JP2014014967A - 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】装置の大型化を抑制しつつ、保護基板と液室形成基板との接着強度を維持し、圧力発生部材への接着剤の付着を抑制することができる液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを備えたインクカートリッジ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板と、液室基板２と、アクチュエータ２００と、アクチュエータ２００を保護する保護基板３とを有し、アクチュエータ２００を設けた液室基板１に保護基板３を接着剤７０で接着する記録ヘッド５１において、保護基板３側の接着領域となる保護空間隔壁２３の下面に保護基板凸部４４を設け、液室基板１の接着領域となる部分に保護基板凸部４４との間に隙間を形成した状態で保護基板凸部４４が入り込む液室基板凹部１９を設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッド、その液滴吐出ヘッドを備えたインクカートリッジ及び画像形成装置に関するものである。

この種の液滴吐出ヘッドとしては、例えば、複写機、プリンタ、ファクシミリ、プロッタ等の画像形成装置のうちインクを記録材に付着させて画像を形成する所謂インクジェット方式の画像形成装置（以下、インクジェット記録装置ともいう）のインク吐出ヘッドとして用いられるものが知られている。ここでいう画像形成装置は、記録材上に画像を形成するものであるが、その記録材の材質は紙に限定されるものではない。糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等のあらゆる記録材に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。そして、画像形成とは、文字や図形等の意味を持つ画像を記録材に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を記録材に付与する（単に液滴を吐出する）ことをも意味する。また、液滴として吐出される液体は、所謂インクに限るものではなく、吐出されるときに液体となるものであれば特に限定されるものではなく、例えばＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料なども含まれる。

インク吐出ヘッドとしては、インク滴を吐出する複数の吐出孔と、各吐出孔によって外部と連通し、且つ、インク滴となるインクを収容する複数の個別液室と、この個別液室内のインクを加圧する圧力を発生するアクチュエータ等の圧力発生部材とを備えるものが知られている。また、このインク吐出ヘッドは、各個別液室と連通し、インクタンクから各個別液室に供給されるインクが通過する共通液室を備えている。そして、圧力発生部材を駆動することで個別液室内のインクを加圧して吐出孔からインク滴を吐出させる。インク滴を吐出した後の個別液室内には負圧が作用し、共通液室内のインクが供給される。インクジェット記録装置としては、記録の必要なときにのみインク滴を吐出するインク・オン・デマンド方式のものが主流である（例えば、特許文献１〜３）。

特許文献１〜３に記載のインク吐出ヘッドは、吐出孔が設けられた吐出孔形成基板と、個別液室を形成し、圧力発生部材が設けられた液室形成基板と、圧力発生部材を保護する保護基板とを互いに重ねて接合させた構成である。圧力発生部材は、個別液室の吐出孔とは反対側の壁面を形成する振動板を備え、この振動板を変形させることでインク滴を吐出するために要する圧力を発生させる。また、保護基板は、振動板を挟んで個別液室の反対側で圧力発生部材を覆い、且つ、圧力発生部材の変形を許容する保護空間を形成して圧力発生部材を保護する。そして、特許文献１〜３に記載のインク吐出ヘッドでは、圧力発生部材が設けられた液室形成基板の表面における圧力発生部材が設けられていない部分と保護基板とを接着剤によって接合する構成である。

保護基板と液室形成基板とを接着剤によって接合するときに、一方に接着剤を塗布して互いに押圧すると、それぞれの表面上で、一方の表面が接着剤を挟んで他方の表面と当接する接着領域から接着剤が流れ出すことがある。このとき、液室形成基板における接着領域から流れ出た接着剤が液室形成基板の表面に沿って流れ、圧力発生部材に付着することがある。

上述したように接着領域から接着剤が流れ出し、圧力発生部材に接着剤が付着して固化すると、圧力発生部材の変形を阻害し、所望のインク滴を吐出することができなくなるおそれがある。接着剤が流れ出して圧力発生部材に付着することを抑制するために接着剤の塗布量を少なくすると、接着強度が低下し、インク吐出ヘッド全体の強度低下に繋がる。

特許文献３には、液室形成基板の接着領域と圧力発生部材が設けられた部分との間の液室形成基板の表面に、接着領域を囲むように突起部を設け、接着領域から流れ出た接着剤を突起部で堰き止める構成が記載されている。このような突起部を設けることによって、接着に十分な塗布量を維持しつつ、圧力発生部材に接着剤が付着することを抑制できる。

しかしながら、特許文献３に記載の構成では、液室形成基板表面上の接着領域と圧力発生部材との間に突起部を設けるスペースを確保する必要があり、インク吐出ヘッドの大型化に繋がる。特に、特許文献３のインク吐出ヘッドは、隣接する個別液室を区切る液室隔壁となる部分の全てに液室形成基板側の接着領域を設ける構成であり、全ての液室隔壁に突起部を設けるスペースを確保する必要があるため、より大型化に繋がる。

本発明は以上の問題点に鑑みなされたものである。その目的は、装置の大型化を抑制しつつ、保護基板と液室形成基板との接着強度を維持し、圧力発生部材への接着剤の付着を抑制することができる液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを備えたインクカートリッジ及び画像形成装置を提供することである。

上記目的を達成するために、請求項１の発明は、液滴を吐出する複数の吐出孔が設けられた吐出孔形成基板と、液室隔壁によって個別の空間に区切られ、該吐出孔により外部と連通し、該液滴となる吐出液を収容する複数の個別吐出液室が設けられ、該吐出孔形成基板に接合された該液室形成基板と、該個別吐出液室の該吐出孔とは反対側壁面を形成するように該液室形成基板に設けられ、変形することで該個別吐出液室の体積を変化させ、該液滴を吐出するために要する圧力を発生させる圧力発生部材と、該液室形成基板における該吐出孔形成基板が接合された面とは反対側の面の該圧力発生部材が設けられていない部分に接着剤によって接着され、該圧力発生部材を挟んで該個別液室の反対側から該圧力発生部材を覆い、且つ、該圧力発生部材の変形を許容する保護空間を形成して該圧力発生部材を保護する保護基板とを有する液滴吐出ヘッドにおいて、上記保護基板または上記液室形成基板の一方の接着領域となる部分に凸部を設け、他方の接着領域となる部分に該凸部との間に隙間を形成した状態で該凸部が入り込む凹部を設けたことを特徴とするものである。

本発明においては、接着強度を維持するために要する量の接着剤を使用しても、凸部が凹部に入り込んだ状態の凸部と凹部との隙間に接着剤を溜めることができる。このため、凸部または凹部が設けられた接着領域から接着剤が流れ出て圧力発生部材に付着することを抑制できる。また、保護基板または液室形成基板の一方の接着領域となる部分に凸部を設け、他方の接着領域となる部分に凸部が入り込む凹部を設けて接着剤が流れることを抑制している。このため、液室形成基板側の圧力発生部材を設けた面における接着領域の外側に、接着領域から圧力発生部材へと接着剤が流れることを抑制するような突起部を設ける必要がない。このため、接着剤が圧力発生部材に付着することを抑制するために、装置が大型化することを抑制できる。さらに、凹部と凸部との表面が接着領域となり、接着領域を広く取ることができるため、接着強度を維持することができる。

本発明によれば、装置の大型化を抑制しつつ、保護基板と液室形成基板との接着強度を維持し、圧力発生部材への接着剤の付着を抑制することができるという優れた効果がある。

実施例１の記録ヘッドの液室基板と保護基板との接着部の拡大断面図。 インクジェットプリンタの概略斜視図。 インクジェットプリンタの概略断面図。 インクカートリッジの概略構成図。 個別液室の長手方向についての記録ヘッドの断面説明図。 個別液室の短手方向についての記録ヘッドの断面説明図。 記録ヘッドの上部層の斜視図。 記録ヘッドの分解斜視図、（ａ）はノズル基板の説明図、（ｂ）は液室基板の説明図、（ｃ）は保護基板の説明図。 保護基板を接着する前の液室基板の平面図（上面図）。 実施例２の記録ヘッドの液室基板と保護基板との接着部の拡大断面図。 実施例３の記録ヘッドの液室基板と保護基板との接着部の拡大説明図、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図。 従来の液室基板と保護基板との接着部の拡大説明図、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図。

以下、本発明を適用可能な画像形成装置の一実施形態として、インクジェットプリンタ（以下、プリンタ１００）について説明する。
まず、プリンタ１００の基本的な構成について説明する。図２は、プリンタ１００の斜視図であり、図３は、プリンタ１００主走査方向の図２中の手前側から見たときのインクカートリッジ１０２を含む断面における概略断面図である。
プリンタ１００は、キャリッジ１０１と、記録ヘッド５１と、インクカートリッジ１０２とを含んで構成される印字機構部１０３を本体内部に有している。キャリッジ１０１は、プリンタ１００本体内部において、用紙Ｓの搬送方向に対して直交方向である主走査方向（図２中の矢印Ａ方向、図３中の紙面に直交する方向）に移動可能な部材である。記録ヘッド５１は、キャリッジ１０１に搭載した液滴吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドであり、インクカートリッジ１０２は記録ヘッド５１にタンク部１０２ａ内のインクを供給する。

