JP2005053080A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 構造を簡略化して製造コストを低減でき、且つコンプライアンス部を構成する膜の破壊を防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室12が形成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300を具備する液体噴射ヘッドにおいて、流路形成基板10に設けられると共に各圧力発生室12に連通するリザーバ部13によって少なくとも一部が構成されるリザーバ100を有すると共に、リザーバ100が形成された基板の一方の開口をコンプライアンス部材40で封止したコンプライアンス部41を形成し、コンプライアンス部41のリザーバ100の開口縁部近傍に、コンプライアンス部材40の厚さがリザーバ100の中央部よりも薄い薄膜部42を設ける。
【選択図】 図2

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板の表面に圧電素子を形成して、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの2種類が実用化されている。
前者は圧電素子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を変化させることができて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難であるという問題がある。
一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消すべく、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものがある。
このようなインクジェット式記録ヘッドは、一般に、各圧力発生室の共通のインク室となるリザーバを有し、このリザーバから各圧力発生室にインクが供給される。そして、このリザーバにはリザーバの内部圧力を一定に保つために、例えば、樹脂材料からなるシート部材(フィルム)あるいは薄膜によって形成され、圧電素子の駆動時の圧力変化を吸収するコンプライアンス部が設けられたものがある(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、シート部材でコンプライアンス部を形成する場合、部品点数が増加し、コストが高くなってしまうという問題がある。また、コンプライアンス部を形成するシート部材として用いられる、例えば、ポリフェニレンサルファイド(PPS)等の樹脂フィルムは、水分透過性が高いため、リザーバ内のインクの水分がコンプライアンス部から外部に排出されインクの粘度が増加してしまうという問題もある。
また、コンプライアンス部を薄膜で形成したものもあるが、薄膜の支持部近傍、すなわち、コンプライアンス部の周縁部近傍で、応力集中による薄膜の破壊が発生する虞がある。なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外の液滴を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。
特開2000−296616号公報(第2図、第7図、第8頁右欄、第10頁左欄)
本発明はこのような事情に鑑み、構造を簡略化して製造コストを低減でき、且つコンプライアンス部を構成する膜の破壊を防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
上記課題を解決する本発明の第1の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備する液体噴射ヘッドにおいて、前記流路形成基板に設けられると共に各圧力発生室に連通するリザーバ部によって少なくとも一部が構成されるリザーバを有すると共に、該リザーバが形成された基板の一方の開口にコンプライアンス部材で封止されたコンプライアンス部が形成され、該コンプライアンス部の前記リザーバの開口縁部近傍に、前記コンプライアンス部材の厚さが当該リザーバの中央部よりも薄い薄膜部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第1の態様では、薄膜部を設けることで、コンプライアンス部が変形した際の応力集中を抑えられ、応力集中に伴うコンプライアンス部材の破壊が防止される。
本発明の第2の態様は、第1の態様において、前記薄膜部が所定幅で前記リザーバの周縁に沿って全周に亘って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第2の態様では、コンプライアンス部が変形する際の応力集中をより確実に抑えることができる。
本発明の第3の態様は、第2の態様において、前記薄膜部の外側に少なくとも当該薄膜部よりも膜厚の厚い厚膜部を有し、当該厚膜部が前記リザーバの開口縁部外側の領域から当該リザーバ部の開口領域に臨むように設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第3の態様では、最も応力が集中しやすいリザーバの開口縁部上に厚膜部が設けられてコンプライアンス部材の剛性が確保されているため、コンプライアンス部材の破壊がより確実に防止される。
本発明の第4の態様は、第1〜3の何れかの態様において、前記リザーバが、少なくとも前記流路形成基板に形成されるリザーバ部で構成され、前記コンプライアンス部が前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第4の態様では、薄膜で構成されるコンプライアンス部を比較的容易に形成することができる。
本発明の第5の態様は、第4の態様において、前記リザーバが、前記リザーバ部と前記流路形成基板の前記圧電素子とは反対側の面に接合される連通板に設けられた連通部とで構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第5の態様では、リザーバの容積が広がることで各圧力発生室に良好に液体が供給されるため、吐出特性が向上する。
