JP2007097280A - 圧電アクチュエータおよびその製造方法、並びにインクジェット記録ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の個別電極5が、それぞれ変位素子6の変位に寄与する駆動電極5aと、該駆動電極5aの一端に設けられた、外部配線基板と接続するための接続端子5bとを備えると共に、複数の接続端子5bは高さの最大差が4μm以下である圧電アクチュエータ1およびその製造方法、並びにこれを備えたインクジェット記録ヘッドである。
【選択図】図1
Description
本発明の他の課題は、圧電セラミック層表面に高密度に個別電極を配置することが可能な圧電アクチュエータおよびその製造方法を提供することである。
本発明のさらに他の課題は、小型で高速の印画が可能なインクジェット記録ヘッドを提供することである。
(1)振動板上に共通電極および圧電セラミック層がこの順に積層され、さらに前記圧電セラミック層の表面に複数の個別電極を配列して個別電極ごとに変位素子を形成し、前記個別電極のそれぞれに独立して駆動電圧を印加することにより前記変位素子を変位させるようにした圧電アクチュエータであって、前記複数の個別電極が、それぞれ前記変位素子の変位に寄与する駆動電極と、該駆動電極の一端に設けられた、外部配線基板と接続するための接続端子とを備えると共に、複数の接続端子は高さの最大差が4μm以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
(2)前記複数の個別電極が、前記圧電セラミック層の表面に1cm2当り50〜200個の密度で配列されている前記(1)記載の圧電アクチュエータ。
(3)前記接続端子と前記外部配線基板との間に接合層が設けられ、該接合層が異方性導電樹脂ペースト(ACP)または異方性導電フィルム(ACF)からなる前記(1)または(2)記載の圧電アクチュエータ。
(4) 前記異方性導電樹脂ペースト(ACP)および異方性導電フィルム(ACF)が含有する導電性粒子の平均粒子径が20μm以下である前記(1)〜(3)のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
(5)振動板上に共通電極および圧電セラミック層がこの順に積層され、さらに前記圧電セラミック層の表面に、駆動電極と接続端子とを備える個別電極を複数形成し、しかる後に、各接続端子における高さの最大差が4μm以下となるように、前記接続端子の表面に平坦化処理を施すことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
(6)前記平坦化処理が、切削処理、加圧によるレベリング処理および研磨処理から選ばれる少なくとも1種である前記(5)記載の圧電アクチュエータの製造方法。
(7) 前記平坦化処理の後で、前記接続端子の各々の表面に異方性導電樹脂ペースト(ACP)または異方性導電フィルム(ACF)を介して外部配線基板を配置し、ついで、前記異方性導電樹脂ペースト(ACP)または異方性導電フィルム(ACF)を硬化させて前記接続端子と前記外部配線基板との間に接合層を形成する前記(5)または(6)記載の圧電アクチュエータの製造方法。
以下、本発明の圧電アクチュエータの一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図1(a)は、本実施形態の圧電アクチュエータを示す平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A線断面図である。同図に示すように、本実施形態の圧電アクチュエータ1は、振動板2、共通電極3、圧電セラミック層4および個別電極5で構成されており、振動板2上に、共通電極3、圧電セラミック層4および個別電極5をこの順に積層したものである。振動板2と圧電セラミック層4とはシート状の部材で、平面視でほぼ同形状・同サイズを共に有している。
圧電セラミック層4としては、圧電性を示すセラミックスを用いることができ、具体的には、例えばBi層状化合物(層状ペロブスカイト型化合物)、タングステンブロンズ型化合物、Nb系ペロブスカイト型化合物[Nb酸ナトリウムなどのNb酸アルカリ化合物(NAC)、Nb酸バリウムなどのNb酸アルカリ土類化合物(NAEC)]、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)、ニッケルニオブ酸鉛(PNN系)、Pbを含有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸鉛等のペロブスカイト型化合物を含有する物質等が例示できる。
振動板2としては、絶縁性の高いものであればよいが、好ましくは圧電性セラミックスであるのがよく、より好ましくは、上記した圧電セラミック層4と略同一の材料であるのがよい。さらに、圧電アクチュエータ1をインクジェット記録ヘッドに応用する場合、使用されるインクに対する耐腐食性、耐水性等の耐インク性が高い材料がよい。これにより、振動板2と圧電セラミック層4とを同時焼成で作製する際において、圧電アクチュエータ1内の焼成収縮を均等にすることができ、反り変形を抑制することができる。圧電セラミック層4,振動板2の高さは5〜50μm程度、好ましくは10〜30μm程度であるのがよい。
共通電極3としては、導電性を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えばAu、Ag、Pd、Pt、Cu、Alやそれらの合金等を用いることができる。具体的には、例えばAg−Pd合金が例示できる。また、共通電極3の高さは、導電性を有しかつ変位を妨げない程度である必要があり、一般に、0.5〜5μm程度、好ましくは1〜4μmであるのがよい。