図３に示すように、プリンタ１００は、印字機構部１０３の下方に給紙機構部１０４を有している。プリンタ１００は、詳細は後述するが、給紙機構部１０４の給紙トレイ２３０または手差しトレイ１０５から給送される用紙Ｓを取り込み、印字機構部１０３によって所定の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１０６に排紙する。

記録ヘッド５１は、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の各色のインクを吐出するインク吐出ヘッドであり、複数のインク吐出孔（後述する「ノズル孔２０」）を、主走査方向に対して直交する副走査方向（図中の矢印Ｂ方向）に配列している。また、記録ヘッド５１は、インクの吐出方向が下方となるようにキャリッジ１０１に装着されている。
印字機構部１０３のキャリッジ１０１には、記録ヘッド５１に供給するためのイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、及び、ブラック（Ｂ）の各色のインクを収容した四つのインクカートリッジ１０２がそれぞれ交換可能に装着されている。

図４は、四つのインクカートリッジ１０２のうちの一つの概略構成図である。四つのインクカートリッジ１０２は、収容するインクの色が異なる以外は同様の構成である。
キャリッジ１０１に搭載するインクカートリッジ１０２としては、図４に示すように、ノズル孔を有する記録ヘッド５１と、インクを収容して記録ヘッド５１にインクを供給するタンク部１０２ａとを備えたヘッド一体型インクカートリッジとしても良い。なお、図２または図３では下方に向いて設置される記録ヘッド５１を、図４では説明の都合上、上方に描いている。また、後述する四色のインクを１つのヘッドから吐出が可能な四色一体型ヘッドを用いる構成では、インクカートリッジ１０２は記録ヘッド５１を備えない構成となる。この場合、インクカートリッジ１０２を交換することで、記録ヘッド５１とは独立してタンク部１０２ａを交換する構成となる。

インクカートリッジ１０２のタンク部１０２ａの上方（図３中の上方）には、大気と連通する不図示の大気口が備えられている。また、タンク部１０２ａの下方には、タンク部１０２ａ内のインクを記録ヘッド５１に向けて排出するインク排出口１０２ｂが設けられている。さらに、タンク部１０２ａの内部には、インクが充填された不図示の多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により記録ヘッド５１へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
プリンタ１００では、記録ヘッド５１とタンク部１０２ａとが一体となったインクカートリッジ１０２について説明したが、タンク部１０２ａと記録ヘッド５１とを別体としても良い。また、記録ヘッド５１としては、プリンタ１００では、各色に対応した複数のヘッド部を用いる構成となっているが、各色のインクを吐出するノズル孔を有する一個のヘッド部でもよい。

印字機構部１０３はキャリッジ１０１を保持する保持手段として、プリンタ１００本体の主走査方向の両側面板（１００ａ及び１００ｂ）に横架したガイド部材として、主ガイドロッド１０７と従ガイドロッド１０８とを有する。主ガイドロッド１０７は、キャリッジ１０１の後方側（用紙搬送方向下流側、図３中の右側）を貫通する。また、従ガイドロッド１０８は、主ガイドロッド１０７と一定間隔をおいて平行に延在し、キャリッジ１０１の前方側（用紙搬送方向上流側、図３中の左側）が載置される。キャリッジ１０１は、主ガイドロッド１０７及び従ガイドロッド１０８によって主走査方向に移動可能なように摺動自在に保持されている。

また、印字機構部１０３は、キャリッジ１０１を主走査方向に移動走査するための移動手段として、タイミングベルト１１２を有する。さらに、印字機構部１０３は、タイミングベルト１１２を張架する駆動プーリ１１０及び従動プーリ１１１と、駆動プーリ１１０を回転駆動する主走査モータ１０９とを有している。図２に示すように、駆動プーリ１１０はプリンタ１００本体の一方の側面板（１００ｂ）側に配置し、従動プーリ１１１は、本体の他方の側面板（１００ａ）側に配置して、タイミングベルト１１２が主走査方向に平行に延在するようにしている。また、タイミングベルト１１２にはキャリッジ１０１が固定されている。

主走査モータ１０９は、駆動プーリ１１０を正逆回転させる駆動源であり、駆動プーリ１１０が回転すると、タイミングベルト１１２が主走査方向に沿って無端移動する。キャリッジ１０１は、タイミングベルト１１２に固定されているため、タイミングベルト１１２とともに主走査方向に移動する。このため、主走査モータ１０９によって駆動プーリ１１０を正逆回転させることで、キャリッジ１０１が主走査方向に往復移動される。

給紙機構部１０４は、用紙Ｓを積載した給紙トレイ２３０と、給紙ローラ１１３と、フリクションパッド１１４と、ガイド部材１１５と、搬送ローラ１１６とを備える。給紙トレイ２３０は、図３中の右側から複数枚の用紙Ｓの束を積載可能となっており、プリンタ１００本体に対して着脱可能に装着されている。
給紙ローラ１１３及びフリクションパッド１１４は、用紙Ｓを、記録ヘッド５１の下方に搬送するために、給紙トレイ２３０内にセットした用紙Ｓの束の最上段の一枚を分離給紙する。ガイド部材１１５は、給紙トレイ２３０から分離給紙された用紙Ｓを搬送ローラ１１６によって搬送される領域に案内する。

搬送ローラ１１６は、給紙ローラ１１３によって給紙され、ガイド部材１１５によって案内された用紙Ｓを、反転させて記録ヘッド５１の下面と対向する位置に搬送する。また、搬送ローラ１１６の周囲には、搬送コロ１１７及び先端コロ１１８が配置されている。搬送コロ１１７は用紙Ｓを搬送ローラ１１６に押し付けて、用紙Ｓが搬送ローラ１１６から分離することを防止している。先端コロ１１８は、記録ヘッド５１の下面と対向する位置に所定の送り出し角度で用紙Ｓを送り出す。搬送ローラ１１６は、副走査モータ１３０によって不図示のギヤ列を介して回転駆動が伝達され、図３中の時計周り方向に回転する。

記録ヘッド５１の下面と対向する位置には、キャリッジ１０１の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１１６から送り出された用紙Ｓを記録ヘッド５１の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１１９が設けられている。この印写受け部材１１９の用紙搬送方向下流側には、用紙Ｓを排紙方向に送り出すための印写後搬送ローラ１２０と、印写後搬送ローラ１２０に対向する印写後搬送拍車１２１とが配置されている。さらに、印写後搬送ローラ１２０によって送り出された用紙Ｓを排紙トレイ１０６に排紙する排紙ローラ１２３と排紙ローラ１２３に対向する排紙拍車１２４とを備えている。また、印写後搬送ローラ１２０と排紙ローラ１２３との間には、排紙経路を形成する一対のガイド部材として下ガイド部材１２５及び上ガイド部材１２６が配設されている。

また、プリンタ１００には、手差しで用紙Ｓを給紙するための手差しトレイ１０５が設けられている。この手差しトレイ１０５は、トレイ開閉軸１０５ｂを中心にプリンタ１００本体に対して開倒可能に取り付けられている。この手差しトレイ１０５上に載置された用紙Ｓは、手差し給紙ローラ１０５ａによって搬送ローラ１１６に搬送される。

印字機構部１０３における主走査方向のキャリッジ１０１の移動範囲の一端である、図２中の右手前側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド５１の吐出不良を回復するための回復装置１２７を配置している。回復装置１２７は、後述するキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段とを有している。印字待機中には、キャリッジ１０１をこの回復装置１２７側に移動し、不図示のキャッピング手段で記録ヘッド５１をキャッピングする。これにより、記録ヘッド５１のノズル孔を湿潤状態に保つことができ、インク乾燥による吐出不良を防止することができる。また、記録途中などに回復装置１２７と対向する位置にキャリッジ１０１を移動し、記録とは関係しないインクを吐出することにより、全てのノズル孔のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持することができる。

吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド５１下面のノズル孔を密封し、キャッピング手段に設けられた不図示のチューブを通して、吸引手段でノズル孔からインクとともに気泡等を吸い出す。さらに、ノズル孔が開口しているヘッド面（下面）に付着したインクやゴミ等は不図示のヘッド面クリーニング手段により除去され、吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、プリンタ１００本体下部に設置された不図示の廃インクタンクに排出され、廃インクタンク内部のインク吸収体に吸収保持される。

次に、プリンタ１００のプリント動作について説明する。
プリンタ１００は、パーソナルコンピュータ等の外部装置から画像情報などの信号が送られ、プリント動作を実行する。プリント動作が実行されると、給紙トレイ２３０から給紙ローラ１１３によって、または、手差しトレイ１０５から手差し給紙ローラ１０５ａによって、用紙Ｓが給紙される。給紙トレイ２３０から給紙された用紙Ｓは、ガイド部材１１５や搬送コロ１１７に案内されて、搬送ローラ１１６に搬送されつつ反転し、記録ヘッド５１と対向する位置に搬送される。一方、手差しトレイ１０５から供給された用紙Ｓは、搬送コロ１１７に案内されて、搬送ローラ１１６に搬送されて記録ヘッド５１と対向する位置に搬送される。