本発明の第6の態様は、第1〜5の何れかの態様において、前記コンプライアンス部材が、前記振動板及び前記圧電素子を構成する層からなることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第6の態様では、別途、膜を設けることなく薄膜で構成されるコンプライアンス部を容易に形成することができる。
本発明の第7の態様は、第6の態様において、前記薄膜部が少なくとも前記振動板を構成する層で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第7の態様では、薄膜部の強度を確保しつつ応力集中を防止することができる。
本発明の第8の態様は、第1〜3の何れかの態様において、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に当該圧電素子を封止する圧電素子保持部を有する封止基板が接合され、前記リザーバが、前記リザーバ部と前記封止基板を貫通して設けられた連通部とで構成されていると共に、前記コンプライアンス部が前記封止基板の表面に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第8の態様では、容積の広いリザーバを形成でき、且つ薄膜で構成されるコンプライアンス部を容易に形成することができる。
本発明の第9の態様は、第8の態様において、前記封止基板上には絶縁膜を介して配線パターンが設けられており、前記コンプライアンス部材が、前記絶縁膜と前記配線パターンを構成する配線膜とからなることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第9の態様では、封止基板上に別途、膜を設けることなく薄膜で構成されるコンプライアンス部を形成できる。
本発明の第10の態様は、第1〜9の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第10の態様では、ヘッドの破壊が防止され、耐久性及び信頼性が向上した液体噴射装置を実現できる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及び断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ1〜2μmの弾性膜50が形成されている。流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域にはリザーバ部13が形成され、リザーバ部13と各圧力発生室12とが、各圧力発生室12毎に設けられたインク供給路14を介して連通されている。なお、圧力発生室12、リザーバ部13及びインク供給路14は、流路形成基板10を厚さ方向に貫通して設けられている。また、インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、リザーバ部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
流路形成基板10の開口面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の端部近傍と後述するノズル開口とを連通するノズル連通孔21を有する連通板20が接合されている。また、連通板20には、流路形成基板10のリザーバ部13に対向する領域に、厚さ方向に貫通する連通部22が形成され、この連通部22は流路形成基板10のリザーバ部13と連通している。そして、これらリザーバ部13と連通部22とが、各圧力発生室12の共通のインク室であるリザーバ100を構成している。なお、この連通板20の材料は、特に限定されないが、本実施形態では、シリコン単結晶基板を用いた。
さらに、この連通板20上には、各圧力発生室12に対応するノズル開口26が穿設されたノズルプレート25が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート25は、厚さが例えば、0.05〜1mmで、線膨張係数が300℃以下で、例えば2.5〜4.5[×10-6/℃]であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又は不錆鋼などからなる。
一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約1.0μmの弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、厚さが例えば、約0.4μmの絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、厚さが例えば、約0.2μmの下電極膜60と、厚さが例えば、約1.0μmの圧電体層70と、厚さが例えば、約0.05μmの上電極膜80とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子300を構成している。ここで、圧電素子300は、下電極膜60、圧電体層70及び上電極膜80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層70から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜60は圧電素子300の共通電極とし、上電極膜80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子300と当該圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。
また、このような各圧電素子300を構成する上電極膜80には、例えば、金(Au)等からなるリード電極90が接続されており、このリード電極90は、圧力発生室12に対向する領域からその外側の領域まで延設され、その先端部が後述する封止基板の貫通孔内に露出されている。
また、流路形成基板10のリザーバ部13に対応する領域には、薄膜からなるコンプライアンス部材40が設けられて、リザーバ部13の一方の開口はこのコンプライアンス部材40によって封止されている。そして、このコンプライアンス部材40のリザーバ部13に対向する領域がコンプライアンス部41となっている。なお、コンプライアンス部41は、圧電素子300の駆動等によってリザーバ100内で圧力変化が生じた際に弾性変形することで圧力変化を吸収する。
コンプライアンス部材40は、例えば、本実施形態では、振動板及び圧電素子300を構成する層からなる。すなわち、流路形成基板10のリザーバ部13に対向する領域上には、弾性膜50、絶縁体膜55、下電極膜60、圧電体層70及び上電極膜80が設けられ、これらの各層でリザーバ部13の開口が封止されてコンプライアンス部41が形成されている。なお、リザーバ部13に対向する領域の下電極膜60、圧電体層70及び上電極膜80は、圧電素子300とは不連続となっている。
また、リザーバ部13の開口縁部内側のコンプライアンス部材40には、リザーバ部13の中央部よりも膜厚の薄い薄膜部42が所定幅で設けられている。例えば、本実施形態では、コンプライアンス部41の中央部は、上記の5層で構成され、薄膜部42は、振動板となる弾性膜50、絶縁体膜55及び下電極膜60で構成されている。また、薄膜部42は、リザーバ部13の開口縁部に沿って全周に亘って連続的に設けられている。この薄膜部42は、連続的に形成されていることが好ましいが、間欠的に設けられていてもよい。
また、薄膜部42の外側には、少なくとも薄膜部42よりも膜厚の厚い厚膜部43が設けられている。そして、この厚膜部43はリザーバ部13の開口縁部の外側からリザーバ部13の開口領域に臨むように張り出して設けられていることが好ましい。例えば、本実施形態では、薄膜部42の外側に、コンプライアンス部41の中央部と同様に上記5層からなる厚膜部43を設け、その端面はリザーバ部13の開口領域に位置するようにした。
なお、流路形成基板10の圧電素子300側の面には、圧電素子300に対向する領域に、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密封可能な圧電素子保持部31を有する封止基板30が、例えば、エポキシ系の接着剤等からなる接着層110を介して接合されている。また、この封止基板30には、リザーバ部13に対向する領域に、コンプライアンス部41の変形を妨げない程度の深さを有する凹部32が設けられている。このような封止基板30の材料としては、例えば、ガラス、セラミック材料、金属、プラスチック等で形成されていることが好ましく、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料、例えば、シリコン単結晶基板を用いて形成することがより好ましい。
封止基板30上には、例えば、二酸化シリコンからなる絶縁膜35を介して例えば、金(Au)の配線膜36からなる配線パターン37が形成され、この配線パターン37上に圧電素子300を駆動するための駆動IC120が実装されている。なお、封止基板30の圧電素子保持部31と凹部32との間の領域には、封止基板30を厚さ方向に貫通する貫通孔33が設けられており、各圧電素子300から引き出されたリード電極90の先端部はこの貫通孔33内に露出されている。そして、この貫通孔33内に延設される接続配線130によって各リード電極90と駆動IC120とが接続されている。
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ100から ノズル開口26に至るまで内部をインクで満たした後、駆動IC120からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの下電極膜60と上電極膜80との間に電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、下電極膜60及び圧電体層70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まり ノズル開口26からインク滴が吐出する。
以上説明したように、本実施形態では、リザーバ100が形成された基板の一方の開口、すなわち、流路形成基板10に形成されたリザーバ部13の一方の開口を薄膜からなるコンプライアンス部材40で封止してコンプライアンス部41を設けるようにした。これにより、コンプライアンス部41を形成するために別部材を必要とせず部品点数を削減できると共に、製造工程を簡略化でき製造コストを削減することができる。
また、リザーバ100の開口縁部近傍、すなわち、流路形成基板10によって支持されているコンプライアンス部材40の端部近傍は、コンプライアンス部41の変形時に応力が集中して破壊が生じやすい。しかしながら、本実施形態では、コンプライアンス部41の周縁部に薄膜部42を設けるようにしたので、変形時の応力集中に伴うコンプライアンス部材40の破壊を防止することができる。特に、本実施形態では、薄膜部42の外側にリザーバ100の開口領域に臨むように厚膜部43を設け、最も応力が集中しやすい部分の剛性を確保しているため、コンプライアンス部材40の破壊をより確実に防止することができる。さらに、薄膜部42を設けることにより、コンプライアンス部41が変形しやすくなるため、リザーバ100の開口面積を小さくしても十分な変形量を確保できる。したがって、良好なインク吐出特性を確保しつつヘッドの小型化を図ることができる。
(実施形態2)
図3は、実施形態2に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。なお、実施形態1で説明した部材と同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。図3に示すように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、連通部を有する連通板が設けられておらず、リザーバ100Aが、流路形成基板10のリザーバ部13と、封止基板30を貫通して設けられた連通部22Aとで構成されている。そして、この封止基板30の連通部22Aの流路形成基板10とは反対側の開口がコンプライアンス部材40Aによって封止されてコンプライアンス部41Aが形成されている。また、封止基板30に設けられた連通部22Aの開口縁部近傍には、実施形態1と同様に、薄膜部42A及び厚膜部43Aが設けられている。
