JP2018065269A - 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】絶縁膜が圧電膜から露出する部分の強度低下を抑えつつ、圧力室の長手方向端部におけるアクチュエータの撓みを抑制すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ２２は、圧力室２６を覆う絶縁膜３０と、絶縁膜３０の圧力室２６の中央部に配置され、圧力室短手方向の幅が圧力室２６よりも小さい第１部分Ｐ１と、第１部分Ｐ１から圧力室長手方向の一方に圧力室２６の縁を越えた位置まで延びる第２部分Ｐ２を有する圧電膜３３と、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２に跨って配置された下電極３２と、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２とに跨って配置され、圧電膜３３を挟んで下電極３２と対向する上電極３４とを備えている。絶縁膜３０の第２部分Ｐ２と重なる部分には、圧力室短手方向において第１部分Ｐ１と圧力室２６の縁との間の圧電膜３３に覆われていない部分よりも薄い、薄肉部３０ａが形成されている。
【選択図】図５

Description

本発明は、液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法に関する。

ノズルから液体を吐出させる液体吐出装置として、従来から、圧力室内の液体に圧力を付与してノズルから液体を吐出させる、圧電アクチュエータを備えたものが知られている。上記の圧電アクチュエータは、一般に、圧力室を覆う膜と、圧電膜と圧電膜を挟む２種類の電極からなる圧電素子を備えている。このような従来装置の中でも、特に、下記特許文献１，２には、圧力室を覆う膜の、圧力室の縁部と重なる部分の厚みが、部分的に薄くされたアクチュエータが開示されている。

特許文献１では、一方向に長い形状を有する圧力室の上に、２層構造の振動板が積層され、振動板の上に圧電素子が配置されている。下層の振動板は圧力室全域を覆っている。一方、上層の振動板とその上の圧電素子は、圧力室よりも短手方向の幅が小さく、また、短手方向の中央部に配置されている。つまり、圧力室短手方向に関しては、圧電素子の直下の圧力室中央部では振動板が厚く、圧力室の縁部近くでは振動板は薄くなっている。なお、圧力室の長手方向においては、２層の振動板は圧力室の全長にわたって配置されており、振動板の厚みは圧力室長手方向では一定である。

特許文献２では、圧力室を覆う振動板の上に、圧力室の全域と重なるように圧電膜が配置されている。振動板の裏面には、圧力室の縁部に沿って延びる環状の溝が形成されている。圧電膜の上側には個別電極が、下側には共通電極が配置されている。尚、この特許文献２では、個別電極は、圧力室の中央部と重なる部分に加え、圧力室長手方向に圧力室の縁を越えて延びる部分（配線部）をさらに有する。つまり、圧電膜は、圧力室の中央部だけでなく、個別電極の上記部分が配置された圧力室の長手方向端部においても、個別電極と共通電極との間に挟まれている。

上記文献の圧電アクチュエータにおいては、個別電極と共通電極の間に電圧が印加されたときに、２つの電極に挟まれる圧電膜が逆圧電効果によって収縮するが、この収縮によってアクチュエータ全体が、下方、即ち、圧力室に向けて凸となるように撓む。このアクチュエータの撓みにより、圧力室の容積が減少することで、圧力室に連通するノズルから液体が吐出される。

特開平９−３９２３２号公報 特開２００６−２５６３１７号公報

上記特許文献２では、圧力室長手方向の端部においても、圧電膜が個別電極と共通電極に挟まれている。この場合、個別電極と共通電極の間に電圧が印加されたときに、圧力室の中央部だけでなく、長手方向の端部においても、圧電膜に、逆圧電効果による面方向の収縮が生じる。この収縮は、圧力室の縁側で変形が拘束される長手方向の端部においてはアクチュエータに上側への撓みを生じさせる。この圧力室端部における上側への撓みによって、圧力室中央部における下方向の変位が小さくなり、圧力室内の液体に与えられるエネルギーが減少する。

圧力室端部におけるアクチュエータの撓みを抑えるには、この端部におけるアクチュエータ全体の中立面を、収縮部分である圧電膜の厚み方向中央位置に近づけることが好ましい。尚、アクチュエータの中立面とは、圧力室を覆う膜、圧電膜、２種類の電極を含む複数種類の膜の積層体全体の中立面である。このアクチュエータの中立面が圧電膜の厚み方向中央位置に近いと、圧電膜の圧電変形による収縮がアクチュエータの撓みに変換されにくくなる。アクチュエータの中立面を圧電膜の厚み方向中央位置に近づける方策はいくつかあるが、圧力室を覆う膜を薄くするのが容易である。即ち、圧力室の端部において、上記膜の膜厚を薄くすればよい。

ところで、特許文献２では、圧力室を覆う膜には、圧力室の縁部に沿って環状の薄肉部が形成されている。つまり、圧力室の長手方向端部だけでなく、短手方向の端部についても、膜に薄肉部が形成された構成である。

しかし、特許文献１のように、圧力室の短手方向の端部では、圧力室を覆う膜に圧電膜が重なっていない構成を採用する場合に、文献２のような薄肉部の構成をそのまま用いることは好ましくない。即ち、特許文献１の構成において、圧力室を覆う膜の、圧電膜と重ならない部分にまで薄肉部が形成されてしまうと、この部分においてアクチュエータの強度が低くなり、駆動を繰り返す間に破損する虞がある。

本発明の目的は、絶縁膜が圧電膜から露出する部分の強度低下を抑えつつ、圧力室の長手方向端部におけるアクチュエータの撓みを抑制することで、圧電変形の圧力室中央部におけるアクチュエータ変位への変換効率を高めることである。

本発明の液体吐出装置は、一方向に長い形状を有する圧力室と、前記圧力室を覆う絶縁膜と、前記絶縁膜の前記圧力室の長手方向の中央部に配置され、前記長手方向と直交する短手方向の幅が前記圧力室よりも小さい第１部分と、前記第１部分から前記長手方向の一方に前記圧力室の縁を越えた位置まで延びる第２部分を有する圧電膜と、前記圧電膜の前記第１部分と前記第２部分に跨って配置された第１電極と、前記圧電膜の前記第１部分と前記第２部分とに跨って配置され、前記圧電膜を挟んで前記第１電極と対向する第２電極とを備え、前記絶縁膜の、前記第２部分と重なる部分には、前記短手方向において前記第１部分と前記圧力室の縁との間の前記圧電膜に覆われていない部分よりも薄い、薄肉部が形成されていることを特徴とするものである。

