JP4609182B2 - 圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットヘッド等に用いられる圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法に関する。

従来から、圧電体に電界を作用させることにより圧電体を変形させて駆動対象を駆動する圧電アクチュエータが知られている。このような圧電アクチュエータとしては、例えば、特許文献１に記載されているようなインクジェットヘッドに用いられたものがある。この特許文献１の圧電アクチュエータは、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体と、この圧電体の下面にインクジェットヘッドの複数の圧力室に夫々対応して設けられた複数の下部電極と、圧電体の上面に複数の下部電極に夫々対応して設けられた複数の上部電極とを有する。複数の下部電極と複数の上部電極からは夫々配線部が延びており、これら配線部の端部には圧電アクチュエータに駆動電圧を供給するドライバＩＣ（駆動装置）が接続される電気接点部が夫々設けられている。そして、圧電アクチュエータに駆動電圧が供給されたときには、下部電極と上部電極の電位が異なった状態となって、電極間に挟まれた圧電体に電界が作用して圧電体が変形し、圧力室内のインクに圧力が印加される。

特開２００３−１５４６４６号公報

しかし、前記特許文献１に記載された圧電アクチュエータにおいては、複数の下部電極に夫々対応する複数の電気接点部と複数の上部電極に夫々対応する複数の電気接点部とは、異なる高さ位置に形成されている。従って、高さ位置の異なる複数の電気接点部とドライバＩＣの出力端子を直接接合することは難しいことから、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）等の可撓性を有する配線部材を用いる必要がある。しかし、近年の印字品質の高解像度化とインクジェットヘッドの小型化の双方の要求に応えるために、圧電アクチュエータの複数の電極や電気接点部を高密度に配置した場合には、配線ピッチが非常に狭い配線部材が必要となる。このような配線部材は高価であるために圧電アクチュエータの製造コストが高くなってしまう。また、高さ位置の異なる複数の電気接点部とドライバＩＣとを１枚の配線部材で接続する場合には、高さ位置の異なる複数の電気接点部と配線部材の複数の接続端子を接合したときに配線部材が湾曲してしまうため、電気的接続の信頼性が低下する虞がある。異なる高さ位置の電気接点部に対して夫々別々の配線部材を用いてドライバＩＣと圧電アクチュエータとを電気的に接続する場合には、配線部材の枚数が増える分、電気接点部とドライバＩＣとの電気的接続にかかるコストが高くなってしまう。

本発明の目的は、駆動装置との電気的接続の高い信頼性を確保しつつ、その電気的接続にかかるコストを低減することが可能な圧電アクチュエータ、これを含むインクジェットヘッド及び圧電アクチュエータの製造方法を提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

第１の発明の圧電アクチュエータは、少なくとも一方の表面が絶縁性を有する振動板と、前記振動板の前記一方の表面に当接して形成された複数の個別電極と、これら複数の個別電極の前記振動板と当接する面と反対側に形成された圧電層と、前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極と、を備えている。そして、前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、前記複数の個別電極と前記複数の第１端子部とを夫々電気的に接続する複数の第１配線部とが形成されている。さらに、前記第１配線部のすべての領域が前記振動板の前記一方の表面に形成されている。なお、前記個別電極と前記第１端子部と前記第１配線部のそれぞれのすべての領域が前記振動板の前記一方の表面に形成されていてもよい。

この圧電アクチュエータにおいては、複数の個別電極が振動板の前記一方の表面に配置され、隣接する個別電極は振動板により互いに電気的に絶縁されている。そして、複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧が供給されて、個別電極と共通電極の電位が異なった状態になると、圧電層において両電極に挟まれた領域に電界が発生する。そして、この電界の作用により圧電層が変形し、この圧電層の変形に伴って振動板も変形して駆動対象を駆動するようになっている。

本発明では、第１の特徴として、振動板の前記一方の表面には、複数の個別電極に加えて、さらに、複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、複数の個別電極と複数の第１端子部とを夫々接続する複数の第１配線部とが形成されている。そして、第１配線部のすべての領域が振動板の前記一方の表面に形成されている。従って、個別電極と、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置等が接続される第１端子部とを、これらと同じ平面上に形成された第１配線部により、コストの高いＦＰＣ等の配線部材を介さずに直接接続できる。

また、第２の特徴として、個別電極と協働して圧電層に電界を発生させる電極が、個別電極ごとに独立に設けられているのではなく、複数の個別電極に共通の１つの電極（共通電極）として、圧電層を挟んで複数の個別電極と対向している。それゆえ、共通電極を駆動装置等に接続する為の端子部の数は、振動板の前記一方の表面上に形成された個別電極を駆動装置等に接続する為の端子部の数に比べると非常に少なくなる（例えば、共通電極を全ての個別電極に亙って形成した場合には共通電極用の端子部の数は１つで済む）。そのため、そのような端子部の少ない共通電極を駆動装置等に接続する場合にもわざわざ配線部材を使用する必要もなく、また、端子部の数が少ないことから電気的接続も容易且つ確実に行うことが可能になる。上述した２つの特徴を有するために、本発明の圧電アクチュエータによると、駆動装置との電気的接続のコストを低減でき、さらに、電気的接続の信頼性も高くなる。

第２の発明の圧電アクチュエータは、前記第１の発明において、前記振動板の前記一方の表面に、前記共通電極に対応する第２端子部と、前記共通電極と前記第２端子部とを電気的に接続する第２配線部とが形成されていること、および、前記第２配線部の前記圧電層の前記共通電極が形成された面と前記振動板の前記一方の面とを接続する部分には、前記第２配線部を補強するための補強部が形成されていることを特徴とするものである。

