JP6375942B2 - 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 92
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 92
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 39
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 37
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 35
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 6
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 16
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 13
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 11
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 4
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 4
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 2
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018182 Al—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
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- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1646—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/1425—Embedded thin film piezoelectric element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
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Description
図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2と、キャリッジ3と、インクジェットヘッド4と、搬送機構5と、制御装置6等を備えている。
次に、インクジェットヘッド4のヘッドユニット16の詳細構成について説明する。尚、2つのヘッドユニット16a,16bは同一の構造を有するため、以下では、ブラックとイエローのインクを吐出するヘッドユニット16aで代表して説明する。図2は、インクジェットヘッド4のヘッドユニット16の上面図である。図3は、図2のX部拡大図である。図4は、図3のIV−IV線断面図である。図5は、図3の圧電アクチュエータのV−V線断面図である。図2〜図5に示すように、ヘッドユニット16は、ノズルプレート20、第1流路基板21、第2流路基板22、圧電アクチュエータ23等を備えている。尚、図2では、図面の簡素化のため、図4において第1流路基板21の上方に位置する保護部材28は、二点鎖線で外形のみ示されている。
ノズルプレート20は、例えば、シリコン等で形成されたプレートである。ノズルプレート20には、複数のノズル24が形成されている。図2に示すように、複数のノズル24は、搬送方向に配列されて、走査方向に並ぶ4列のノズル列を構成している。右側の2列のノズル列は、ブラックインクを吐出するノズル列である。右側2列のノズル列の間で搬送方向におけるノズル24の位置が、各ノズル列の配列ピッチPの半分(P/2)だけずれている。左側の2列のノズル列は、イエローインクを吐出するノズル列である。左側2列のノズル列も、右側2列のノズル列と同様に、2列のノズル列の間で搬送方向におけるノズル24の位置がP/2ずれている。
第1流路基板21、第2流路基板22は、それぞれシリコン単結晶の基板である。第1流路基板21には、複数のノズル24とそれぞれ連通する複数の圧力室26が形成されている。各圧力室26は、走査方向に長い矩形の平面形状を有する。複数の圧力室26は、複数のノズル24に応じて搬送方向に配列されて、走査方向に並ぶ4列の圧力室列27(27a〜27d)を構成している。右側2列の圧力室列27a,27bがブラックインクの圧力室列27であり、左側2列の圧力室列27c,27dがイエローインクの圧力室列27である。また、第1流路基板21は、その上面に形成されて複数の圧力室26を覆う振動膜30を有する。振動膜30は、シリコン基板の表面が酸化、あるいは、窒化されることにより形成されて膜である。
圧電アクチュエータ23は、複数の圧力室26内のインクに、それぞれノズル24から吐出させるための吐出エネルギーを付与するものである。圧電アクチュエータ23は、複数の圧力室26にそれぞれ対応して、第1流路基板21の振動膜30の上面に配置された複数の圧電素子39を有する。各圧電素子39は、圧電部37と、下部電極31と、上部電極33とを有する。尚、図4に示すように、第1流路基板21の上面には、圧電アクチュエータ23の複数の圧電素子39を覆う保護部材28が接合されている。
16 ヘッドユニット
21 第1流路基板
24 ノズル
26 圧力室
27a〜27d 圧力室列
30 振動膜
31 下部電極
32 圧電膜
32a 開口部
33 上部電極
34 補助電極
35 駆動配線
36 共通配線
38 金属膜
38a 第1膜
38b 第2膜
42a〜42d 電極列
68 金属膜
78 金属膜
Claims (11)
- 第1方向に沿って配列され、且つ、前記第1方向と直交する第2方向に並ぶ第1圧力室列と第2圧力室列を構成する複数の圧力室と、前記複数の圧力室を覆う振動膜を有する流路基板と、
前記複数の圧力室と重なるように前記振動膜に成膜された圧電膜と、
前記圧電膜の前記振動膜側の面に前記複数の圧力室にそれぞれ対応して配置され、前記第1圧力室列に対応する第1電極列と、前記第2圧力室列に対応する第2電極列とを構成する、複数の個別電極と、
前記圧電膜の前記振動膜と反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と前記圧電膜を挟んで対向するように配置された共通電極と、
前記振動膜と前記圧電膜との間に配置されて前記第1電極列に属する複数の前記個別電極から前記第2方向にそれぞれ延びる複数の第1駆動配線と、前記振動膜と前記圧電膜との間に配置されて前記第2電極列に属する複数の前記個別電極から前記第2方向にそれぞれ延び、且つ、前記第1電極列に属する前記個別電極の間を通過する複数の第2駆動配線と、
前記第1圧力室列に属する前記圧力室の間の前記圧電膜がエッチングされることにより前記圧電膜から露出した前記第2駆動配線に積層され、且つ、前記圧電膜のエッチング後に成膜された金属膜と、を有することを特徴とする液体吐出装置。 - 前記金属膜の一部が、前記圧電膜の上にも配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記金属膜は、前記共通電極と同じ材料により、前記共通電極と同じ厚みに形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置。
- 前記共通電極は、前記圧電膜の前記振動膜と反対側の面において、前記個別電極と対向する領域から、前記個別電極と対向しない領域にわたって配置され、
前記共通電極のうちの、前記個別電極と対向しない領域に、積層電極が配置され、
前記金属膜は、前記積層電極と同じ材料により、前記積層電極と同じ厚みに形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置。 - 前記金属膜は、前記共通電極と同じ材料により、前記共通電極と同じ厚みに形成された第1膜と、前記積層電極と同じ材料により、前記積層電極と同じ厚みに形成された第2膜とを有することを特徴とする請求項4に記載の液体吐出装置。