記録ヘッド５１に対向する位置に搬送された用紙Ｓが所定位置に達したら、搬送ローラ１１６の回転を停止して用紙Ｓの移動を停止する。そして、キャリッジ１０１が画像信号に応じて主走査方向に往復移動しながら、停止した用紙Ｓの所定箇所に所定のインクを吐出して一行分の画像を用紙Ｓに形成する。ここで、一行とは、記録ヘッド５１が用紙Ｓへ記録可能な副走査方向（記録ヘッド５１に対向する位置での用紙Ｓの移動方向）の範囲を言う。
主走査方向に一行分の画像形成が終了したら、搬送ローラ１１６を所定時間回転させ、用紙Ｓを一行分、排紙トレイ１０６方向に移動させて停止する。そして、キャリッジ１０１が画像信号に応じて主走査方向に往復移動しながら次の一行分の画像を形成する。

このような工程を所定回数繰り返して行い、用紙Ｓに所望の画像をプリントする。外部装置から記録終了信号を受信して所望の画像がプリントされた場合、または、用紙Ｓの後端が記録領域に到達した信号を受信した場合には、用紙Ｓは、排紙トレイ１０６に排出される。このとき、用紙Ｓは、印写後搬送ローラ１２０及び印写後搬送拍車１２１と排紙ローラ１２３及び排紙拍車１２４とによって搬送され、排出される。画像形成が終了すると、キャリッジ１０１を図２中右手前側の回復装置１２７と対向する位置に移動して、図示しないキャッピング手段で記録ヘッド５１のノズル孔をキャッピングする。

次に、図５〜９を参照しつつ記録ヘッド５１について説明する。
図５は、個別液室１４の長手方向についての記録ヘッド５１の断面説明図である。そして、図５は、ノズル基板２、液室基板１及び保護基板３の三枚の基板を重ねた主要部分に対して、共通液室基板２８０、ダンパーフィルム３００及びダンパー室形成部材３０２の順に接合した状態の説明図である。
図６は、記録ヘッド５１の主要部分の図５の断面に対して直交する個別液室１４の短手方向の断面説明図である。
図５及び図６では、断面となる部分のうち、ノズル基板２、流路形成部４及び振動板層５５の断面となる部分に斜線を施しており、他の部材においては断面となる部分であっても斜線の記入は省略している。

図７は、記録ヘッド５１の上部層（保護基板３、共通液室基板２８０、ダンパーフィルム３００及びダンパー室形成部材３０２）の斜視図であり、手前側が断面図となっている。図７に示すように、記録ヘッド５１は、インクの流路の系統が四つに分かれており、四色のインク（Ｙ，Ｍ，Ｃ，K）を１つのヘッドから吐出が可能な四色一体型ヘッドである。
図８は、図５に示す記録ヘッド５１の主要部分の一部分の分解斜視図である。図５〜図７ではインク吐出孔（「ノズル孔２０」）が下方に向いて設置される記録ヘッド５１を、図８では説明の都合上、上方に描いている。
記録ヘッド５１は、アクチュエータ２００を用いたものであり、インク滴を基板の面部（ヘッド面）に設けたノズル孔から吐出させるサイドシューター方式のものである。

図８に示すように、記録ヘッド５１の主要部は、三枚の基板重ねて形成されている。図８（ａ）はノズル基板２の説明図、図８（ｂ）は液室基板１の説明図、図８（ｃ）は保護基板３の説明図である。
図８（ａ）に示すノズル基板２は、インクを吐出するノズル孔２０を有する。図８（ｂ）に示す液室基板１は、個別液室１４、振動板層５５、流体抵抗部１５、個別インク供給室２４及び圧電素子５６等を備える。図８（ｃ）に示す保護基板３は、圧電素子保護空間２２や共通液室１８を形成する

このように、記録ヘッド５１は、ノズル基板２、液室基板１及び保護基板３の三枚の基板を重ねた積層構造となっている。また、図８（ｂ）及び図８（ｃ）は、一部断面図で示してある。なお、図８では、一つの共通液室１８と連通する個別液室１４が六個のものを示しているが、これは便宜的に示したものである。そして、プリンタ１００が備える記録ヘッド５１は、一つの共通液室１８に対してより多くの個別液室１４が連通する構成となっている。

図５は、図８中のＸ−Ｘ’断面に対応する断面説明図であり、図６は、図８に示したＹ−Ｙ’断面に対応する断面説明図である。
また、図９は、保護基板３を接着する前の液室基板１の平面図（上面図）である。

図５及び図７に示すようように、記録ヘッド５１では、保護基板３の上部に共通液室基板２８０を接合し、共通液室１８を形成している。ダンパー材であるダンパーフィルム３００は樹脂フィルムを用いている。また、ダンパー室形成部材３０２は、ダンパーフィルム３００の上方にダンパー室３０１となる空間を形成する。共通液室１８の上方はダンパーフィルム３００によって塞がれている。このダンパーフィルム３００は、共通液室１８における圧力緩和の機能（ダンパー）を果たすフィルムである。

また、ダンパーフィルム３００の上部に設けられたダンパー室形成部材３０２は、共通液室１８と対向する位置が開口部となって、ダンパー室３０１を形成する。このダンパー室形成部材３０２はダンパーフィルム３００の撓みを補強し、ダンパーフィルム３００の共通液室１８と対向する部分の上下方向への可動域を確保している。
また、ダンパーフィルム３００及びダンパー室形成部材３０２には、インクカートリッジ１０２から共通液室１８に供給されるインクが通過する共通供給口３０３が形成されている。

記録ヘッド５１は、振動板層５５を上部に積層した液室基板１の下面にノズル基板２を接合し、液室基板１の上部に保護基板３、共通液室基板２８０を積層した積層構造に、インク流路を形成することで構成されている。
ノズル孔２０から吐出されるインクは、タンク部１０２ａから共通供給口３０３を通って共通液室１８に流入する。共通液室１８内のインクは、保護基板３に設けられた個別供給口６０を通過し、それぞれの個別インク供給室２４及び流体抵抗部１５を経由してそれぞれの個別液室１４内に供給される。

個別液室１４内がインクにより満たされた状態で、圧電素子５６（共通電極である下部電極１５１と、圧電体１５２と、個別電極である上部電極１５３とからなる。）を駆動させると、ノズル孔２０よりインク滴を吐出する。詳しくは、圧電素子５６の上部電極１５３と下部電極１５１との間に所定の駆動波形の電位を印加する。これにより、圧電体１５２が縮み、振動板層５５における下部電極１５１を挟んで圧電体１５２と密着している部分である振動板５５ａの全体が個別液室１４側に凸形状に変形する。これの変形より、個別液室１４の体積が減少し個別液室１４内の圧力が急激に上昇し、ノズル孔２０よりインク滴を用紙Ｓに向けて吐出する。上部電極１５３と下部電極１５１との間にパルス電圧を連続的に繰り返して印加することによって、インク滴を連続的に吐出することが出来る。

上部電極１５３が個別電極配線１５４ｂに接続され、下部電極１５１が共通電極配線１５４ａに接続され、個別電極配線１５４ｂ及び共通電極配線１５４ａが駆動ＩＣ８０に接続されることで、圧電素子５６が駆動ＩＣ８０に接続された状態となっている。また、駆動ＩＣ８０は、図示しない駆動電圧制御部から供給された電圧を、印字パターンをもとに圧電素子５６に選択的に供給して、圧電素子５６を制御するものである。以下、各部の構成例について説明する。

〔ノズル基板〕
ノズル基板２は、インク吐出用のノズル孔２０が複数列（例えば、四列）配列されている基板である。ノズル基板２の材料は、所望の剛性や加工性に応じて種々選択可能である。例えば、ＳＵＳ、ニッケル等の金属または合金や、シリコン、セラミックス等の無機材料、ポリイミド等の樹脂材料を用いることができる。
ノズル基板２の加工方法は、ノズル基板２の材料特性や要求される精度・加工性から最適な方法を選択すればよく、例えば、電鋳めっき法、エッチング法、プレス加工法、レーザ加工法、フォトリソグラフィ法等によればよい。また、ノズル孔２０の開口径、ノズル配列数、配列密度等についても、記録ヘッド５１に要求される仕様に合わせて所望の組み合わせを設定することができる。

〔液室基板〕
液室基板１の流路形成部４には、個別液室１４、個別インク供給室２４及び個別インク供給室２４から個別液室１４に向かうインクが通過する流体抵抗部１５が形成される。個別液室１４はノズル基板２と接合する面に配置される。また、一方、液室基板１の保護基板３と接着する側の面には、圧電素子５６、個別電極配線１５４ｂ、個別電極パッド１５８、共通電極配線１５４ａ、共通電極パッド１５７等が配置される。また、個別電極配線１５４ｂおよび共通電極配線１５４ａを覆うように第一絶縁膜１５５が配置され、圧電素子５６の全面もしくは一部を覆うように第二絶縁膜１５６が配置されている。

液室基板１の流路形成部４の材料は、所望の加工性・物性から種々選択可能であるが、例えば、３００［ｄｐｉ］（約８５［μｍ］ピッチ）以上ではフォトリソグラフィ法を用いることができるシリコン基板を用いることが好ましい。
個別液室１４の加工は、例えば、ウェットエッチング法、ドライエッチング法等を用いることができる。このとき、振動板層５５の個別液室１４側を二酸化シリコン膜等として、エッチストップ層とすることにより、個別液室１４の高さを高精度に形成することができる。