圧電膜は、圧力室の中央部に位置する第１部分と、第１部分から圧力室の長手方向一方に圧力室の縁を越えて延びる第２部分を有する。第１電極は圧電膜の第１部分と第２部分に跨って配置されている。また、第２電極も圧電膜の第１部分と第２部分に跨って配置され、圧電膜を挟んで第１電極と対向している。

その上で、圧力室を覆う絶縁膜の、第２部分と重なる部分には薄肉部が形成されている。即ち、圧力室の長手方向一端部において絶縁膜の厚みが薄くなっていることで、この圧力室一端部におけるアクチュエータの中立面が圧電膜の厚み方向の中央位置に近づく。これにより、圧力室一端部において、第１電極と第２電極とに挟まれる圧電膜の第２部分に収縮が生じても、この収縮によるアクチュエータの撓みは小さくなる。

また、薄肉部は、圧力室の短手方向において、絶縁膜の、第１部分と圧力室の縁との間の部分よりも薄くなっている。逆に言えば、第１部分よりも圧力室短手方向において圧力室の中心から離れた、圧電膜と重ならない部分では、絶縁膜が薄くされていない。そのため、上記圧電膜と重ならない部分での絶縁膜の破損が防止される。

本発明の液体吐出装置の製造方法は、一方向に長い形状を有する圧力室を覆うように絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記絶縁膜の、前記圧力室の長手方向の一方の端部と重なる部分に、前記圧力室の短手方向端部と重なる部分よりも厚みが薄い、薄肉部を形成する薄肉部形成工程と、前記絶縁膜の上に圧電材料の膜を成膜する成膜工程と、前記圧電材料の膜をパターニングして、前記圧力室の中央部と重なり、且つ、前記第１方向と直交する第２方向の幅が前記圧力室よりも小さい第１部分と、前記第１部分から前記第１方向の前記一方に前記圧力室の縁を越えた位置まで延び、前記薄肉部と重なる第２部分を有する圧電膜を形成する、パターニング工程と、を備えていることを特徴とするものである。

本発明では、絶縁膜の、圧力室の長手方向一端部に薄肉部を形成する。これにより、圧力室の長手方向一端部において、アクチュエータの中立面が圧電膜の厚み方向中央位置に近づく。そのため、圧力室長手方向の前記一端部に配置される第２部分が収縮する場合でも、アクチュエータの撓みが小さくなる。一方、圧力室短手方向において第１部分と圧力室の縁と間に位置する、圧電膜とは重ならない部分では、絶縁膜の厚みを薄肉部よりも薄くしないようにして、この部分におけるアクチュエータの強度低下を抑える。

本実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。 ヘッドユニットの平面図である。 ヘッドユニットの平面図（カバー部材の図示省略）である。 図３のＡ部拡大図である。 図４のV-V線断面図である。 図４のVI-VI線断面図である。 圧電アクチュエータの１つの圧力室と重なる部分とその周辺部分の概略的な平面図である。 圧電素子の駆動時の挙動を示す、圧電アクチュエータの断面図である。 絶縁膜に薄肉部が形成されている場合の、圧電膜及び圧電アクチュエータの中立面を示す、圧電アクチュエータの断面図である。 ヘッドユニットの製造工程を示す図である。 変更形態の圧電アクチュエータの、圧力室短手方向に沿った断面図である。 別の変更形態の圧電アクチュエータの、圧力室長手方向に沿った断面図である。 さらに別の変更形態の圧電アクチュエータの、圧力室長手方向に沿った断面図である。 さらに別の変更形態の圧電アクチュエータの、圧力室長手方向に沿った断面図である。 さらに別の変更形態の圧電アクチュエータの図７相当の平面図である。

次に、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、図１に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。以下では、前後左右上下の各方向語を適宜使用して説明する。

（プリンタの概略構成）
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５と、制御装置６等を備えている。

プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って左右方向（以下、走査方向ともいう）に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。

インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、走査方向に並ぶ４つのヘッドユニット１６を備えている。４つのヘッドユニット１６は、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクカートリッジ１７が装着されるカートリッジホルダ７と、図示しないチューブによってそれぞれ接続されている。各ヘッドユニット１６は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に形成された複数のノズル２４（図３〜図６参照）を有する。各ヘッドユニット１６のノズル２４は、インクカートリッジ１７から供給されたインクを、プラテン２に載置された記録用紙１００に向けて吐出する。

搬送機構５は、前後方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を前方（以下、搬送方向ともいう）に搬送する。

制御装置６は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を備える。 制御装置６は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷等の各種処理を実行する。例えば、印刷処理においては、制御装置６は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４やキャリッジ駆動モータ１５等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷させる。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。

（インクジェットヘッドの詳細）
次に、インクジェットヘッド４のヘッドユニット１６の構成について詳細に説明する。尚、４つのヘッドユニット１６はそれぞれ同じ構成を有するものであるため、以下では、４つのヘッドユニット１６のうちの１つについて説明する。

図２は、ヘッドユニット１６の平面図である。図３は、図２のカバー部材２３の図示を省略したヘッドユニット１６の平面図である。図４は、図３のＡ部拡大図である。図５は、図４のV-V線断面図、図６は、図４のVI-VI線断面図である。

図２〜図６に示すように、ヘッドユニット１６は、ノズルプレート２０、流路基板２１、圧電アクチュエータ２２、ＣＯＦ５０（Chip On Film）、カバー部材２３等を備えている。尚、図２、図３では、図５には示されている、ＣＯＦ５０の図示は省略されている。

（ノズルプレート）
ノズルプレート２０は、例えば、シリコン等で形成されたプレートである。このノズルプレート２０には、複数のノズル２４が形成されている。図３に示すように、複数のノズル２４は、搬送方向に沿って配列され、走査方向に並ぶ２つのノズル列２７を構成している。また、１つのノズル列２７におけるノズル２４の配列ピッチをＰとしたときに、２つのノズル列２７の間で、ノズル２４の位置が搬送方向にＰ／２だけずれている。

