JP7000833B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置に関する。

従来から、液室（個別液室、加圧液室などとも称する）に圧力変動を発生させ、液室に形成された微小ノズルから液体を噴射させるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドを搭載する記録装置が知られている。このようなインクジェットヘッドや記録装置では、圧力変動を発生させるアクチュエータの圧電体として薄膜ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）が用いられており、近年産業分野での展開が進んでいる。

一方で薄膜ＰＺＴや配線メタル（例えばアルミ）等は水分に対して脆弱であり、高い耐久性や耐環境性が求められる。また、一般的に電極に使用されるＰｔは触媒作用が高いため、水分を水素ラジカル等の活性な状態に変え、酸化物である圧電体を腐食させてしまう原因となる。このような現象が進展すると、電極間での放電や電極と圧電体の剥離等が発生することがある。

このように、アクチュエータには高い耐久性や耐環境性が求められており、これを満たすための手段の一つとして、アクチュエータを耐湿性のバリア膜で覆うことが行われている。しかし、アクチュエータを耐湿性のバリア膜で覆うと、アクチュエータが駆動する際にバリア膜に引っ張られてしまい、アクチュエータの駆動が阻害されることが懸念される。また、アクチュエータが駆動する際に、バリア膜が引っ張られることで、バリア膜の密度が実質的に低下するため、産業用途に要求される長期使用に際しては十分な湿度バリア効果が得られない。

ところで、上述のインクジェットヘッドや記録装置においては、アクチュエータ基板の強度を増加させ、かつアクチュエータ駆動部を封止するために支持基板をアクチュエータ基板に接合させる。ここで両基板は接着剤により接合されるが、接着剤の接着性、粘度、基板に対する濡れ性、フィラーサイズなどから、水分に対して十分に封止性を有する接着剤を採用することが難しい。そのため、アクチュエータが存在する空間に基板の接合界面から水分が侵入し、電極間において放電する等の上述の不具合が生じてしまう。特にインクジェットヘッドや記録装置を高温高湿環境において使用する際に顕著となる。

このようなことから、水分に対して十分に封止性が確保されていない状態で使用すると、所望の時間駆動する前に故障してしまい、求められる耐環境性や耐久性を確保できないという問題点があった。これらに関し、例えば以下のような提案がなされているが、問題の解決には至っておらず、その他にも、高精度やコスト等の点で解決すべき問題が生じている。

特許文献１では、駆動体をダミー素子に寄って取り囲まれた領域に封止材を流し込むことで、駆動素子の周囲に封止材が配置され、防湿性を確保することが開示されている。しかし、別途封止領域を設けることで、チップあたりの駆動部の面積の低下、ひいてはノズル密度の低下につながり、高密度な液滴ヘッドを実現することができない。
特許文献２では、外部から乾燥気体を供給することで常時駆動部周囲を低湿度に保つことが開示されている。しかし、乾燥空気やそれを供給する機構を外部に用意する必要があり、コストアップの要因となる。
特許文献３では、素子とプレートを接合させる接着剤の外側に紫外線硬化型の別の接着剤を塗布し、仮固定用として用いている。しかし、駆動部の存在する領域への水分の侵入を防止する構造にはなっておらず、耐環境性や耐久性が確保できていない。

本発明は、接合部における接着剤から水分が侵入することを防止することができ、高い耐環境性及び耐久性を有する液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、アクチュエータ、及び、該アクチュエータと反対側に基板の面方向に対して長手と短手を有する液室が形成されたアクチュエータ基板と、前記アクチュエータ基板と対向する面に前記アクチュエータの駆動領域となる凹部が形成された支持基板と、が接着剤により接合されてなる液体吐出ヘッドであって、前記支持基板における前記凹部の非形成部が前記アクチュエータ基板と接合する接合隔壁であり、該接合隔壁は前記液室の短手方向に配列し、短手方向端部の外側であって、短手方向端部の接合隔壁と前記アクチュエータ基板とを接合する前記接着剤が露出する箇所を覆うように耐湿膜が形成され、前記耐湿膜は、短手方向端部の側面全面に形成されていることを特徴とする。

本発明によれば、接合部における接着剤から水分が侵入することを防止することができ、高い耐環境性及び耐久性を有する液体吐出ヘッドを提供することができる。

本発明の液体吐出ヘッドの一例における液室短手方向の断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの一例における液室長手方向の断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの一例における平面模式図である。 耐久性の検証結果の一例を示す図である。 本発明の液体吐出ヘッドの他の例における液室短手方向の断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの他の例における液室長手方向の断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの他の例における液室短手方向の断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの他の例における液室短手方向の断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの他の例における液室長手方向の断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの他の例における液室長手方向の断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの他の例における液室短手方向の断面図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例を示す模式図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の他の例を示す模式図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの一例を示す模式図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す模式図である。 本発明の液体を吐出する装置の他の例における斜視図である。 本発明の液体を吐出する装置の他の例における側面図である。