この圧電アクチュエータにおいては、複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と共通電極に対応する第２端子部とが、共に、振動板の前記一方の表面に形成されているため、これら端子部の高さ位置を全て同じにすることができ、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置の出力端子と第１端子部及び第２端子部との接合作業が容易になり、接合後の電気的接続の信頼性も高くなる。さらに、これら端子部を全て振動板の前記一方の表面に形成するにあたり、振動板の前記一方の表面に第１配線部及び第２配線部を形成するだけでよいので、スルーホールなどの複雑な構造を採ることなく、簡単な配線構造で端子部の高さ位置を一致させることができる。また、補強部が設けられているために、第２配線部に係る信頼性を高めることができる。
なお、第２の発明の圧電アクチュエータにおいて、前記補強部を設けることに代えて又はこれに加えて、前記第２配線部の幅を前記第１配線部の幅よりも広くしてもよい。

第３の発明の圧電アクチュエータは、前記第２の発明において、前記振動板の前記一方の表面に、前記第１端子部及び前記第２端子部に接合される複数の出力端子を有し、前記複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧を供給する駆動装置が配置されていることを特徴とするものである。従って、複数の個別電極及び共通電極と駆動装置とが第１配線部及び第２配線部により直接接続されるため、ＦＰＣ等の配線部材が不要になり、電気的接続にかかるコストを低減できる。

第４の発明の圧電アクチュエータは、前記第３の発明において、前記振動板の前記一方の表面に、前記駆動装置の入力端子と接合される接続端子であって、前記駆動装置とこの駆動装置を制御する制御装置とを電気的に接続する為の接続端子が形成されていることを特徴とするものである。一般的に、駆動装置には、この駆動装置を制御する制御装置が接続されるが、本発明によれば、この制御装置と駆動装置とをＦＰＣやフレキシブルフラットケーブル（Flexible Flat Cable：ＦＦＣ）等で接続する為の接続端子を、複数の個別電極、複数の端子部及び複数の配線部と一度に形成することが可能になる。

第５の発明の圧電アクチュエータは、前記第１〜４の何れかの発明において、前記振動板が、絶縁材料からなる板であることを特徴とするものである。

第６の発明の圧電アクチュエータは、前記第１〜４の何れかの発明において、前記振動板が、金属板と、前記金属板の表面に形成された絶縁層とを含んでいることを特徴とするものである。

第７の発明の圧電アクチュエータは、前記第６の発明において、前記絶縁層がセラミックス材料からなることを特徴とするものである。このように、絶縁層が弾性率の高いセラミックス材料で形成されているため、アクチュエータの剛性が上がり、応答性がより高くなる。

第８の発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルに連通した複数の圧力室を有し、その表面においてこれら複数の圧力室が夫々開口した流路ユニットと、前記複数の圧力室に夫々対応する前記複数の個別電極を有する前記第６又は７の圧電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドであって、前記金属板は鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成され、且つ、前記流路ユニットの表面に積層されており、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分が、鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成されていることを特徴とするものである。

流路ユニットの少なくとも一部が鉄系合金、ニッケル系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成されているため、流路ユニット内部のインク流路をエッチング等により容易に形成できる。また、金属板も同様の材料で形成されているため、流路ユニットと金属板の熱膨張係数が近くなり、両者の接合強度が向上する。

第９の発明のインクジェットヘッドは、前記第８の発明において、前記金属板と、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分とが、同じ種類の材料で形成されていることを特徴とするものである。従って、金属板と、流路ユニットの金属板が積層される部分の熱膨張係数がより近くなり、両者の接合強度がより向上する。また、流路ユニット内のインクは、同じ種類の材料で形成された金属板と流路ユニットに接触することになるため、どのようなインクを選択しても局部電池が形成される虞がなく、インクの選択が腐食面で制約されることがないため、インク選択の自由度が大きくなる。

第１０の発明のインクジェットヘッドは、前記第９の発明において、前記金属板と、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分とが、ステンレス鋼で形成されていることを特徴とするものである。従って、金属板と、流路ユニットの金属板が積層される部分の、インクに対する耐食性が共に向上するため、インク選択の自由度がさらに大きくなる。

第１１の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、少なくとも一方の表面が絶縁性を有する振動板を形成する第１工程と、前記振動板の前記一方の表面に当接して複数の個別電極を形成する第２工程と、これら複数の個別電極の前記振動板と当接する面と反対側に圧電層を形成する第３工程と、前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極を形成する第４工程と、を備え、前記第２工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極とともに、複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、前記複数の個別電極と前記複数の第１端子部とを夫々電気的に接続する複数の第１配線部とを形成し、前記第２工程において、前記第１配線部のすべての領域を前記振動板の前記一方の表面に形成することを特徴とするものである。

この圧電アクチュエータの製造方法によれば、前述の第１の発明と同様の効果が得られる圧電アクチュエータを容易に製造することができる。それに加えて、第２工程において、振動板の一方の表面に、複数の個別電極と、複数の第１端子部と、複数の第１配線部とを一度に形成することができるため、製造工程を短縮することが可能になる。

第１２の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１１の発明において、前記第４工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記共通電極とともに、この共通電極に対応する第２端子部と、前記共通電極と前記第２端子部とを電気的に接続する第２配線部とを形成することを特徴とするものである。従って、前述の第２の発明と同様の効果が得られる圧電アクチュエータを容易に製造することができる。それに加えて、第４工程において、振動板の一方の表面に、共通電極とこの共通電極に対応する第２端子部と第２配線部とを一度に形成することができるため、製造工程を短縮することができる。

第１３の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１２の発明において、前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧を供給する駆動装置を配置するとともに、前記第１端子部及び前記第２端子部と前記駆動装置の出力端子とを接合する第５工程をさらに備えたことを特徴とするものである。従って、複数の個別電極と駆動装置とを第１配線部及び第２配線部により直接接続することができるため、ＦＰＣ等の配線部材が不要になり、電気的接続にかかるコストを低減できる。