- 前記共通電極と接続される共通配線を有し、
前記金属膜は、前記共通配線と同じ材料により、前記共通配線と同じ厚みに形成された膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置。 - 前記駆動配線は、白金で形成されていることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の液体吐出装置。
- 請求項1の液体吐出装置の製造方法であって、
前記振動膜の上に、前記複数の圧力室に跨るように、前記圧電膜を成膜する圧電膜成膜工程と、
前記圧電膜の前記振動膜側の面に配置される前記複数の個別電極を形成する個別電極形成工程と、
前記圧電膜の前記振動膜と反対側の面に配置される前記共通電極を形成する共通電極形成工程と、
前記複数の個別電極の前記第1電極列に対応する前記複数の第1駆動配線と、前記第2電極列に対応する前記複数の第2駆動配線と、を形成する配線形成工程と、
前記第1方向において隣接する2つの圧力室の間の前記圧電膜をエッチングで除去する圧電膜エッチング工程と、
前記圧電膜エッチング工程によって、前記圧電膜から露出した前記第2駆動配線の上に、前記金属膜を形成する、金属膜形成工程と、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - 前記共通電極形成工程において、前記共通電極と前記金属膜とを同じ成膜プロセスで成膜することを特徴とする請求項8に記載の液体吐出装置の製造方法。
- 前記共通電極形成工程において、前記共通電極を、前記圧電膜の前記振動膜と反対側の面において、前記個別電極と対向する領域から、前記個別電極と対向しない領域にわたって形成し、
前記共通電極のうちの、前記個別電極と対向しない領域に積層電極を形成する積層電極形成工程を、さらに備え、
前記積層電極形成工程において、前記積層電極と前記金属膜とを同じ成膜プロセスで成膜することを特徴とする請求項8に記載の液体吐出装置の製造方法。 - 前記共通電極と接続される共通配線を形成する共通配線形成工程をさらに備え、
前記共通配線形成工程において、前記共通配線と前記金属膜とを同じ成膜プロセスで成膜することを特徴とする請求項8に記載の液体吐出装置の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014264176A JP6375942B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法 |
US14/757,493 US9757943B2 (en) | 2014-12-26 | 2015-12-23 | Liquid jet apparatus and method for manufacturing liquid jet apparatus |
US15/671,582 US10131144B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-08-08 | Liquid jet apparatus and method for manufacturing liquid jet apparatus |
US16/166,665 US10493760B2 (en) | 2014-12-26 | 2018-10-22 | Liquid jet apparatus and method for manufacturing liquid jet apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014264176A JP6375942B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016124119A JP2016124119A (ja) | 2016-07-11 |
JP6375942B2 true JP6375942B2 (ja) | 2018-08-22 |
Family
ID=56163222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014264176A Active JP6375942B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US9757943B2 (ja) |
JP (1) | JP6375942B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7159060B2 (ja) * | 2018-02-22 | 2022-10-24 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001075985A1 (fr) * | 2000-03-30 | 2001-10-11 | Fujitsu Limited | Actionneur piezoelectrique, son procede de fabrication et tete a jet d'encre dotee de cet actionneur |
JP4609182B2 (ja) * | 2004-05-19 | 2011-01-12 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
JP4218594B2 (ja) | 2004-06-08 | 2009-02-04 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2008273218A (ja) * | 2008-08-22 | 2008-11-13 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びアクチュエータユニットの製造方法 |
WO2011158492A1 (ja) * | 2010-06-16 | 2011-12-22 | パナソニック株式会社 | 圧電体膜、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
JP5957914B2 (ja) | 2012-02-01 | 2016-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP6168281B2 (ja) * | 2013-03-13 | 2017-07-26 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの製造方法 |
-
2014
- 2014-12-26 JP JP2014264176A patent/JP6375942B2/ja active Active
-
2015
- 2015-12-23 US US14/757,493 patent/US9757943B2/en active Active
-
2017
- 2017-08-08 US US15/671,582 patent/US10131144B2/en active Active
-
2018
- 2018-10-22 US US16/166,665 patent/US10493760B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190105900A1 (en) | 2019-04-11 |
US9757943B2 (en) | 2017-09-12 |
US10131144B2 (en) | 2018-11-20 |
JP2016124119A (ja) | 2016-07-11 |
US20160185115A1 (en) | 2016-06-30 |
US20180079211A1 (en) | 2018-03-22 |
US10493760B2 (en) | 2019-12-03 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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