JP6015043B2 - ノズル板の製造方法 - Google Patents

Description

本発明はノズル板の製造方法に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。

液体吐出ヘッドは、ノズルからインクを液滴として吐出させるため、ノズルが形成されるノズル形成部材（以下、単に「ノズル板」という。）の滴吐出側表面、即ちノズル板の用紙に対向する側の表面の表面特性が滴吐出特性に大きな影響を与える。

例えば、ノズルの周辺部にインクが付着すると、液滴吐出方向が定まらないほか、ノズル径が縮小して滴吐出量（液滴の大きさ）が減少したり、あるいは滴吐出速度が不安定になる等の不具合が生じる。そのため、一般に、吐出面に撥液膜（撥水層、撥インク層、撥水膜などともいう。）を形成し、ノズル周辺部のインクの付着を防止することにより液滴吐出特性を向上することが行われている。

ところで、撥液膜を形成するとき、他の流路板との接合面（吐出面と反対側の面）に付着すると、他の部材との接合不良が発生するという問題がある。

特に、ノズル部品切断用の溝などの大きな開口がある場合には、この開口から撥液膜が接合面に回りこみ、広い範囲を汚染し、他の部材との接合が不可能となる。

そこで、従来、例えば、ノズルとなる孔を形成した部材であるノズル基材表面に撥液膜を真空蒸着法により塗布した後、酸素プラズマ処理によりノズル流路面、接合面に付着した撥液膜を除去することが知られている（特許文献１）。

また、ノズル基材の流路面をＤＦＲでマスキングした後、撥液膜を形成して、その後にＤＦＲを除去することも知られている（特許文献２）。

特開２０１０−０７６４２２号公報 特開２００１−０３８９１３号公報

しかしながら、特許文献１に開示の構成にあっては、撥液膜を完全に除去することが難しく、極微量に残存した撥液膜によって、液体充填への妨げや、接着剤の硬化不良が生じるという課題がある。

また、特許文献２に開示の構成にあっても、ＤＦＲ等のマスキング材を完全に除去することが難しく、ノズル上に残渣物が付着し残存し、この残渣物が接合部分に残存すると、接着剤内部に異物として入り込み、接合不良の原因になるという課題がある。

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、接合面への撥液膜の付着を防止して、良好な液体充填性及び接合状態を得られるようにすることを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係るノズル板の製造方法は、
少なくとも一つのノズルとなる穴と、ノズル板外周となる位置に沿って配列された複数の貫通孔とを、ノズル基材となる板状部材に形成する工程と、
前記板状部材の一面に撥液膜を形成する工程と、
前記貫通孔同士の間を切断して個々のノズル板に分割する工程と、を行い、
前記貫通孔は、最大開口幅が前記ノズルとなる穴の吐出側表面となる面における直径以下であり、
前記貫通孔は、前記ノズル板外周となる位置に沿って複数列配列して形成する
構成とした。

本発明によれば、接合面への撥液膜の付着を防止して、良好な液体充填性及び接合状態を得られる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す分解斜視図である。 同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 同ヘッドのノズル配列方向の要部断面説明図である。 （ａ）は本発明の第１実施形態に係るノズル板の平面説明図、（ｂ）はノズル板の外周部分の拡大説明図である。 本発明の第１実施形態の係るノズル板の製造方法の説明に供するノズル基材シートの平面説明図である。 図７の要部拡大説明図である。 同じく貫通孔部分の拡大説明図である。 同じくノズル基材シートの製造方法の一例の説明に供する模式的説明図である。 同じくノズル基材シートへの撥液膜の成膜方法の説明に供する模式的説明図である。 同じく分割前のノズルシートの平面説明図である。 本発明の第２実施形態の係るノズル板及びノズル板の製造方法の説明に供するノズル基材シートの要部拡大説明図である。 同じく貫通孔部分の拡大説明図である。 本発明に係る画像形成装置の機構部の一例を説明する側面説明図である。 同機構部の要部平面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図３を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図、図３は同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）に沿う断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、流路板（液室基板、流路部材）１と、この流路板１の下面に接合した振動板部材２と、流路板１の上面に接合したノズル部材であるノズル板３とを有している。

これらによって液滴（液体の滴）を吐出する複数のノズル４がそれぞれ通路５を介して通じる複数の液室（加圧液室、圧力室、加圧室、流路などとも称される。）６、液室６にインクを供給する供給路を兼ねた流体抵抗部７、この流体抵抗部７を介して液室６と連通する連通部８を形成し、連通部８に振動板部材２に形成した供給口９を介して後述するフレーム部材１７に形成した共通液室１０からインクを供給する。

流路板１は、シリコン基板をエッチングして通路５、液室６、流体抵抗部７などの開口をそれぞれ形成している。なお、流路板１は、例えば、ＳＵＳ基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜き（プレス）などの機械加工することで形成することもできる。

振動板部材２は、各液室６に対応してその壁面を形成する各振動領域（ダイアフラム部）２ａを有し、振動領域２ａの面外側（液室６と反対面側）に島状凸部２ｂが設けられ、この島状凸部２ｂに振動領域２ａを変形させ、液滴を吐出させるエネルギーを発生する駆動素子（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての積層型圧電部材１２、１２の柱状の圧電素子（以下、「圧電柱」という。）１２Ａ、１２Ｂの上端面（接合面）を接合している。また、積層型圧電部材１２の下端面はベース部材１３に接合している。

ここで、圧電部材１２は、ＰＺＴなどの圧電材料層２１と内部電極２２ａ、２２ｂとを交互に積層したものであり、内部電極２２ａ、２２ｂをそれぞれ端面に引き出して、この側面に形成された端面電極（外部電極）２３ａ、２３ｂに接続し、端面電極（外部電極）２３ａ、２３ｂに電圧を印加することで積層方向の変位を生じる。この圧電部材１２は、ハーフカットダイシングによる溝加工を施して１つの圧電部材に対して所要数の圧電柱１２Ａ、１２Ｂを形成したものである。

なお、圧電部材１２の圧電柱１２Ａ、１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を圧電柱１２Ａ、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を圧電柱１２Ｂとして区別している。この場合、図３に示すように、駆動用圧電柱１２Ａと支柱用圧電柱１２Ｂとを交互に使用するバイピッチ構成でも、あるいは、すべての圧電柱を駆動用圧電柱１２Ａとして使用するノーマルピッチ構成のいずれでも採用できる。

これにより、ベース部材１３上に駆動素子としての複数の駆動用圧電柱１２Ａが並べて配置された駆動素子列（駆動用圧電柱１２Ａの列）が２列設けられた構成としている。

また、積層型圧電部材１２の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて液室６内インクを加圧する構成としているが、積層型圧電部材１２の圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて液室６内インクを加圧する構成とすることもできる。

また、圧電部材として用いる材料についても本実施例に限られるものでなく、一般に圧電素子材料として用いられるＢaＴｉＯ_３、ＰｂＴｉＯ_３、（ＮaＫ）ＮｂＯ_３等の強誘電体などの電気機械変換素子を用いることもできる。さらに、圧電素子に積層型のものを用いているが、単板の圧電素子を用いても良い。単板の圧電素子としては切削加工したものや、スクリーン印刷して焼結した厚膜のものや、スパッタや蒸着、或いはゾルゲル法により形成する薄膜のものでも良い。また、１つのベース部材１３に設けられる積層型圧電部材１２は１列としても、複数列設けられた構造としてもよい。

そして、圧電部材１２の各駆動用圧電柱１２Ａの外部電極２３ａには駆動信号を与えるために半田部材で配線手段としてのＦＰＣ１５を直接接続し、このＦＰＣ１５には圧電部材１２の各駆動用圧電柱１２Ａに対して選択的に駆動波形を印加するための駆動回路（ドライバＩＣ）１６が実装されている。

なお、すべての圧電柱１２Ａの外部電極２３ｂは電気的に共通に接続されてＦＰＣ１５の共通配線に同じく半田部材で接続される。また、ここでは、ＦＰＣ１５の圧電部材１２と接合される出力端子部には半田メッキが施されており、半田接合を可能にしているが、ＦＰＣ１５ではなく圧電部材１２側に半田メッキを施しても良い。また、接合方法についても半田接合の他に異方導電性膜による接合やワイヤボンディングを用いることもできる

ノズル板３は、各液室６に対応して直径１０〜３５μｍのノズル４を構成する孔部が形成されたノズル基材３１の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面、又は液室６側と反対の面、ノズル形成面）に撥液膜３２を形成して構成している。

また、ＦＰＣ１５を実装した（接続した）圧電部材１２及びベース部材１３などで構成される圧電型アクチュエータユニットの外周側には、エポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成したフレーム部材１７を接合している。そして、このフレーム部材１７には前述した共通液室１０を形成し、更に共通液室１０に外部からインクを供給するための供給口１９を形成し、この供給口１９は更に図示しないサブタンクやインクカートリッジなどのインク供給源に接続される。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば駆動用圧電柱１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって圧電柱１２Ａが収縮し、振動板部材２の振動領域２ａが下降して液室６の容積が膨張することで、液室６内に液体が流入し、その後圧電柱１２Ａに印加する電圧を上げて圧電柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材２をノズル４方向に変形させて液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液滴が吐出（噴射）される。

そして、圧電柱１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材２が初期位置に復元し、液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から液室６内に液体が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。

