JP6119320B2 - 液体吐出ヘッド、画像形成装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッド、画像形成装置に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。

液体吐出ヘッドとして、電気機械変換素子、例えば圧電素子などの圧電アクチュエータを使用する場合、ノズルが通じる個別液室の壁面を形成する薄肉部からなる振動領域に形成した厚肉部からなる島状凸部に圧電素子を接着剤接合する。

この場合、接着剤のはみ出しが生じ、アクチュエータ間の溝がつながってしまうと、アクチュエータの変位が阻害されて、吐出量のばらつきが生じ、画像の濃度ムラが生じるなど、吐出性能が低下してしまうことになる。

そこで、従来、圧電素子と接合する厚肉部からなる島状凸部を複数に分割することで、接着剤のはみ出しを低減するものが知られている（特許文献１）。

特開２００５−０５３１２３号公報

しかしながら、高画質化に伴ってノズル配列密度の高密度化が進んでいるため、上述した特許文献１に開示されている構成だけでは、ノズル配列方向で隣り合う厚肉部への接着剤のはみ出しによって、接着剤同士がつながるという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ノズル配列方向で隣り合う厚肉部間ではみ出した接着剤同士がつながることを防止できるようにすることを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別液室を形成する流路板と、
前記複数の個別液室の一部の壁面となる振動領域を形成する振動板部材と、
前記振動板部材の前記振動領域を介して前記個別液室を加圧する駆動部と、前記個別液室間の隔壁に対応する支柱部とを含む電気機械変換部材と、を備え、
前記振動板部材は、厚肉部と薄肉部とからなり、
前記電気機械変換部材の前記駆動部及び前記支柱部は、前記振動板部材の前記厚肉部に接着接合され、
前記振動板部材のノズル配列方向に並んで形成される前記厚肉部には、前記厚肉部をノズル配列方向と直交する方向において複数に分割する分割溝部が設けられて１又は複数の島部が形成され、
ノズル配列方向で隣り合う前記厚肉部の前記分割溝部は、ノズル配列方向と直交する方向でずれて形成されている
構成とした。

本発明によれば、ノズル配列方向で隣り合う厚肉部間ではみ出した接着剤同士がつながることを防止できる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の説明に供する同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図である。 同じくノズル配列方向（液室短手方向）に沿う図１のＡ−Ａ断面を表した断面説明図である。 本発明の第１実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。 同じく圧電アクチュエータとの位置関係の説明に供する平面説明図である。 本発明の第２実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。 本発明の第３実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。 本発明の第４実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。 本発明の第５実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。 本発明の第６実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。 本発明の第７実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。 本発明に係る画像形成装置の一例の説明に供する機構部の側面説明図である。 同機構部の要部平面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１及び図２を参照して説明する。図１は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図、図２はノズル配列方向（液室短手方向）に沿う図１のＡ−Ａ断面を表わした断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板（液室基板）２と、薄膜部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３を変位させる圧電アクチュエータ１１と、共通流路部材としてフレーム部材２０とを備えている。

ノズル板１、流路板２及び振動板部材３によって、液滴を吐出する複数のノズル４に連なって通じる個別液室６、個別液室６に液体を供給する流体抵抗部を兼ねた液体供給路７と、液体供給路７に連なる液導入部８とを形成している。

そして、フレーム部材２０の共通流路としての共通液室１０から振動板部材３に形成したフィルタ部９を通じて、液導入部８、液体供給路７を経て複数の個別液室６に液体を供給する。

ここで、ノズル板１は、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。ノズル板１には、各個別液室６に対応して例えば直径１０〜３５μｍのノズル４を形成し、流路板２と接着剤接合している。また、このノズル板１の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面、又は個別液室６側と反対の面）には撥液層を設けている。

流路板２は、単結晶シリコン基板をエッチングして、個別液室６、液体供給路７、液導入部８などを構成する溝部を形成している。なお、流路板２は、例えばＳＵＳ基板などの金属板を酸性エッチング液でエッチングし、あるいはプレスなどの機械加工を行って形成することもできる。

振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する壁面部材を兼ね、ここではＮｉ電鋳で形成した第１層３Ａ、第２層３Ｂ、第３層３Ｃの三層構造（複層構造）で形成している。この振動板部材３の第１層３Ａによって個別液室６の一部の壁面を形成する変形可能な振動領域３０を形成している。

そして、この振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換部材を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。

この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接着剤接合した複数の積層型圧電部材１２を有し、圧電部材１２にはハーフカットダイシングによって溝加工して１つの圧電部材１２に対して所要数の柱状の圧電素子（圧電柱）を所定の間隔で櫛歯状に形成している。

圧電部材１２の圧電柱１２Ａ、１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる駆動部となる圧電柱を駆動柱１２Ａ、駆動波形を与えないで単なる支柱部とする圧電柱を非駆動柱１２Ｂとして区別している。

そして、駆動柱１２Ａは振動板部材３の振動領域３０に第２層３Ｂ及び第３層３Ｃで形成した島状の凸部となる厚肉部３１に接合されており、非駆動柱１２Ｂは振動板部材３の同じく個別液室間隔壁部６ａに対応して形成された凸部である厚肉部３２に接合されている。

この圧電部材１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、駆動柱１２Ａの外部電極に駆動信号を与えるための可撓性を有するフレキシブル配線基板としてのＦＰＣ１５が接続されている。

フレーム部材２０は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成し、図示しないヘッドタンクや液体カートリッジから液体が供給される共通液室１０が形成されている。

また、共通液室１０の一部の壁面は、振動板部材３を構成する１つの層で形成された変形可能な領域としてのダンパ領域２１としている。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動柱１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３０が下降して個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。

その後、駆動柱１２Ａに印加する電圧を上げて駆動柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させることにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液滴が吐出（噴射）される。

そして、駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から液体供給路７を通じて個別液室６内に液体が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。

次に、本発明の第１実施形態について図３及び図４を参照して説明する。図３は同実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図、図４は同じく圧電アクチュエータとの位置関係の説明に供する平面説明図である。

振動板部材３は、第１層３Ａのみの薄肉部と、第１層３Ａに第２層３Ｂ及び第３層３Ｃが形成された厚肉部とからなる。

そして、前述したように、電気機械変換部材である圧電部材１２の駆動部である駆動柱１２Ａは、振動板部材３の振動領域３０に形成された島状凸部となる厚肉部３１に接着剤接合されている。また、圧電部材１２の支柱部である非駆動部１２Ｂは液室間隔壁６ａに対応した位置に形成された厚肉部３２に接着剤接合されている。

ここで、駆動柱１２Ａを接合する厚肉部３１には、ノズル配列方向に沿って１本の分割溝部３１ｃが形成されて、ノズル配列方向と直交する方向で、複数（ここでは２つ）の島部３１ａ、３１ａが分割形成されている。

この分割溝部３１ｃとなる部分は、第３層３Ｃを形成しないで、第２層３Ｂまで形成している。これにより、厚肉部３１は、厚みの異なる、島部３１ａの部分と分割溝部３１ｃの部分とを有する。分割溝部３１ｃの厚みは、薄肉部（第１層３Ａ）よりも厚くなっている。分割溝部３１ｃの厚みを薄肉部（第１層３Ａ）よりも厚くすることで、個別液室６への圧力伝達が低下しない。

また、非駆動柱１２Ｂを接合する厚肉部３２は、ノズル配列方向に沿って２本の分割溝部３２ｃで独立した島部３２ａが分割形成されている。

この分割溝部３２ｃとなる部分も、第３層３Ｃを形成しないで、第２層３Ｂまで形成している。これにより、厚肉部３２は、厚みの異なる、島部３２ａの部分と分割溝部３２ｃの部分とを有することになる。また、分割溝部３２ｃの厚みは、薄肉部（第１層３Ａ）よりも厚くなっている。

このとき、ノズル配列方向に並んで形成される隣り合う厚肉部３１、３２の分割溝３１ｃ、３２ｃは、ノズル配列方向と直交する方向でずれて形成されている。

また、本実施形態では、厚肉部３１、３２の分割溝３１ｃ、３２ｃは、ノズル配列方向で隣り合う厚肉部３１、３２の島部３１ａ、３２ａが、ノズル配列方向と直交する方向では千鳥に配置される位置に形成している。

したがって、駆動柱１２Ａを厚肉部３１に接着剤接合するとき、接着剤の一部は分割溝部３１ｃに流れ込んではみ出しが低減する。同様に、非駆動柱１２Ｂを厚肉部３２に接着剤接合するとき、接着剤の一部は分割溝部３２ｃに流れ込んではみ出しが低減する。

そして、分割溝部３１ｃや分割溝部３２ｃに流れ込んだ接着剤がノズル配列方向にはみ出しても、分割溝部３１ｃと分割溝部３２ｃとはノズル配列方向と直交する方向で位置がずれて形成されているので、相互にはみ出した接着剤がつながることが防止される。

このように、振動板部材は、厚肉部と薄肉部とからなり、電気機械変換部材の駆動部及び支柱部は、振動板部材の厚肉部に接着接合され、振動板部材のノズル配列方向に並んで形成される厚肉部には、分割溝部で分けられた１又は複数の島部が形成され、ノズル配列方向で隣り合う厚肉部の分割溝部は、ノズル配列方向と直交する方向でずれて形成されている構成とすることで、ノズル配列方向で隣り合う厚肉部間ではみ出した接着剤同士がつながることを防止できる。