（流路基板）
流路基板２１は、シリコン単結晶の基板である。流路基板２１には、複数のノズル２４とそれぞれ連通する複数の圧力室２６が形成されている。各圧力室２６は、走査方向に長い、矩形の平面形状を有する。以下、走査方向を「（圧力室の）長手方向」、搬送方向を「（圧力室の）短手方向」と述べる場合もある。複数の圧力室２６は、上述した複数のノズル２４の配列に応じて配列され、走査方向に並ぶ２つの圧力室列２８を構成している。流路基板２１の下面はノズルプレート２０で覆われており、上下方向から見て、各圧力室２６の、走査方向においてヘッドユニット１６の中心に近い位置にある端部がノズル２４と重なっている。

図２に示すように、流路基板２１の左右両端部には、２つの圧力室列２８にそれぞれ対応して搬送方向に延びる２つのマニホールド２５が形成されている。また、図４、図５に示すように、１つの圧力室列２８を構成する圧力室２６の各々は、対応するマニホールド２５と、走査方向に延びる絞り流路２９によって接続されている。

マニホールド２５は、流路基板２１の上面において開口している。このマニホールド２５の開口は、チューブ等を含むインク供給部材（図示省略）によって、カートリッジホルダ７と接続される。カートリッジホルダ７のインクカートリッジ１７のインクは、上記インク供給部材を介してマニホールド２５に流れ込み、さらに、マニホールド２５から絞り流路２９を介して各圧力室２６へ供給される。

（圧電アクチュエータ）
圧電アクチュエータ２２は、絶縁膜３０、圧電素子３１、個別配線４１、共通配線４２等を含む、複数種類の膜の積層体である。この圧電アクチュエータ２２は、流路基板２１に、複数の圧力室２６を覆うように配置されている。図７は、圧電アクチュエータ２２の１つの圧力室２６と重なる部分とその周辺部分の概略的な平面図である。尚、図７では、圧力室２６、下電極３２、圧電膜３３、絶縁膜３０の薄肉部３０ａの配置関係がわかりやすくなるように、図４〜図６には示されている、圧電素子３１の上電極３４の図示は省略されている。

＜絶縁膜＞
図５、図６に示すように、絶縁膜３０は、流路基板２１に形成された複数の圧力室２６を覆っている。本実施形態の絶縁膜３０は、シリコンの流路基板２１の表面が酸化されることにより形成された二酸化シリコンの膜であり、流路基板２１と一体化した膜である。尚、絶縁膜３０はこのような構成には限られず、流路基板２１の表面に別の材料で成膜されてもよい。絶縁膜３０の厚みは、例えば、１．０〜１．５μｍである。

図５、図７に示すように、絶縁膜３０の圧力室２６と重なる部分のうちの、圧力室長手方向の一方の端部２６ａの上面には、エッチングで凹部が形成されることによって、薄肉部３０ａが形成されている。薄肉部３０ａが配置されている圧力室２６の端部２６ａは、この圧力室２６の走査方向における中心よりもヘットユニット１６の中央に近い位置にある端部２６ａにあり、図５では圧力室２６の左端部である。図５においては、薄肉部３０ａは、圧力室２６の端部２６ａと重なる領域から圧力室２６の左側の縁を越えてさらに流路基板２１の左端部に向かって延びる。薄肉部３０ａの左端は、圧力室２６の左端よりも、流路基板２１の左端に近い位置にある。尚、図４に示すように、薄肉部３０ａの圧力室短手方向の幅Ｗｘは、圧力室の幅Ｗよりも小さい。

図５〜図７に示すように、絶縁膜３０の他の部分、即ち、圧力室２６の中央部、右端部、及び、圧力室短手方向の端部である前端部及び後端部と重なる部分には、薄肉部３０ａは形成されていない。特に、絶縁膜３０の圧力室短手方向の端部と重なる部分には薄肉部３０ａは形成されていない。つまり、薄肉部３０ａの厚みｔｘは、圧力室短手方向の端部を含む、絶縁膜３０の他の部分の厚みｔよりも薄くなっている。

＜圧電素子＞
絶縁膜３０の上面の、複数の圧力室２６と重なる位置には、複数の圧電素子３１がそれぞれ配置されている。圧電素子３１は、圧力室２６内のインクに、ノズル２４から吐出するための吐出エネルギーを付与する。

図３〜図６に示すように、各圧電素子３１は、絶縁膜３０の上に配置された下電極３２と、下電極３２の上に配置された圧電膜３３と、圧電膜３３の上に配置された上電極３４を有する。

下電極３２は、絶縁膜３０の上面の、圧力室２６と重なる領域に配置されている。下電極３２には、個別配線４１を介して、後述するドライバＩＣ５１から個別に駆動信号が供給される。即ち、下電極３２は、圧力室２６毎に個別に設けられた、いわゆる個別電極である。下電極３２は、幅広部３２ａと幅狭部３２ｂを有する。

幅広部３２ａは、圧力室長手方向に長い矩形状の平面形状を有する。幅広部３２ａは、圧力室２６の中央部と重なるように配置されている。尚、幅広部３２ａの圧力室短手方向の幅Ｗａは、圧力室２６の幅Ｗよりは小さい。

幅狭部３２ｂは、圧力室２６の長手方向一方の端部に配置され、且つ、幅広部３２ａと接続されている。また、幅狭部３２ｂの圧力室短手方向の幅Ｗｂは、幅広部３２ａの幅Ｗａよりも小さい。図５の圧力室２６においては、幅狭部３２ｂは、幅広部３２ａの左端部から左方に延び、圧力室２６の左縁を越えて、２つの圧力室列２８の間の領域まで延びている。

また、図４、図５、及び、図７に示すように、幅狭部３２ｂは、絶縁膜３０の薄肉部３０ａと重なっている。尚、薄肉部３０ａの圧力室２６の中央に近い方の端（図５の右端）は、下電極３２の幅広部３２ａと幅狭部３２ｂの境界位置よりも、長手方向において圧力室２６の縁に近い位置にある。尚、下電極３２は、例えば、白金（Ｐｔ）で形成されている。また、下電極３２の厚みは、例えば、０．１μｍである。

圧電膜３３は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料により形成される。あるいは、圧電膜３３は、鉛が含有されていない非鉛系の圧電材料で形成されていてもよい。圧電膜３３の厚みは、例えば、１．０〜２．０μｍである。

図３、図４に示すように、本実施形態では、複数の圧電素子３１の圧電膜３３が搬送方向に繋がって、搬送方向に長い矩形状の圧電体３７が構成されている。即ち、絶縁膜３０の上には、２つの圧力室列２８にそれぞれ対応した、圧電膜３３からなる２つの圧電体３７が配置されている。