以下、本発明に係る液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。

本発明は、アクチュエータ、及び、該アクチュエータと反対側に基板の面方向に対して長手と短手を有する液室が形成されたアクチュエータ基板と、前記アクチュエータ基板と対向する面に前記アクチュエータの駆動領域となる凹部が形成された支持基板と、が接着剤により接合されてなる液体吐出ヘッドであって、前記支持基板における前記凹部の非形成部が前記アクチュエータ基板と接合する接合隔壁であり、該接合隔壁は前記液室の短手方向に配列し、短手方向端部の外側であって、短手方向端部の接合隔壁と前記アクチュエータ基板とを接合する前記接着剤が露出する箇所を覆うように耐湿膜が形成されていることを特徴とする。

なお、以下、液室は基板の面方向に対して長手と短手を有するものとして説明しているが、液室の平面形状が例えば正方形のように長手と短手を区別できないものも本発明に含まれる。この場合、接合隔壁の配列方向を短手とし、短手と直交する方向を長手とする。なお、以下、アクチュエータも長手と短手を有するものとして説明しているが、アクチュエータも同様にアクチュエータの平面形状が例えば正方形のように長手と短手を区別できないものも本発明に含まれる。

（第１の実施形態）
本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態について説明する。図１～図３に本実施形態の液体吐出ヘッドを示す。図１は、液室短手方向（接合隔壁の配列方向）の断面図であり、短手方向端部の接合隔壁とアクチュエータ基板との接合箇所を説明するためのものである。図２は液室長手方向の断面図であり、図３は平面模式図である。図３中、Ａ－Ａ断面が図１の断面図に相当し、Ｂ－Ｂ断面が図２の断面に相当する。

なお、図３ではアクチュエータ６０が複数図示されており、液室１５を省略しているが、液室１５はアクチュエータ６０に対応する位置に形成されている。また、アクチュエータ６０は基板の面方向に長手、短手を有しており、アクチュエータ６０の長手方向、短手方向はそれぞれ、液室１５の長手方向、短手方向と同じである。また、アクチュエータ６０、液室１５の数はこれに限られるものではない。

本実施形態の液体吐出ヘッド１は、アクチュエータ６０、及び、アクチュエータ６０と反対側に基板の面方向に対して長手と短手を有する液室１５（加圧液室とも称する）が形成されたアクチュエータ基板１００と、アクチュエータ基板１００と対向する面にアクチュエータ６０の駆動領域となる凹部６７が形成された支持基板２００と、が接着剤４９により接合されてなる。

アクチュエータ基板１００には、液体吐出エネルギーを発生する圧電体１２、振動板１３が形成され、加圧液室隔壁１４、液室１５が形成されている。液室１５は、基板の面方向に対して長手と短手を有し、短手方向に複数備えられ、各液室１５は加圧液室隔壁１４で仕切られている。

アクチュエータ６０は圧電体１２、個別電極１１等を有し、圧電体１２は共通電極１０、個別電極１１に挟まれており、配線層４２により電圧が印加される。アクチュエータ基板１００には、配線層４２を保護するパッシベーション膜５０、配線層４２と共通電極１０との接続を調整する層間絶縁膜４５が形成されている。

支持基板２００における凹部６７の非形成部がアクチュエータ基板１００と接合する接合隔壁２０１であり、接合隔壁２０１は液室１５の短手方向に配列している。

アクチュエータ基板１００は、ノズル孔１６を有するノズル基板３００が接合され、ノズル基板３００は液室１５の一部を形成する。また、液滴供給口６６、共通液滴流路１９、共通液室１８が支持基板２００、アクチュエータ基板１００に形成され、共通液室１８は液室１５に連通している。
これらアクチュエータ基板１００、支持基板２００、ノズル基板３００を接合することにより、液体吐出ヘッド１が形成される。

このように形成された液体吐出ヘッド１では、各液室１５内に液体、例えば記録液（インク）が満たされた状態で、制御部からの画像データに基づいて、記録液の吐出を行うノズル孔１６に対応する個別電極１１に対して電圧が印加される。

この場合、例えば、発振回路により、引き出し配線、層間絶縁膜４５に形成された接続孔を介して２０Ｖのパルス電圧が印加される。この電圧パルスが印加されることにより、圧電体１２は電歪効果により圧電体１２そのものが振動板１３と平行方向に縮み、振動板１３が液室１５の方向に撓む。これにより、液室１５内の圧力が急激に上昇して、液室１５に連通するノズル孔１６から記録液が吐出する。

次に、パルス電圧印加後は縮んだ圧電体１２が元に戻ることから、撓んだ振動板１３が元の位置に戻る。このため、液室１５内が共通液室１８内に比べて負圧となり、外部から液滴供給口６６を介して供給されているインクが共通液滴流路１９、共通液室１８から流体抵抗部１７を介して液室１５に供給される。
これらを繰り返すことにより、液滴を連続的に吐出でき、液体吐出ヘッドに対向して配置した被記録媒体に画像を形成する。

ここで、支持基板やアクチュエータ基板は主にＳｉ等の無機材料が用いられ、膜厚も厚いため湿度に対して十分な耐湿性を有している。一方、支持基板とアクチュエータ基板を接合する接着剤は一般的にエポキシ樹脂等の有機材料が用いられるが、接合品質確保のために耐湿性を十分に有する材料を使用することが難しい。そのため、接着剤の部分が水分のパスとなってしまい、接着剤を介してアクチュエータの駆動領域に水分が侵入してしまう。特に高湿度環境の下で使用する場合には、水分の侵入が顕著になり、長期の使用に耐えられないといった問題があった。

これに対して、本実施形態では、図１に図示されるように、短手方向端部の外側であって、短手方向端部の接合隔壁２０１とアクチュエータ基板１００とを接合する接着剤４９が露出する箇所を覆うように耐湿膜７１が形成されている。すなわち、耐湿膜７１が液室短手方向端部の接合部における接着剤の外周部を覆っている。なお、図１は図３における符号７１ａの箇所の耐湿膜７１を示しているが、本実施形態では符号７１ｂの箇所にも耐湿膜７１が形成されている。

支持基板２００とアクチュエータ基板１００を接合している接着剤４９を耐湿性の膜で覆うことにより、アクチュエータ６０の駆動領域に侵入する水分を遮断することができる。これにより、駆動部における湿度に起因する不良、例えば、圧電体に還元反応が生じることで引き起こされる耐圧の低下や放電、その他電極の剥離等を防止することができる。このため、高い耐環境性及び耐久性を有する信頼性の高い液体吐出ヘッドを得ることができる。

なお、本実施形態では、液室短手方向の端部の接合部に耐湿膜７１が形成されているが、図２に示されるように、液室長手方向の接合部には耐湿膜７１が形成されていない。液室短手方向の外側は特に外気と触れやすく、液室長手方向の接合に比べて、接着剤から水分が侵入しやすい。そのため、短手方向端部の外側であって、短手方向端部の接合隔壁とアクチュエータ基板とを接合する接着剤が露出する箇所に耐湿膜が形成されていることにより、アクチュエータの駆動領域に水分が侵入することを防ぐことができ、高い耐環境性や耐久性を得ることができる。

また、本実施形態では、水分の侵入を防ぐためにアクチュエータの駆動領域内に特別な構成を設けていないので、ノズル密度が低下することを防ぐことができる。これに加えて、耐湿性を向上させることを目的として乾燥空気を導入するシステム等を別途設ける必要がなく、コストが増加することを防ぐことができるとともに、装置が大型化することを防ぐことができる。

また、従来では、駆動領域に水分が侵入することによるアクチュエータの劣化を防ぐため、アクチュエータ上にバリア層７０を形成していたが、アクチュエータに直接成膜されたバリア層７０は、アクチュエータの動きを阻害してしまう。
これに対し、本実施形態では、アクチュエータ上にバリア層７０を形成せずにアクチュエータの耐湿性を確保することができるため、アクチュエータが駆動する際の変位を向上させることができる。

耐湿膜７１の材料としては、耐湿性を有する材料であれば適宜変更することが可能であるが、例えば、Ａｌ_２Ｏ_３、ＳｉＮ、ＡｌＮ等が挙げられる。なお、上記の他にも、耐湿性が確保されていれば、膜の形状に限られるものではなく、例えばガスケット材等を耐湿膜７１としてもよい。

また、耐湿膜７１の厚みは、特に制限されるものではないが、２０～５００ｎｍが好ましい。
耐湿膜７１を形成する方法としては、適宜変更することが可能であるが、中でも、ＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）法により形成することが好ましい。ＡＬＤ法を用いることにより、インク流路中にある接合部など、耐湿性を有する膜の成膜時に表面に露出していない部位にも耐湿性を持たせることができ、信頼性がより向上する。

＜耐久性の検証＞
次に、耐湿膜７１を有する本実施形態の液体吐出ヘッドと、耐湿膜７１を有しない液体吐出ヘッドの両サンプルに対し、高温高湿バイアス試験における水蒸気圧と故障までの時間の関係を検証した。表１に高温高湿バイアス試験における液体吐出ヘッドの設置条件と故障までの時間を示す。また、表１における結果をプロットしたものを図４に示す。
なお、高温高湿バイアス試験では、表１の設置条件下にサンプルとなる液体吐出ヘッドを設置し、画像の形成は行わず連続駆動をさせることにより検証を行った。

試験例１、２は耐湿膜７１を有するものであり、図１、図２に示される液体吐出ヘッドである（図中（Ａ）のプロットに相当）。試験例３～６は図１、図２に示される液体吐出ヘッドにおいて耐湿膜７１を形成しなかったものである（図中（Ｂ）のプロットに相当）。設置条件が同じ試験例１、２と試験例５、６をそれぞれ比較すると、耐湿膜７１を有する場合、故障するまでの時間が大幅に長くなり、耐久性が向上していることがわかる。このように、耐湿膜を形成することにより、湿度耐性が向上していることを確認することができた。

＜液体吐出ヘッドの製造方法の一実施形態＞
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、
（１）アクチュエータ基板上に複数のアクチュエータを形成する工程
（２）支持基板に対し、アクチュエータに対応する位置に複数の凹部を形成する工程
（３）支持基板における凹部の非形成部が前記アクチュエータ基板と接合する接合隔壁となるようにアクチュエータ基板と支持基板を接着剤で接合する工程
（４）アクチュエータ基板に対し、アクチュエータと反対側に基板の面方向に対して長手と短手を有し、接合隔壁が配列する方向が短手方向となる複数の液室をアクチュエータに対応する位置に形成する工程
（５）短手方向端部の外側であって、端部の接合隔壁とアクチュエータ基板とを接合する接着剤が露出する箇所を覆うように耐湿膜を形成する工程
を有する。

以下、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法の一例について具体例を挙げつつ説明する。なお、製造工程における途中の図は示していないが、図１～図３が参考になる。

まず、アクチュエータ基板１００として面方位（１１０）のシリコン単結晶基板（例えば板厚４００μｍ）上に振動板１３を成膜する。この振動板１３は、振動板としての機能と後のプロセス整合性が確保されていれば、単層、積層膜のどちらでもかまわない。

振動板としては、例えば、ＬＰ－ＣＶＤ法（Low Pressure Chemical Vapor Deposition）でシリコン酸化膜、ポリシリコン膜、あるいはアモルファスシリコン膜、シリコン窒化膜として、これらを所望の振動板剛性になるように積層に成膜する。

プロセス整合性、振動板剛性、及び振動板１３全体の応力を鑑みて、積層数は、３～７層程度が好ましい。後に形成する共通電極１０との密着性を確保するために振動板１３の最上層は、ＬＰ－ＣＶＤ法で形成したシリコン酸化膜とすることが好ましい。その後、例えば、ＴｉＯ_２とＰｔからなる共通電極１０層をスパッタ法／ＲＴＡ（Rapid Thermal Anneal）による酸化プロセスにより各々２０ｎｍと１６０ｎｍ成膜する。

次に、共通電極１０上に圧電体１２として、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）をスピンコート法で複数回に分けて成膜し、最終的に２μｍ厚成膜する。次にＳＲＯとＰｔからなる個別電極１１をスパッタ法で各々４０ｎｍと１００ｎｍ成膜する。
ここで、圧電体１２の成膜方法は、スピンコート法に限らず、例えばスパッタ法、イオンプレーティング法、エアーゾル法、ゾルゲル法、あるいはインクジェット法等などで成膜してもよい。
また、個別電極としてはＳＲＯ／Ｐｔに限らず、Ｉｒ、ＩｒＯ_２、Ｔｉ等を組み合わせて用いてもよい。

そして、リソエッチ法により、後に形成する液室１５に対応する位置に圧電体１２と個別電極１１を形成する。また、接合隔壁２０１の位置に対応するように圧電体１２を形成する。なお、アクチュエータ６０上にバリア層７０を設ける場合は、個別電極１１を形成した後に形成を行う。

次に、共通電極１０、圧電体１２と後に形成する配線層４２（引出配線）とを絶縁するために層間絶縁膜４５を成膜する。層間絶縁膜４５は、例えばプラズマＣＶＤ法でＳｉＯ_２膜を１０００ｎｍ成膜する。層間絶縁膜４５は、圧電体１２や電極材料に影響を及ぼさず、絶縁性を有する膜であれば、プラズマＣＶＤ法のＳｉＯ_２以外の膜でもよい。

