JP2010208137A - 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室と、該圧力室とオーバーラップした第1領域33を有する振動板と、前記第1領域33において、第1の方向200に延びた上面42と、前記第1の方向200における一方の端面41とを有する第1の導電層40と、該第1の導電層40を覆うように形成された圧電体層と、前記第1の方向200に直交する第2の方向において、前記第1領域33における圧電体層を覆うように形成された第2の導電層60と、を有し、前記第1領域33内の前記第1の方向200において、前記第2の導電層60は、2つの端面61、62を有し、該2つの端面61、62は、前記第1の導電層40の上面42とオーバーラップするように配置される。
【選択図】図2(C)
Description
液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室を有する圧力室板と、
前記圧力室板の上方に形成された振動板であって、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、前記圧力室とオーバーラップした第1領域を有する振動板と、
前記第1領域において、第1の方向に延びた上面と、前記第1の方向における一方の端面とを有する第1の導電層と、
前記第1の導電層を覆うように形成された圧電体層と、
前記第1の方向に直交する第2の方向において、前記第1領域における前記圧電体層を覆うように形成された第2の導電層と、
を有し、
前記第1領域内の前記第1の方向において、前記第2の導電層は、2つの端面を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面は、前記第1の導電層の前記上面とオーバーラップするように配置される。
液体を噴射するためのノズル孔に連通した複数の圧力室を有する圧力室板と、
前記圧力室板の上方に形成された振動板であって、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、複数の前記圧力室とそれぞれオーバーラップした第1領域を有する振動板と、
複数の前記第1領域において、それぞれ第1の方向に延びた上面と、前記第1の方向における一方の端面とを有した第1の導電層と、
複数の前記第1の導電層をそれぞれ覆うように形成された圧電体層と、
前記第1の方向に直交する第2の方向において、前記第1領域における複数の前記圧電体層を覆うように連続して形成された第2の導電層と、
を有し、
前記第1領域内の前記第1の方向において、前記第2の導電層は、2つの端面を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面は、前記第1の導電層の前記上面とオーバーラップするように配置される。
前記第1の導電層は、前記第1領域内に形成された第1導電部と、前記第1領域外において、前記第1導電部から前記第1の方向の一方に延びた第2導電部と、前記第1導電部から前記第2導電部と反対側に延びた第3導電部と、を有し、
前記第3導電部の第1の方向における端面は、前記第1の導電層の前記端面であってもよい。
前記第1の導電層は、前記第1領域内に形成された第1導電部と、前記第1領域外において、前記第1導電部から前記第1の方向の一方に延びた第2導電部と、を有し、
前記第1導電部の第1の方向における端面は、前記第1の導電層の前記端面であってもよい。
前記第1領域内における前記第2の導電層の前記第1の方向における幅は、前記第1の導電層の前記第1導電部の前記第1の方向における幅より小さくてもよい。
前記第1の導電層の前記端面は、テーパー状の側面であってもよい。
前記第2の導電層は、前記第1の導電層の前記端面とオーバーラップする開口部を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面のうち、前記第1の導電層の前記端面が形成される側の端面が、前記開口部の一部を構成してもよい。
前記圧電体層は、前記第2の導電層と離間し、前記第1の導電層の前記第2導電部上に位置した開口部を有し、
少なくとも前記開口部を覆うように形成された第3の導電層と、
前記第3の導電層と電気的に接続された第4の導電層と、
をさらに含んでいてもよい。
上記のいずれかの液体噴射ヘッドを有する。
圧力室を有する圧力室板を形成する工程と、
前記圧力室板の上方に形成される振動板であって、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、前記圧力室とオーバーラップする第1領域を有した振動板を形成する工程と、
前記第1領域において、第1の方向に延びる上面と、前記第1の方向における一方の端面とを有するように第1の導電層を形成する工程と、
前記第1の導電層を覆うように圧電体層を形成する工程と、
前記第1の方向に直交する第2の方向において、前記第1領域における前記圧電体層を覆うように第2の導電層を形成する工程と、
を有し、
前記第2の導電膜を形成する工程において、前記第2の導電層は、前記第1領域内において前記第1の方向の2つの端面を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面は、前記第1の導電層の前記上面にオーバーラップするように形成される。
複数の圧力室を有する圧力室板を形成する工程と、
前記圧力室板の上方に形成される振動板であって、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、複数の前記圧力室とそれぞれオーバーラップする第1領域を有した振動板を形成する工程と、