図３では図示は省略されているが、図４、図６、図７に示すように、１つの圧電体３７の、複数の圧力室２６の間の部分には、圧力室２６の長手方向のほぼ全長にわたって延びるスリット３８が形成されている。このスリット３８により、搬送方向に隣接する２つの圧力室２６の間で、圧電膜３３が区切られている。また、１つのスリット３８は、その搬送方向両側に位置する２つの圧力室２６内へはみ出して形成されており、スリット３８は、２つの圧力室２６の短手方向端部とそれぞれ重なっている。

圧電膜３３のうち、圧力室２６の中央部に配置された第１部分Ｐ１は、下電極３２の幅広部３２ａと重なっている。また、上記のスリット３８が、圧力室短手方向において圧力室２６の端部まで入り込んでいることから、図４、図６、図７に示すように、第１部分Ｐ１の圧力室短手方向の幅Ｗ１は、圧力室２６の幅Ｗよりも小さい。つまり、圧力室短手方向において、圧電膜３３の第１部分Ｐ１と圧力室２６の縁までの間では、絶縁膜３０は圧電膜３３と重なっていない。

また、圧電膜３３は、第１部分Ｐ１から、圧力室２６の長手方向一方（図５の左方）に圧力室２６の縁を越えて延びる第２部分Ｐ２を有する。この第２部分Ｐ２は、下電極３２の幅狭部３２ｂと重なっている。さらに、第２部分Ｐ２は、絶縁膜３０の薄肉部３０ａと重なる部分でもある。第２部分Ｐ２は、圧電膜３３の、下電極３２と後述の上電極３４と挟まれる部分のうちの、第１部分Ｐ１よりも図５の左に位置する部分である。

別の言い方をすれば、幅広部３２ａと幅狭部３２ｂを有する下電極３２が、圧電膜３３の第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２に跨って配置されている。同じく、上電極３４も、圧電膜３３の第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２に跨って配置されている。これにより、第１部分Ｐ１は、下電極３２の幅広部３２ａと上電極３４とに挟まれ、第２部分Ｐ２は、下電極３２の幅狭部３２ｂと上電極３４とに挟まれている。

尚、図４、図７に示すように、下電極３２の幅狭部３２ｂの幅Ｗｂ、絶縁膜３０の薄肉部３０ａの幅Ｗｘ、及び、圧電膜３３の第２部分Ｐ２のうちの圧力室２６との対向領域での幅Ｗ２の、圧力室短手方向における幅の大小関係は、Ｗｂ＜Ｗｘ＜Ｗ２となっている。

図４、図５に示すように、下電極３２の幅狭部３２ｂは、圧電体３７の側面から露出して、ヘッドユニット１６の走査方向における中央部に向かって延びている。この幅狭部３２ｂの圧電体３７から露出した部分には、後述する個別配線４１が接続される。

上電極３４は、圧電膜３３の上面の、圧力室２６と重なる領域に配置されている。上電極３４は、上電極３４は、例えば、イリジウムで形成されている。上電極３４の厚みは、例えば、０．１μｍである。複数の圧電素子３１の上電極３４は、圧力室２６間のスリット３８の上に形成された導電部分３５によって互いに導通している。

図３〜図５に示すように、各圧電体３７の上面の縁部には、複数の圧電素子３１の上電極３４に跨って、補助導体４７が形成されている。補助導体４７は、例えば、金（Ａｕ）で形成されている。また、補助導体４７の厚みは上電極３４よりもかなり厚く、例えば、１．０μｍである。

尚、図４、図５に示すように、圧電体３７の、幅狭部３２ｂが露出している端部には、上電極３４と同じ材料で形成された導電部４９が、圧電体３７の上面から側面を経て幅狭部３２ｂに跨って形成されている。

＜個別配線＞
図５に示すように、個別配線４１は、幅狭部３２ｂの圧電体３７から露出した部分に、導電部４９を介して重ねられており、下電極３２と電気的に接続されている。個別配線４１は、上述した補助導体４７と同じ材料、例えば金（Ａｕ）で形成されている。また、個別配線４１は下電極３２よりも厚く、例えば、１．０μｍである。

個別配線４１は、下電極３２の幅狭部３２ｂに沿って２つの圧力室列２８の間の領域まで延びている。個別配線４１の端部には、駆動接点４６が形成されている。図２、図３に示すように、２つの圧力室列２８の間には、これらのうちの左側の圧力室列２８に対応する圧電素子３１から延びる個別配線４１の駆動接点４６と、右側の圧力室列２８に対応する圧電素子３１から延びる個別配線４１の駆動接点４６とが、搬送方向に交互に並べられている。

＜共通配線＞
共通配線４２は、２つの圧力室列２８の間の領域の、後端部と前端部にそれぞれ１本ずつ形成されている。共通配線４２の走査方向における両端部は、２つの圧電体３７の補助導体４７とそれぞれ導通している。また、共通配線４２の中央部は、後述するＣＯＦ５０と接続される、グランド接点４８となる。

（ＣＯＦ）
図２〜図５に示すように、複数の駆動接点４６と２つのグランド接点４８が配置された、流路基板２１の走査方向中央部には、ＣＯＦ５０の一端部が接合されている。ＣＯＦ５０の途中部には、ドライバＩＣ５１が実装されている。また、図示は省略するが、ＣＯＦ５０の他端部は、プリンタ１の制御装置６（図１参照）に接続されている。ＣＯＦ５０には、ドライバＩＣ５１に接続された複数の配線５２と、グランド配線（図示省略）とが形成されている。ＣＯＦ５０が流路基板２１に接合されたときに、ＣＯＦ５０の複数の配線５２の端部が、複数の駆動接点４６とそれぞれ電気的に接続される。また、ＣＯＦ５０のグランド配線が、グランド接点４８と電気的に接続される。

ドライバＩＣ５１は、制御装置６からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、各圧電素子３１に出力する。駆動信号は、配線５２を介して駆動接点４６に入力され、さらに、個別配線４１を介して対応する下電極３２に供給される。このとき、下電極３２の電位が、所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。一方、共通配線４２によってグランド接点４８と接続されている複数の上電極３４には、グランド電位が共通に付与される。