個別液室１４は、ノズル孔２０に対応する位置に設けられており、その内部のインクに圧力を加え、ノズル孔２０からインク滴を吐出させるものである。個別液室１４の上部には振動板５５ａが形成され、振動板５５ａ上には下部電極１５１、圧電体１５２、上部電極１５３が積層された圧電素子５６が形成される。このように振動板層５５の上に圧電素子５６を形成することで、アクチュエータ２００を構成している。

振動板層５５としては、例えば、シリコンや窒化物、酸化物、炭化物等の剛性の高い材料を用いることが好ましい。また、これらの材料の積層構造としても良い。積層膜とする場合は、それぞれの材料の内部応力を考慮し、残留応力が少ない構成とすることが好ましい。例えば、Ｓｉ_３Ｎ_４（窒化ケイ素）とＳｉＯ_２（二酸化ケイ素）の積層の場合は、引っ張り応力となるＳｉ_３Ｎ_４と圧縮応力となるＳｉＯ_２を交互に積層し、応力を緩和することができる。

また、振動板層５５の厚さは、所望の特性に応じて選択可能であるが、例えば、０．５［μｍ］〜１０［μｍ］の範囲が好ましく、さらに好ましくは１．０［μｍ］〜５．０［μｍ］の範囲である。振動板層５５が薄すぎる場合はクラック等により振動板５５ａが破損しやすくなり、厚すぎる場合は振動板５５ａの変位量が小さくなって吐出効率が低下するため、上記範囲であることが好ましい。また、振動板層５５が薄すぎる場合は、振動板５５ａの固有振動数が低下し、駆動周波数が高められないことに繋がる。

下部電極１５１および上部電極１５３としては、各種の導電性材料を用いることができる。例えば、金属、合金、導電性化合物等である。また、単層膜でも積層膜でも良い。なお、何れの電極も圧電体１５２と反応したり、拡散したりしない材料とする必要がある。また、圧電体１５２、振動板５５ａとの密着性を考慮し、密着層を形成することも好ましい。下部電極１５１及び上部電極１５３の材料の例としては、Ｐｔ（白金）、Ｉｒ（イリジウム）、Ｉｒ酸化物、Ｐｄ（パラジウム）、Ｐｄ酸化物等が安定性の高い材料として挙げられる。また、振動板層５５との密着層としては、Ｔｉ（チタン）、Ｔａ（タンタル）、Ｗ（タングステン）、Ｃｒ（クロム）等を用いることができる。

圧電体１５２としては、圧電性を示す強誘電体材料を用いることができる。例えば、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムを用いることができる。圧電体１５２の成膜方法は、特に限られるものではないが、例えば、スパッタリング法、ゾルゲル法等によることができる。なお、成膜温度の低さからゾルゲル法が好ましい。
また、上部電極１５３および圧電体１５２は、個別液室１４ごとにパターニングされる。パターニングは、通常のフォトリソグラフィ法を用いることができる。圧電体１５２の成膜をゾルゲル法にて行う場合は、スピンコーティング法や印刷法を用いることとしても良い。

圧電体１５２と下部電極１５１及び上部電極１５３とから構成される圧電素子５６は、個別液室１４の上部相当位置に形成されることが好ましい。個別液室１４を区画する流路隔壁４ａ上に形成した場合は、振動板５５ａの変形を阻害してしまうため、吐出効率の低下や応力集中による圧電素子５６の破損等の原因となりうる。

また、液室基板１には、個別液室１４に連通する流体抵抗部１５が形成される。流体抵抗部１５は共通液室１８から個別液室１４にインクを供給する機能を有するとともに、圧電素子５６を駆動することで個別液室１４内に発生する圧力によって、インクが逆流することを防止する機能を有する。この機能によって、個別液室１４内に発生した圧力によってノズル孔２０からインク滴を吐出することができる。
このため、流体抵抗部１５はインクの移動方向に直交する断面積を個別液室１４よりも十分に小さくして、流体抵抗を高くする必要がある。液室基板１にシリコン基板を用い、個別液室１４と流体抵抗部１５とをフォトリソグラフィ法（エッチング含む）を用いて形成することは、個別液室１４と同一の条件で加工することができるため好ましい。

なお、流体抵抗部１５の高さを個別液室１４より低くすることで、流体抵抗を高めるためには、個別液室１４のオーバーエッチング量を時間管理で制御する必要がある。そして、時間管理で制御しようとしてもエッチングレートのばらつきにより、エッチング量にバラツキ生じるため、個別液室１４や流体抵抗部１５のそれぞれ高さを均一にすることが出来ない。その結果、吐出均一性が悪化する。流体抵抗部１５は、個別インク供給室２４及び個別供給口６０を通じて共通液室１８に連通している。個別供給口６０が形成されている部分では、振動板層５５や保護基板３等が開口している。

個別液室１４は、図５に示す断面図における手前方向から奥方向（図中矢印Ｂ方向）に、流路隔壁４ａを介して配列されている（図６及び図８参照）。個別液室１４は流路隔壁４ａによって区切られており、各個別液室１４に対応する圧電素子５６が形成されている。

個別液室１４の高さは記録ヘッド５１の特性に応じて任意に選択可能であるが、例えば、２０［μｍ］〜１００［μｍ］の範囲とすることが好ましい。また、流路隔壁４ａは、配列密度に合わせて任意に設定することが可能であるが、隔壁幅（図中矢印Ｂ方向の幅）は、例えば、１０［μｍ］〜３０［μｍ］とすることが好ましい。隔壁幅が狭い場合、ある個別液室１４の圧電素子５６を駆動したときに隣接する個別液室１４に相互干渉が発生し、吐出ばらつきが大きくなるおそれがある。このため、隔壁幅を狭くすることが必要な場合は、液室高さを低くすることが好ましい。

〔電極配線〕
記録ヘッド５１は、配列した圧電素子５６に駆動信号を入力するために、上部電極１５３から個別電極を引き出し、下部電極１５１から共通電極を引き出す構成となっている。個別電極は、配列する上部電極１５３から個別電極配線１５４ｂを介して個別電極パッド１５８まで引き出される。下部電極１５１は個別電極パッド１５８とは圧電素子５６を挟んで反対側となる流体抵抗部１５の上方まで延伸されている。そして、この下部電極１５１と導通する共通電極配線１５４ａを介して共通電極パッド１５７まで引き出される。

なお、下部電極１５１と共通電極配線１５４ａとの間には、第一絶縁膜１５５が形成されており、第一絶縁膜１５５に開けられた共通電極コンタクトホール１５５ａを介して電気的に接続されている。同様に、上部電極１５３と個別電極配線１５４ｂとの間には、第一絶縁膜１５５が形成され、第一絶縁膜１５５に開けられた個別電極コンタクトホール１５５ｂを介して電気的に接続されている。また、共通電極パッド１５７、個別電極パッド１５８は、駆動ＩＣ８０に接続されている。

なお、個別電極配線１５４ｂと共通電極配線１５４ａとは同一材料、同一工程で形成することが好ましい。電極材料としては、抵抗値の低い金属、合金等の導電性材料を用いることができる。また、上部電極１５３や下部電極１５１とのコンタクト抵抗の低い材料を用いることが必要である。例えば、Ａｌ（アルミニウム）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｐｄ（パラジウム）、Ｉｒ（イリジウム）、Ｗ（タングステン）、Ｔｉ（チタン）、Ｔａ（タンタル）、Ｃｕ（銅）、Ｃｒ（クロム）などを用いることができる。

また、コンタクト抵抗を低減するために、これらの材料の積層構造としても良い。コンタクト抵抗を下げる材料として、導電性化合物を用いても良い。例えば、Ｔａ_２Ｏ_５（五酸化タンタル）、ＴｉＯ_２（酸化チタン）、ＴｉＮ（窒化チタン）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、Ｉｎ_２Ｏ_３（酸化インジウム）、ＳｎＯ（酸化スズ）等の酸化物、窒化物およびその複合化合物を用いることができる。膜厚は特に限られるものではないが、例えば、１［μｍ］以下とすることが好ましい。
また、成膜には真空成膜法等の膜厚均一性が高い成膜方法を用いることが好ましい。これらの電極は、保護基板３との接着領域となるため、高さ均一性を確保できる膜厚、成膜方法とすることが必要である。

図９に示すように、個別電極配線１５４ｂおよび共通電極配線１５４ａを、保護基板３と対向する領域の外側まで引き出して個別電極パッド１５８および共通電極パッド１５７を形成する。また、個別電極パッド１５８および共通電極パッド１５７に駆動ＩＣ８０からの信号を入力する配線（図示せず）を接続する。なお、配線の接続方法は、特に限られるものではない。例えば、ＦＰＣ（フレキシブルプリント配線板）を用いたＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）接合、ハンダ接合や、ワイアボンディング法、駆動ＩＣ８０の出力端子と直接接合するフリップチップ法等を用いることができる。各接合方式に合わせてパッドの材料、構造を選定すればよい。

