１１印写受け部材
１１２搬送コロ
１１３、１１５拍車
１１４排紙ローラー
１１６、１１７ガイド部材
１１８回復装置
２００サブフレーム基板
３００ノズル基板
４０１ガイド部材
４０３キャリッジ
４０４液体吐出ヘッド
４０５主走査モータ
４０６駆動プーリ
４０７従動プーリ
４０８タイミングベルト
４１０用紙
４１２搬送ベルト
４１３搬送ローラ
４１４テンションローラ
４１６副走査モータ
４１７タイミングベルト
４１８タイミングプーリ
４２０維持回復機構
４２１キャップ部材
４２２ワイパ部材
４４０液体吐出ユニット
４４１ヘッドタンク
４４２カバー
４４３コネクタ
４４４流路部品
４５０液体カートリッジ
４５１カートリッジホルダ
４５２送液ユニット
４５６チューブ
４９１Ａ、４９１Ｂ側板
４９１Ｃ背板
４９３主走査移動機構
４９４供給機構
４９５搬送機構

特許第３８８８４５４号公報特許第４０６７７３７号公報特許第５６１８２０８号公報

Claims

ノズルと、該ノズルに連通する加圧液室と、該加圧液室の壁面の一部を構成する振動板と、該振動板を介して前記加圧液室の反対側に設けられ、かつ、前記加圧液室に圧力を発生させる圧力発生手段と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記振動板は、少なくとも２種類の膜を合計２０層以上積層してなることを特徴とする液体吐出ヘッド。
前記２種類の膜は、圧縮応力を有する膜と引張応力を有する膜であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧縮応力を有する膜と前記引張応力を有する膜は、交互に成膜されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧縮応力を有する膜と引張応力を有する膜とを交互に成膜された前記振動板は、張力に偏りを有していないことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧縮応力を有する膜と引張応力を有する膜とを交互に成膜された前記振動板は、張力に偏りを有することを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧縮応力を有する膜及び前記引張応力を有する膜のうち一方が前記加圧液室側又は前記圧力発生手段側に偏って成膜されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
前記２種類の膜の膜厚は、０．１ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
ノズルと、該ノズルに連通する加圧液室と、該加圧液室の壁面の一部を構成する振動板と、該振動板を介して前記加圧液室の反対側に設けられ、かつ、前記加圧液室に圧力を発生させる圧力発生手段と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記振動板は、ＡＬＤ法を用いて少なくとも２種類の膜を積層させて形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
前記２種類の膜は、圧縮応力を有する膜と、引張応力を有する膜であり、合計２０層以上積層させることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
請求項１〜７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出ユニット。
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化したことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ユニット。
請求項１〜７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項１０若しくは１１に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。