（カバー部材）
カバー部材２３は、複数の圧電素子３１を保護するものであり、絶縁膜３０の上面に接着剤で接合される。図２、図５に示すように、カバー部材２３は、走査方向における中央部に形成された開口部２３ａと、開口部２３ａの左右両側に設けられた２つのカバー部２３ｂを有する。開口部２３ａにおいて、圧電アクチュエータ２２の複数の駆動接点４６と２つのグランド接点４８がカバー部材２３から露出し、ＣＯＦ５０は、開口部２３ａを通過して、接点４６，４７の配置領域に接合される。左右２つのカバー部２３ｂは、２つの圧電体３７をそれぞれ覆う。尚、図２に示すように、流路基板２１の左右両端部にそれぞれ形成されたマニホールド２５の開口は、カバー部材２３からそれぞれ露出し、図示しないインク供給部材と接続される。

次に、ドライバＩＣ５１から駆動信号が供給されたときの、圧電アクチュエータ２２の動作について説明する。図８は、圧電素子３１の挙動を示す、圧電アクチュエータの断面図である。

圧電膜３３のうち、圧力室２６の中央部に配置された第１部分Ｐ１は、下電極３２の幅広部３２ａと上電極３４に挟まれている。駆動信号が入力されていない状態では、下電極３２の電位はグランド電位であり、上電極３４と同電位である。この状態から、下電極３２に駆動信号が入力されると、上電極３４との電位差により、第１部分Ｐ１に厚み方向の電界が作用する。このとき、逆圧電効果により第１部分Ｐ１が面方向に収縮する。

また、圧力室２６の中央部における圧電アクチュエータ２２の中立面Ｎは、圧電膜３３の厚み方向の中央位置Ｄよりも圧力室２６に近い位置にある。尚、圧電アクチュエータ２２の中立面Ｎとは、アクチュエータ２２を構成する複数種類の膜の積層体全体において、曲げが作用した場合でも応力が０となる面のことを言う。この中立面Ｎに位置する部分には曲げによる伸び縮みが発生しない。例えば、図８において、圧力室２６の中央部では、圧電アクチュエータ２２の中立面Ｎは、絶縁膜３０、下電極３２の幅広部３２ａ、圧電膜３３の第１部分Ｐ１、及び、上電極３４からなる積層体の中立面となる。尚、図８では、中立面Ｎは、圧電アクチュエータ２２を構成する積層体全体の厚み方向のほぼ中央位置に示されているが、実際には、積層体を構成するそれぞれの膜の厚みやヤング率によって中立面Ｎの位置は変わり、積層体の厚み方向の中央位置になるとは限らない。

この構成において第１部分Ｐ１が面方向に収縮すると、図８の破線Ａで示すように、圧電アクチュエータ２２の圧力室２６と重なる部分全体が圧力室２６に向かって凸となるように撓む。これにより、圧力室２６の容積が減少して圧力室２６内に圧力波が発生し、圧力室２６に連通するノズル２４からインクの液滴が吐出される。

ところで、本実施形態では、圧力室２６の長手方向一端部と重なる位置にある圧電膜３３の第２部分Ｐ２も、下電極３２の幅狭部３２ｂと上電極３４に挟まれている。そのため、下電極３２に駆動信号が印加されたときに、この第２部分Ｐ２にも収縮が生じる。

ここで、圧電アクチュエータ２２は、圧力室２６の縁よりも外に位置する部分では変形が拘束される。そのため、圧力室２６の長手方向端部に位置する第２部分Ｐ２に収縮が生じたときには、圧電アクチュエータ２２の第２部分Ｐ２を含む部分は、図８の二点鎖線Ｂに示すように、第１部分Ｐ１と違って、圧力室２６と反対側に凸となるように撓む。これにより、圧力室中央部におけるアクチュエータ２２の下方向の変位量が減少し、その分、１回の圧電素子３１の駆動でインクに付与される吐出エネルギーが低下する。

以上より、圧力室２６の中央部における圧電アクチュエータ２２の変位量低下を抑えるには、アクチュエータ２２の第２部分Ｐ２を含む部分の撓みを小さくすることが重要となる。ここで、圧電アクチュエータ２２の撓みは、電界を受けて収縮する部分が、アクチュエータ全体の中立面Ｎから、厚み方向に離れているほど大きくなる。積極的に撓ませたい圧力室２６の中央部では、圧電アクチュエータ２２の中立面Ｎは、圧電膜３３の厚み方向の中央位置Ｄから離れていることが好ましい。しかし、撓みを抑えたい圧力室２６の長手方向端部では、圧電アクチュエータ２２の中立面Ｎを、圧電膜３３の厚み方向の中央位置Ｄに近づけることが好ましい。

圧電アクチュエータ２２の一部分において中立面Ｎの位置を変えるには、その一部分を構成する膜の厚みを変化させればよい。そこで、本実施形態では、絶縁膜３０の、第２部分Ｐ２と重なる部分に薄肉部３０ａが形成されている。

図９は、絶縁膜３０に薄肉部３０ａが形成されている場合の、圧電膜３３及び圧電アクチュエータ２２の中立面を示す、圧電アクチュエータ２２の断面図である。図９に示すように、絶縁膜３０の第２部分Ｐ２と重なる部分に薄肉部３０ａが形成されている。即ち、圧力室２６の左端部において、他の部分と比べて絶縁膜３０の厚みが部分的に薄くなっている。

これにより、圧電アクチュエータ２２の第２部分Ｐ２を含む部分の中立面Ｎ２は、第１部分Ｐ１を含む部分の中立面Ｎ１と比べて、圧電膜３３の厚み方向の中央位置Ｄに近づく。従って、圧力室２６の長手方向一端部において、幅狭部３２ｂと上電極３４とに挟まれる第２部分Ｐ２に収縮が生じても、この収縮によるアクチュエータ２２の撓みは小さくなる。

尚、薄肉部３０ａは、第２部分Ｐ２のうちの、特に収縮が生じる部分全域と重なっていることが好ましい。この観点では、図５に示すように、薄肉部３０ａは、圧力室２６の縁まで形成され、且つ、薄肉部３０ａの圧力室短手方向の幅Ｗｘが幅狭部３２ｂの幅Ｗｂよりも広いことが好ましい。