第１４の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１３の発明において、前記第２工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記駆動装置の入力端子と接合される接続端子であって、前記駆動装置とこの駆動装置を制御する制御装置とを電気的に接続する為の接続端子をさらに形成することを特徴とするものである。従って、制御装置と駆動装置と接続する為の接続端子を、複数の個別電極、複数の第１端子部及び複数の第１配線部と同時に形成することが可能になる。

第１５の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１１〜１４の何れかの発明において、前記振動板が、金属板と、前記金属板の表面に形成された絶縁層とを含んでおり、前記第１工程が、前記金属板の表面に前記絶縁層を形成する工程を含んでいることを特徴とするものである。

第１６の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１１〜１４の何れかの発明において、前記振動板が、絶縁材料からなる板であることを特徴とするものである。

＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態について説明する。本実施形態は、本発明をインクジェットヘッドに用いられる圧電アクチュエータに適用した一例である。
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、内部にインク流路が形成された流路ユニット２と、この流路ユニット２の上面に積層された圧電アクチュエータ３とを備えている。

まず、流路ユニット２について説明する。図２は、図１のインクジェットヘッド１の右半分の概略平面図である。また、図３は図２のIII-III線断面図、図４は図２のIV-IV線断面図である。図２〜図４に示すように、流路ユニット２はキャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及びノズルプレート１３を備えており、これら４枚のプレート１０〜１３が積層状態で接着されている。このうち、キャビティプレート１０、ベースプレート１１及びマニホールドプレート１２は略矩形のステンレス鋼製の板である。そのため、これら３枚のプレート１０〜１２に、後述するマニホールド１７や圧力室１４等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート１３は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート１２の下面に接着される。あるいは、このノズルプレート１３も、３枚のプレート１０〜１２と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。

図２に示すように、キャビティプレート１０には、平面に沿って配列された複数の圧力室１４が形成されている。これら複数の圧力室１４は、流路ユニット２の表面（後述するステンレス板３０が接合されるキャビティプレート１０の上面）において開口している。尚、図２には、複数の圧力室１４のうちの一部（８つ）が示されている。各圧力室１４は、平面視で略楕円形状に形成されており、その長軸方向がキャビティプレート１０の長手方向に平行になるように配置されている。

ベースプレート１１において平面視で圧力室１４の長軸方向両端部に重なる位置には、夫々連通孔１５，１６が形成されている。また、マニホールドプレート１２には、マニホールドプレートの短手方向（図２の上下方向）に２列に延び、平面視で圧力室１４の図２における右半分と重なるマニホールド１７が形成されている。このマニホールド１７には、キャビティプレート１０に形成されたインク供給口１８を介してインクタンク（図示省略）からインクが供給される。また、平面視で圧力室１４の図２における左端部と重なる位置には、連通孔１９も形成されている。さらに、ノズルプレート１３において平面視で複数の圧力室１４の左端部に重なる位置には、複数のノズル２０が夫々形成されている。ノズル２０は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂の基板にエキシマレーザー加工を施すことにより形成される。

そして、図３に示すように、マニホールド１７は連通孔１５を介して圧力室１４に連通し、さらに、圧力室１４は、連通孔１６，１９を介してノズル２０に連通している。このように、流路ユニット２内には、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル２０に至る個別インク流路が形成されている。

次に、圧電アクチュエータ３について説明する。図１〜図４に示すように、圧電アクチュエータ３は、流路ユニット２の上面に配置された振動板５０と、振動板５０の上面に形成され、複数の圧力室１４に夫々対向する複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２を覆う圧電層３３と、この圧電層３３の上面に形成され、複数の個別電極３２（本実施形態の場合、すべての個別電極３２）に亙って共通に設けられた（つまり、圧電層３３を挟んで複数の個別電極３２と対向する）矩形平面形状を有する共通電極３４とを備えている。振動板５０は、ステンレス板３０と、ステンレス板３０の上面に形成された絶縁層３１との２層構造となっている。

ステンレス板３０は、平面視で略矩形状の板であり、複数の圧力室１４の開口を塞ぐ状態でキャビティプレート１０の上面に積層された状態で接合されている。ここで、ステンレス板３０が比較的弾性率の高いステンレス鋼で形成されているため、後述するようにインクの吐出動作の際に圧電層３３が変形したときに、ステンレス板３０の剛性の高さによって、圧電アクチュエータ３の応答性が高くなる。また、このステンレス板３０は、同じくステンレス鋼で形成されたキャビティプレート１０の上面に接合される。そのため、ステンレス板３０とキャビティプレート１０の熱膨張係数が等しくなり、両者の接合強度が向上する。さらに、流路ユニット２内のインクは、インクに対する耐食性に優れるステンレス鋼で形成されたステンレス板３０と流路ユニット２とに接触する。そのため、どのようなインクを選択しても流路ユニット２内あるいはステンレス板３０に局部電池が形成される虞がなく、インクの選択が腐食面で制約されることがないため、インク選択の自由度が大きくなる。

絶縁層３１は、アルミナ、ジルコニア、あるいは、窒化ケイ素等の、弾性率が高いセラミックス材料からなり、その上面が平面となっている。このように、絶縁層３１が弾性率の高いセラミックス材料で形成されているため、アクチュエータの剛性が上がり応答性がより高くなる。また、このように、ステンレス板３０の上面に絶縁層３１が形成されているため、ステンレス板３０の上に絶縁層３１を介して複数の個別電極３２を形成することが可能になる。

