JP4991145B2 - 圧電アクチュエータの検査方法 - Google Patents
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Description
本発明の他の課題は、駆動耐久性に優れた圧電アクチュエータを選別できる検査方法を提供することである。
本発明のさらに他の課題は、駆動耐久性に優れた液体吐出装置を提供することである。
(1)圧電セラミックスからなる圧電振動板の表面上に内部電極および圧電体層がこの順に積層され、さらに前記圧電体層の表面に複数の表面電極を配列して表面電極ごとに変位素子を形成し、前記表面電極のそれぞれに独立して駆動電圧を印加することにより前記変位素子を変位させるようにした圧電アクチュエータであって、前記内部電極をグランド電極とし、前記圧電振動板の裏面を液体と接触させ、該液体に0.5〜60Vの電圧を印加したとき、前記液体と前記グランド電極との間の絶縁抵抗値が100MΩ以上であるとともに、前記液体と前記グランド電極との間に流れる電流値が0.01μA以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
(3)前記液体がインクである前記(1)または(2)記載の圧電アクチュエータ。
(4)前記圧電振動板の厚みが5〜50μmである前記(1)〜(3)のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
以下、本発明の圧電アクチュエータの一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本実施形態の圧電アクチュエータを示す概略断面図である。図2は、本実施形態にかかる液体とグランド電極との間に流れる電流値を説明するための概略説明図である。
圧電体層4としては、圧電性を示すセラミックス(圧電セラミックス)を用いることができ、具体的には、例えばBi層状化合物(層状ペロブスカイト型化合物)、タングステンブロンズ型化合物、Nb系ペロブスカイト型化合物[Nb酸ナトリウムなどのNb酸アルカリ化合物(NAC)、Nb酸バリウムなどのNb酸アルカリ土類化合物(NAEC)]、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)、ニッケルニオブ酸鉛(PNN系)、Pbを含有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸鉛等のペロブスカイト型化合物を含有する物質等が例示できる。
圧電振動板2は圧電セラミックスからなり、上記した圧電体層4と略同一の材料であるのがよい。これにより、圧電振動板2と圧電体層4とを同時焼成する際において、圧電アクチュエータ1内の焼成収縮を均等にすることができ、反り変形を抑制することができる。
内部電極3としては、導電性を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えばAu、Ag、Pd、Pt、Cu、Alやそれらの合金等を用いることができる。具体的には、例えばAg−Pd合金が例示できる。また、内部電極3の厚さは、導電性を有しかつ変位を妨げない程度である必要があり、通常0.5〜5μm程度、好ましくは1〜4μmであるのがよい。
表面電極5としては、上記した内部電極3と同様に導電性を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えばAu、Ag、Pd、Pt、Cu、Alやそれらの合金等を用いることができる。また、表面電極5の厚さは、導電性を有しかつ変位を妨げない程度である必要があり、例えば0.1〜2μm程度、好ましくは0.1〜0.5μm、より好ましくは0.1〜0.3μmであるのがよい。
次に、上記で説明した圧電アクチュエータ1の製造方法について説明する。
(第1の工程)
まず、圧電体層4および圧電振動板2の原料となる圧電セラミックス原料粉末を準備する。この圧電セラミックス原料粉末の平均粒子径は1μm以下であることが望ましく、特に0.7μm以下、更には0.6μm以下であるのがよい。圧電セラミックス原料粉末の平均粒子径を1μm以下にすることにより、焼結時において、均一な焼成収縮が得られ、均質な圧電体層4および圧電振動板2を得ることができる。この圧電セラミックス原料粉末と有機バインダ成分を混合し、シート成形用のスラリーを調製する。ついで、この成形用スラリーを用いてロールコータ法、スリットコータ法、ドクターブレード法等の一般的なシート成形法によりセラミックグリーンシートを必要枚数作製する。
次に、上記内部電極で例示した電極材料を含有する内部電極ペーストを作製する。この内部電極ペーストには、電極材料(Au、Agなど)の他、エチルセルロースなどの有機ビヒクルなどの成分が含まれる。そして、上記で作製したセラミックグリーンシートのうち、焼成により圧電振動板2となるグリーンシートの一方の表面に、内部電極3用の電極ペーストをスクリーン印刷等の方法で印刷する。この場合の厚さは1〜3μm、ばらつき(最大値と最小値との差)は0.5〜1μmになるように調整することが望ましい。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を挿入してもよい。