一方で、絶縁膜３０の薄肉部３０ａの厚みｔｘは、薄肉部３０ａが形成されていない他の部分の厚みｔよりも薄い。特に、図６に示される、圧力室短手方向における、絶縁膜３０の、第１部分Ｐ１と圧力室２６の縁との間の部分の厚みｔよりも薄い。逆に言えば、第１部分Ｐ１よりも圧力室短手方向において圧力室２６の縁に近い、圧電膜３３と重ならない部分は、絶縁膜３０が薄くされていない。そのため、上記圧電膜３３と重ならない部分での絶縁膜３０の破損が防止される。

図９に示すように、圧電アクチュエータ２２の、第１部分Ｐ１を含む部分の中立面Ｎ１は、圧電膜３３の厚み方向の中央位置Ｄよりも、圧力室２６に近い位置にある。この構成では、第１部分Ｐ１の収縮によって圧電アクチュエータ２２が圧力室２６側に撓む。一方で、圧電アクチュエータ２２の、第２部分Ｐ２を含む部分の中立面Ｎ２は、中立面Ｎ１よりも、圧電膜３３の厚み方向の中央位置Ｄに近い位置にある。これにより、第２部分Ｐ２の収縮による、圧電アクチュエータ２２の圧力室２６と反対側への撓みが抑えられる。

尚、第２部分Ｐ２の収縮による圧電アクチュエータ２２の撓みを抑制する、という観点からは、薄肉部３０ａの圧力室２６の中心に近い方の端は、下電極３２の幅広部３２ａと幅狭部３２ｂの境界位置に位置していればよい。但し、後でも少し述べるが、圧電アクチュエータ２２の製造工程で、薄肉部３０ａの端の目標位置を幅広部３２ａと幅狭部３２ｂの境界位置にしていると、下電極３２と絶縁膜３０の薄肉部３０ａの位置が少しずれるだけで、薄肉部３０ａの一部が幅広部３２ａ、即ち、第１部分Ｐ１と重なってしまう。その分、第１部分Ｐ１と重なる部分でのアクチュエータ２２の中立面Ｎ１が圧電膜３３の厚み方向の中央位置Ｄに近づいてしまい、変位が低下する。

そこで、本実施形態では、製造段階で、下電極３２と薄肉部３０ａとの間に多少の位置ずれが生じても薄肉部３０ａが幅広部３２ａとは重ならないように、図４、図５、図７のように、薄肉部３０ａの右端は、幅広部３２ａと幅狭部３２ｂの境界位置よりも左に位置している。

第２部分Ｐ２と重なる部分での圧電アクチュエータ２２の撓みを効果的に抑える観点からは、薄肉部３０ａは、圧力室長手方向において第２部分Ｐ２と重なる領域全域、即ち、図５における圧力室２６の左縁まで形成されていることが好ましい。但し、製造時に、圧力室２６と薄肉部３０ａとの間に位置ずれが生じたときに、薄肉部３０ａの位置が、圧力室２６の縁に対して、圧力室２６の中心に近い位置にずれることが考えられる。そこで、本実施形態では、図５のように、薄肉部３０ａは、圧力室２６と重なる領域から圧力室２６の縁を越えて延び、薄肉部３０ａの左端は、圧力室２６の左縁よりも、ＣＯＦ５０が接合される流路基板２１の走査方向中央部に近い位置にある。この構成では、薄肉部３０ａの圧力室２６に対する位置が多少ずれても、薄肉部３０ａの端が圧力室２６と重なる領域に位置することはない。

次に、上述したヘッドユニット１６の製造工程について説明する。ここでは、圧電アクチュエータの製造工程を主に説明する。図１０は、ヘッドユニット１６の製造工程を示す図である。尚、以下の（ａ）〜（ｊ）の項目は、図１０の（ａ）〜（ｊ）にそれぞれ対応している。

（ａ）流路基板２１となるシリコン単結晶基板の表面に、熱酸化等の方法により絶縁膜３０を形成する。
（ｂ）絶縁膜３０のうちの、後で圧力室２６が形成されたときにその長手方向一端部と重なる部分に、エッチングにより薄肉部３０ａを形成する。この薄肉部３０ａは、圧力室長手方向の一端部にのみ形成する。つまり、薄肉部３０ａは、圧力室２６の短手方向端部と重なる部分よりも厚みが薄くなる。
（ｃ）絶縁膜３０の上に、スパッタリング等により、下電極３２用の導電膜５５を形成する。
（ｄ）導電膜５５をエッチングでパターニングし、幅広部３２ａと幅狭部３２ｂを有する下電極３２を形成する。
（ｅ）下電極３２が形成された絶縁膜３０の上に、ゾルゲルやスパッタリング等により、圧電材料の膜５６を成膜する。

（ｆ）圧電材料の膜５６を、エッチングによりパターニングして圧電膜３３を形成する。このとき形成される圧電膜３３は、圧力室２６の中央部と重なる第１部分Ｐ１と、第１部分Ｐ１に対して薄肉部３０ａが配置されている方向へ延び、さらに、第１部分Ｐ１から圧力室２６の縁を越えた位置まで延びる第２部分Ｐ２を有する。従って、第２部分Ｐ２は、絶縁膜３０の薄肉部３０ａと重なる。

上記のパターニングの際に、搬送方向に隣接する圧力室２６の間にスリット３８を形成する。尚、スリット３８は、圧力室２６の前後の縁を越えて一部が圧力室２６と重なる領域まで形成される。これにより、絶縁膜３０は、圧力室２６の縁に近い領域において圧電膜３３から露出する。尚、膜６１にエッチングでスリット３８を形成する際に、圧力室短手方向において第１部分Ｐ１よりも圧力室２６の縁に近い領域で、絶縁膜３０が膜６１と一緒に削られて厚みが薄くなることが考えられる。しかし、その場合でも、上記（ｂ）の工程において、薄肉部３０ａは圧力室長手方向の一端部にしか形成されていないため、第１部分Ｐ１よりも圧力室２６の縁に近い領域で絶縁膜３０の厚みが過度に薄くなることはない。尚、スリット３８の形成の際に絶縁膜３０が少し薄くなったとしても、上記の圧電膜３３と重ならない部分の厚みが、薄肉部３０ａの厚みを下回ることがないように、エッチングの条件等を設定することが好ましい。