ここで、本実施形態のコンプライアンス部41Aを構成するコンプライアンス部材40Aは、封止基板30上に設けられている絶縁膜35及び配線パターン37を構成する配線膜36からなる。このようなコンプライアンス部41Aは、例えば、封止基板30を、圧電素子保持部31側の面から絶縁膜35に達するまでエッチングして連通部22Aを形成し、その後配線パターン37を形成する際、連通部22Aに対向する領域に所定形状で配線膜36を残すことで容易に形成できる。なお、このような絶縁膜35は、例えば、1.5μm程度の厚さで形成され、配線膜36は、例えば、2〜3μm程度の厚さで形成される。
このような本実施形態の構成としても、実施形態1と同様、製造コストを削減することができる。また、薄膜部42A及び厚膜部43Aによってコンプライアンス部材40Aの破壊を防止することができる。さらには、ヘッドの小型化も可能となる。
(他の実施形態)
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、薄膜部の外側に厚膜部を設けるようにしたが、これに限定されず、厚膜部は設けずに、薄膜部がリザーバの開口領域の外側まで連続して設けられていてもよい。このような構成としても、勿論、応力集中によるコンプライアンス部材の破壊を防止することはできる。また、上述の各実施形態では、成膜及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型のインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッドにも本発明を採用することができる。
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図4は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図4に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
なお、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
実施形態1に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態1に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。 実施形態2に係る記録ヘッドの断面図である。 一実施形態に係る記録装置の概略図である。
符号の説明
10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 13 リザーバ部、 14 インク供給路、 20 連通板、 21 ノズル連通孔、 22,22A 連通部、 25 ノズルプレート、 26 ノズル開口、 30 封止基板、 31 圧電素子保持部、 35 絶縁膜、 36 配線膜、 40,40A コンプライアンス部材、 41,41A コンプライアンス部、 42,42A 薄膜部、 43,43A 厚膜部、 50 弾性膜、 55 絶縁体膜、 60 下電極膜、 70 圧電体膜、 80 上電極膜、 100 リザーバ、 300 圧電素子

Claims (10)

  1. ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備する液体噴射ヘッドにおいて、
    前記流路形成基板に設けられると共に各圧力発生室に連通するリザーバ部によって少なくとも一部が構成されるリザーバを有すると共に、該リザーバが形成された基板の一方の開口にコンプライアンス部材で封止されたコンプライアンス部が形成され、該コンプライアンス部の前記リザーバの開口縁部近傍に、前記コンプライアンス部材の厚さが当該リザーバの中央部よりも薄い薄膜部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 請求項1において、前記薄膜部が所定幅で前記リザーバの周縁に沿って全周に亘って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  3. 請求項2において、前記薄膜部の外側に少なくとも当該薄膜部よりも膜厚の厚い厚膜部を有し、当該厚膜部が前記リザーバの開口縁部外側の領域から当該リザーバ部の開口領域に臨むように設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  4. 請求項1〜3の何れかにおいて、前記リザーバが、少なくとも前記流路形成基板に形成されるリザーバ部で構成され、前記コンプライアンス部が前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  5. 請求項4において、前記リザーバが、前記リザーバ部と前記流路形成基板の前記圧電素子とは反対側の面に接合される連通板に設けられた連通部とで構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  6. 請求項1〜5の何れかにおいて、前記コンプライアンス部材が、前記振動板及び前記圧電素子を構成する層からなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  7. 請求項6において、前記薄膜部が少なくとも前記振動板を構成する層で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  8. 請求項1〜3の何れかにおいて、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に当該圧電素子を封止する圧電素子保持部を有する封止基板が接合され、前記リザーバが、前記リザーバ部と前記封止基板を貫通して設けられた連通部とで構成されていると共に、前記コンプライアンス部が前記封止基板の表面に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  9. 請求項8において、前記封止基板上には絶縁膜を介して配線パターンが設けられており、前記コンプライアンス部材が、前記絶縁膜と前記配線パターンを構成する配線膜とからなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  10. 請求項1〜9の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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