JP2019104179A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本実施形態の液体吐出ヘッドの基本構成について説明する。図1に本実施形態の液体吐出ヘッドにおける液室短手方向の断面図を示す。図2に本実施形態の液体吐出ヘッドにおける液室長手方向の断面図を示す。
これらアクチュエータ基板100、支持基板200、ノズル基板300を接合することにより、液体吐出ヘッド1が形成される。
これらを繰り返すことにより、液滴を連続的に吐出でき、液体吐出ヘッドに対向して配置した被記録媒体に画像を形成する。
以下、本発明の液体吐出ヘッドにおける一実施形態について説明する。
従来、アクチュエータ基板の割れ等の不具合を防ぐため、液体吐出ヘッドの製造過程でアクチュエータ基板を薄くする前に支持基板を接着剤で接合し、アクチュエータ基板を補強することが行われる。このとき、支持基板側に薄膜転写技術を用いて、厚さ約0.5〜4μm程度の接着剤層を形成し、その後、アクチュエータ基板と一般的な接合技術で接合する場合に、接合部の一部で完全に接合がなされず、剛性を確保できないことがあった。
なお、アクチュエータ60、液室15の数はこれに限られるものではない。また、図5におけるA−A断面は図1の断面図に相当し、B−B断面は図2の断面図に相当する。
なお、ここでは格子形状を符号202で表し、格子形状の一部を符号202aで表している。
次に、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法の一例について具体例を挙げつつ説明する。なお、製造工程における途中の図は示していないが、図1、図2及び図5が参考になる。
ここで、圧電体12の成膜方法は、スピンコート法に限らず、例えばスパッタ法、イオンプレーティング法、エアーゾル法、ゾルゲル法、あるいはインクジェット法等などで成膜してもよい。そして、リソエッチ法により、後に形成する液室15に対応する位置に圧電体12と個別電極11を形成する。また、接合隔壁201の位置に対応するように圧電体12を形成する。
なお、支持基板200との接合部分となる位置にも配線層42が形成される。
そして、接着剤49を支持基板200側に塗布(転写)した後、アクチュエータ基板100と接合させる。
次に、本発明におけるその他の実施形態について説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。図6に本実施形態を説明するための図を示す。図6(A)は図5における格子形状202に相当する図であるが、格子形状202における十字部210に空隙部212を設けている点で相違する。
また、空隙部212の形状は、特に制限されるものではなく、適宜変更することが可能である。図6(A)では空隙部212を四角形状としているが、これに制限されるものではなく、他にも例えば円形状等にしてもよい。また、空隙部212は、十字部に複数設けてもよい。
次に、本発明におけるその他の実施形態について説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。図7に本実施形態を説明するための図を示す。図7は図5における格子形状202に相当する図であるが、格子形状202における十字部220の幅が、十字部220以外の箇所の幅よりも小さくなっている点で相違する。
次に、本発明におけるその他の実施形態について説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。図8に本実施形態を説明するための図を示す。図8は図5における格子形状202に相当する図であるが、格子形状202における十字部230の幅が、十字部230の中心に向かって連続的に小さくなっている点で相違する。
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図9及び図10を参照して説明する。図9は同装置の要部平面説明図、図10は同装置の要部側面説明図である。
本実施形態の液体を吐出する装置について、インクジェット記録装置である場合の例を図13、図14を用いて説明する。図13は本実施形態のインクジェット記録装置の斜視図、図14は同装置の側面図である。
そして、このキャリッジ98を主走査方向に移動走査するため、主走査モーター101で回転駆動される駆動プーリ102と従動プーリ103との間にタイミングベルト104を張装し、このタイミングベルト104をキャリッジ98に固定しており、主走査モーター101の正逆回転によりキャリッジ98が往復駆動される。
10 共通電極
11 個別電極
12 圧電素子
13 振動板
14 加圧隔壁
15 液室
16 ノズル孔
17 流体抵抗部
18 共通液室
19 共通液滴流路
41 引出配線パッド部
42 配線層
45 層間絶縁膜
49 接着剤
50 パッシベーション膜
60 アクチュエータ
66 液滴供給口
67 凹部
100 アクチュエータ基板
200 支持基板
201 接合隔壁
202 格子形状
210、220、230 十字部
212 空隙
300 ノズル基板
401 ガイド部材
403 キャリッジ
404 液体吐出ヘッド
405 主走査モータ
406 駆動プーリ
407 従動プーリ
408 タイミングベルト
410 用紙
412 搬送ベルト
413 搬送ローラ
414 テンションローラ
416 副走査モータ
417 タイミングベルト
418 タイミングプーリ
420 維持回復機構
421 キャップ部材
422 ワイパ部材
440 液体吐出ユニット
441 ヘッドタンク
442 カバー
443 コネクタ
444 流路部品
450 液体カートリッジ
451 カートリッジホルダ
452 送液ユニット
456 チューブ
491A、491B 側板
491C 背板
493 主走査移動機構
494 供給機構
495 搬送機構
Claims (8)
- アクチュエータ、及び、該アクチュエータと反対側に基板の面方向に対して長手と短手を有する液室が形成されたアクチュエータ基板と、
前記アクチュエータ基板と対向する面に前記アクチュエータの駆動領域となる凹部が形成された支持基板と、が接着剤により接合されてなる液体吐出ヘッドであって、
前記支持基板における前記凹部の非形成部が前記アクチュエータ基板と接合する接合隔壁であり、該接合隔壁は前記液室の短手方向に配列し、
前記支持基板における前記アクチュエータ基板と接合する部分のうち、前記接合隔壁を除いた少なくとも一部が格子形状であり、
前記接合隔壁の前記アクチュエータ基板と接合する部分における前記液室の短手方向の幅が、前記格子形状の線幅以上であることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記接合隔壁の前記アクチュエータ基板と接合する部分における前記液室の短手方向の幅が、前記格子形状の線幅よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記格子形状における十字部に空隙部が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記格子形状における十字部の幅が、該十字部以外の箇所の幅よりも小さくなっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記格子形状における十字部の幅が、該十字部の中心に向かって連続的に小さくなっていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出ユニット。
- 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化したことを特徴とする請求項6に記載の液体吐出ユニット。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項6若しくは7に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
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