さらに、この絶縁層３１の上面には、圧力室１４よりも一回り小さい楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が形成されている。個別電極３２は、平面視で対応する圧力室１４の中央部に重なる位置に形成されている。個別電極３２は金などの導電性材料からなる。尚、隣接する個別電極３２は絶縁層３１により互いに電気的に絶縁されている。

絶縁層３１の上面において、複数の個別電極３２の一端部（図２における右端部）からは、夫々、個別電極３２の長軸方向に平行に複数の配線部３５（第１配線部）が延びており、これら複数の配線部３５の端部には夫々端子部３６（第１端子部）が形成されている。これら複数の端子部３６の高さ位置は全て同じである。そして、複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６には、複数の個別電極３２に対して選択的に駆動電圧を供給するドライバＩＣ３７（駆動装置）の出力端子３７ａが半田等の導電性ろう材からなるバンプ３８を介して接合されている。つまり、ドライバＩＣ３７は、端子部３６及びバンプ３８を介して絶縁層３１の上面に配置されている。このように、複数の個別電極３２とドライバＩＣ３７とを、個別電極３２と同一平面上に形成された配線部３５により、コストの高いＦＰＣ等の配線部材を介さずに直接接続できるため、電気的接続のコストを低減できるし、また、電気的接続の信頼性も高くなる。

さらに、絶縁層３１上には、ドライバＩＣ３７の入力端子３７ｂと接合される複数の接続端子４０も形成されている。そして、これら複数の接続端子４０とドライバＩＣ３７の入力端子３７ｂとを半田等からなるバンプ３９を介して夫々接合することにより、ドライバＩＣ３７とこのドライバＩＣ３７を制御する制御装置（図示省略）とを接続端子４０を介して容易に接続することができる。

圧電層３３は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分としている。この圧電層３３は、複数の個別電極３２の上面全域を覆うように、複数の個別電極３２の全てに亙る矩形平面形状を有する連続した１つの層として形成されている。さらに、この圧電層３３の上面には、複数の個別電極３２に共通の共通電極３４が圧電層３３の全面に亙って形成されている。図２に示すように、共通電極３４からは１本の配線部４１（第２配線部）が延びており、この配線部４１は圧電層３３の上面と絶縁層３１の上面とに亙って延在するように形成されている。また、この配線部４１の端部に設けられた端子部４２（第２端子部）は、ドライバＩＣ３７の端子（図示せず）と接している。これにより、共通電極３４は、この配線部４１及びドライバＩＣ３７を介して接地され、グランド電位に保持されている。この共通電極３４も金などの導電性材料からなる。尚、端子部４２の高さ位置は、端子部３６の高さ位置と同じである。

ここで、図３に示すように、共通電極３４は圧電層３３の上面に形成されているため、共通電極３４と個別電極３２及び配線部３５との高さ位置が相違している。したがって、個別電極３２と同じ平面上に形成された配線部３５によりドライバＩＣ３７と接続される個別電極３２に比べると、共通電極３４とドライバＩＣ３７との電気的接続はやや困難であるとも考えられる。しかしながら、共通電極３４は全ての個別電極３２に対向し得る１つの電極として形成されているので、共通電極３４をドライバＩＣ３７に接続する配線部４１は１本で済む。そのため、共通電極３４をドライバＩＣ３７に接続するためにわざわざＦＰＣ等の配線部材を使用する必要もなく、また、端子数が１つしかないことから導電性ペーストなどを用いて電気的な接続を容易に行うことができ、その接続の信頼性も高いものとなる。

複数の個別電極３２に対応する複数の端子部３６と共通電極３４に対応する１つの端子部４２とが、共に、絶縁層３１の上面に形成されているため、これらの端子部３６，４２の高さ位置を全て同じにすることができる。従って、ドライバＩＣ３７の出力端子３７ａとこれら端子部３６，４２とのバンプ３８を介した接合作業が容易になり、接合後の電気的接続の信頼性も高くなる。さらに、複数の端子部３６と１つの端子部４２とを全て絶縁層３１の上面に形成するにあたり、絶縁層３１の上面に複数の配線部３５と１本の配線部４１を形成するだけでよいため、スルーホールなどの複雑な構造を採ることのない簡単な配線構造で、端子部３６，４２の高さ位置を一致させることができる。

さらに、配線部４１は圧電層３３の厚み分の段差を有する面上に延在するように形成されているため、平面上に延在する配線部３５と比べて、構造的な信頼性が劣るものと思われる。しかし、上述したように、この相対的に信頼性の劣る配線部４１は１本で済み、それ以外の複数の配線部３５は構造的な信頼性が高いことから、全体的に信頼性の高い配線構造を実現することができる。尚、配線部４１が共通電極３４から絶縁層３１に亙って一度に形成されている場合には、段差にかかる部分の厚さが薄くなるため、図２に示すように、この部分に補強部４３を設けて、その信頼性を高めることができる。

次に、インク吐出時における圧電アクチュエータ３の作用について説明する。
ドライバＩＣ３７に複数の配線部３５を介して夫々接続された複数の個別電極３２に対して、ドライバＩＣ３７から選択的に駆動電圧が供給されると、駆動電圧が供給された圧電層３３下側の個別電極３２とグランド電位に保持されている圧電層３３上側の共通電極３４の電位が異なった状態となり、両電極３２，３４の間に挟まれた圧電層３３に上下方向の電界が生じる。すると、圧電層３３のうち、駆動電圧が印加された個別電極３２の直上の部分が、分極方向である上下方向と直交する水平方向に収縮する。ここで、圧電層３３の下側の振動板５０はキャビティプレート１０に対して固定されているため、両電極３２，３４の間に挟まれた圧電層３３の部分が圧力室１４側に凸となるように変形し、この圧電層３３の部分的な変形に伴い、振動板５０の圧力室１４を覆う部分も圧力室１４側に凸となるように変形する。すると、圧力室１４内の体積が減少するためにインク圧力が上昇し、圧力室１４に連通するノズル２０からインクが吐出される。