次に、本発明の第２実施形態について図５を参照して説明する。図５は同実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。

本実施形態では、厚肉部３１には２本の分割溝部３１ｃを形成して３つの島部３１ａを形成し、厚肉部３２には３本の分割溝部３２ｃを形成して２つの島部３２ａを形成している。

このように分割溝数を多くすることで、ノズル配列方向への接着剤のはみ出し量をより低減することができるので、接着剤同士がよりつながりにくくなる。

次に、本発明の第３実施形態について図６を参照して説明する。図６は同実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。

本実施形態では、厚肉部３２のノズル配列方向の幅Ｂ２は、厚肉部３１のノズル配列方向の幅Ｂ１よりも広くしている。

そして、厚肉部３１には１本の分割溝部３１ｃを形成して２つの島部３１ａを形成している。一方、厚肉部３２には６本の分割溝部３２ｃを形成して５つの島部３２ａを形成している。

このように厚肉部３２の分割溝部３２ａの数を多くすることで、島部３２ａのノズル配列方向と直交する方向の長さＣ２を、厚肉部３１の島部３１ａの長さＣ１よりも短くしている。

つまり、厚肉部３２のノズル配列方向の幅Ｂ２を広くしていることで、非駆動柱１２Ｂと接着剤接合するときの接着剤のはみ出し量がより多くなるため、厚肉部３２については、島部３２ａの長さＣ２を短くすることによって、はみ出し量を低減している。

また、分割溝部３１ｃのノズル配列方向と直交する方向の長さ（溝幅）Ｄ１は、分割溝部３２ｃの溝幅Ｄ２よりも広くしている。

これにより、厚肉部３１の島部３１ａからはみ出す接着剤の受け入れ量を多くしている。

次に、本発明の第４実施形態について図７を参照して説明する。図７は同実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。

本実施形態では、前記第３実施形態と逆に、厚肉部３１のノズル配列方向の幅Ｂ１は、厚肉部３２のノズル配列方向の幅Ｂ２よりも広くしている。

そして、厚肉部３１には５本の分割溝部３１ｃを形成して６つの島部３１ａを形成している。一方、厚肉部３２には２本の分割溝部３２ｃを形成して１つの島部３２ａを形成している。

このように厚肉部３１の分割溝部３１ａの数を多くすることで、島部３１ａのノズル配列方向と直交する方向の長さＣ１を、厚肉部３２の島部３２ａの長さＣ２よりも短くしている。

つまり、厚肉部３１のノズル配列方向の幅Ｂ１を広くしていることで、駆動柱１２Ａと接着剤接合するときの接着剤のはみ出し量がより多くなるため、厚肉部３１については、島部３１ａの長さＣ１を短くすることによって、はみ出し量を低減している。

ここでも、島部の幅が広い場合には長さを短くすることで、接着剤のはみ出しをより抑制している。

次に、本発明の第５実施形態について図８を参照して説明する。図８は同実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。

本実施形態では、厚肉部３１に形成する分割溝部３１ｃの数を選択して、厚肉部３１には幅Ｂ１と長さＣ１が同じになる複数の島部３１ａを形成している。同様に、厚肉部３２に形成する分割溝部３２ｃの数を選択して、厚肉部３２には幅Ｂ２と長さＣ２が同じになる複数の島部３２ａを形成している。

このように構成することで、ノズル配列方向及びノズル配列方向と直交する方向で、接着剤のはみ出しを均等にすることができ、ノズル配列方向で接着剤同士が一層つながりにくくなる。

なお、上記各実施形態では、振動板部材３を３層構造としているが、これに限るものではなく、４層以上の構造とすることもできる。

次に、本発明の第６実施形態について図９を参照して説明する。図９は同実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。

本実施形態では、振動板部材３に、例えば前記第１実施形態の第１層と第２層の二層構造のものを使用している。

そして、前記第１実施形態と同様に、厚肉部３１には分割溝部３１ｃで島部３１ａを形成し、厚肉部３２には分割溝部３２ｃで島部３２ａを形成している。

このとき、振動領域３０では、分割溝部３１ｃが形成された部分は薄肉部３０ａとなり、個別液室６を直接変位させない薄肉部３０ａが存在することになるが、溝幅を狭くすることで、薄肉部３０ａのコンプライアンスを小さくすることができる。

それにより、２つの島部３１ａ、３１ａが一つにつながっているときと変わりなく個別液室６に圧力を伝えることができる。

また、厚肉部３１の島部３１ａと厚肉部３２の島部３２ａとが千鳥配置されることで、はみ出した接着剤がつながりにくくなる。

次に、本発明の第７実施形態について図１０を参照して説明する。図１０は同実施形態における振動板部材を圧電アクチュエータ側から見た要部平面説明図である。

本実施形態は、圧電部材１２の圧電柱をいずれも駆動部である駆動柱１２Ａとして使用し、支柱部をなくした（前記各実施形態における非駆動柱１２Ｂも駆動柱１２Ａとする）ノーマルピッチ構成のヘッドの例である。また、振動板部材３は二層構造としている。

