JP2005039985A - 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド - Google Patents
圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005039985A JP2005039985A JP2003399334A JP2003399334A JP2005039985A JP 2005039985 A JP2005039985 A JP 2005039985A JP 2003399334 A JP2003399334 A JP 2003399334A JP 2003399334 A JP2003399334 A JP 2003399334A JP 2005039985 A JP2005039985 A JP 2005039985A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- ceramic layer
- electrode
- piezoelectric actuator
- piezoelectric ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14459—Matrix arrangement of the pressure chambers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
Abstract
【解決手段】振動板12上に、内部電極15、圧電セラミック層11および表面電極17がこの順に積層され、表面電極17が圧電セラミック層11の表面に複数形成され、圧電セラミック層11の表面には、各表面電極17から圧電セラミック層11の端部まで延設された引出電極18が形成されている圧電アクチュエータ21である。
【選択図】 図1
Description
(1) 振動板上に、内部電極、圧電セラミック層および表面電極がこの順に積層され、前記表面電極が前記圧電セラミック層の表面に複数形成された圧電アクチュエータであって、前記圧電セラミック層の表面には、各表面電極から前記圧電セラミック層の端部まで延設された引出電極が形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
(2) 前記引出電極に対向する位置には、前記内部電極が形成されていない(1)記載の圧電アクチュエータ。
(3) 振動板上に、内部電極、圧電セラミック層および表面電極がこの順に積層された圧電アクチュエータであって、前記圧電セラミック層の表面には、相互に絶縁された複数の短冊状の表面電極が形成され、前記振動板と圧電セラミック層との間には、相互に絶縁された複数の短冊状の内部電極が、前記圧電セラミック層を介して前記表面電極と立体交差するように形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
(4) 厚みが100μm以下である(1)〜(3)のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
(5) 前記振動板と前記圧電セラミック層とが略同一の材料からなる(1)〜(4)のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
(6) 前記(1)〜(5)のいずれかに記載の圧電アクチュエータを、インク吐出孔を有する複数のインク流路が配列された流路部材上に、前記インク流路と前記表面電極との位置を揃えて取り付けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
図1(a)は、第1の実施形態の圧電アクチュエータを示す平面図であり、図1(b)はそのA−A線断面図である。この圧電アクチュエータ21は、振動板12上に、内部電極15、圧電セラミック層11および表面電極17がこの順に積層され、表面電極17が圧電セラミック層11の表面に複数形成されたものである。
(a) まず、前記した圧電性セラミックスの原料粉末を主成分とするグリーンシートを必要枚数作製する。
(b) ついで、(a)で作製したグリーンシートのうち、一部のグリーンシートにビア電極を形成するための貫通孔を形成する。貫通孔が形成されたグリーンシートにスクリーン印刷によりビア電極となる導体を充填する。また、内部電極15を形成するグリーンシートの表面には、引出電極18に対向する位置を除く部分に、スクリーン印刷により内部電極パターンを形成する。
(c) ついで、(a)および(b)で作製したグリーンシートを、図1に示す構成となるように積層して積層体を形成する。
(d) さらに、この積層体を所定の形状に切断した後、900〜1100℃程度で焼成して圧電アクチュエータ本体を形成する。
(e) 最後に、この圧電セラミック層11の表面にスクリーン印刷により導電ペーストを印刷して所定の位置に表面電極パターン、引出電極パターンおよびパッド部パターンを形成し、600〜850℃程度で熱処理する。これにより圧電アクチュエータ21を得ることができる。なお、表面電極17、引出電極18およびパッド部22は、圧電アクチュエータ本体と同時焼成して形成することもできる。
図3(a)は、第2の実施形態の圧電アクチュエータを備えたインクジェット記録ヘッドを示す平面図であり、図3(b)はそのB−B線断面図である。このインクジェット記録ヘッドは、圧電アクチュエータ51を、前記したインク吐出孔33を有する複数のインク流路32が配列された流路部材31上に、インク流路32と表面電極47との位置を揃えて取り付けたものである。
12,42 振動板
15,45 内部電極
17,47 表面電極
18 引出電極
19,49 ビア電極
21,51 圧電アクチュエータ
22,53,54 パッド部
48,52 外部配線
31 流路部材
32 インク流路
33 インク吐出孔
Claims (6)
- 振動板上に、内部電極、圧電セラミック層および表面電極がこの順に積層され、前記表面電極が前記圧電セラミック層の表面に複数形成された圧電アクチュエータであって、
前記圧電セラミック層の表面には、各表面電極から前記圧電セラミック層の端部まで延設された引出電極が形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記引出電極に対向する位置には、前記内部電極が形成されていない請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 振動板上に、内部電極、圧電セラミック層および表面電極がこの順に積層された圧電アクチュエータであって、
前記圧電セラミック層の表面には、相互に絶縁された複数の短冊状の表面電極が形成され、
前記振動板と圧電セラミック層との間には、相互に絶縁された複数の短冊状の内部電極が、前記圧電セラミック層を介して前記表面電極と立体交差するように形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 厚みが100μm以下である請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記振動板と前記圧電セラミック層とが略同一の材料からなる請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の圧電アクチュエータを、インク吐出孔を有する複数のインク流路が配列された流路部材上に、前記インク流路と前記表面電極との位置を揃えて取り付けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003399334A JP4456357B2 (ja) | 2003-06-30 | 2003-11-28 | 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003189033 | 2003-06-30 | ||
JP2003399334A JP4456357B2 (ja) | 2003-06-30 | 2003-11-28 | 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005039985A true JP2005039985A (ja) | 2005-02-10 |
JP4456357B2 JP4456357B2 (ja) | 2010-04-28 |
Family
ID=34220537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003399334A Expired - Fee Related JP4456357B2 (ja) | 2003-06-30 | 2003-11-28 | 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4456357B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010208137A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
JP2010208138A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
JP2010208136A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
JP2011104850A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置 |
-
2003
- 2003-11-28 JP JP2003399334A patent/JP4456357B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010208137A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
JP2010208138A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
JP2010208136A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
JP2011104850A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4456357B2 (ja) | 2010-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007097280A (ja) | 圧電アクチュエータおよびその製造方法、並びにインクジェット記録ヘッド | |
JP2006231909A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2006187188A (ja) | 圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 | |
JP4594262B2 (ja) | 吐出デバイス | |
JP2004304025A (ja) | 圧電アクチュエータ、インクジェット記録ヘッドおよびこれらの製造方法 | |
JP2004096068A (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエータ、及び、液体噴射ヘッド | |
JP2008290409A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
US7517062B2 (en) | Liquid discharge device | |
JP4456357B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド | |
JP5260900B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP2007268838A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP4348418B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド | |
JP2004336981A (ja) | 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド | |
JP4445719B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド | |
JP3355738B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2007267550A (ja) | 圧電アクチュエータおよびその分極方法 | |
JP4583117B2 (ja) | 液体噴出装置及びインクジェットヘッド | |
JP4833510B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
JP4593905B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびその製造方法、並びに液体吐出装置 | |
JP5096659B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよび印刷ヘッド | |
JP2005246973A (ja) | 圧電アクチュエータ及びインクジェット記録ヘッド | |
JP2006304588A (ja) | 圧電アクチュエータ、液体移送装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP2005039986A (ja) | 圧電アクチュエータおよびこれを備えたインクジェット記録ヘッド | |
JP4307164B2 (ja) | 液体吐出装置及びその浮遊容量の補正方法 | |
JP2007123585A (ja) | 圧電アクチュエータおよびその製造方法、並びにインクジェットヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100112 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100205 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140212 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |