JP2014162019A - 液体吐出ヘッド、画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ダンパ領域の周囲に配置された厚肉部とダンパ領域との段差部分に気泡が引っ掛かって停滞しやすくなる。
【解決手段】振動板部材３は、共通液室１０の一部の壁面となるダンパ領域２３を第１層３Ａの薄肉部で形成し、ダンパ領域２３の周囲を第２層３Ｂ及び第３層３Ｃの厚肉部で形成し、気泡排出経路２６を通じて気泡排出口２５に通じる第２の開口部２２が形成され、第２の開口部２２は、ダンパ領域２３の周囲を囲んでいる第２層３Ｂ及び第３層３Ｃからなる厚肉部に形成された共通液室１０側に開口する凹溝２４を介して、ダンパ領域２３側に通じている。
【選択図】図７

Description

本発明は液体吐出ヘッド、画像形成装置に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。

液体吐出ヘッドにあっては、気泡が共通液室の端の部分に溜まり易く、この気泡溜りが噴射性能（吐出性能）を著しく低下させることになることから、気泡排出を行うようにしている。

例えば、液滴を吐出する複数のノズルが通じる第１の流路と、複数のノズルの配列方向の外側に配置された気泡排出口と、気泡排出口が通じる第２の流路と、第１の流路が第１の開口部を介して通じ、第２の流路が第２の開口部を介して通じる共通液室とを有し、共通液室の端部に溜まる気泡を第２の開口部から気泡排出口を通じて排出するようにしたものがある（特許文献１）。

また、共通液室の圧力変動を吸収するために、共通液室の壁面の一部に変形可能なダンパ領域を配置したものがある（特許文献２）。

特開２００９−６６８９０号公報 特開２００７−３０７７７４号公報

しかしながら、上述した特許文献２に開示されているように、共通液室の一部の壁面を形成するダンパ領域を配置する場合には、例えば振動板部材の薄肉部でダンパ領域を形成する。このとき、ダンパ領域の周囲には厚肉部が配置されることになり、ダンパ領域と厚肉部との段差部分に気泡が引っ掛かって停滞しやすくなる。

そのため、特許文献１に開示されている気泡排出が通じる第２の流路が第２の開口部を介して共通液室に通じていても、共通液室の端部からスムーズに気泡を第２の開口部を通じて排出することができなくなるという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、気泡排出性を向上することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別液室と、
前記個別液室に第１の開口部を介して通じて液体を供給する共通液室と、
前記共通液室に第２の開口部を介して通じる気泡排出経路と、
前記共通液室の一部の壁面を形成するダンパ領域と、を有し、
少なくとも、前記ダンパ領域と前記第２の開口部は、前記共通液室の壁面を形成する壁面形成部材に形成され、
前記壁面形成部材は、少なくとも、前記ダンパ領域を形成する薄肉部と、前記ダンパ領域の周囲を形成する厚肉部と、を有し、
前記第２の開口部は、前記厚肉部に形成された、前記共通液室側に開口する凹溝を介して、前記ダンパ領域側に通じている
構成とした。

本発明によれば、気泡排出性を向上することができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す分解斜視説明図である。 同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。 同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。 本発明の第１実施形態における振動板部材を共通液室側から見た平面説明図及び要部拡大図である。 図４のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図である。 図４のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図である。 図４のＤ−Ｄ線に沿う作用説明に供する断面説明図である。 比較例における図７と同様な断面説明図である。 本発明の第２実施形態における図６と同様な断面説明図である。 本発明の第２実施形態における気泡排出作用の説明に供する図７と同様な断面説明図である。 共通液室の形状の説明に供する図１のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。 本発明に係る画像形成装置の一例の説明に供する機構部の側面説明図である。 同機構部の要部平面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図３を参照して説明する。図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図、図３は同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板（液室基板）２と、壁面形成部材（ダンパ形成部材）を兼ねる振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３を変位させる圧力発生手段である圧電アクチュエータ１１と、共通液室部材（共通流路部材）としてフレーム部材２０とを備えている。

ノズル板１、流路板２及び振動板部材３によって、液滴を吐出する複数のノズル４に通じる個別液室６、個別液室６に液体を供給する流体抵抗部を兼ねた液体供給路７と、液体供給路７に連なる液導入部８とを形成している。個別液室６は圧力室、加圧液室、加圧室、圧力発生室などとも称される。このヘッドでは、個別液室６、液体供給路７及び液導入部８を併せて個別流路５としている

そして、フレーム部材２０の共通流路としての共通液室１０から振動板部材３に形成した第１の開口部９を通じて、液導入部８、液体供給路７を経て複数の個別液室６に液体を供給する。

ここで、ノズル板１は、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。ノズル板１には、各個別液室６に対応して例えば直径１０〜３５μｍのノズル４を形成し、流路板２と接着剤接合している。また、このノズル板１の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面、又は個別液室６側と反対の面）には撥液層を設けている。

流路板２は、単結晶シリコン基板をエッチングして、個別液室６、液体供給路７、液導入部８などを構成する溝部を形成している。なお、流路板２は、例えばＳＵＳ基板などの金属板を酸性エッチング液でエッチングし、あるいはプレスなどの機械加工を行って形成することもできる。