次に、この圧電アクチュエータ３及びこれを含むインクジェットヘッド１の製造方法について説明する。
まず、図５に示すように、ステンレス製の３枚のプレート１０〜１２と、ステンレス板３０とを拡散接合等により接合する。ここで、キャビティプレート１０とステンレス板３０とは同じステンレス製であるため、熱膨張係数が等しくなり、接合面における残留応力が小さいために、両者の接合強度は極めて良好なものとなる。

次に、図６に示すように、ステンレス板３０の上面に、アルミナ、ジルコニア、あるいは窒化ケイ素等のセラミックス材料により絶縁層３１を形成する。これにより、ステンレス板３０の上面が絶縁層３１で覆われた振動板５０が形成される（第１工程）。絶縁層３１を形成する方法としては、例えば、超微微粒子材料を高速で衝突させて堆積させるエアロゾルデポジション法を用いることができる。エアロゾルデポジション法を用いると、例えば５μｍ以下、特に２μｍ以下でも絶縁性に優れた非常に薄い層を形成することができる。その他、ゾルゲル法、あるいは、スパッタ法を用いて絶縁層３１を形成することもできる。

次に、図７に示すように、絶縁層３１の上面に個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０を形成する（第２工程）。このとき、例えば、絶縁層３１の上面に導電性ペーストをスクリーン印刷することによりパターニングされた個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０を一度に形成することができる。あるいは、メッキ法、スパッタ法又は蒸着法などにより、絶縁層３１の全面に導電層を形成してから、レーザーやレジスト法等により導電層を部分的に除去して、個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０をパターニングしてもよい。

次に、図８に示すように、個別電極３２の上面にＰＺＴからなる圧電層３３を、エアロゾルデポジション法、ゾルゲル法、あるいは、スパッタ法等を用いて形成する（第３工程）。続いて、圧電層３３の組織を結晶化するために６００℃程度の熱処理を施す。この熱処理時にステンレス板３０を構成する原子が圧電層３３内に拡散しようとするが、絶縁層３１がこれを防止ように作用する。そのため、ステンレス板３０の原子の拡散侵入による圧電層３３の圧電特性の劣化を少なくすることができる。そして、図９に示すように、圧電層３３の上面に、スクリーン印刷、蒸着法、あるいは、スパッタ法等を用いて共通電極３４、配線部４１及び端子部４２を形成する（第４工程）。

そして、図１０に示すように、絶縁層３１上にドライバＩＣ３７を配置し、このドライバＩＣ３７の出力端子３７ａをバンプ３８を介して端子部３６及び端子部４２に接合するとともに、ドライバＩＣ３７の入力端子３７ｂをバンプ３９を介して接続端子４０に接合する（第５工程）。最後に、図１１に示すように、マニホールドプレート１２の下面にノズルプレート１３を接着する。

尚、ノズルプレート１３がステンレス鋼等の金属材料で形成されている場合には、予め、ノズルプレート１３を他の３枚のプレートと同時に接合して流路ユニット２を形成してから、この流路ユニット２の上面にステンレス板３０、個別電極３２及び圧電層３３を順に積層させて、圧電層３３に熱処理を施すようにすることもできる。

本実施形態の圧電アクチュエータ３においては、絶縁層３１の上面に、複数の個別電極３２ととともに、これら複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６と、複数の個別電極３２と複数の端子部３６とを夫々接続する複数の配線部３５とが形成され、さらに、絶縁層３１の上面には、複数の端子部３６に接合されたドライバＩＣ３７が配置されているため、複数の個別電極３２とドライバＩＣ３７とをコストの高いＦＰＣ等の配線部材を介さずに直接接続でき、電気的接続の信頼性も高くなる。また、絶縁層３１上に複数の個別電極３２を形成するときには（第２工程）、個別電極３２、端子部３６、配線部３５及び接続端子４０を一度に形成することができるため、製造工程を短縮することが可能になる。

さらに、圧電層３３の上面に共通電極３４を形成するときにも（第４工程）、共通電極３４、配線部４１及び端子部４２を一度に形成することができるため、製造工程を短縮することができる。

また、共通電極３４が全ての個別電極３２に亙って形成されているために、共通電極３４をドライバＩＣ３７に接続する配線部４１は１本で済む。そのため、共通電極３４をドライバＩＣ３７に接続するためにわざわざ配線部材を使用する必要もなく、また、端子数が１つしかないことから電気的な接続を容易に行うことができ、その接続の信頼性も高いものとなる。

次に、第１実施形態の共通電極に関する２つの変形例について、それぞれ図１２及び図１３に基づいて説明する。図１２は、第１変形例に係るインクジェットヘッドの平面図であって、図２に相当する。図１２において、第１実施形態と同じ構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

図１２に示す圧電アクチュエータ１０３において、共通電極１３４は、個別電極３２と同一平面形状を有し且つ個別電極３２に対向した８個の対向領域１３４ａと、圧電アクチュエータ１０３の短手方向（図１２の上下方向）に関して２列に千鳥状に配列された８個の対向領域１３４ａのうち圧電アクチュエータ１０３の短手方向に関して斜めに隣接する２つの対向領域１３４ａ同士を最短距離で互いに接続する細長矩形形状を有する７個の連結領域１３４ｂと、補強部４３に最も近い対向領域１３４ａと補強部４３とを互いに接続する細長矩形形状を有する１個の連結領域１３４ｃとから構成されている。これら領域１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃは、同じ材料からなるものであってもよいし、互いに異なる材料からなるものであってもよい。このように本変形例では、図２に示した第１実施形態のように矩形平面形状を有する共通電極の一部分だけが個別電極と対向するのではなく、共通電極１３４のほぼ全域（比較的平面積が小さい連結領域１３４ｂ及び１３４ｃを除いた残りの領域）が個別電極３２と対向するように圧電層３３が部分的に共通電極１３４で覆われている。その結果、圧電層３３が配線部３５と共通電極１３４とによって挟まれないようになっているので、余計な静電容量が発生するのを防止することができる。