複数の前記第1領域において、第1の方向に延びる上面と、前記第1の方向における一方の端面とを有するように、第1の導電層をそれぞれ形成する工程と、
複数の前記第1の導電層を覆うように、圧電体層をそれぞれ形成する工程と、
前記第1の方向に直交する第2の方向において、前記第1領域における前記圧電体層を覆うように第2の導電層を連続して形成する工程と、
を有し、
前記第2の導電膜を形成する工程において、前記第2の導電層は、前記第1領域内において前記第1の方向の2つの端面を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面は、前記第1の導電層の前記上面にオーバーラップするように形成される。
前記第1の導電層を形成する工程は、前記第1領域内に第1導電部を形成する工程を含み、
前記第2の導電膜を形成する工程において、前記第1領域内の前記第2の導電層の前記第1の方向における幅を、前記第1導電部の前記第1の方向における幅より小さく形成してもよい。
前記第1の導電層を形成する工程は、
前記第1領域上に導電層を形成する工程と、
前記導電層の上にエッチング保護膜を形成する工程と、
前記エッチング保護膜を形成した後に前記導電層をエッチングする工程を含み、
前記エッチング保護膜は、前記圧電体層を形成する材料が用いられてもよい。
前記圧電体層を形成する工程は、
少なくとも前記第1の導電膜を覆うようにエッチング処理前の圧電体層を形成する工程と、
エッチング処理前の前記圧電体層の上に導電性を有するマスク層を形成する工程と、
前記マスク層を形成した後に前記圧電体層をエッチングする工程を含み、
前記マスク層は、前記第2の導電層を形成する材料が用いられてもよい。
以下、図面を参照して、本実施形態に係る液体噴射ヘッドについて説明する。
以下、図面を参照して、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法について説明する。
次に、本実施形態に係る液体噴射装置について説明する。本実施形態に係る液体噴射装置は、本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。ここでは、本実施形態に係る液体噴射装置1000がインクジェットプリンターである場合について説明する。図12は、本実施形態に係る液体噴射装置1000を模式的に示す斜視図である。
14 連通路、15 リザーバ、20 ノズル板、21 ノズル孔、30 振動板、
31 第1の面、32 第2の面、33 第1領域、33a 第1の辺、
33b 第2の辺、40 第1の導電層、41 端面、42 上面、43 第1導電部、
44 第2導電部、45 第3導電部、50 圧電体層、50a エッチング保護膜、
50b 圧電体層、50c 中間チタン層、51 上面、52 側面、53 面、
54 開口部、55 駆動領域、55a 端部、55b 端部、60 第2の導電層、
60a 導電層、60b 導電層、61 端面62 端面、
63 開口部、67 第3の導電層、70 第4の導電層、80 保護膜、
90 封止板、91 封止領域、100 圧電素子、
200 第1の方向、210 第2の方向、300 液体噴射ヘッド、
1000 液体噴射装置、1010 駆動部、1020 装置本体、1021 トレイ、
1022 排出口、1030 ヘッドユニット、1031 インクカートリッジ、
1032 キャリッジ、1041 キャリッジモータ、1042 往復動機構、
1043 タイミングベルト、1044 キャリッジガイド軸、1050 給紙部、
1051 給紙モータ、1052 給紙ローラ、1060 制御部、
1070 操作パネル
Claims (14)
- 液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室を有する圧力室板と、
前記圧力室板の上方に形成された振動板であって、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、前記圧力室とオーバーラップした第1領域を有する振動板と、
前記第1領域において、第1の方向に延びた上面と、前記第1の方向における一方の端面とを有する第1の導電層と、
前記第1の導電層を覆うように形成された圧電体層と、
前記第1の方向に直交する第2の方向において、前記第1領域における前記圧電体層を覆うように形成された第2の導電層と、
を有し、
前記第1領域内の前記第1の方向において、前記第2の導電層は、2つの端面を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面は、前記第1の導電層の前記上面とオーバーラップするように配置される液体噴射ヘッド。 - 液体を噴射するためのノズル孔に連通した複数の圧力室を有する圧力室板と、
前記圧力室板の上方に形成された振動板であって、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、複数の前記圧力室とそれぞれオーバーラップした第1領域を有する振動板と、
複数の前記第1領域において、それぞれ第1の方向に延びた上面と、前記第1の方向における一方の端面とを有した第1の導電層と、
複数の前記第1の導電層をそれぞれ覆うように形成された圧電体層と、
前記第1の方向に直交する第2の方向において、前記第1領域における複数の前記圧電体層を覆うように連続して形成された第2の導電層と、
を有し、
前記第1領域内の前記第1の方向において、前記第2の導電層は、2つの端面を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面は、前記第1の導電層の前記上面とオーバーラップするように配置される液体噴射ヘッド。 - 請求項1または請求項2において、