個別電極5の駆動電極5a,接続端子5bおよび接続部5cとしては、上記した共通電極と同様に、導電性を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えばAu、Ag、Pd、Pt、Cu、Alやそれらの合金等を用いることができる。特に、駆動電極5aとしてはAuが好ましく、接続端子5bとしてはAgが好ましい。
接続端子5bと外部配線基板の接合には、半田等による接合の他に、異方性導電樹脂ペースト(ACP)や異方性導電フィルム(ACF)等の導電性粒子による接合がある。本発明では、特に、低温で接合することができ、圧電体(圧電セラミック層4)への熱による特性劣化を防止できる上で、ACPまたはACFによる接合が好ましい。ここで、前記異方性導電樹脂ペースト(ACP)とは、異方性導電樹脂をペースト状にしたものを意味し、異方性導電フィルム(ACF)とは、異方性導電樹脂をフィルム状にしたものを意味する。また、前記異方性導電樹脂とは、厚み方向に高い導電性を有しかつ平面方向には高い絶縁性を示す特性を有する樹脂を意味し、例えばアクリル樹脂や、酸無水物硬化型、フェノール硬化型、アミン硬化型などのエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂中に導電性粒子が分散したものであり、導電性粒子としては、例えば金、銀、ニッケル等の金属粒子や表面に金めっき等が施された樹脂粒子等が挙げられる。
次に、本発明の圧電アクチュエータの製造方法について説明する。
(第1の工程)
まず、圧電セラミック層4および振動板2の原料となる圧電性セラミックス原料粉末を準備する。この圧電性セラミックス原料粉末の平均粒子径は1μm以下であることが望ましく、特に0.7μm以下、更には0.6μm以下であるのがよい。圧電性セラミックス原料粉末の平均粒子径を1μm以下にすることにより焼結時の均一な焼成収縮が得られ、均質な圧電セラミック層4および振動板2を得ることができる。この圧電性セラミックス原料粉末と有機バインダ成分を混合し、シート成形用のスラリーを調製する。ついで、この成形用スラリーを用いてロールコータ法、スリットコータ法、ドクターブレード法等の一般的なシート成形法によりセラミックグリーンシートを必要枚数作製する。
次に、上記共通電極で例示した電極材料を含有する共通電極ペーストを作製する。この共通電極ペーストには、電極材料(Au、Agなど)の他、エチルセルロースなどの有機ビヒクルなどの成分が含まれる。そして、上記で作製したセラミックグリーンシートのうち、焼成により振動板2となるグリーンシートの一方の表面に、共通電極3用の電極ペーストをスクリーン印刷等の方法で印刷する。この場合の高さは1〜3μm、高さばらつき(最大値と最小値との差)は0.5〜1μmになるように調整することが望ましい。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を挿入してもよい。
第1の工程および第2の工程で作製したセラミックグリーンシートを積層し、密着させて積層体を作製する。なお、密着を行う手法としては、接着成分の含まれた密着液使用による方法、加熱によりグリーンシート中の有機バインダ成分に接着性を持たせて密着する方法、加圧だけで密着させる方法等が例示できる。
第3の工程で得られた積層体は、必要に応じて脱脂処理して積層体中の有機成分の除去を行った後、(高濃度)酸素雰囲気中において、900〜1200℃において焼成して圧電アクチュエータ本体を得る。なお、第4の工程(焼成工程)においては、第3の工程で得られた積層体をジルコニアもしくはマグネシアからなる試料台板を介して複数段積みにし、さらに、この段積みされた積層体上に重しを置いて焼成することが望ましい。このような方法を採用することにより、圧電アクチュエータ本体の反り変形が抑制され、高さ100μm以下の薄層の焼結体からなる圧電アクチュエータを提供できる。
第4の工程で得られた圧電アクチュエータ本体の表面に、駆動電極5aパターンと接続部5cパターンとをスクリーン印刷等の方法で印刷し、500〜800℃、好ましくは650〜800℃で焼き付け処理を行った後、さらに接続端子5bパターンを上記駆動電極5aパターンおよび接続部5cパターンと同様の方法で印刷し、500〜800℃、好ましくは500〜650℃で焼き付け処理を行うことにより、個別電極5が形成される。ここで、駆動電極5a用、接続端子5b用および接続部5c用の各電極ペーストとしては、上記個別電極で例示した電極材料を主成分とするものが使用できる。
ついで、第5の工程で得られた複数の接続端子5bは、高さの最大差が4μm以下となるように、その表面に平坦化処理を施す。平坦化処理は、前記最大差を4μm以下にできる処理方法であれば、特に限定されるものではないが、本発明では、特に、前記最大差を簡単に効率よくかつ確実に4μm以下にできる上で、ダイヤモンドバイト等による切削処理、プレートを押し当てる加圧によるレベリング処理および研磨プレート等による研磨処理から選ばれる少なくとも1種を用いて行うのが好ましい。なお、前記切削処理、レベリング処理および研磨処理は、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせてもよく、例えば切削処理をした後に、さらにレベリング処理等を行ってもよい。