図１３は、第２変形例に係るインクジェットヘッドの平面図であって、図２に相当する。図１３において、第１実施形態と同じ構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

図１３に示す圧電アクチュエータ２０３において、共通電極２３４は、個別電極３２の長さとほぼ同じ長さの短辺及び圧電アクチュエータ２０３の短手方向（図１３の上下方向）に関して一直線上に配列された４個の個別電極３２に対向できるように、これらに跨る長さの長辺を有する矩形平面形状を有する２つの矩形領域２３４ａと、これら２つの矩形領域２３４ａと補強部４３とを互いに接続する連結領域２３４ｂとから構成されている。連結領域２３４ｂは、図１３中において左方に描かれた矩形領域２３４ａと補強部４３とを接続するＬ字形状部分と、図１３中において右方に描かれた矩形領域２３４ａとＬ字形状部分とを接続する細長矩形形状部分とに分けられる。これら領域２３４ａ、２３４ｂは、同じ材料からなるものであってもよいし、互いに異なる材料からなるものであってもよい。本変形例では、共通電極２３４において個別電極３２と対向する領域の割合が大きくなるように、圧電層３３が部分的に共通電極２３４で覆われている。その結果、図２に示した第１実施形態に比べて圧電層３３において配線部３５と共通電極２３４とによって挟まれる割合が比較的小さくなっているので、余計な静電容量があまり発生することがない。

なお、共通電極は、第１実施形態及びその第１、第２変形例で説明したものに限らず、複数の個別電極３２と対向する領域を有している限りにおいて、種々の平面形状に変更することが可能である。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、振動板がセラミックス板だけによって構成されている点を特徴とするものであって、この点のみにおいて第１実施形態と相違している。本実施形態において、第１実施形態と同様の部材については、同じ符号を付してその説明を省略する。

図１４は本実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図、図１５は図１４と直交する方向についてのインクジェットヘッドの断面図であって、それぞれ、第１実施形態における図３及び図４に相当する。図１４及び図１５に示すように、圧電アクチュエータ３０３は、流路ユニット２の上面に配置された振動板としてのセラミックス板３５０と、セラミックス板３５０の上面に形成され、複数の圧力室１４に夫々対向する複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２を覆う圧電層３３と、この圧電層３３の上面に形成され、複数の個別電極３２（本実施形態の場合、すべての個別電極３２）に亙って共通に設けられた（つまり、圧電層３３を挟んで複数の個別電極３２と対向する）共通電極３４とを備えている。

セラミックス板３５０は、平面視で略矩形状の板であり、複数の圧力室１４の開口を塞ぐ状態でキャビティプレート１０の上面に積層された状態で接合されている。セラミックス板３５０は、アルミナ、ジルコニア、あるいは、窒化ケイ素等の、弾性率が高いセラミックス材料からなり、その上面が平面となっている。このように、セラミックス板３５０が弾性率の高いセラミックス材料で形成されているため、圧電アクチュエータ３０３の剛性が上がり応答性がより高くなる。また、振動板がセラミックス板３５０で形成されているので、セラミックス板３５０の上面に何も介することなく複数の個別電極３２を直接形成することが可能になる。

さらに、セラミックス板３５０の上面には、圧力室１４よりも一回り小さい楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が形成されている。個別電極３２は、平面視で対応する圧力室１４の中央部に重なる位置に形成されている。個別電極３２は金などの導電性材料からなる。尚、隣接する個別電極３２はセラミックス板３５０により互いに電気的に絶縁されている。

本実施形態の圧電アクチュエータ３０３においても、複数の個別電極３２とドライバＩＣ３７とを、個別電極３２と同一平面上に形成された配線部３５により、コストの高いＦＰＣ等の配線部材を介さずに直接接続できるため、電気的接続のコストを低減できるし、また、電気的接続の信頼性も高くなる、という利益が得られる。その他、第１実施形態において説明した効果を得ることができる。

次に、圧電アクチュエータ３０３及びこれを含むインクジェットヘッドの製造方法について説明する。
まず、図１６に示すように、キャビティプレート１０上に、エアロゾルデポジション法、ＣＶＤ法、溶液塗布法、ゾルゲル法、水熱合成法、あるいは、スパッタ法等を用いて、アルミナ、ジルコニア、あるいは窒化ケイ素等のセラミックス材料により厚み１〜２０μｍ程度のセラミックス板３５０を形成する。これにより、セラミックス板３５０だけによって構成された振動板が形成される（第１工程）。なお、キャビティプレート１０は、セラミックス板３５０との間における熱膨張係数を整合させるために、セラミックス板３５０と同一のセラミックス材料からなることが好ましい。

次に、図１７に示すように、セラミックス板３５０の上面に個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０を形成する（第２工程）。このとき、例えば、セラミックス板３５０の上面に導電性ペーストをスクリーン印刷することによりパターニングされた個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０を一度に形成することができる。あるいは、メッキ法、スパッタ法又は蒸着法などにより、セラミックス板３５０の全面に導電層を形成してから、レーザー照射法やレジスト法等により導電層を部分的に除去して、個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０をパターニングしてもよい。