振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する壁面部材を兼ね、個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域３０を有している。

そして、この振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。

この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接着剤接合した積層型の圧電部材１２に、ハーフカットダイシングによって溝加工をして、所要数の柱状の圧電素子（圧電柱）１２Ａ、１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成したものである。

圧電部材１２の圧電柱１２Ａ、１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を駆動圧電柱（駆動柱）１２Ａ、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を非駆動圧電柱（非駆動柱）１２Ｂとして区別している。

そして、駆動柱１２Ａは、振動板部材３の振動領域３０に接合されている。

この圧電部材１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、駆動柱１２Ａの外部電極に駆動信号を与えるための可撓性を有するフレキシブル配線基板としてのＦＰＣ１５が接続されている。

フレーム部材２０は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成し、図示しないヘッドタンクや液体カートリッジから供給口部１９を介して液体が供給される共通液室１０が形成されている。

また、振動板部材３は壁面形成部材を兼ねており、共通液室１０の一部の壁面を形成する変形可能なダンパ領域２３を形成している。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動柱１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３０が下降して個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。

その後、駆動柱１２Ａに印加する電圧を上げて駆動柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させる。これにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液滴が吐出（噴射）される。

そして、駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から液体供給路７を通じて個別液室６内に液体が充填される。

そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与え方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。

次に、本発明の第１実施形態について図４ないし図８も参照して説明する。図４は振動板部材を共通液室側から見た平面説明図及び要部拡大図、図５は図４のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図、図６は図４のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図、図７は図４のＤ−Ｄ線に沿う作用説明に供する断面説明図である。

まず、前述した図１を参照して、ノズル板１には、ノズル配列方向で、ノズル４の列の両外側に気泡排出口２５が形成されている。流路板２には、ノズル配列方向で、個別流路５の両外側に気泡排出経路２６が形成されている。流路板２の気泡排出経路２６の一端部側は、ノズル板１の気泡排出口２５に通じている。流路板２の気泡排出経路２６の他端部側は、振動板部材３に形成された第２開口部２２に通じている。

ここで、図５及び図６を参照して、振動板部材３は、Ｎｉ電鋳によって形成した、第１層３Ａ、第２層３Ｂ及び第３層３Ｃの三層（二層又は四層以上でもよい。）からなる部材としている。

そして、振動板部材３は、第１層３Ａによって振動領域３０を形成し、振動領域３０内に第２層３Ｂ及び第３層３Ｃで島状凸部３０ａを形成し、この島状凸部３０ａに圧電部材１２の駆動柱１２Ａを接合する。

また、振動板部材３には、共通液室１０と個別流路５とをつなぐ第１の開口部９が形成されている。本実施形態では、第１の開口部９は、多数のフィルタ孔９１（図４参照）を形成したフィルタ部としているが、単なる開口であってもよい。

また、振動板部材３は、前述したように壁面形成部材を兼ねており、共通液室１０の一部の壁面となるダンパ領域２３を第１層３Ａの薄肉部で形成し、ダンパ領域２３の周囲を第２層３Ｂ及び第３層３Ｃの厚肉部で形成している。

そして、振動板部材３には、第１の開口部９のノズル配列方向の両外側に、前述したように気泡排出経路２６を通じて気泡排出口２５に通じる第２の開口部２２が形成されている。

この第２の開口部２２は、図６に示すように、ダンパ領域２３の周囲を囲んでいる第２層３Ｂ及び第３層３Ｃからなる厚肉部に形成された共通液室１０側に開口する凹溝２４を介して、ダンパ領域２３側に通じている。この凹溝２４は、第３層３Ｃを形成しないことによって形成している。

なお、第２の開口部２２の流体の移動方向と直交する方向の開口断面積（図４の平面視における開口断面積）は、第１の開口部９のフィルタ孔９１の流体の移動方向と直交する方向の開口断面積（図４の平面視における開口断面積）よりも大きくしている。

一方、共通液室１０のノズル配列方向の両端部は、平面視形状で、第２の開口部２２と通じる凹溝２４側に向かって細くなる形状としている。また、共通液室１０は液体の流れの方向に沿う断面形状でも、図１１（ａ）に示すように、第２の開口部２２と通じる凹溝２４側に向かって細くなる形状である。なお、共通液室１０に外部から片側供給する場合には、図１０（ｂ）に示すような形状になる。

このように構成した本実施形態の作用について図７も参照して説明する。まず、共通液室１０内に混入した気泡３００は、共通液室１０の上述した先細り形状によって共通液室１０のノズル配列方向端部側に導かれる。

そして、図７に示すように、凹溝２４を介して点線矢印のように第２の開口部２２側に移動し、第２の開口部２２から気泡排出経路２６及び気泡排出口２５を通じて外部に排出される。

このとき、ダンパ領域２３側と第２の開口部２２との間の隔壁となっている第２層３Ｂ及び第３層３Ｃからなる厚肉部のうち、第３層３Ｃを形成しないで凹溝２４を形成している。これにより、ダンパ領域２３側から第２の開口部２２側への気泡３００の移動がスムーズに行われるので、気泡排出性が向上する。