次に、層間絶縁膜４５に対して、個別電極１１と配線層４２とを接続する接続孔をリソエッチ法で形成する。なお、共通電極１０も配線層４２と接続する場合は、同様に接続孔を形成する。

次に、配線層４２として、例えばＴｉＮ／Ａｌを各々膜厚３０ｎｍ／３μｍでスパッタ法により成膜する。ＴｉＮは、接続孔の底部で、個別電極１１、あるいは共通電極１０の材料であるＰｔが、配線層４２の材料であるＡｌが直接接することにより、後の工程による熱履歴で合金化し、体積変化によるストレスによる膜剥がれ等を防止するために、合金化を防ぐ遮蔽層として適用される。
なお、支持基板２００との接合部分となる位置にも配線層４２が形成される。

次に、パッシベーション膜５０として、例えばプラズマＣＶＤ法によりシリコン窒化膜を１０００ｎｍ厚成膜する。

その後、リソエッチ法により、配線層４２の引出配線パッド部４１、アクチュエータ６０、及び共通液滴流路１９の開口を行う。

次に、リソエッチ法により、共通液滴流路１９、共通液室１８になる箇所の振動板１３を除去する。

次に、アクチュエータ６０に対応した位置に凹部６７を形成した支持基板２００と、アクチュエータ基板１００を接着剤４９により接合する。接着剤４９は、一般的な薄膜転写装置により、支持基板２００側に厚さ１μｍ程度で塗布している。

その後、液室１５、共通液室１８、流体抵抗部１７を形成するためにアクチュエータ基板１００を所望の厚さｔ（例えば厚さ８０μｍ）になるように、公知の技術で研磨する。なお、研磨法以外にもエッチングなどを行ってもよい。

次に、リソグラフィー法により、液室１５、共通液室１８、流体抵抗部１７以外の隔壁部をレジストで被覆する。その後、例えばアルカリ溶液（ＫＯＨ溶液、あるいはＴＭＨＡ溶液）で異方性ウェットエッチングを行い、液室１５、共通液室１８、流体抵抗部１７を形成する。なお、アルカリ溶液による異方性ウェットエッチング以外にも、例えばＩＣＰエッチャーを用いたドライエッチングにより液室１５、共通液室１８、流体抵抗部１７を形成してもよい。

次に、ＡＬＤ法により、接着剤４９が露出する箇所を覆うように耐湿膜７１として、Ａｌ_２Ｏ_３を成膜する。本実施形態では、図１、図３に示されるように、短手方向端部の外側であって、短手方向端部の接合隔壁２０１とアクチュエータ基板１００とを接合する接着剤が露出する箇所を覆うように形成している。また、ここでは厚さ５０ｎｍとしている。

次に、各液室１５に対応した位置にノズル孔１６を開口したノズル基板３００をアクチュエータ基板１００に接合する。これにより液体吐出ヘッド１が完成する。本実施形態によれば、高精度で安定した吐出特性を有する液体吐出ヘッドを歩留りよく製造することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明におけるその他の実施形態について説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。本実施形態の液体吐出ヘッドを図５に示す。図５は、図１と同様に液室短手方向の断面図であり、短手方向端部の接合隔壁とアクチュエータ基板との接合箇所を説明するためのものである。

本実施形態では、短手方向端部の側面全面に耐湿膜７１が形成されている点で上記実施形態と相違する。耐湿膜７１は接着剤４９が露出する箇所を覆うように形成されていればよく、図１に示されるように接合箇所の近傍のみであってもよいが、本実施形態のように、側面全面に耐湿膜７１が形成してもよい。この場合、アクチュエータの駆動領域に水分が侵入することをより確実に防止することができる。また、本実施形態の耐湿膜７１の作製にはＡＬＤ法が特に好適に用いられ、マスク工程等が不要である等の理由により、製造が容易となる。

（第３の実施形態）
次に、本発明におけるその他の実施形態について説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。本実施形態の液体吐出ヘッドを図６に示す。図６は、図２と同様に液室長手方向の断面図である。
本実施形態では、液室１５の長手方向の外側であって、支持基板２００とアクチュエータ基板１００とを接合する接着剤４９が露出する箇所を覆うように耐湿膜７１が形成されている。図３に示される平面図においては、符号７１ｃ、７１ｄの箇所に該当する。

液室長手方向の接合部は液室短手方向の外側に比べて水分の侵入は少ないものの、駆動領域の耐湿性をより確実に確保するためには、長手方向においても耐湿膜７１が形成されていることが好ましい。これにより、アクチュエータの駆動領域に水分が侵入することをより確実に防止することができる。