次に、図１８に示すように、個別電極３２の上面にＰＺＴからなる圧電層３３を、エアロゾルデポジション法、ＣＶＤ法、溶液塗布法、ゾルゲル法、水熱合成法、あるいは、スパッタ法等を用いて形成する（第３工程）。続いて、図１９に示すように、キャビティプレート１０の下面にレジストをパターニングし、そのレジストをマスクとしてキャビティプレート１０をエッチングすることによって圧力室１４となる孔を形成する。

次に、圧電層３３の組織を結晶化するために６００℃程度の熱処理を施す。この熱処理時に、圧電層３３においてキャビティプレート１０と対向している領域（つまり圧力室１４となる孔と対向していない領域）においてはキャビティプレート１０を構成する原子が圧電層３３内に拡散しようとし、セラミックス板３５０がこれらを防止するように作用するものの、圧電層３３の圧電特性は若干劣化する。一方、圧電層３３においてキャビティプレート１０と対向していない領域（つまり圧力室１４となる孔と対向している領域）においてはキャビティプレート１０を構成する原子が拡散によって圧電層３３内に侵入してくることがほとんどないため、圧電層３３の圧電特性がほとんど劣化しない。しかる後、図２０に示すように、圧電層３３の上面に、スクリーン印刷、蒸着法、あるいは、スパッタ法等を用いて共通電極３４、配線部４１及び端子部４２を形成する（第４工程）。

その後、図２１に示すように、セラミックス板３５０上にドライバＩＣ３７を配置し、このドライバＩＣ３７の出力端子３７ａをバンプ３８を介して端子部３６及び端子部４２に接合するとともに、ドライバＩＣ３７の入力端子３７ｂをバンプ３９を介して接続端子４０に接合する（第５工程）。最後に、キャビティプレート１０の下面に、残りのプレート１１〜１３を接着する。

上述した製造方法においても、第１実施形態で説明した製造方法と同様の利益が得られる。加えて、本実施形態の製造方法では、圧力室１４となる孔を形成するためにキャビティプレート１０をエッチングする前に、キャビティプレート１０によって支持されたセラミックス板３５０上に圧電層３３を形成している。したがって、圧電層３３の形成時にセラミックス板３５０が破損することがない。また、上述したように圧力室１４となる孔をキャビティプレート１０に形成してから熱処理を行っているので、圧電層３３の圧電特性がほとんど劣化しない。また、エアロゾルデポジション法等を用いてセラミックス板３５０を形成しているので、セラミックス板３５０の厚みを１〜２０μｍ程度と非常に薄くすることができる。そのため、非拘束部である圧力室１４の幅を小さくして集積度を高くしたとしても、十分な変位を有するユニモルフ型アクチュエータを得ることができる。さらに、集積度を高くすることによって製造コストを低下させることができると共に、インクジェットヘッドの多ノズル化が容易となって、高速印字を実現することができる。

なお、第２実施形態においても、共通電極を、第１実施形態の第１、第２変形例のような形状とすることが可能である。

次に、前記した第１及び第２実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同じ構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
１］前記第２実施形態では、共通電極３４は全ての個別電極３２に亙って形成されているが、図１２及び図１３に描かれた第１実施形態の変形例のように、複数の個別電極３２が複数のグループに分けられており、各グループに対して１つの共通電極３４が対応して形成されていてもよい。但し、当然のことながら、共通電極３４とドライバＩＣ３７とを接続する配線部４１の数をできるだけ少なくするために、区分された共通電極３４の数は少ないことが好ましい。

２］流路ユニット２を構成する３枚のプレート１０〜１３の全てをステンレス鋼で形成する必要はなく、少なくとも圧電アクチュエータ３のステンレス板３０が積層されるキャビティプレート１０がステンレス鋼で形成されていればよい。さらに、キャビティプレート１０の材質はステンレス鋼に限られるものではなく、ステンレス鋼以外の鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、あるいは、アルミニウム系合金等の、エッチングにより圧力室１４を形成することが容易な材料であれば種々のものを採用できる。尚、この場合、ステンレス板３０とキャビティプレート１０の熱膨張係数を近くして両者の接合性を良好なものとするために、ステンレス板３０も、キャビティプレート１０と同様に、鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、あるいは、アルミニウム系合金等で形成することが好ましく、さらに、ステンレス板３０とキャビティプレート１０とを同じ材質にすることが特に好ましい。

３］前記第１及び第２実施形態の圧電アクチュエータ３の製造方法においては、エアロゾルデポジション法、ゾルゲル法、あるいは、スパッタ法等を用いて圧電層３３を形成した後に、圧電層３３に熱処理を施しているが、焼成されたＰＺＴからなる圧電シートを絶縁層３１上に貼り付けて圧電層３３を形成してもよい。但し、この場合には、予め、圧電シートの上面にスクリーン印刷などにより共通電極３４を形成しておき、この圧電シートの下面を個別電極３２の上面に接合することになる。また、低温焼成が可能なＰＺＴのグリーンシートを個別電極３２の表面にスクリーン印刷などにより形成してもよい。この場合は、８５０〜９００度で焼成する後工程が必要となる。

４］ドライバＩＣ３７が絶縁層３１上に配置されている必要は必ずしもなく、少なくとも、ドライバＩＣ３７の出力端子３７ａが接合される複数の端子部３６が絶縁層３１上に形成されていればよい。

５］振動板としては、上述した例の他に、ポリイミドなどの樹脂材料からなる板を用いてもよいし、あるいは、表面を酸化処理したシリコン基板を用いてもよい。また、個別電極が形成される表面が絶縁性である限りにおいて、３層以上からなる振動板を用いてもよい。