これに対して、図８に示す比較例のように、ダンパ領域２３側と第２の開口部２２との間を、隔壁となっている第２層３Ｂ及び第３層３Ｃからなる厚肉部で仕切っている場合には、気泡３００が第２層３Ｂ及び第３層３Ｃからなる厚肉部（隔壁部）を越えられず、第２の開口部２２側にスムーズに移動できない。

このように、共通液室に第２の開口部を介して通じる気泡排出経路と、共通液室の一部の壁面を形成するダンパ領域と、を有し、少なくとも、ダンパ領域と第２の開口部は、共通液室の壁面を形成する壁面形成部材に形成され、壁面形成部材は、少なくとも、ダンパ領域を形成する薄肉部と、ダンパ領域の周囲を形成する厚肉部と、を有し、第２の開口部は、厚肉部に形成された、共通液室側に開口する凹溝を介して、ダンパ領域側に通じていることで、気泡排出性が向上する。

また、この場合、壁面形成部材となる振動板部材３は電鋳で形成しているので、図７及び図８に示すように、電鋳によるオーバーハング形状部４１が形成されて、凹溝２４の壁面がラウンド形状に形成される。これによって、気泡３００が凹溝２４の壁面でトラップされることが少なくなる。

さらに、凹溝はダンパ領域と連続し、かつ、ダンパ領域の周囲を形成する厚肉部よりも薄層に形成されているため、ダンパ領域に加えて凹溝部分でもダンパ効果を得ることができる。特に、前述した共通液室が平面視形状で凹溝側に向かって細くなる形状では、凹溝付近でダンパ領域の面積が小さくなるため、凹溝によるダンパ効果により、凹溝付近でのダンパ効果の補完を行うことができる。

次に、本発明の第２実施形態について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同実施形態の説明に供する前記図６と同様な断面説明図、図１０は同じく図７と同様な断面説明図である。

本実施形態では、第２の開口部２２とダンパ領域２３側との間に第２層３Ｂ及び第３層３Ｃのいずれも形成しないで、第１層３Ａのみとして、凹溝２４を形成している。

これにより、図１０に示すように、気泡３００は第１層３Ａに沿って第２の開口部２２側にスムーズに移動することができ、気泡排出性が向上する。

さらに、凹溝２４はダンパ領域２３と同じ第１層３Ａのみで構成されるため、平面視形状で、共通液室１０の端部付近におけるダンパ領域２３の短手方向の幅が広がる形状となる。これにより、共通液室１０の端部付近のダンパ効果を向上する。

以上の実施形態では、壁面形成部材が振動板部材である例で説明しているが、圧電アクチュエータを使用しない場合など、単に共通液室の壁面を形成するだけの部材であってもよい。

次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は同装置の機構部の側面説明図、図１３は同機構部の要部平面説明図である。

この画像形成装置はシリアル型画像形成装置である。左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を搭載している。記録ヘッド２３４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有する。一方の記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を吐出する。他方の記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、１ヘッド当たり４ノズル列配置とし、１個のヘッドで４色の各色を吐出させることもできる。

また、記録ヘッド２３４のヘッドタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニットによって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向する分離パッド２４４を備える。この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備える。さらに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて、再度、カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャッピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）を備えている。また、維持回復機構２８１は、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置している。この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送される。更に用紙２４２は先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

そして、帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、高画質画像を安定して形成することができる。

なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味である。被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。

また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。

また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。

また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。

また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板部材
４ ノズル
５ 個別流路
６ 個別液室
８ 液導入部
９ 第１の開口部
１０ 共通液室
１２ 圧電部材
２０ フレーム部材
２２ 第２の開口部
２３ ダンパ領域
２４ 凹溝
４１ モニタ用凹部（モニタ用穴部）
４２ モニタ用貫通穴（モニタ用穴部）
２３３ キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ 記録ヘッド

Claims (6)

1. 液滴を吐出する複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別液室と、
   前記個別液室に第１の開口部を介して通じて液体を供給する共通液室と、
   前記共通液室に第２の開口部を介して通じる気泡排出経路と、
   前記共通液室の一部の壁面を形成するダンパ領域と、を有し、
   少なくとも、前記ダンパ領域と前記第２の開口部は、前記共通液室の壁面を形成する壁面形成部材に形成され、
   前記壁面形成部材は、少なくとも、前記ダンパ領域を形成する薄肉部と、前記ダンパ領域の周囲を形成する厚肉部と、を有し、
   前記第２の開口部は、前記厚肉部に形成された、前記共通液室側に開口する凹溝を介して、前記ダンパ領域側に通じている
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記壁面形成部材は、複数の層からなる部材であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記壁面形成部材の前記凹溝の壁面がラウンド形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１の開口部にはフィルタ孔が形成されたフィルタ部を有し、
   前記第２の開口部の流体の移動方向と直交する方向の開口断面積は、前記フィルタ孔の流体の移動方向と直交する方向の開口断面積よりも大きい
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記壁面形成部材は、前記個別液室の壁面を形成する部材を兼ねていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。

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