前記第1の導電層は、前記第1領域内に形成された第1導電部と、前記第1領域外において、前記第1導電部から前記第1の方向の一方に延びた第2導電部と、前記第1導電部から前記第2導電部と反対側に延びた第3導電部と、を有し、
前記第3導電部の第1の方向における端面は、前記第1の導電層の前記端面である液体噴射ヘッド。 - 請求項1または請求項2において、
前記第1の導電層は、前記第1領域内に形成された第1導電部と、前記第1領域外において、前記第1導電部から前記第1の方向の一方に延びた第2導電部と、を有し、
前記第1導電部の第1の方向における端面は、前記第1の導電層の前記端面である液体噴射ヘッド。 - 請求項1または請求項4において、
前記第1領域内における前記第2の導電層の前記第1の方向における幅は、前記第1の導電層の前記第1導電部の前記第1の方向における幅より小さい、液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項において、
前記第1の導電層の前記端面は、テーパー状の側面である液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項において、
前記第2の導電層は、前記第1の導電層の前記端面とオーバーラップする開口部を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面のうち、前記第1の導電層の前記端面が形成される側の端面が、前記開口部の一部を構成する液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項において、
前記圧電体層は、前記第2の導電層と離間し、前記第1の導電層の前記第2導電部上に位置した開口部を有し、
少なくとも前記開口部を覆うように形成された第3の導電層と、
前記第3の導電層と電気的に接続された第4の導電層と、
をさらに含む液体噴射ヘッド。 - 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドを有する、液体噴射装置。
- 圧力室を有する圧力室板を形成する工程と、
前記圧力室板の上方に形成される振動板であって、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、前記圧力室とオーバーラップする第1領域を有した振動板を形成する工程と、
前記第1領域において、第1の方向に延びる上面と、前記第1の方向における一方の端面とを有するように第1の導電層を形成する工程と、
前記第1の導電層を覆うように圧電体層を形成する工程と、
前記第1の方向に直交する第2の方向において、前記第1領域における前記圧電体層を覆うように第2の導電層を形成する工程と、
を有し、
前記第2の導電膜を形成する工程において、前記第2の導電層は、前記第1領域内において前記第1の方向の2つの端面を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面は、前記第1の導電層の前記上面にオーバーラップするように形成される液体噴射ヘッドの製造方法。 - 複数の圧力室を有する圧力室板を形成する工程と、
前記圧力室板の上方に形成される振動板であって、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、複数の前記圧力室とそれぞれオーバーラップする第1領域を有した振動板を形成する工程と、
複数の前記第1領域において、第1の方向に延びる上面と、前記第1の方向における一方の端面とを有するように、第1の導電層をそれぞれ形成する工程と、
複数の前記第1の導電層を覆うように、圧電体層をそれぞれ形成する工程と、
前記第1の方向に直交する第2の方向において、前記第1領域における前記圧電体層を覆うように第2の導電層を連続して形成する工程と、
を有し、
前記第2の導電膜を形成する工程において、前記第2の導電層は、前記第1領域内において前記第1の方向の2つの端面を有し、
前記第2の導電層の前記2つの端面は、前記第1の導電層の前記上面にオーバーラップするように形成される液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項10または請求項11において、
前記第1の導電層を形成する工程は、前記第1領域内に第1導電部を形成する工程を含み、
前記第2の導電膜を形成する工程において、前記第1領域内の前記第2の導電層の前記第1の方向における幅を、前記第1導電部の前記第1の方向における幅より小さく形成する液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項10から請求項12のいずれか1項において、
前記第1の導電層を形成する工程は、
前記第1領域上に導電層を形成する工程と、
前記導電層の上にエッチング保護膜を形成する工程と、
前記エッチング保護膜を形成した後に前記導電層をエッチングする工程を含み、
前記エッチング保護膜は、前記圧電体層を形成する材料が用いられる液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項10から請求項13のいずれか1項において、
前記圧電体層を形成する工程は、
少なくとも前記第1の導電膜を覆うようにエッチング処理前の圧電体層を形成する工程と、
エッチング処理前の前記圧電体層の上に導電性を有するマスク層を形成する工程と、
前記マスク層を形成した後に前記圧電体層をエッチングする工程を含み、
前記マスク層は、前記第2の導電層を形成する材料が用いられる液体噴射ヘッドの製造方法。
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