第1の工程および第2の工程で作製したセラミックグリーンシートを積層し、密着させて積層体を作製する。なお、密着を行う手法としては、接着成分の含まれた密着液を使用する方法、加熱によりグリーンシート中の有機バインダ成分に接着性を持たせて密着する方法、加圧のみで密着させる方法等が例示できる。
第3の工程で得られた積層体は、必要に応じて脱脂処理して積層体中の有機成分の除去を行った後、(高濃度)酸素雰囲気中において、900〜1200℃において焼成して積層焼結体を得る。なお、第4の工程(焼成工程)においては、第3の工程で得られた積層体をジルコニアもしくはマグネシアからなる試料台板を介して複数段積みにし、さらに、この段積みされた積層体上に重しを置いて焼成することが望ましい。このような方法を採用することにより、積層焼結体の反り変形が抑制され、厚さ100μm以下の薄層の焼結体からなる圧電アクチュエータを提供できる。
次に、上記表面電極で例示した電極材料を含有する表面電極ペーストを作製し、該ペーストを用いて、第4の工程で得られた積層焼結体の表面に表面電極パターンをスクリーン印刷等の方法で印刷する。そして、500〜800℃、好ましくは650〜800℃で焼き付け処理を行うことにより、表面電極5が形成される。そして、圧電体層4を分極して積層圧電体である圧電アクチュエータ1が得られる。
次に、本発明にかかる圧電アクチュエータの検査方法の一実施形態について、上記で説明した圧電アクチュエータ1を用いて説明する。この検査方法は、図2に示すように、内部電極3をグランド電極とし、圧電振動板2の裏面を液体10と接触させ、該液体10に電圧を印加したとき、液体10とグランド電極との間に流れる電流値を測定する。これにより、駆動耐久性に優れた圧電アクチュエータ1を選別することができる。
本発明の圧電アクチュエータは、上記で説明したように、一基板(圧電振動板)上に複数の変位素子を備えているので、インクジェット記録ヘッド等の液体吐出装置に好適に用いることができる。以下、本発明の圧電アクチュエータを備えた液体吐出装置の一実施形態について説明する。図3は、本実施形態の液体吐出装置を示す概略断面図である。なお、図3においては、前述した図1および図2の構成と同一または同等な部分には同一の符号を付して説明は省略する。
[実施例]
<圧電アクチュエータの製造>
図1に示したような構成の圧電アクチュエータを製造した。具体的には、まず、圧電セラミックス粉末(PbZrTiO3系粉末、平均粒径0.5μm)に、有機バインダ成分および有機溶剤を加え、混合してシート成形用のスラリーを調製した。このスラリーを用いて、ロールコータ法にて圧電体層用グリーンシートを厚さ40μmで調製した。
なお、各圧電アクチュエータの厚みは、100μm以下であった。
(電流値および絶縁抵抗値の測定方法)
各圧電アクチュエータを図2に示す状態にした。すなわち、液体としてインク(水性染料インク)を用い、内部電極をグランド電極とし、圧電振動板の裏面を液体(インク)と接触させた状態で、液体(インク)に表1〜表3に示す所定の印加電圧を印加した際に、液体(インク)とグランド電極との間に流れる電流値および絶縁抵抗値を測定した。
上記で得られた各圧電アクチュエータについて、内部電極と圧電振動板との剥離の発生の有無を評価した。評価方法を以下に示すと共に、その結果を表1〜表3に示す。
各圧電アクチュエータを図2に示す状態にした。すなわち、液体としてインク(水性染料インク)を用い、内部電極をグランド電極とし、圧電振動板の裏面を液体(インク)と接触させ、該液体(インク)に表1〜表3に示す印加電圧を600秒印加し、内部電極と圧電振動板との剥離の発生の有無を目視観察により評価した(直流、連続10分通電試験)。なお、評価基準は以下のように設定した。
評価基準
○:剥離しない
×:剥離した
2 圧電振動板
3 内部電極
4 圧電体層
5 表面電極
6 変位素子
16 流路部材
16a 液体流路
16b 隔壁
18 液体吐出孔
20 液体吐出装置
Claims (2)
- 圧電セラミックスからなる厚さ5〜50μmの圧電振動板の表面上に内部電極および圧電体層がこの順に積層され、さらに前記圧電体層の表面に複数の表面電極を配列して表面電極ごとに変位素子を形成し、前記表面電極のそれぞれに独立して駆動電圧を印加することにより前記変位素子を変位させるようにした圧電アクチュエータの検査方法であって、
前記内部電極をグランド電極とし、前記圧電振動板の裏面を液体と接触させ、該液体に電圧を印加したとき、前記液体とグランド電極との間に流れる電流値を測定するとともに、
前記電圧が、前記変位素子を変位させる前記駆動電圧に相当するものであり、かつ0.5〜60VのDC電圧であり、
前記電流値が、0.01μA以下であるときに良品と判定することを特徴とする圧電アクチュエータの検査方法。 - 前記圧電アクチュエータの厚さが100μm以下である請求項1記載の圧電アクチュエータの検査方法。
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