JP6238132B2 - 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
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上記ダンパ膜は高分子材料からなり、該ダンパ膜の上記空気貯留部に対向する面に凹凸を有することを特徴とするものである。
まず、液滴吐出ヘッド1の液滴吐出機構部を、一例として薄膜ピエゾヘッド(「薄膜ヘッド」とも呼ばれる。)方式の構成を用いて説明する。図3は、液滴吐出ヘッドの一部分の内部構造を示す幅方向の断面図であり、便宜上、Y、M、C、Kの4色のうちの1色に対応する部分のみ示している。図4は、液滴吐出ヘッドの一部分の内部構造を示す個別液室の配列方向(以下、ノズル列方向という)の断面図であり、便宜上、3つの個別液室31に対応する部分のみ示している。この液滴吐出ヘッド1は、薄膜ピエゾの圧電素子50を用いたものであり、インク滴を基板の面部(ヘッド面)に設けたノズル4aから吐出させるサイドシューター方式の例を示すものである。
(ノズル基板)
ノズル基板4はインク吐出用のノズル4aが配列されている基板であり、材料は必要な剛性や加工性から任意のものを用いることができる。例としては、SUS、Ni等の金属または合金やシリコン、セラミックス等の無機材料、ポリイミド等の樹脂材料を挙げることができる。ノズル4aの加工方法は材料の特性と要求される精度・加工性から任意のものを選ぶことができ、電鋳めっき法、エッチング法、プレス加工法、レーザー加工法等、フォトリソグラフィ法等を例示できる。ノズル4aの開口径、配列数、配列密度は、インクヘッドに要求される仕様に合わせて最適な組み合わせを設定することができる。
個別液室基板5には、個別液室31の隔壁部5a、流体抵抗部32、インク導入路33等が形成される。個別液室基板5の材料は加工性・物性から任意のものを用いることができるが、300dpi(約85[μm]ピッチ)以上ではフォトリソグラフィ法を用いることができるシリコン基板を用いることが好ましい。個別液室31の加工は任意のものを用いることができるが、前述のフォトリソグラフィ法を用いる場合は、ウェットエッチング法、ドライエッチング法のいずれかを用いることができる。いずれの手法でも、振動板6の個別液室側を二酸化シリコン膜等とすることで、エッチストップ層とできるため、液室高さを高精度に制御することができる。
配列した圧電体52に駆動信号を入力するために、個別電極である上部電極53から個別電極配線54bを引き出し、共通電極である下部電極51から共通電極配線54aを引き出す構成をとる。上部電極53から引き出された個別電極配線54bは個別電極パッド57に接続される。図5に示すように、下部電極51の個別電極パッド57と反対側の箇所から引き出された共通電極配線54aは、個別液室31が形成されていない位置(図5中下側)にまで延伸され、共通電極パッド58に接続される。なお、下部電極51と共通電極配線54aとの間には、第1絶縁膜55が形成され、第1絶縁膜55に開けられたコンタクトホール55aを介して電気的に接続されている。同様に、上部電極53と個別電極配線54bとの間には、第1絶縁膜55が形成され、第1絶縁膜55に開けられたコンタクトホール55bを介して電気的に接続されている。また、共通電極パッド58、個別電極パッド57は駆動IC59に接続されている。駆動IC59は図示しない外部の駆動電圧制御部から供給された電圧を、印字パターンをもとに圧電素子50に選択的に供給して、圧電素子50を制御する。
保持基板7は、個別液室基板5の剛性を確保するため、個別液室基板5のノズル基板4と対向する側に接合する。保持基板7の材料としては、任意の材料を用いることができるが、個別液室基板5の反りを防止するために熱膨張係数の近い材料を選定する必要があり、ガラス、シリコン、SiO2、ZrO2、Al2O3等のセラミクス材料とすることが好ましい。また、保持基板7は、圧電素子50の保護空間71と、共通液室36から個別液室31へのインク流路35を形成する溝等を備えている。上述の薄膜ピエゾヘッド方式の構成のように、圧電素子50を変位可能にする保護空間71は個別液室31ごとに区画し、隔壁部5a上で接合されることが好ましい。これにより、板厚の薄い個別液室基板5の剛性を高めることができ、圧電素子50を駆動した際の隣接個別液室間の相互干渉を低減することが可能となる。
図7は、成型体28を接合した液滴吐出ヘッド1全体のノズル列と垂直な方向(幅方向)の断面図であり、(a)は図6のX1−X1’線における断面、(b)は図6のX2−X2’線における断面を示している。また、図8は、成型体28を接合した液滴吐出ヘッド1全体のノズル列方向の、図6のY−Y’線における断面図である。
まず、本実施形態の特徴的な構成である成型体28の製造方法について、図11〜図16に基づき、詳細に説明する。
図11〜図16は、共通液室構成部材8とハウジング部材3と連通管13との製造方法に用いる二色成形タイプの射出成形金型の概略構成を示す概要図である。図11〜図16において、符合21は固定型を示し、符合22は可動型を示している。可動型22には、固定型21と協働してハウジング部材3を形成すると共に金属板16をセットするための凹処22aと、隆起状骨部19の形成用のコマ部22bと、貫通孔20cの形成と連通管13の形成とに用いる凸部22cとが形成されている。また、固定型21の後述するコマ部と協働して包囲壁部材17を構成するコマ部(不図示)とが形成されている。
その際、熱可塑性エラストマーは、隆起状骨部19を被覆するようにして凹処21cと凹処22aとに流れ込む。これにより、隆起状骨部19を中心として、金属板16に包囲壁部材17が一体的に形成される。従って、包囲壁部材17を熱可塑性エラストマー材料を用いて形成した場合でも、その形状の安定性が保たれる。これにより、金属板16と包囲壁部材17とが一体化された共通液室構成部材8が形成される。なお、包囲壁部材(ダンパ膜)17の共通液室36と反対側の面に凹凸を形成するよう、凹処21cの表面にディンプル形状の凹凸が形成されている(図10(a)参照)。