次に、本発明の第１実施形態に係るノズル板について図４を参照して説明する。図４（ａ）は同ノズル板の平面説明図、（ｂ）はノズル板の外周部分の拡大説明図である。

ノズル板３は、ノズル４が形成されるとともに、外周３ａに沿って複数の貫通孔４１が形成され、貫通孔４１同士の間を切断することにより、外周３ａが切り出されたものであって、貫通孔４１の最大開口幅はノズル４の直径以下であり、かつ、ノズル４を形成したノズル基材３１の一面に前述したように撥液膜３２が形成されているものである。

なお、ノズル板３の外周３ａには、図４（ｂ）に示すように、切り出し後に貫通孔４１の一部４１ａが残存することもある。

このように構成することで、後述するように撥液膜３２を形成するときに、流路板１との接合面に撥液膜３２が回り込んで付着することが防止される。これにより、流路板１などと接合してヘッドを構成したとき、良好な液体充填性及び接合状態を得ることができる。

すなわち、撥液膜３２を形成する際には、ノズル４内に撥液材が侵入しないように材料物性や成膜条件を選定するが、同条件で成膜した場合に個々のノズル板間に形成された分割用の溝（貫通孔）を通って接合面に撥液材が回り込む問題が生じる。そこで、貫通孔の最大開口幅をノズルの直径以下とすることにより、撥液材の貫通孔への侵入度合いがノズルへの侵入度合いよりも小さくなる。したがって、ノズル４内に撥液材が侵入しないように選定された材料物性や成膜条件であれば、分割用の溝（貫通孔）があっても撥液材の回り込みなく塗布することができる。

次に、本発明の第１実施形態に係るノズル板の製造方法について図５以降も参照して説明する。

＜ノズル基材シートの製作＞
まず、板状部材であるノズル基材シートについて図５ないし図７を参照して説明する。図５はノズル基材シートの平面説明図、図６は同ノズル基材シートの要部拡大説明図、図７は同ノズル基材シートに設けられた貫通孔部分の拡大図である。

ノズル基材シート５０は、多数枚分のノズル基材３１を一枚のシート状に形成したものであり、ノズル４となる穴４０を形成するとともに、１つのノズル板外周となる位置に沿って配列された複数の貫通孔４１を形成している。

この貫通孔４１の最大開口幅Ｄ２は、ノズル４となる穴４０の直径をＤ１としたとき、直径Ｄ１以下（Ｄ１≧Ｄ２）とする。なお、貫通孔４１の孔形状は円形状に限るものではなく、多角形状でもよい。

ここで、ノズル基材シートの製造方法の一例について図８を参照して説明する。図８は同製造方法の説明に供する断面説明図である。

まず、図８（ａ）に示すように、シリコン基板３０１に液体レジスト３０２を塗布し、図８（ｂ）に示すように、これにノズル４となる穴４０に対応する開口及び貫通孔４１に対応する開口を有するマスク部材３０３を用いて露光、現像することによって、図８（ｃ）に示すように、シリコン基板３０１上にノズル４となる穴４０を形成するためのレジストパターン３０４、貫通孔４１を形成するためのレジストパターン３０５を形成する。

その後、図８（ｄ）に示すように、Ｎｉ電鋳法によってシリコン基板３０１上にメッキ膜３０６を成膜し、所定の厚み、開口幅、穴径になった時点で電鋳を停止する。

そして、図８（ｅ）に示すように、シリコン基板３０１からメッキ膜３０６を剥離することで、ノズル４となる穴４０及び貫通孔４１が形成されたノズル基材シート５０が得られる。

なお、貫通孔４１の開口幅やノズル４となる穴４０の直径は、レジストパターン３０４、３０５に対するメッキのせり出し量によって決定され、メッキせり出し量は簡便的にはメッキ膜３０６の厚さで概略算出することができる。

＜撥液膜の成膜＞
次に、ノズル基材シート５０の一面に撥液膜３２を形成する方法について図９を参照して説明する。図９は撥液膜の成膜方法の説明に供する模式的説明図である。

撥液膜３２の成膜方法としては静電塗布法を用いている。まず、塗布空間内に、金属又は導電性を有するノズル基材シート５０の撥液膜３２を形成する面と反対の面（流路板１と接合する面）に、金属又は導電性を有する構造体４０２を密着して配置保持する。このとき、ノズル基材シート５０及び構造体４０２はグランドに接続（接地）する。

そして、撥液剤、例えば液状シリコーン系樹脂（これに限るものではない）を、エアスプレー４０３により微粒子化し、微粒子化した撥液剤（撥液剤微粒子）４０５をアシストエアーにより噴霧する。ここでは、撥液剤を微粒子化する方法として、エアスプレーにより霧化する方法を採っているが、超音波霧化でもよいし、１流体のエアレススプレーでもよい。

次に、電極針４０４に、電源装置４０８によって例えば６０ｋＶの高電圧を印加することで、エアスプレー４０３とノズル基材シート５０の間に高電界を発生させる。撥液剤微粒子４０５は、高電界領域内を通過することにより帯電する。