〔保護基板〕
保護基板３は、下部電極１５１及び上部電極１５３に電気的に接続される配線部材１５４を含めて圧電素子保護空間２２を形成する基板であり、液室基板１におけるノズル基板２とは反対側に接着される。また、保護基板３は、液室基板１に接着することによって、流路隔壁４ａを補強し、液室基板１の剛性を確保する機能も有する。保護基板３の材料は、特に限られるものではないが、液室基板１の反りを防止するため、液室基板１の材料と熱膨張係数の近い材料を選定することが好ましい。このため、例えば、ガラス、シリコン、ＳｉＯ_２（二酸化ケイ素）、ＺｒＯ_２（二酸化ジルコニウム）、Ａｌ_２Ｏ_３（酸化アルミニウム）等のセラミクス材料とすることが好ましい。

また、保護基板３には、個別液室１４にインクを供給するための個別供給口６０が形成されている。さらに、個別液室１４に対向する領域に圧電素子保護空間２２が形成されている。圧電素子保護空間２２は保護基板３に対する堀加工によって形成された密閉された空間で、内部に圧電素子５６が配置されて圧電素子５６が変位可能な稼働領域を形成している。

圧電素子保護空間２２は隣接する個別液室１４ごとに区画され、保護空間隔壁２３で隔てられている。この保護空間隔壁２３は、流路隔壁４ａの上で液室基板１に接着されている。これにより、板厚の薄い液室基板１の剛性を高めることができ、圧電素子５６を駆動した際の隣接する個別液室１４間の相互干渉を低減することが可能となる。その場合、保護基板３としては、樹脂などの低剛性材料ではなく、シリコンなどの高剛性材料で形成することが好ましい。保護空間隔壁２３の幅（図中矢印Ｂ方向の幅）は、例えば、５〜２０［μｍ］である。

〔共通液室基板〕
共通液室基板２８０には、共通液室１８が形成され、共通供給口３０３から共通液室１８に供給されたインクを個別供給口６０、個別インク供給室２４及び流体抵抗部１５を介して個別液室１４に供給される。なお、共通液室基板２８０は、図７に示すように複数層を積層して形成されている。また、共通液室１８の少なくとも一つの面はダンパーフィルム３００で形成されており、共通液室１８を介した流体的な相互干渉の圧力を抑制する効果を有する。なお、ダンパー室形成部材３０２は、ダンパーフィルム３００の端部を固定するとともにダンパー機能箇所の可動域を確保している。

次に、従来の液滴吐出ヘッドについて説明する。
インクジェット記録装置に用いられる液滴吐出ヘッドは、一般に、複数のノズル列を有し、ノズル列に連通した複数の個別液室（圧力室）を有し、該複数の個別液室には比較的容積の大きな共通の共通液室が連通されている構成が一般的である。個別液室に選択的にエネルギーを印加することにより個別液室を変形させ、液滴を吐出させて任意の画像をオンデマンドで形成することができる。エネルギーの印加媒体（駆動手段、アクチュエータともいう）としては、例えば、圧電素子やヒーターチップなどが知られている。

近年、インクジェット記録装置は、より高品位な画像を、より速い印刷速度で出力できること（印刷速度の高速化および高画質化）が求められている。画像の高画質化の要求に対しては、吐出孔の数を増加して高密度化する傾向にある。これに伴い、各個別液室の間隔は狭まり、また高速化に伴ってエネルギー印加の周波数も高くなる傾向にある。また、印刷速度の高速化の要求に対しては、記録ヘッドの長尺化が試みられており、例えば、記録媒体の幅全領域を覆うことのできる記録ヘッドを備えたいわゆるライン型プリンタも提案されている。

インク滴を吐出するときには圧力変動が生じるが、この圧力変動が隣接する他の個別液室内のインクに影響を及ぼすことがある（以下、相互干渉と呼ぶ）。この相互干渉は、意図しないインク滴の吐出や吐出状態の不安定化を誘発し、その結果、高品位な画像出力が得られなくなることにも繋がる。また、相互干渉は、個別液室同士の間隔が狭いほど生じ易い。このため、高画質化を図るためには、ビット間の相互干渉の小さいヘッド設計とすることが求められる。

相互干渉には、共通液室経由で伝播する流体的な干渉と、個別液室を構成する基板を介して伝播する構造的な干渉とがある。流体的な相互干渉は、上述したダンパーフィルム３００のように、共通液室に圧力変動の伝達を減衰させる構成を設けることで解消を図ることができる。一方、構造的な相互干渉は、近年の高密度化・高速化に伴う構造物の剛性低下、共振現象発生により増加する傾向にある。

構造的な相互干渉が少ないヘッド設計とするには、ノズル基板と、各ビットを隔てる隔壁と、隔壁を接着固定している接着剤が十分な剛性を有している必要がある。この中で特に構造的な相互干渉に対して、接着剤の厚さに起因する接着部の剛性低下の寄与が大きく、できるだけ薄い接着剤で固定されている必要がある。しかしながら、接着剤を単に薄膜化しようとすると、接着時の押圧で接着剤が流れ出し、振動板に付着することがある。振動板上で接着剤が固着すると、変位を阻害してアクチュエータの効率が著しく低下するという問題がある。また、接着剤の流れ出し対策として単に接着剤の塗布量を少なくすると、接着強度と封止性が十分に確保できず、実際に接着剤膜厚を薄くすることには限界があった。

図１２は、従来の記録ヘッド５１の液室基板１と保護基板３との接着部の拡大説明図である。図１２（ａ）は、従来の記録ヘッド５１における図６中のＤ−Ｄ’断面に対応する断面の平面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）中のＧ−Ｇ’断面の側面図である。
図１２に示すように、従来の記録ヘッド５１においても保護空間隔壁２３は、流路隔壁４ａの上で接着剤７０により接着される。しかし、十分な接着力を確保しようとする場合、接着時に、接着剤７０の流れ出し（接着剤余剰７０ａという）が生じ、振動板５５ａの上で接着剤７０が固着して、変位を阻害してアクチュエータ２００の性能低下に繋がるという問題があった。

このような接着剤の流れ出しを制御する技術として、例えば、特許文献１には、液室基板と保護基板と接着する接着剤として、粒状の絶縁物（粒径が１［μｍ］〜５［μｍ］）が混練された接着剤を用いる構成が記載されている。粒状の絶縁物を混練することで接着剤の粘度を調節して接着剤が流れ出ることを抑制している。しかし、粒状の絶縁物を混練しているため、粒状の絶縁物以下の膜厚の接着剤とすることは不可能となる。よって、接着部の剛性が低くなり、構造的な相互干渉の原因になりうるという問題がある。

また、特許文献１に記載の記録ヘッドは、流路隔壁の上に保護空間隔壁に対応する部材がない構成となっている。液室基板よりも上方に流路隔壁を補強する部材がないため、構造的な相互干渉が発生しやすい設計となっている。特許文献１では、ノズル板を厚くして個別液室の隔壁を倒れにくくしたり、液室の共振現象を利用した駆動方法とせずに周波数を下げて駆動をしたりすることで、構造的な相互干渉を抑える構造となっている。
しかし、印刷速度の高速化のためには、液室の共振現象を利用した駆動方法により、滴速度と滴体積を稼ぐ方法が必須である。このため、液室基板よりも上方に流路隔壁を補強する部材がない構成では、構造的な相互干渉を抑えるために周波数が上げられず、印刷速度の高速化に限界がある。

特許文献２には、液室基板と保護基板との接着部の液室基板側に中間層を形成し、この中間層を介して保護基板と液室基板とを接着する構成が記載されている。中間層があることによって接着部における液室基板側の接着領域から流れ出た接着剤が圧力発生部材上に到達することがある程度は抑制される。しかし、中間層に沿って流れ出た接着剤が圧力発生部材に到達することがあり、接着剤が圧力発生部材上に付着することを抑制する構成としては不十分である。

特許文献３には、液室形成基板側の接着領域と圧力発生部材との間に突起部を設け、接着領域から流れ出た接着剤を突起部でせき止める構成が記載されている。このような突起部を設けることによって、接着に十分な塗布量を維持しつつ、圧力発生部材に接着剤が付着することを抑制できる。しかし、接着領域と圧力発生部材との間に突起部を設けるスペースを確保する必要がある。これにより、製造工程における公差を考えると、各ビットに無視できないスペースを確保しなければならなくなるために、記録ヘッドの小型化を阻害するという問題がある。
また、特許文献３では、接着後に突起部を除去することが開示されているが、接着後に密閉空間となる場合は、除去のためのエッチング液を注入することは困難である。仮にエッチング液を注入するための入口／出口部を設けたとしても、注入したエッチング液を完全に排出することは困難であり、エッチング液によりアクチュエータへの損傷も生じるおそれがある。

このような問題を解決可能な構成として、本実施形態の記録ヘッド５１は、保護基板３の接着領域となる保護空間隔壁２３の下面に凸部を設け、液室基板１の接着領域に凸部が入り込む凹部を設けている。

