JP5471646B2 - 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
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Description
ノズル基材の液室面から吐出面にかけてラウンド状に収縮する形状にノズル孔が形成されたノズル板を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記液室面には、SiO2膜が成膜され、
前記吐出面には、下地層、SiO2膜、分子内にアルコキシシランを有するパーフルオロポリエーテル膜の順にノズル基材表面から成膜されており、
前記ノズル孔の内壁の出口近傍には、前記液室面に形成されたSiO2膜の上に前記下地層が吐出面から連続して成膜されており、かつ、前記下地層が最表面に露出し、
前記下地層はTi層である
構成とした。
ノズル板3は、例えばNi金属プレートからなるノズル基材31の吐出面31aに、下地層としてのTi層33、SiO2膜34及び分子内にアルコキシシランを有するパーフルオロポリエーテル膜(この膜を「撥水膜」という。)32の順にノズル基材31表面から成膜されている。そして、ノズル孔4の内壁面4aの出口近傍には、ノズル基材31の液室面31bに形成されたSiO2膜35の上に下地層(Ti層)33が吐出面から連続して成膜されており、かつ、下地層(Ti層)33が最表面に露出している。
この画像形成装置は、シリアル型画像形成装置であり、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。
2 振動板部材
3 ノズル板(ノズル形成部材)
4 ノズル
6 液室
12 圧電素子部材
31 ノズル基材
32 撥水膜
33 Ti層(下地層)
34 吐出面側のSiO2膜
35 液室面側のSiO2膜
233 キャリッジ
234、411 記録ヘッド
Claims (3)
- ノズル基材の液室面から吐出面にかけてラウンド状に収縮する形状にノズル孔が形成されたノズル板を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記液室面には、SiO2膜が成膜され、
前記吐出面には、下地層、SiO2膜、分子内にアルコキシシランを有するパーフルオロポリエーテル膜の順にノズル基材表面から成膜されており、
前記ノズル孔の内壁の出口近傍には、前記液室面に形成されたSiO2膜の上に前記下地層が吐出面から連続して成膜されており、かつ、前記下地層が最表面に露出し、
前記下地層はTi層である
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記出口近傍がノズル孔の中心軸と、前記中心軸と同一平面上にあるノズル孔内壁の接線とのなす角が45度以下である領域であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
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