（ｇ）圧電膜３３の上に、スパッタリング等により、上電極３４用の導電膜５７を形成する。
（ｈ）導電膜５７をエッチングでパターニングし、上電極３４、及び、導電部４９を形成する。
（ｉ）下電極３２の幅狭部３２ｂの上に、メッキで個別配線４１を形成する。同じくメッキで、上電極３４の上に補助導体４７を形成する。以上により、圧電アクチュエータ２２の製造が完了する。
（ｊ）流路基板２１に、圧電アクチュエータ２２と反対側の面からエッチングを行い、圧力室２６を形成する。

尚、先にも少し触れたが、（ｃ）の薄肉部３０ａの形成、（ｄ）の下電極３２のパターニング、（ｊ）の圧力室２６の形成の、それぞれの工程における製造公差により、薄肉部３０ａと、下電極３２、及び、圧力室２６との間で位置ズレが生じ得る。

しかし、薄肉部３０ａの、圧力室長手方向において圧力室２６の中心に近い内端位置を、下電極３２の幅広部３２ａと幅狭部３２ｂとの境界位置よりも左の位置、即ち、圧力室長手方向における一方の位置に設定することで、薄肉部３０ａが幅広部３２ａと重なることが防止される。また、薄肉部３０ａの外端位置を、圧力室長手方向において圧力室２６の左縁を越えた圧力室２６と重ならない位置にすることで、薄肉部３０ａの左端が圧力室２６の縁を越えずに圧力室２６と重なる領域内に位置することも防止される。

以上説明した実施形態において、ヘッドユニット１６が本発明の「液体吐出装置」に相当する。下電極３２が本発明の「第１電極」に相当する。上電極３４が本発明の「第２電極」に相当する。下電極３２の幅広部３２ａが本発明の「第１電極部分」に相当し、幅狭部３２ｂが本発明の「第２電極部分」に相当する。圧電アクチュエータ２２の第１部分Ｐ１を含む部分の中立面Ｎ１が、本発明の「第１中立面」に相当し、第２部分Ｐ２を含む部分の中立面Ｎ２が、本発明の「第２中立面」に相当する。圧力室長手方向が本発明の「第１方向」に相当し、圧力室短手方向が本発明の「第２方向」に相当する。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

１］前記実施形態の図９において、圧電アクチュエータ２２の第１部分Ｐ１を含む部分の中立面Ｎ１が、圧電膜３３の厚み方向の中央位置Ｄよりも圧力室２６に近い位置にある形態について説明した。これについて、さらに、図１１のように、上記中立面Ｎ１が、圧電膜３３の下面、即ち、絶縁膜３０と向かい合う面よりも圧力室２６に近い位置にある構成であってもよい。中立面Ｎ１が、圧電膜３３の厚み方向の中央位置Ｄからさらに離れることになるため、第１部分Ｐ１が面方向に収縮したときの、圧力室２６の中央部における圧電アクチュエータ２２の下方向の撓みがさらに大きくなる。

２］前記実施形態では、下電極３２の、圧力室２６の中央部から圧力室長手方向の一方に延びる幅狭部３２ｂの幅が、圧力室２６の中央部の幅広部３２ａよりも狭くなっている。これに対して、図１２に示すように、下電極６２の幅が変化する箇所が圧力室２６と重ならない位置にあり、圧力室２６の中央部と重なる部分６２ａと前記一方の端部と重なる部分６２ｂとで、下電極６２の幅が一定であってもよい。

３］前記実施形態では、下電極３２が、駆動接点４６と接続されて駆動信号が供給される、いわゆる個別電極であったが、上電極が個別電極であってもよい。例えば、図１３では、上電極７４は、圧力室２６の中央部と重なる幅広部７４ａと、幅広部７４ａから圧力室長手方向一方に延び、幅広部７４ａよりも幅が小さい幅狭部７４ｂを有する。幅狭部７４ｂは、さらに圧力室２６と重ならない領域まで延び、個別配線４１に接続されている。一方、下電極７２は、グランド接点４７（図３参照）に接続される電極である。

この形態では、圧電膜３３の、上電極７４の幅広部７４ａと重なる部分が第１部分Ｐ１であり、幅狭部７４ｂと重なる部分が第２部分Ｐ２となる。その上で、絶縁膜３０の第２部分Ｐ２と重なる部分に、薄肉部３０ａが形成されている。

４］前記実施形態では、個別電極である下電極３２の一部（幅狭部３２ｂ）が、圧力室長手方向一端部に配置されているが、個別電極に接続される個別配線が、圧力室長手方向一端部に配置されてもよい。

例えば、図１４では、圧力室２６の中央部に配置された上電極８４に、圧電膜３３の上面まで乗りあげるように形成された個別配線８１が接続されている。この形態では、個別配線８１の端部８１ａが、圧力室２６の長手方向一方の端部と重なるように配置されている。即ち、圧電膜３３の、上電極８４と重なる部分が第１部分Ｐ１となり、個別配線８１の端部８１ａが配置される部分が第２部分Ｐ２となる。その上で、絶縁膜３０の第２部分Ｐ２と重なる部分に、薄肉部３０ａが形成されている。

尚、図１４の形態においても、前記実施形態と同様に、薄肉部３０ａ等の位置ずれの影響を抑えるため、薄肉部３０ａの、圧力室長手方向における内端位置は、上電極８４と個別配線８１の端部８１ａとの接続位置よりも、長手方向において圧力室２６の中心から離れた位置にあることが好ましい。

５］前記実施形態では、絶縁膜３０の上面にエッチングで薄肉部３０ａが形成されているが、圧力室２６に面する下面にエッチングで薄肉部３０ａが形成されてもよい。この場合は、圧力室２６の形成工程の後に、薄肉部３０ａのエッチングを行うことになる。

６］薄肉部３０ａの形状は特に限定されない。例えば、前記実施形態では、図４に示すように、圧力室２６毎に薄肉部３０ａが形成されているが、複数の圧力室２６の間で薄肉部３０ａが搬送方向に繋がっていてもよい。

薄肉部の平面形状は矩形状に限られない。例えば、図１５（ａ）のように、薄肉部６１が左右方向に長い楕円形であってもよい。

前記実施形態では、薄肉部３０ａの幅が下電極３２の幅狭部３２ｂよりも大きくなっているが（図７参照）、図１５（ｂ）のように、薄肉部６２の幅が幅狭部３２ｂの幅と同じであり、幅狭部３２ｂに隠れるように幅狭部３２ｂと重なり合っていてもよい。