〔実施例１〕
以下、本発明を適用した記録ヘッド５１の一つ目の実施例（以下、実施例１と呼ぶ。）について説明する。
図１は、実施例１の記録ヘッド５１の液室基板１と保護基板３との接着部の拡大断面図である。図１に示すように、実施例１の記録ヘッド５１は、保護空間隔壁２３において少なくとも一部が液室基板１との接着領域となる下端面に保護基板凸部４４を有し、液室基板１の保護基板３との接着領域となる部分に液室基板凹部１９を有している。そして、液室基板凹部１９に接着剤７０を閉じ込め、閉じ込めた接着剤７０に保護基板凸部４４が圧着する形で保護基板３と液室基板１とが接着するものである。

このような構造が成立するためには、次の（Ｉ）及び（ＩＩ）の条件を満たすように設計する必要がある。
（Ｉ）振動板層５５の振動板５５ａとなる部分の上方に保護空間隔壁２３が載らないこと。
（ＩＩ）保護基板凸部４４が液室基板凹部１９に入ること。

ここで、実施例１の記録ヘッド５１の液室基板１と保護基板３との接着部における図１に示す各寸法（Ｗ１〜Ｗ６）の一例を以下に示す。
・保護基板アライメントＷ１：±２．０［μｍ］
・保護空間隔壁幅Ｗ２：１４．０±２．０［μｍ］
・保護基板凸部幅Ｗ３：４．０±２．０［μｍ］
・個別液室加工アライメントＷ４：±２．０［μｍ］
・流路隔壁幅Ｗ５：２４．６５±１．５［μｍ］
・液室基板凹部幅Ｗ６：１０．０±１．０［μｍ］

上記（Ｉ）及び（ＩＩ）の条件に関わる公差と積上げ公差とを表１に示す。

表１に示すように、条件（Ｉ）に関わる交差の積上げ公差が±３．８［μｍ］となっている。このため、保護空間隔壁２３が流路隔壁４ａの上方となる位置（保護基板３側の接着領域となる保護空間隔壁２３の下端面が振動板５５ａ上とならない位置）にするための設計マージンである第一マージンＭ１を４［μｍ］に設定している。また、条件（ＩＩ）に関わる交差の積上げ公差が±２．６［μｍ］となっているため、保護基板凸部４４が液室基板凹部１９内に収まるための設計マージンである第二マージンＭ２を３［μｍ］に設定している。

保護基板凸部４４の高さと液室基板凹部１９の深さとは、基板材料の加工性と接着剤７０の粘度等に依るものであるため、特に限られるものではない。図１に示す実施例１では、保護基板凸部４４の高さ高さは４［μｍ］であり、液室基板凹部１９の深さは７［μｍ］である。
実施例１では、液室基板１の上面における保護基板３との接着領域に形成した液室基板凹部１９の内側に接着剤７０を閉じ込める構造としている。これにより、液室基板１と保護基板３とを加熱もしくは常温にて押圧して接着する際に、接着剤７０が振動板５５ａの上方の振動板５５ａとともに変形する部分へ流れ出すことを抑制できる。

また、図１に示すように、記録ヘッド５１は、図１中のαで示す部分で保護基板凸部４４の根元部分の一部と、液室基板凹部１９の入口部分の一部とが当接している。特許文献２に記載の構成では、保護基板と液室基板との間で直接当接する箇所がなく、接着剤厚さ分の弾性により構造的な相互干渉が起こり、印字ばらつきが発生するという問題があった。これに対して、実施例１の記録ヘッド５１では、αの部分で保護基板３と液室基板１とが直接当接しているため、接着剤７０の厚さ分の弾性の影響を抑制することができる。これにより、保護基板３と液室基板１とが接着剤の厚み分離れている構成に比して、構造的な相互干渉を抑止し、印字ばらつきを抑制することができる。

次に、実施例１の記録ヘッド５１の製造手順の一例を説明する。
（１）液室基板１を構成する流路形成部４の上面における振動板層５５を設ける以外の箇所に、マスクとしてのシリコン窒化膜をパターニングする。また、ポリシリコンとシリコン熱酸化膜形成手段（例えば、プラズマＣＶＤ法、パイロ酸化法等）によりポリシリコンとＳｉＯ_２の多層積層膜である振動板層５５を流路形成部４の上面に形成する。

（２）次に、薄膜形成手段（例えば、ゾルゲル法、スパッタ法等）により、下部電極１５１の層、圧電体１５２の層及び上部電極１５３の層を順次形成する。下部電極１５１の層の材料としては、例えばＰｔ、Ｔｉ、ＬａＮｉＯ_３（ニッケル酸ランタン）、ＳｒＲｕＯ_３（ストロンチウムルテニウムオキサイド）等を用いることができる。圧電体１５２の層の材料としては、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いることができる。上部電極１５３の層の材料としては、例えばＰｔ、ＬａＮｉＯ_３、ＳｒＲｕＯ_３等を用いることができる。

（３）次に、フォトリソグラフィ法により上部電極１５３、圧電体１５２及び下部電極１５１を順次パターニングし、圧電素子５６を形成する。
（４）次に、圧電素子５６の放電防止のために第一絶縁膜１５５（例えば、Ａｌ_２Ｏ_３）を全体に成膜する。その後、振動変位の妨げにならないように上部電極１５３上を避けて圧電体１５２の端部と下部電極１５１とに、例えば、ＳｉＯ_２やＳｉ_３Ｎ_４からなる第二絶縁膜１５６を形成する。

（５）液室基板１の上面の所望の位置に液室基板凹部１９をフォトリソグラフィ法により形成する。なお、この工程は上記（４）の工程における絶縁膜の成膜工程の前でもよいし後でもよい。ここで、フォトリソグラフィ法よって液室基板凹部１９を形成することができるのは、シリコン基板からなる流路形成部４の部分である。このため、下部電極１５１の層に対しては液室基板凹部１９に対応する穴部を予め設けておく。この穴部としては、例えば、下部電極１５１の層を成膜するときに、液室基板凹部１９となる部分にマスキングを行い、下部電極１５１の層が形成されないようにすることで、設けることができる。

（６）次に、アルミニウムからなる個別電極配線１５４ｂを所望の箇所に形成する。
（７）別途、次の手順で保護基板３を作成する。シリコン基板にリソエッチ法にて圧電素子保護空間２２を形成した後、さらに保護空間隔壁２３の先端面部分を加工することで保護基板凸部４４を形成する。
（８）保護基板３に接着剤７０を塗布し、液室基板１の圧電素子５６を設けた面に接着する。このとき保護基板３に対する接着剤７０の塗布工程では、保護基板凸部４４のみに接着剤７０が載るように、塗布圧や塗布速度の条件出しや接着剤物性の調整等を行う。

（９）次に、液室基板１の圧電素子５６を設けた面とは反対側の面（ノズル基板２を接合する面）を所望の厚さまで研磨する。
（１０）液室基板１の上記（９）の工程で研磨した側をＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ）ドライエッチングによりエッチングし、個別液室１４、流体抵抗部１５及び個別インク供給室２４となる凹部を形成する。
別途ＳＵＳ（ステンレス鋼）のプレス加工、研磨によってノズル孔２０を形成しておいたノズル基板２を液室基板１の凹部形成側（上記（９）の工程で研磨した側）に接合する。

（１１）液室基板１における保護基板３との接着部側の面（上面）に設けた個別電極パッド１５８と共通電極パッド１５７とに別途製作した駆動ＩＣ８０をフリップチップ接合により実装する。
（１２）プレス加工、微細切削加工により形成した共通液室基板２８０に接液膜を成膜した後に保護基板３に接合する。
（１３）ダンパーフィルム３００を設けたダンパー室形成部材３０２を共通液室基板２８０に接合する。
上述した（１）〜（１３）の工程により、実施例１の記録ヘッド５１を作製することができる。

〔実施例２〕
以下、本発明を適用した記録ヘッド５１の二つ目の実施例（以下、実施例２と呼ぶ。）について説明する。
図１０は、実施例２の記録ヘッド５１の液室基板１と保護基板３との接着部の拡大断面図である。図１０に示すように、実施例２の記録ヘッド５１は、保護空間隔壁２３において少なくとも一部が液室基板１との接着領域となる下端面に保護基板凸部４４を有し、液室基板１の保護基板３との接着領域となる部分に液室基板凹部１９を有している。

実施例２の記録ヘッド５１は、液室基板凹部１９を、保護基板３側の接着領域と接着するように、液室基板１の上面に突出して形成された液室側接着領域形成部である液室上面突起部７５によって形成する構成である点で実施例１の記録ヘッド５１と異なる。他の点については、実施例１の記録ヘッド５１と同様であるため、説明は省略する。また、製造方法については、液室基板凹部１９を形成する工程以外については、実施例１と同様の工程によって製造することができる。

実施例２の記録ヘッド５１は、液室基板１の上面の液室上面突起部７５によって形成された液室基板凹部１９に接着剤７０を閉じ込め、閉じ込めた接着剤７０に保護基板凸部４４が圧着する形で保護基板３と液室基板１とが接着するものである。すなわち、図１０に示すように、液室基板１上に液室上面突起部７５を形成し、液室基板凹部１９の内側に接着剤７０を閉じ込める構造としている。これにより、液室基板１と保護基板３とを加熱もしくは常温にて押圧して接着する際に、接着剤７０が振動板５５ａの上方の振動板５５ａとともに変形する部分へ流れ出すことを抑制できる。