これと同時に、その回転軸Oを中心とする可動型22の回転によって、金属板16がセットされておらずかつ包囲壁部材17も形成されていない可動型22の他方の凹処22aが、包囲壁部材形成用固定型部21Aに対向される。そして、この他方の凹処22aに金属板16をセットする。
これにより、ハウジング部材形成用キャビティに共通液室構成部材8とハウジング部材3と連通管13とからなる成型体28が一体的に形成される。同時に、包囲壁部材形成用キャビティに金属板16と包囲壁部材17とからなる共通液室構成部材8が一体的に形成される。
(1)個別液室基板5として、例えばシリコン基板を用いる。(図17(a))
この個別液室基板5上における振動板6を設ける以外の箇所に、マスクとしてのシリコン窒化膜をパターニングする。また、ポリシリコンとシリコン熱酸化膜形成手段(例えば、プラズマCVD法、パイロ酸化法等)によりポリシリコンとSiO2の多層積層膜である振動板6を個別液室基板5上に形成する。(図17(b))
(2)次に、薄膜形成手段(例えば、ゾルゲル法、スパッタ法等)により、例えばPt,Ti,LaNiO3(ニッケル酸ランタン)、SrRuO3(ストロンチウムルテニウムオキサイド)からなる下部電極51の層を形成する。次に、例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)からなる圧電体52の層を形成する。次に、例えばPt,LaNiO3,SrRuO3からなる上部電極53の層を形成する。(図17(c))
(3)次に、フォトリソグラフィ法により上部電極53、圧電体52、下部電極51を順次パターニングし、圧電素子50を形成する。(図17(d))
(4)次に、圧電素子50の放電防止のために第1絶縁膜55(例えば、Al2O3)を全体に成膜する。(図17(e))
(5)アルミニウムからなる個別電極配線54bを所望の箇所に形成する。(図17(f))
(6)振動板6の変位の妨げにならないように上部電極53上を避けて圧電素子50の端部と下部電極51に、例えば、SiO2,SiNからなる第2絶縁膜(パッシベーション)56を形成する。(図17(g))
(7)別途、次の手順で保持基板7を作成する。シリコン基板にリソエッチ法にて保持基板凹部した後、さらに隔壁部分を加工することで保持基板凸部を形成する。(図18(a))
(8)保持基板7に接着剤を塗布し、個別液室基板5の圧電素子50面に接合する。(図18(b))
(9)個別液室基板5の圧電素子形成面の反対側を所望の厚さまで研磨する。(図18(c))
(10)個別液室基板5の圧電素子形成面の反対側をICPドライエッチングによりエッチングし、個別液室31、流体抵抗部32、インク導入路33となる凹部を形成する。(図18(d))
(11)個別液室基板5の振動板6のインク供給口34に、ICPドライエッチングにより振動板フィルタを形成する。(図18(e))
(12)個別液室基板5の保持基板7との接合面側に設けた個別電極パッド57と共通電極パッド58に別途製作した駆動IC59をフリップチップ接合により実装し、封止材59aを流し込み絶縁をする。(図18(f))
(13)ダイシングにより、個別液室基板5をウエハ形状から所望の個片化した形状にする。
(14)別途SUSのプレス加工、研磨によるノズル4aを形成したノズル基板4を、個別液室基板5の凹部形成側に接合する。(図18(g))
(態様A)
複数のノズル4aに連通する複数の個別液室31と、個別液室31に連通して液体を供給する共通液室36と、ノズル4aからインク滴などの液滴を吐出するよう個別液室に圧力変動を発生させる圧電素子50などの圧力発生手段と、共通液室36の壁面の一部を形成する変形可能なダンパ膜17と、ダンパ膜17を挟んで共通液室36と対向する空気貯留部37とを備えた液滴吐出ヘッド1である。この液滴吐出ヘッド1において、ダンパ膜17は高分子材料からなり、ダンパ膜の空気貯留部37に対向する面に凹凸を有する。
(態様A)において、ダンパ膜を空気貯留部37側に突出する立体的な形状の包囲壁部材17などの部材で形成する。これによれば、ダンパ膜を立体的に形成することで、ダンパ膜の変動可能領域を広くして、よりコンプライアンスを向上させることができる。
(態様B)において、ダンパ膜の立体的な形状を形成する稜線部17cが相対的に厚みの大きい凸部17aである。これによれば、立体的形状で強度の必要な稜線部を凸部とすることで厚みを確保して、立体的形状を良好に維持することができる。
(態様A)乃至(態様C)の何れかにおいて、ダンパ膜の凹部がディンプル形状である。これによれば、上記実施形態に示したように、凹部の底でも薄肉部分が成型不良を生じることなく、ダンパ膜の表面に容易に凹凸を形成できる。
(態様A)乃至(態様D)の何れかにおいて、共通液室36の重力方向上部の壁面がダンパ膜17で形成されており、共通液室36内の液体の流れ方向に垂直な断面積が、流れ方向の下流側に行くに伴い小さくなるよう、ダンパ膜を個別液室31側に接近させる。これによれば、インクに混入した気泡がインクの流れで共通液室36の端部に押し出されたときに、端部が個別液室31側に接近していることで、気泡は下方の個別液室31に向かって流れやすくなる。これにより、優れた気泡排出性がえられる。
(態様A)乃至(態様E)の何れかにおいて、ダンパ膜を形成する高分子材料として熱可塑性エラストマーを用いる。これによれば、上記実施形態について説明したように、ダンパ膜の良好なコンプライアンスと耐久性を確保して安定した吐出性能を得ることができる液滴吐出ヘッドが容易に具現化できる。
(態様A)乃至(態様F)の何れかの液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置などの画像形成装置である。これによれば、長期に渡って、高品位な画像が得られる。
3 ハウジング部材