７］前記実施形態では、圧力室２６が一方向に長い形状を有するものであったが、このような形状にはこれには限られない。例えば、圧力室の形状が円形や正方形であってもよい。

８］前記実施形態の圧電アクチュエータ２２は、絶縁膜３０、下電極３２，圧電膜３３、上電極３４を含むものであったが、さらに、上電極３４を保護するための保護膜などの別の膜を含むものであってもよい。この場合の圧電アクチュエータ２２の中立面は、上記別の膜をも含む積層体の中立面となる。

以上説明した実施形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。

１６ ヘッドユニット
２２ 圧電アクチュエータ
２４ ノズル
２６ 圧力室
３０ 絶縁膜
３０ａ 薄肉部
３１ 圧電素子
３２ 下電極
３２ａ 幅広部
３２ｂ 幅狭部
３３ 圧電膜
３４ 上電極
３８ スリット
５５ 膜
６２ 下電極
７２ 下電極
７４ 上電極
７４ｂ 幅狭部
７４ａ 幅広部
８１ 個別配線
８４ 上電極
Ｎ１ 中立面
Ｎ２ 中立面
Ｐ１ 第１部分
Ｐ２ 第２部分

Claims (13)

1. 一方向に長い形状を有する圧力室と、
   前記圧力室を覆う絶縁膜と、
   前記絶縁膜の前記圧力室の長手方向の中央部に配置され、前記長手方向と直交する短手方向の幅が前記圧力室よりも小さい第１部分と、前記第１部分から前記長手方向の一方の前記圧力室の縁を越えた位置まで延びる第２部分を有する圧電膜と、
   前記圧電膜の前記第１部分と前記第２部分に跨って配置された第１電極と、
   前記圧電膜の前記第１部分と前記第２部分とに跨って配置され、前記圧電膜を挟んで前記第１電極と対向する第２電極とを備え、
   前記絶縁膜の、前記第２部分と重なる部分には、前記短手方向において前記第１部分と前記圧力室の縁との間の前記圧電膜に覆われていない部分よりも薄い、薄肉部が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記第１電極の、前記第２部分に配置された第２電極部分の前記短手方向の幅は、前記第１部分に配置された第１電極部分の前記短手方向の幅よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記薄肉部の前記長手方向の他方の端は、前記第１電極部分と前記第２電極部分の境界位置よりも、前記長手方向の前記一方に位置することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
4. 一方向に長い形状を有する圧力室と、
   前記圧力室を覆う絶縁膜と、
   前記絶縁膜の前記圧力室の長手方向の中央部に配置され、前記長手方向と直交する短手方向の幅が前記圧力室よりも小さい第１部分と、前記第１部分から前記長手方向の一方に前記圧力室の縁を越えた位置まで延びる第２部分を有する圧電膜と、
   前記圧電膜の前記第１部分に配置された第１電極と、
   前記圧電膜の前記第１部分と前記第２部分とに跨って配置され、前記第１部分を挟んで前記第１電極と対向する第２電極と、
   前記第１電極に接続されて前記圧電膜の前記第２部分に配置され、前記第２部分を挟んで前記第２電極と対向する配線と備え、
   前記絶縁膜の、前記第２部分と重なる部分には、前記短手方向において前記第１部分と前記圧力室の縁との間の前記圧電膜に覆われていない部分よりも薄い、薄肉部が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
5. 前記薄肉部の前記長手方向の他方の端は、前記配線と前記第１電極の接続位置よりも、前記長手方向の前記一方に位置することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
6. 前記絶縁膜、前記圧電膜、前記第１電極、及び、前記第２電極を含むアクチュエータを備え、
   前記アクチュエータの、前記圧電膜の前記第１部分を含む部分の中立面である第１中立面は、前記圧電膜の中立面よりも前記圧力室に近い位置にあり、
   前記アクチュエータの、前記圧電膜の前記第２部分を含む部分の中立面である第２中立面は、前記第１中立面よりも前記圧電膜の中立面に近い位置にあることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体吐出装置。
7. 前記アクチュエータの前記第１中立面は、前記圧電膜の前記絶縁膜と向かい合う面よりも前記圧力室に近い位置にあることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
8. 前記薄肉部の前記長手方向の前記一方の端は、前記圧力室の縁を越えて前記圧力室と重ならない位置にあることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体吐出装置。
9. 圧力室と、
   前記圧力室を覆う絶縁膜と、
   前記絶縁膜の前記圧力室の第１方向の中央部に配置され、前記第１方向と直交する第２方向の幅が前記圧力室よりも小さい第１部分と、前記第１方向の一方において前記第１部分から前記圧力室の縁を越えた位置まで延びる第２部分を有する圧電膜と、
   前記圧電膜の前記第１部分と前記第２部分とに跨って配置された第１電極と、
   前記圧電膜の前記第１部分と前記第２部分とに跨って配置され、前記圧電膜を挟んで前記第１電極と対向する第２電極とを備え、
   前記絶縁膜の、前記第２部分と重なる部分には、前記第２方向において前記第１部分と前記圧力室の縁との間の前記圧電膜に覆われていない部分よりも薄い、薄肉部が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
10. 一方向に長い形状を有する圧力室を覆うように絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
    前記絶縁膜の、前記圧力室の長手方向の一方の端部と重なる部分に、前記圧力室の短手方向端部と重なる部分よりも厚みが薄い、薄肉部を形成する薄肉部形成工程と、
    前記絶縁膜の上に圧電材料の膜を成膜する成膜工程と、
    前記圧電材料の膜をパターニングして、前記圧力室の中央部と重なり、且つ、前記第１方向と直交する第２方向の幅が前記圧力室よりも小さい第１部分と、前記第１方向の前記一方において前記第１部分から前記圧力室の縁を越えた位置まで延び、前記薄肉部と重なる第２部分を有する圧電膜を形成する、パターニング工程と、
    を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
11. 前記絶縁膜の前記薄肉部の厚みは、前記第２方向において前記第１部分と前記圧力室の縁との間の前記圧電膜に覆われていない部分よりも薄いことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置の製造方法。
12. 前記パターニング工程において、エッチングにより前記圧電材料の膜をパターニングすることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の液体吐出装置の製造方法。
13. 前記薄肉部形成工程において、前記絶縁膜にエッチングで前記薄肉部を形成することを特徴とする請求項１０〜１２の何れかに記載の液体吐出装置。

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