また、実施例２の記録ヘッドにおいても、上記（Ｉ）及び（ＩＩ）の条件を満たすように設計する必要がある。
ここで、実施例２の記録ヘッド５１の液室基板１と保護基板３との接着部における図２に示す各寸法（Ｗ１〜Ｗ８）の一例を以下に示す。
・保護基板アライメントＷ１：±２．０［μｍ］
・保護空間隔壁幅Ｗ２：１４．０±２．０［μｍ］
・保護基板凸部幅Ｗ３：３．０±１．０［μｍ］
・個別液室加工アライメントＷ４：±２．０［μｍ］
・流路隔壁幅Ｗ５：２４．６５±１．５［μｍ］
・液室基板凹部幅Ｗ６：８．２±１．０［μｍ］
・液室上面突起部厚Ｗ７：２．５±１．０［μｍ］
・液室上面突起部アライメントＷ８：±１．０［μｍ］

実施例２の記録ヘッド５１での上記（Ｉ）及び（ＩＩ）の条件に関わる公差と積上げ公差とを表２に示す。

表２に示すように、条件（Ｉ）に関わる交差の積上げ公差が±２．９［μｍ］となっている。このため、保護空間隔壁２３が流路隔壁４ａの上方となる位置（保護基板３側の接着領域となる保護空間隔壁２３の下端面が振動板５５ａ上とならない位置）にするための設計マージンである第一マージンＭ１を２．９［μｍ］に設定している。また、条件（ＩＩ）に関わる交差の積上げ公差が±２．６［μｍ］となっているため、保護基板凸部４４が液室基板凹部１９内に収まるための設計マージンである第二マージンＭ２を２．６［μｍ］に設定している。

液室上面突起部７５の材料としては実施例１で説明した製造方法の上記（６）の工程で個別電極配線１５４ｂを形成する際に用いるアルミニウムを利用することが好ましい。上記（６）の工程で個別電極配線１５４ｂの形成と同時に液室上面突起部７５を形成することで工程を増やすことなく液室上面突起部７５の形成が可能となる。さらに、液室上面突起部７５自体を配線として使用する場合は、アルミニウムの上からパシベーション膜をかぶせたものを液室上面突起部７５としても良い。

〔実施例３〕
以下、本発明を適用した記録ヘッド５１の三つ目の実施例（以下、実施例３と呼ぶ。）について説明する。
図１１は、実施例３の記録ヘッド５１の液室基板１と保護基板３との接着部の拡大説明図である。図１１（ａ）は、記録ヘッド５１における図６中のＤ−Ｄ’断面の平面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）中のＥ−Ｅ’断面の側面図である。なお、図１１（ａ）は、図１１（ｂ）中のＦ−Ｆ’断面の平面図となる。

図１１に示すように、実施例３の記録ヘッド５１は、保護空間隔壁２３において少なくとも一部が液室基板１との接着領域となる下端面に保護基板凸部４４を有し、液室基板１の保護基板３との接着領域となる部分に液室基板凹部１９を有している。
実施例３の記録ヘッド５１は、保護基板凸部４４が液室基板凹部１９に入り込んだ状態で保護基板凸部４４と液室基板凹部１９との隙間に形成される空間と、外部とを連通する空気孔７６を保護基板３に設けた点で実施例１の記録ヘッド５１と異なる。他の点については、実施例１の記録ヘッド５１と同様であるため、説明は省略する。また、製造方法については、空気孔７６を設ける工程以外については、実施例１と同様の工程によって製造することができる。

保護基板凸部４４と液室基板凹部１９との隙間が密閉空間だと高温状態で空間が膨張して接着が剥がれてしまうリスクがある。このリスクを回避するために、実施例３では、保護基板３に空気孔７６を設けている。すなわち、図１１に示すように、保護空間隔壁２３に空気孔７６を設けて、外部と連通させることで温度変化に対する接着の信頼性を確保している。また、空気孔７６は保護空間隔壁２３の長手方向の少なくとも一箇所に設けてあれば良く、空気孔７６から接着剤が流れ出すリスクがある場合は圧電素子５６が形成されていない箇所に配置することが望ましい。
製造方法については、上記（６）の工程で保護空間隔壁２３の先端面部分を加工して保護基板凸部４４を形成する際に、空気孔７６の追加加工を施せば良い。

上記各実施例では、保護基板３側の接着領域となる部分に凸部を設け、液室基板１側の接着領域となる部分に凹部を設けているが、凸部と凹部との配置としては逆であってもよい。ここで接着剤７０の粘性によっては凹部側を上方として接着工程を行うと、接着剤が垂れるおそれがある。このため、垂れ下がるおそれがあるような低粘度の接着剤７０を用いる場合は、液室基板１と保護基板３とのうち、凹部を設けた基板を下方にし、凹部の開口部を上方に向けた状態で接着工程を行うことが好ましい。

また、上記各実施例では、保護空間隔壁２３の下面と、液室基板１の表面における流路隔壁４ａの上方となる位置とのそれぞれに凸部と凹部とを設けた構成であるが、凸部と凹部とを設ける位置としてはこれに限るものではない。保護基板３と液室基板１とを接着剤によって接着する部分であれば、その接着領域となる部分に凸部と凹部とを設けることができる。

以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様Ａ）
インク滴等の液滴を吐出する複数のノズル孔２０等の吐出孔が設けられたノズル基板２等の吐出孔形成基板と、流路隔壁４ａ等の液室隔壁によって個別の空間に区切られ、吐出孔により外部と連通し、液滴となるインク等の吐出液を収容する複数の個別液室１４等の個別吐出液室が設けられ、吐出孔形成基板に接合された液室基板１等の液室形成基板と、個別吐出液室の吐出孔とは反対側壁面を形成するように液室形成基板に設けられ、変形することで個別吐出液室の体積を変化させ、該液滴を吐出するために要する圧力を発生させるアクチュエータ２００等の圧力発生部材と、液室形成基板における吐出孔形成基板が接合された面とは反対側の面の圧力発生部材が設けられていない部分に接着剤７０等の接着剤によって接着され、圧力発生部材を挟んで個別液室の反対側から圧力発生部材を覆い、且つ、圧力発生部材の変形を許容する圧電素子保護空間２２等の保護空間を形成して圧力発生部材を保護する保護基板３等の保護基板とを有する記録ヘッド５１等の液滴吐出ヘッドにおいて、保護基板または液室形成基板の一方の接着領域となる部分に保護基板凸部４４等の凸部を設け、他方の接着領域となる部分に凸部との間に隙間を形成した状態で凸部が入り込む液室基板凹部１９等の凹部を設ける。
これによれば、上記実施形態について説明したように、接着強度を維持するために要する量の接着剤を使用しても、凸部が凹部に入り込んだ状態の凸部と凹部との隙間に接着剤を溜めることができる。このため、凸部または凹部が設けられた接着領域から接着剤が流れ出て圧力発生部材に付着することを抑制できる。また、保護基板または液室形成基板の一方の接着領域となる部分に凸部を設け、他方の接着領域となる部分に凸部が入り込む凹部を設けて接着剤が流れることを抑制している。このため、液室形成基板側の圧力発生部材を設けた面における接着領域の外側に、接着領域から圧力発生部材へと接着剤が流れることを抑制するような突起部を設ける必要がない。このため、接着剤が圧力発生部材に付着することを抑制するために、装置が大型化することを抑制できる。さらに、凹部と凸部との表面が接着領域となり、接着領域を広く取ることができるため、接着強度を維持することができる。このように、装置の大型化を抑制しつつ、保護基板と液室形成基板との接着強度を維持し、圧力発生部材への接着剤の付着を抑制することができる。
（態様Ｂ）
（態様Ａ）において、圧電素子保護空間２２等の保護空間は、保護空間隔壁２３等の保護空間隔壁によって個別の空間に区切られ、保護空間隔壁の液室基板１等の液室形成基板と対向する端面が保護基板３等の保護基板と液室形成基板とを接着する接着領域となる。
これによれば、上記実施形態について説明したように、保護空間隔壁が流路隔壁４ａ等の液室隔壁を補強し、液室形成基板の剛性を確保することができるため、構造的な相互干渉の発生を抑制し、近年の高密度化・高速化に対応した記録ヘッド５１等の液滴吐出ヘッドであっても安定したインク等の吐出液を安定的に吐出することができる。
（態様Ｃ）
（態様Ａ）または（態様Ｂ）の何れかの態様において、液室基板凹部１９等の凹部を、液室基板１等の液室形成基板側の接着領域となる部分にエッチングにより形成する。
これによれば、上記実施例１について説明したように、接着領域となる部分に凹部を形成する構成を実現できる。
（態様Ｄ）
（態様Ａ）または（態様Ｂ）の何れかの態様において、液室基板凹部１９等の凹部を、保護基板３党の保護基板側の接着領域と接着するように、液室基板１等の液室形成基板の保護基板と対向する面に突出して形成された液室上面突起部７５等の液室側接着領域形成部に設ける。
これによれば、上記実施例２について説明したように、接着領域となる部分に凹部を形成する構成を実現できる。
（態様Ｅ）
（態様Ｄ）において、液室上面突起部７５等の液室側接着領域形成部は、アクチュエータ２００等の圧力発生部材に電力を供給するための個別電極配線１５４ｂを形成する際に用いるアルミニウム等の配線材料からなる。
これによれば、上記実施例２について説明したように、工程を増やすことなく液室側接着領域形成部の形成が可能となる。
（態様Ｆ）
（態様Ｄ）において液室上面突起部７５等の液室側接着領域形成部は、アクチュエータ２００等の圧力発生部材に電力を供給するための個別電極配線１５４ｂを形成する際に用いるアルミニウム等の配線材料と配線材料を覆う第二絶縁膜１５６等のパシベーションとからなる。
これによれば、上記実施例２について説明したように、液室側接着領域形成部自体を配線として使用する構成が実現可能となる。
（態様Ｇ）
（態様Ａ）乃至（態様Ｆ）の何れか一つの態様において、保護基板凸部４４等の凸部が形成された接着領域となる部分における凸部の根元部分の一部と、液室基板凹部１９等の凹部が形成された接着領域となる部分における凹部の入口部分の一部とが当接している。
これによれば、上記実施例１について説明したように、構造的な相互干渉を抑止し、印字ばらつきを抑制することができる。
（態様Ｈ）
（態様Ａ）乃至（態様Ｇ）の何れか一つの態様において、保護基板凸部４４等の凸部が液室基板凹部１９等の凹部に入り込んだ状態で凸部と凹部との隙間に形成される空間と、他の空間とを連通する空気孔７６等の空気抜け孔を保護基板３等の保護基板に設ける。
これによれば、上記実施例３について説明したように、温度変化に対する接着の信頼性を確保することができる。
（態様Ｉ）
インク液滴を吐出する記録ヘッド５１等のインク吐出ヘッドと、インク吐出ヘッドにインクを供給するタンク部１０２ａなどのインクタンクを一体化したインクカートリッジ１０２等のインクカートリッジにおいて、インク吐出ヘッドとして、（態様Ａ）乃至（態様Ｉ）の何れか一つの態様の液滴吐出ヘッドを用いる。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液滴吐出ヘッドとタンク部１０２ａなどのインクタンクとを一体としてプリンタ１００などの画像形成装置から交換可能となり、吐出特性を安定化できる液滴吐出ヘッドの交換性が向上する。
（態様Ｊ）
インク液滴を吐出する記録ヘッド５１などのインクジェットヘッドを搭載したインクジェット方式のプリンタ１００等の画像形成装置において、インクジェットヘッドとして、（態様Ａ）乃至（態様Ｉ）の何れか一つの態様の液滴吐出ヘッド、または、インクジェットヘッドを有するインクカートリッジ１０２等のインクカートリッジとして（態様Ｉ）のインクカートリッジを備える。
これによれば、上記実施形態について説明したように、装置の大型化を抑制しつつ、保護基板と液室形成基板との接着強度を維持し、圧力発生部材への接着剤の付着を抑制することができるインクジェットヘッドを備える画像形成装置を実現することができる。接着強度を維持して構造的な相互干渉を抑制し、圧力発生部材への接着剤の付着を抑制するインクジェットヘッドによって、安定したインク滴の吐出を行うことができ、高画質化を実現することができる。さらに、インクジェットヘッドの大型化を抑制することで、画像形成装置全体の大型化を抑制することができる。