第6の工程で平坦化処理を施した接続端子5b上にACPを塗布、あるいはACFを貼付し、外部配線基板の接続端子と接続端子5bの位置をあわせ、ついで加圧した状態で温度をかけ、接着剤(ACP,ACF)を硬化させ、接続端子5bと外部配線基板との間にACPまたはACFからなる接合層が形成される。ここで、該接着剤を硬化させる温度としては、例えば100〜150℃程度であるのが好ましい。これにより、半田等による接合に対して接合時の温度が下がるので、圧電体(圧電セラミック層4)への熱による特性劣化が防止される。なお、上記第7の工程では、接合層となるACPあるいはACFを圧電アクチュエータ本体の表面に配置したが、外部配線基板側に予め配置したものを用意してもよい。
本発明の圧電アクチュエータは、上記で説明したように、一基板(振動板)上に複数の変位素子を備えているので、インクジェット方式を利用した記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドに好適に用いることができる。以下、本発明の圧電アクチュエータを備えたインクジェット記録ヘッドの一実施形態について説明する。図2(a)は、本実施形態のインクジェット記録ヘッド示す平面図であり、図2(b)は、図2(a)のB−B線断面図である。なお、図2(a),(b)においては、前述した図1の構成と同一または同等な部分には同一の符号を付して説明は省略する。
<インクジェット記録ヘッドの作成>
まず、図1に示したような構成の圧電アクチュエータを作製した。即ち、平均粒径が0.5μmのPbZrTiO3系粉末を、バインダおよび有機溶剤とともに混合してシート成形用のスラリーを調製し、得られたスラリーを用いてロールコータ法にて高さ15μmのグリーンシート(圧電セラミック層4用および振動板2用)を作製した。
一方、Ag−Pd粉末を、混合比が質量比でAg:Pd=7:3となるように配合し、有機粘結剤と溶媒とを所定量混合して共通電極ペーストを調製した。
上記で得られたインクジェット記録ヘッド(表1中の試料No.1〜5)について、個別電極と外部配線基板との接続信頼性を温度サイクル試験で評価した。評価方法を以下に示すと共に、その結果を表1に示す。
0℃の状態が30分、60℃の状態が30分、サイクル数を100に設定し、100サイクル後の個別電極に対応する圧電体の容量値を測定し、接続不良箇所数を測定した。なお、個別電極および外部配線基板の接続20箇所で評価した。
2 振動板
3 共通電極
4 圧電セラミック層
5 個別電極
5a 駆動電極
5b 接続端子
6 変位素子
16 流路部材
16a インク加圧室
16b 隔壁
18 インク吐出孔
20 インクジェット記録ヘッド
30 外部配線基板
31 異方性導電樹脂ペースト(ACP)
Claims (8)
- 振動板上に共通電極および圧電セラミック層がこの順に積層され、さらに前記圧電セラミック層の表面に複数の個別電極を配列して個別電極ごとに変位素子を形成し、前記個別電極のそれぞれに独立して駆動電圧を印加することにより前記変位素子を変位させるようにした圧電アクチュエータであって、
前記複数の個別電極が、それぞれ前記変位素子の変位に寄与する駆動電極と、該駆動電極の一端に設けられた、外部配線基板と接続するための接続端子とを備えると共に、複数の接続端子は高さの最大差が4μm以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記複数の個別電極が、前記圧電セラミック層の表面に1cm2当り50〜200個の密度で配列されている請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記接続端子と前記外部配線基板との間に接合層が設けられ、該接合層が異方性導電樹脂ペースト(ACP)または異方性導電フィルム(ACF)からなる請求項1または2記載の圧電アクチュエータ。
- 前記異方性導電樹脂ペースト(ACP)および異方性導電フィルム(ACF)が含有する導電性粒子の平均粒子径が20μm以下である請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 振動板上に共通電極および圧電セラミック層がこの順に積層され、さらに前記圧電セラミック層の表面に、駆動電極と接続端子とを備える個別電極を複数形成し、しかる後に、各接続端子における高さの最大差が4μm以下となるように、前記接続端子の表面に平坦化処理を施すことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記平坦化処理が、切削処理、加圧によるレベリング処理および研磨処理から選ばれる少なくとも1種である請求項5記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記平坦化処理の後で、前記接続端子の各々の表面に異方性導電樹脂ペースト(ACP)または異方性導電フィルム(ACF)を介して外部配線基板を配置し、ついで、前記異方性導電樹脂ペースト(ACP)または異方性導電フィルム(ACF)を硬化させて前記接続端子と前記外部配線基板との間に接合層を形成する請求項5または6記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータを、複数のインク加圧室を有する流路部材上に、前記インク加圧室および前記個別電極の位置を揃えて取り付けてなり、前記アクチュエータの個別電極に前記駆動電圧を印加して変位素子を変位させることによって前記インク加圧室の体積を変化させるようにしたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
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