６］第２実施形態において、熱処理後に圧力室１４となる孔をキャビティプレート１０に形成してもよい。

７］上述した実施形態で説明した圧電アクチュエータは、インクジェットヘッドに限らず、その他の用途に用いることが可能である。

本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。 図１におけるインクジェットヘッドの右半部の平面図である。 図２のIII-III線断面図である。 図２のIV-IV線断面図である。 図３に示したインクジェットヘッドを製造順に示した断面図であって、流路ユニットと金属板を接合する工程を示す図である。 絶縁層を形成する工程（第１工程）を示す図である。 個別電極を形成する工程（第２工程）を示す図である。 圧電層を形成する工程（第３工程）を示す図である。 共通電極を形成する工程（第４工程）を示す図である。 ドライバＩＣを絶縁層上に配置する工程（第５工程）を示す図である。 ノズルプレートを接合する工程を示す図である。 本発明の第１実施形態の第１変形例におけるインクジェットヘッドの右半部の平面図である。 本発明の第１実施形態の第２変形例におけるインクジェットヘッドの右半部の平面図である。 本発明の第２実施形態のインクジェットヘッドの断面図である。 図１４に示したインクジェットヘッドの、図１４とは別の切断線での断面図である。 図１４に示したインクジェットヘッドを製造順に示した断面図であって、振動板であるセラミックス板を形成する工程（第１工程）を示す図である。 個別電極を形成する工程（第２工程）を示す図である。 圧電層を形成する工程（第３工程）を示す図である。 圧力室となる孔を形成する工程を示す図である。 共通電極を形成する工程（第４工程）を示す図である。 ドライバＩＣをセラミックス板上に配置する工程（第５工程）を示す図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
２ 流路ユニット
３ 圧電アクチュエータ
１４ 圧力室
３０ 金属板
３１ 絶縁層
３２ 個別電極
３３ 圧電層
３４ 共通電極
３５ 配線部
３６ 端子部
３７ ドライバＩＣ
３７ａ 出力端子
３７ｂ 入力端子
４０ 接続端子
４１ 配線部
４２ 端子部
５０ 振動板

Claims (16)

1. 少なくとも一方の表面が絶縁性を有する振動板と、
   前記振動板の前記一方の表面に当接して形成された複数の個別電極と、
   これら複数の個別電極の前記振動板と当接する面と反対側に形成された圧電層と、
   前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極と、を備え、
   前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、前記複数の個別電極と前記複数の第１端子部とを夫々電気的に接続する複数の第１配線部とが形成され、
   前記第１配線部のすべての領域が前記振動板の前記一方の表面に形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
2. 前記振動板の前記一方の表面に、前記共通電極に対応する第２端子部と、前記共通電極と前記第２端子部とを電気的に接続する第２配線部とが形成されており、
   前記第２配線部の前記圧電層の前記共通電極が形成された面と前記振動板の前記一方の面とを接続する部分に、前記第２配線部を補強するための補強部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記振動板の前記一方の表面に、前記共通電極に対応する第２端子部と、前記共通電極と前記第２端子部とを電気的に接続する第２配線部とが形成されており、
   前記第２配線部の幅が前記第１配線部の幅よりも広いことを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記振動板の前記一方の表面に、前記第１端子部及び前記第２端子部に接合される複数の出力端子を有し、前記複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧を供給する駆動装置が配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記振動板の前記一方の表面に、前記駆動装置の入力端子と接合される接続端子であって、前記駆動装置とこの駆動装置を制御する制御装置とを電気的に接続する為の接続端子が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記振動板が、絶縁材料からなる板であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の圧電アクチュエータ。
7. 前記振動板が、金属板と、前記金属板の表面に形成された絶縁層とを含んでいることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の圧電アクチュエータ。
8. 前記絶縁層がセラミックス材料からなることを特徴とする請求項７に記載の圧電アクチュエータ。
9. インクを吐出するノズルに連通した複数の圧力室を有し、その表面においてこれら複数の圧力室が夫々開口した流路ユニットと、前記複数の圧力室に夫々対応する前記複数の個別電極を有する請求項７又は８に記載の圧電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドであって、
   前記金属板は鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成され、且つ、前記流路ユニットの表面に積層されており、
   前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分が、鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
10. 前記金属板と、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分とが、同じ種類の材料で形成されていることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッド。
11. 前記金属板と、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分とが、ステンレス鋼で形成されていることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェットヘッド。
12. 前記個別電極と前記第１端子部と前記第１配線部のそれぞれのすべての領域が前記振動板の前記一方の表面に形成されていることを特徴とする請求項１〜１１の何れかに記載の圧電アクチュエータ。
13. 少なくとも一方の表面が絶縁性を有する振動板を形成する第１工程と、
    前記振動板の前記一方の表面に当接して複数の個別電極を形成する第２工程と、
    これら複数の個別電極の前記振動板と当接する面と反対側に圧電層を形成する第３工程と、
    前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極を形成する第４工程と、を備え、
    前記第２工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極とともに、複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、前記複数の個別電極と前記複数の第１端子部とを夫々電気的に接続する複数の第１配線部とを形成し、
    前記第２工程において、前記第１配線部のすべての領域を前記振動板の前記一方の表面に形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
14. 前記第４工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記共通電極とともに、この共通電極に対応する第２端子部と、前記共通電極と前記第２端子部とを電気的に接続する第２配線部とを形成することを特徴とする請求項１３に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
15. 前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧を供給する駆動装置を配置するとともに、前記第１端子部及び前記第２端子部と前記駆動装置の出力端子とを接合する第５工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１４に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
16. 前記第２工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記駆動装置の入力端子と接合される接続端子であって、前記駆動装置とこの駆動装置を制御する制御装置とを電気的に接続する為の接続端子をさらに形成することを特徴とする請求項１５に記載の圧電アクチュエータの製造方法。

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