（第４の実施形態）
次に、本発明におけるその他の実施形態について説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。本実施形態の液体吐出ヘッドを図７に示す。図７は、図１と同様に液室短手方向の断面図であり、短手方向端部の接合隔壁とアクチュエータ基板との接合箇所を説明するためのものである。

本実施形態では、液室１５の内壁にも耐湿膜７１が形成されている。これにより、耐湿性を持たない振動板を使用している場合でも、液室面からの透湿を防止することができる。なお、ここでは長手方向の断面図を示していないが、本実施形態では長手方向の断面においても液室１５の内壁に耐湿膜７１が形成されている。

（第５の実施形態）
次に、本発明におけるその他の実施形態について説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。本実施形態の液体吐出ヘッドを図８、図９に示す。図８は、図１と同様に液室短手方向の断面図であり、短手方向端部の接合隔壁とアクチュエータ基板との接合箇所を説明するためのものである。図９は、図２と同様に液室長手方向の断面図である。

上述したように、液体吐出ヘッドが吐出する液体（記録液、インク等）は、支持基板２００及びアクチュエータ基板１００に形成された流路（共通液滴流路１９等）を流れ、液室１５に供給され、ノズル孔１６から吐出される。

本実施形態では、耐湿膜７１が形成されている箇所のうち、耐湿膜７１と液体が接する箇所に、耐湿膜７１と液体を隔てるように接液膜７２が形成されている。図８に示される例では、液室１５の内壁に形成された耐湿膜７１上に接液膜７２が形成されている。また、図９に示される例では、図８と同様に液室１５の内壁に形成された耐湿膜７１上に接液膜７２が形成されていることに加え、共通液滴流路１９を流れる液体を隔てるように接液膜７２が形成されている。

本実施形態によれば、インク流路等の耐接液性が求められる部位に対し、耐湿性の膜と耐接液性の膜を両方成膜することにより、耐湿性と耐接液性の両方を確保することができる。これにより、使用するインク材料によって耐湿膜７１が腐食されてしまうことを防止し、耐久性をより向上させることができる。

接液膜７２の材料としては、耐接液性を有する材料であれば特に制限されるものではなく、インクの種類によっても適宜変更することが可能であるが、例えば、Ｔａ_２Ｏ_５、ＺｎＯ、ＳｉＯ_２等が挙げられる。

接液膜７２の厚みは、特に制限されるものではないが、２０～２００ｎｍが好ましい。例えばＴａ_２Ｏ_５の場合、５０ｎｍ程度成膜する。
接液膜７２を形成する方法としては、適宜変更することが可能であるが、中でも、ＡＬＤ法により形成することが好ましい。

＜第５の実施形態の変形例＞
図１０に第５の実施形態の変形例を示す。図１０は図９と同様に液室長手方向の断面図である。図示されるように、長手方向の側面全面に耐湿膜７１が形成されていてもよく、この耐湿膜７１上に接液膜７２が形成されていてもよい。この場合、広範囲にわたって、耐湿性、耐接液性を確保することができる。

（その他の実施形態）
次に、本発明におけるその他の実施形態について説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。本実施形態の液体吐出ヘッドを図１１に示す。本実施形態では、アクチュエータ６０上にバリア層７０が形成されている。本発明には、アクチュエータ６０上にバリア層７０が形成される構成も含まれる。バリア層７０が形成されている場合、駆動時の変位が拘束されやすくなるものの、アクチュエータ６０が湿度によって劣化してしまうことをさらに防止することができ、耐久性がより向上する。なお、図示されるように、本実施形態のバリア層７０は層間絶縁膜４５の下にも形成されている。

（液体吐出ユニット、液体を吐出する装置）
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は同装置の要部平面説明図、図１３は同装置の要部側面説明図である。

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。

供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。

この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１４を参照して説明する。図１４は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１５を参照して説明する。図１５は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス、壁紙や床材などの建材、衣料用のテキスタイルなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液、又は、アミノ酸、たんぱく質、カルシウムを含む溶液及び分散液なども含まれる。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、図１３で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図１４で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、図１５で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。

また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

＜液体を吐出する装置の一実施形態＞
本実施形態の液体を吐出する装置について、インクジェット記録装置である場合の例を図１６、図１７を用いて説明する。図１６は本実施形態のインクジェット記録装置の斜視図、図１７は同装置の側面図である。

このインクジェット記録装置９０は、装置本体の内部に走査方向に移動可能なキャリッジ９８とキャリッジ９８に搭載した液体吐出ヘッド１及び液体吐出ヘッド１へインクを供給するインクカートリッジ９９等で構成される印字機構部９１等を収納し、装置本体の下方部には前方側から多数枚の用紙９２を積載可能な給紙カセット（あるいは給紙トレイでもよい）９３を抜き差し自在に装着されている。