4 ノズル基板
5 個別液室基板
6 振動板
7 保持基板
8 共通液室構成部材
13 連通管
16 金属板
17 包囲壁部材
17a 凸部
17b 凹部
17c 稜線部
18 スリット状開口
19 隆起状骨部
21 成型体形成用型の固定型
21A 包囲壁部材形成用固定型部
21B ハウジング部材形成用固定型部
22 成型体形成用型の可動型
26 熱可塑性エラストマー注入ノズル
27 ハウジング部材構成用樹脂注入ノズル
28 成型体
31 個別液室
32 流体抵抗部
33 インク導入路
34 インク供給口
35 インク流路
36 共通液室
37 空気貯留部
50 圧電素子
51 下部電極
52 圧電体
53 上部電極
55 第1絶縁膜
56 第2絶縁膜
57 個別電極パッド
58 共通電極パッド
59 駆動IC
71 保護空間
72 空間
100 インクジェット記録装置
101 キャリッジ
102 インクカートリッジ
103 印字機構部
105 トレイ
104 給紙カセット
106 排紙トレイ
127 回復装置
Claims (7)
- 複数のノズルに連通する複数の個別液室と、該個別液室に連通して液体を供給する共通液室と、該ノズルから液滴を吐出するよう該個別液室に圧力変動を発生させる圧力発生手段と、該共通液室の壁面の一部を形成する変形可能なダンパ膜と、該ダンパ膜を挟んで該共通液室と対向する空気貯留部とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
上記ダンパ膜は高分子材料からなり、該ダンパ膜の上記空気貯留部に対向する面に凹凸を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1の液滴吐出ヘッドにおいて、上記ダンパ膜は上記空気貯留部側に突出する立体的な部材で形成されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項2の液滴吐出ヘッドにおいて、上記ダンパ膜の立体的な形状を形成する稜線部が相対的に厚みの大きい凸部であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至3の液滴吐出ヘッドにおいて、上記ダンパ膜の凹部がディンプル形状であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至4の液滴吐出ヘッドにおいて、上記共通液室の重力方向上部の壁面が上記ダンパ膜で形成されており、該共通液室内の液体の流れ方向に垂直な断面積が、該流れ方向の下流側に行くに伴い小さくなるよう、該ダンパ膜を該個別液室側に接近させたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至5の何れかの液滴吐出ヘッドにおいて、上記ダンパ膜を形成する高分子材料として熱可塑性エラストマーを用いることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至6の何れかの液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014000234A JP6238132B2 (ja) | 2014-01-06 | 2014-01-06 | 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014000234A JP6238132B2 (ja) | 2014-01-06 | 2014-01-06 | 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015128831A JP2015128831A (ja) | 2015-07-16 |
JP6238132B2 true JP6238132B2 (ja) | 2017-11-29 |
Family
ID=53759991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014000234A Active JP6238132B2 (ja) | 2014-01-06 | 2014-01-06 | 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6238132B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10391768B2 (en) * | 2015-10-13 | 2019-08-27 | Océ-Technologies B.V. | Process of manufacturing droplet jetting devices |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008173787A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド |
JP5549163B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2014-07-16 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
JP2013063551A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
-
2014
- 2014-01-06 JP JP2014000234A patent/JP6238132B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015128831A (ja) | 2015-07-16 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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