１ 液室基板
２ ノズル基板
３ 保護基板
４ 流路形成部
４ａ 流路隔壁
１４ 個別液室
１５ 流体抵抗部
１８ 共通液室
１９ 液室基板凹部
２０ ノズル孔
２２ 圧電素子保護空間
２３ 保護空間隔壁
２４ 個別インク供給室
４４ 保護基板凸部
５１ 記録ヘッド
５５ 振動板層
５５ａ 振動板
５６ 圧電素子
６０ 個別供給口
７０ 接着剤
７０ａ 接着剤余剰
７５ 液室上面突起部
７６ 空気孔
８０ 駆動ＩＣ
１００ プリンタ
１０１ キャリッジ
１０２ インクカートリッジ
１０２ａ タンク部
１０２ｂ インク排出口
１０３ 印字機構部
１０４ 給紙機構部
１０５ 手差しトレイ
１０５ａ手差し給紙ローラ
１０５ｂ 手差しトレイ開閉軸
１０６ 排紙トレイ
１０７ 主ガイドロッド
１０８ 従ガイドロッド
１０９ 主走査モータ
１１０ 駆動プーリ
１１１ 従動プーリ
１１２ タイミングベルト
１１３ 給紙ローラ
１１４ フリクションパッド
１１５ ガイド部材
１１６ 搬送ローラ
１１７ 搬送コロ
１１８ 先端コロ
１１９ 印写受け部材
１２０ 印写後搬送ローラ
１２１ 印写後搬送拍車
１２３ 排紙ローラ
１２４ 排紙拍車
１２５ 下ガイド部材
１２６ 上ガイド部材
１２７ 回復装置
１３０ 副走査モータ
１５１ 下部電極
１５２ 圧電体
１５３ 上部電極
１５４ａ 共通電極配線
１５４ｂ 個別電極配線
１５４ 配線部材
１５５ 第一絶縁膜
１５５ａ 共通電極コンタクトホール
１５５ｂ 個別電極コンタクトホール
１５６ 第二絶縁膜
１５７ 共通電極パッド
１５８ 個別電極パッド
２００ アクチュエータ
２３０ 給紙トレイ
２８０ 共通液室基板
３００ ダンパーフィルム
３０１ ダンパー室
３０２ ダンパー室形成部材
３０３ 共通供給口
Ｍ１ 第一マージン
Ｍ２ 第二マージン
Ｗ１ 保護基板アライメント
Ｗ２ 保護空間隔壁幅
Ｗ３ 保護基板凸部幅
Ｗ４ 個別液室加工アライメント
Ｗ５ 流路隔壁幅
Ｗ６ 液室基板凹部幅
Ｗ７ 液室上面突起部厚
Ｗ８ 液室上面突起部アライメント

特開２００４−１６０９４７号公報 特許３２３８６７４号 特開２００９−０７８５３４号公報

Claims (10)

1. 液滴を吐出する複数の吐出孔が設けられた吐出孔形成基板と、
   液室隔壁によって個別の空間に区切られ、該吐出孔により外部と連通し、該液滴となる吐出液を収容する複数の個別吐出液室が設けられ、該吐出孔形成基板に接合された該液室形成基板と、
   該個別吐出液室の該吐出孔とは反対側壁面を形成するように該液室形成基板に設けられ、変形することで該個別吐出液室の体積を変化させ、該液滴を吐出するために要する圧力を発生させる圧力発生部材と、
   該液室形成基板における該吐出孔形成基板が接合された面とは反対側の面の該圧力発生部材が設けられていない部分に接着剤によって接着され、該圧力発生部材を挟んで該個別液室の反対側から該圧力発生部材を覆い、且つ、該圧力発生部材の変形を許容する保護空間を形成して該圧力発生部材を保護する保護基板とを有する液滴吐出ヘッドにおいて、
   上記保護基板または上記液室形成基板の一方の接着領域となる部分に凸部を設け、他方の接着領域となる部分に該凸部との間に隙間を形成した状態で該凸部が入り込む凹部を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 請求項１の液滴吐出ヘッドにおいて、
   上記保護空間は、保護空間隔壁によって個別の空間に区切られ、該保護空間隔壁の上記液室形成基板と対向する端面が上記保護基板と該液室形成基板とを接着する接着領域となることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
3. 請求項１または２の液滴吐出ヘッドにおいて、
   上記凹部を、上記液室形成基板側の接着領域となる部分にエッチングにより形成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
4. 請求項１または２の液滴吐出ヘッドにおいて、
   上記凹部を、上記保護基板側の接着領域と接着するように、上記液室形成基板の該保護基板と対向する面に突出して形成された液室側接着領域形成部に設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
5. 請求項４の液滴吐出ヘッドにおいて、
   上記液室側接着領域形成部は、上記圧力発生部材に電力を供給するための配線材料からなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
6. 請求項４の液滴吐出ヘッドにおいて、
   上記液室側接着領域形成部は、上記圧力発生部材に電力を供給するための配線材料と該配線材料を覆うパシベーションとからなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
7. 請求項１乃至６の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   上記凸部が形成された接着領域となる部分における該凸部の根元部分の一部と、上記凹部が形成された接着領域となる部分における該凹部の入口部分の一部とが当接していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
8. 請求項１乃至７の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   上記凸部が上記凹部に入り込んだ状態で該凸部と該凹部との隙間に形成される空間と、他の空間とを連通する空気抜け孔を上記保護基板に設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
9. インク液滴を吐出するインク吐出ヘッドと、該インク吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、
   上記インク吐出ヘッドとして請求項１乃至８の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッドを用いることを特徴とするインクカートリッジ。
10. インク液滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット方式の画像形成装置において、
    上記インクジェットヘッドとして、請求項１乃至８の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッド、または、該インクジェットヘッドを有するインクカートリッジとして請求項９に記載のインクカートリッジを備えることを特徴とする画像形成装置。

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