また、用紙９２を手差しで給紙するために開かれる手差しトレイ９４を有し、給紙カセット９３あるいは手差しトレイ９４から給送される用紙９２を取り込み、印字機構部９１によって所要の画像を記録した後、後面側の装着された排紙トレイ９５に排紙する。

印字機構部９１は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９６と従ガイドロッド９７とキャリッジ９８を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ９８には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する液体吐出ヘッド１を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ９８には液体吐出ヘッド１に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９９を交換可能に装着している。

インクカートリッジ９９は、上方に大気と連通する大気口、下方には液体吐出ヘッド１へインクを供給する供給口が設けられ、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により液体吐出ヘッド１へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、液体吐出ヘッド１としては各色の液体吐出ヘッド１を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個の液出ヘッドでもよい。

ここで、キャリッジ９８は後方側（用紙搬送下流側)を主ガイドロッド９６に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送上流側)を従ガイドロッド９７に摺動自在に載置している。
そして、このキャリッジ９８を主走査方向に移動走査するため、主走査モーター１０１で回転駆動される駆動プーリ１０２と従動プーリ１０３との間にタイミングベルト１０４を張装し、このタイミングベルト１０４をキャリッジ９８に固定しており、主走査モーター１０１の正逆回転によりキャリッジ９８が往復駆動される。

一方、給紙カセット９３にセットした用紙９２を液体吐出ヘッド１に下方側に搬送するために、給紙カセット９３から用紙９２を分離給装する給紙ローラー１０５及びフリクションパッド１０６と、用紙９２を案内するガイド部材１０７と、給紙された用紙９２を反転させて搬送する搬送ローラー１０８と、この搬送ローラー１０８の周面に押し付けられる搬送コロ１０９及び搬送ローラー１０８からの用紙９２の送り出し角度を規定する先端コロ１１０とを有する。搬送ローラー１０８は副走査モーターによってギア列を介して回転駆動される。

そして、キャリッジ９８の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラー１０８から送り出された用紙９２を液体吐出ヘッド１の下方側で案内するため用紙ガイド部材である印写受け部材１１１を設けている。この印写受け部材１１１の用紙搬送方向下流側には、用紙９２を排紙方向へ送り出すための回転駆動される搬送コロ１１２と拍車１１３を設けている。さらに用紙９２を排紙トレイ９５に送り出す排紙ローラー１１４と拍車１１５と排紙経路を形成するガイド部材１１６、１１７とを配設している。

インクジェット記録装置９０で記録時には、キャリッジ９８を移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している用紙９２にインクを吐出して１行分を記録し、その後、用紙９２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙９２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙９２を排紙する。

また、キャリッジ９８の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液体吐出ヘッド１の吐出不良を回復するための回復装置１２７を配置している。回復装置１２７はキャッピング手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９８は印字待機中には回復装置１２７側に移動されてキャッピング手段で液体吐出ヘッド１をキャッピングして吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係ないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出状態を維持する。

また、吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で液体吐出ヘッド１の吐出出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともの気泡等を吸出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。

このように、インクジェット記録装置９０においては本発明で製造された液体吐出ヘッド１を搭載しているので、安定したインク吐出特性が得られ、画像品質が向上する。なお、前記説明ではインクジェット記録装置９０に液体吐出ヘッド１を使用した場合について説明したが、インク以外の液滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する装置等に液体吐出ヘッド１を適用してもよい。

１ 液体吐出ヘッド
１０ 共通電極
１１ 個別電極
１２ 圧電素子
１３ 振動板
１４ 加圧隔壁
１５ 液室
１６ ノズル孔
１７ 流体抵抗部
１８ 共通液室
１９ 共通液滴流路
４１ 引出配線パッド部
４２ 配線層
４５ 層間絶縁膜
４９ 接着剤
５０ パッシベーション膜
６０ アクチュエータ
６６ 液滴供給口
６７ 凹部
７０ バリア層
７１ 耐湿膜
７２ 接液膜
１００ アクチュエータ基板
２００ 支持基板
２０１ 接合隔壁
３００ ノズル基板
４０１ ガイド部材
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４０５ 主走査モータ
４０６ 駆動プーリ
４０７ 従動プーリ
４０８ タイミングベルト
４１０ 用紙
４１２ 搬送ベルト
４１３ 搬送ローラ
４１４ テンションローラ
４１６ 副走査モータ
４１７ タイミングベルト
４１８ タイミングプーリ
４２０ 維持回復機構
４２１ キャップ部材
４２２ ワイパ部材
４４０ 液体吐出ユニット
４４１ ヘッドタンク
４４２ カバー
４４３ コネクタ
４４４ 流路部品
４５０ 液体カートリッジ
４５１ カートリッジホルダ
４５２ 送液ユニット
４５６ チューブ
４９１Ａ、４９１Ｂ 側板
４９１Ｃ 背板
４９３ 主走査移動機構
４９４ 供給機構
４９５ 搬送機構