そして、駆動部と接合する厚肉部３１Ａには分割溝部３１ｃで島部３１ａを形成し、同様に駆動部と接合する厚肉部３１Ｂには分割溝部３１ｃで島部３１ａを形成している。

このとき、ノズル配列方向で隣り合う厚肉部３１Ａと厚肉部３１Ｂとは、島部３１ａ、３１ａが千鳥配置されるように分割溝部３１ｃを形成している。

これにより、ノズル配列方向で隣り合う厚肉部３１Ａ、３１Ｂからはみ出した接着剤同士がつながりにくくなる。

なお、上記各実施形態では、振動板部材３をＮｉ電鋳で作製した複層部材としているが、Ｎｉに限るものではなく、また、電鋳に限るものでもない。例えば、エッチングによって薄肉部と厚肉部の複数の厚み形成することもできる。

次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は同装置の機構部の側面説明図、図１２は同機構部の要部平面説明図である。

この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持している。そして、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して、キャリッジ２３３を矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を搭載している。記録ヘッド２３４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有する。そして、一方の記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を吐出する。他方の記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、１ヘッド当たり４ノズル列配置とし、１個のヘッドで４色の各色を吐出させることもできる。

また、記録ヘッド２３４のヘッドタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニットによって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向する分離パッド２４４を備えている。この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備える。それとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャッピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）を備えている。また、維持回復機構２８１には、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置している。この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送される。更に、用紙２４２は先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

そして、帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、高画質画像を安定して形成することができる。

なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味である。被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。

また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。

また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。

また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。

また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板部材
４ ノズル
５ 個別流路
６ 個別液室
８ 液導入部
１０ 共通液室
１２ 圧電部材
１２Ａ 駆動柱（駆動部）
１２Ｂ 非駆動部（支柱部、非駆動）
２０ フレーム部材
３０ 振動領域（薄肉部）
３１、３１Ａ、３１Ｂ、３２ 厚肉部
３１ａ、３２ａ 島部
３１ｃ、３２ｃ 分割溝部
２３３ キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ 記録ヘッド

Claims (9)

1. 液滴を吐出する複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別液室を形成する流路板と、
   前記複数の個別液室の一部の壁面となる振動領域を形成する振動板部材と、
   前記振動板部材の前記振動領域を介して前記個別液室を加圧する駆動部と、前記個別液室間の隔壁に対応する支柱部とを含む電気機械変換部材と、を備え、
   前記振動板部材は、厚肉部と薄肉部とからなり、
   前記電気機械変換部材の前記駆動部及び前記支柱部は、前記振動板部材の前記厚肉部に接着接合され、
   前記振動板部材のノズル配列方向に並んで形成される前記厚肉部には、前記厚肉部をノズル配列方向と直交する方向において複数に分割する分割溝部が設けられて１又は複数の島部が形成され、
   ノズル配列方向で隣り合う前記厚肉部の前記分割溝部は、ノズル配列方向と直交する方向でずれて形成されている
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 液滴を吐出する複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別液室を形成する流路板と、
   前記複数の個別液室の一部の壁面となる振動領域を形成する振動板部材と、
   前記振動板部材の前記振動領域を介して前記個別液室を加圧する駆動部を含む電気機械変換部材と、を備え、
   前記振動板部材は、厚肉部と薄肉部とからなり、
   前記電気機械変換部材の前記駆動部は、前記振動板部材の前記厚肉部に接着接合され、
   前記振動板部材のノズル配列方向に並んで形成される前記厚肉部には、前記厚肉部をノズル配列方向と直交する方向において複数に分割する分割溝部が設けられて１又は複数の島部が形成され、
   ノズル配列方向で隣り合う前記厚肉部の前記分割溝部は、ノズル配列方向と直交する方向でずれて形成されている
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. ノズル配列方向で隣り合う前記厚肉部の前記島部は、ノズル配列方向と直交する方向では千鳥配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記厚肉部の前記分割溝部の厚みは前記薄肉部よりも厚いことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記振動板部材は複層構造をなすことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記島部は、ノズル配列方向と直交する方向の長さとノズル配列方向の幅が同じであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
7. ノズル配列方向で隣り合う前記島部は、ノズル配列方向と直交する方向の長さが異なっていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. ノズル配列方向で隣り合う前記島部は、ノズル配列方向の幅が広い前記島部の方が、ノズル配列方向と直交する方向の長さが短いことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 請求項１ないし８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。

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