ここで、撥液剤微粒子４０５を帯電する方法は、電極針４０４から電界を発生させる方法を採っているが、例えば、電界をかけた構造体４０２の間に撥液剤を通すことで帯電させる方法でもよいし、予め撥液剤に電荷をかけてから微粒子化する方法でもよい。

帯電した撥液剤微粒子４０５はクーロン力によりグラウンド状態のノズル基材シート５０に引き付けられ、ノズル基材シート５０の滴吐出面側に衝突し、撥液膜３２が成膜される。

このとき、ノズル基材シート５０と構造体４０２を密着させることによって、ノズル４となる穴４０や貫通孔４１以外を閉空間として形成された空間４０６は、ファラデーケージ効果により電気力線が及ばない。このため、帯電した撥液剤微粒子４０５は前記空間４０６内に侵入しない。

この場合、ノズル４となる穴４０の開口部直径Ｄ１や貫通孔４１の開口幅Ｄ２は小さいほど空間４０６内に撥液剤微粒子４０５は侵入しにくくなるため、貫通孔４１の開口幅Ｄ２はノズル４となる穴４０の開口部直径Ｄ１よりも小さいことが好ましい。

これに対し、前述した従来の技術では、ノズル基材シート５０のノズル４となる穴４０内や流路板１と接合する接合面に撥液剤やマスキング部材の残渣が付着して、その除去が困難になる。しかし、上述したようにして撥液膜３２を形成することで、ノズル４となる穴４０内や流路板１と接合する接合面への撥液剤の付着を防止することができる。

このようにして、図１０に示すように、ノズル基材シート５０の一面に撥液膜３２が形成されたノズルシート５１を得る。

＜分割工程＞
上述したようにして得られたノズルシート５１を、貫通孔４１に沿って分割することで、前記第１実施形態（図４参照）で説明したようなノズル板３を得ることができる。

次に、本発明の第２実施形態に係るノズル板及びその製造方法について図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は同実施形態の説明に供するノズルシートの要部平面説明図、図１２は同ノズルシートの貫通孔部分の拡大平面説明図である。なお、撥液膜は省略している。

本実施形態は、ノズル板３の外周となる位置に沿って複数列（ここでは、２列とするが、３列以上でもよい。）の貫通孔４１を形成している。

これにより、貫通孔４１の形成領域が広がり、正確に貫通孔４１の形成領域内でノズル板３の分割を行なうことができる。すなわち、撥液剤の接合面への回り込みを抑えるために貫通孔４１の開口幅を小さくすると、その貫通孔４１を狙って切断することが困難となり、貫通孔４１以外の部分を切断してしまい、外形寸法が規格外のノズル板３が形成されてしまう。しかし、本実施形態のように貫通孔４１を複数列形成することにより、この間を狙って切断すれば多少切断位置がずれたとしても、ノズル板は強度が弱くなっている貫通孔４１列の部分で折り取られて規定寸法のノズル板３を得ることが可能となる。

また、ノズルシート５１の切断面積が広がり、切断時の応力を分散させ、平滑なノズル板３を形成することができるので、ノズル板３と流路板１との接合時に、良好な接合強度を得ることができる。

次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は同装置の機構部の一例を説明する側面説明図、図１４は同機構部の要部平面説明図である。

この画像形成装置は、シリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂ（区別しないときは「記録ヘッド２３４」という。）を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。

また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「ヘッドタンク３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ３６を介して、各色のインクカートリッジ２１０ｋ、２１０ｃ、２１０ｍ、２１０ｙから各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット（空吐出受け）２８８を配置し、このインク回収ユニット２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド部材２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、液滴吐出特性が安定し、安定して高画質画像を形成することができる。

なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。

また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。

また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。

また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。

また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。

１ 流路部材（流路板）
２ 振動板部材
３ ノズル板（ノズル形成部材）
４ ノズル
６ 液室
１２ 圧電部材
３１ ノズル基材
３２ 撥液膜
２３３ キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ 記録ヘッド（液体吐出ヘッド）

Claims (2)

1. 少なくとも一つのノズルとなる穴と、ノズル板外周となる位置に沿って配列された複数の貫通孔とを、ノズル基材となる板状部材に形成する工程と、
   前記板状部材の一面に撥液膜を形成する工程と、
   前記貫通孔同士の間を切断して個々のノズル板に分割する工程と、を行い、
   前記貫通孔は、最大開口幅が前記ノズルとなる穴の吐出側表面となる面における直径以下であり、
   前記貫通孔は、前記ノズル板外周となる位置に沿って複数列配列して形成する
   ことを特徴とするノズル板の製造方法。
2. 前記板状部材は、導電性を有する材料で形成されている
   ことを特徴とする請求項１に記載のノズル板の製造方法。

Images