特開２００７－２３７４７４号公報 特開２００５－０７４９６６号公報 特許第５３２１１４３号公報

Claims (12)

1. アクチュエータ、及び、該アクチュエータと反対側に基板の面方向に対して長手と短手を有する液室が形成されたアクチュエータ基板と、
   前記アクチュエータ基板と対向する面に前記アクチュエータの駆動領域となる凹部が形成された支持基板と、が接着剤により接合されてなる液体吐出ヘッドであって、
   前記支持基板における前記凹部の非形成部が前記アクチュエータ基板と接合する接合隔壁であり、該接合隔壁は前記液室の短手方向に配列し、
   短手方向端部の外側であって、短手方向端部の接合隔壁と前記アクチュエータ基板とを接合する前記接着剤が露出する箇所を覆うように耐湿膜が形成され、
   前記耐湿膜は、短手方向端部の側面全面に形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記耐湿膜は、前記液室の内壁に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記液体吐出ヘッドが吐出する液体は、前記支持基板及びアクチュエータ基板に形成された流路を流れ、前記液室に供給され、
   前記耐湿膜が形成されている箇所のうち前記耐湿膜と前記液体が接する箇所に、前記耐湿膜と前記液体を隔てるように接液膜が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. アクチュエータ、及び、該アクチュエータと反対側に基板の面方向に対して長手と短手を有する液室が形成されたアクチュエータ基板と、
   前記アクチュエータ基板と対向する面に前記アクチュエータの駆動領域となる凹部が形成された支持基板と、が接着剤により接合されてなる液体吐出ヘッドであって、
   前記支持基板における前記凹部の非形成部が前記アクチュエータ基板と接合する接合隔壁であり、該接合隔壁は前記液室の短手方向に配列し、
   短手方向端部の外側であって、短手方向端部の接合隔壁と前記アクチュエータ基板とを接合する前記接着剤が露出する箇所を覆うように耐湿膜が形成され、
   前記耐湿膜は、前記液室の内壁に形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
5. アクチュエータ、及び、該アクチュエータと反対側に基板の面方向に対して長手と短手を有する液室が形成されたアクチュエータ基板と、
   前記アクチュエータ基板と対向する面に前記アクチュエータの駆動領域となる凹部が形成された支持基板と、が接着剤により接合されてなる液体吐出ヘッドであって、
   前記支持基板における前記凹部の非形成部が前記アクチュエータ基板と接合する接合隔壁であり、該接合隔壁は前記液室の短手方向に配列し、
   短手方向端部の外側であって、短手方向端部の接合隔壁と前記アクチュエータ基板とを接合する前記接着剤が露出する箇所を覆うように耐湿膜が形成され、
   前記液体吐出ヘッドが吐出する液体は、前記支持基板及びアクチュエータ基板に形成された流路を流れ、前記液室に供給され、
   前記耐湿膜が形成されている箇所のうち前記耐湿膜と前記液体が接する箇所に、前記耐湿膜と前記液体を隔てるように接液膜が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
6. 前記耐湿膜は、短手方向端部の側面全面に形成されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記耐湿膜は、前記液室の長手方向の外側であって、前記支持基板と前記アクチュエータ基板とを接合する前記接着剤が露出する箇所を覆うように形成されていることを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 請求項１～７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出ユニット。
9. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化したことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ユニット。
10. 請求項１～７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項８若しくは９に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
11. アクチュエータ基板上に複数のアクチュエータを形成する工程と、
    支持基板に対し、前記アクチュエータに対応する位置に複数の凹部を形成する工程と、
    前記支持基板における前記凹部の非形成部が前記アクチュエータ基板と接合する接合隔壁となるように前記アクチュエータ基板と前記支持基板を接着剤で接合する工程と、
    前記アクチュエータ基板に対し、前記アクチュエータと反対側に基板の面方向に対して長手と短手を有し、前記接合隔壁が配列する方向が短手方向となる複数の液室を前記アクチュエータに対応する位置に形成する工程と、
    短手方向端部の外側であって、端部の接合隔壁と前記アクチュエータ基板とを接合する前記接着剤が露出する箇所を覆うように耐湿膜を形成する工程と、を有し、
    短手方向端部の側面全面に前記耐湿膜を形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
12. 前記耐湿膜は、ＡＬＤ法により形成することを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

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