JP4565823B2 - 圧電アクチュエータ用導電ペースト、圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 - Google Patents
圧電アクチュエータ用導電ペースト、圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 Download PDFInfo
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、yが49〜98.9モル%、zが0.1〜40モル%を満足することを特徴とする。
、yが49〜98.9モル%、zが0.1〜40モル%を満足することを特徴とする。
1・・・圧電アクチュエータ
2・・・振動板
3・・・流路部材
3a・・・液体加圧室
3b・・・隔壁
4・・・圧電セラミック層
5・・・共通電極
6・・・個別電極
6a・・・駆動部電極
6b・・・接続部電極
7・・・変位素子
8・・・液体吐出口
Claims (8)
- 導電粉末と、B、Bi及びZnを含有するガラスフリットと、有機ビヒクルと、からなり、前記ガラスフリットを、xB 2 O 3 −yBi 2 O 3 −zZnO(x+y+z=100モ
ル%)と表したとき、xが1〜11モル%、yが49〜98.9モル%、zが0.1〜40モル%を満足することを特徴とする圧電アクチュエータ用導電ペースト。 - 前記ガラスフリットが、Cu、Ni、Pb、Fe及びMnのうち少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ用導電ペースト。
- 前記導電粉末が、Ni、Ag、Cu、Pd及びAuのうち少なくとも1種を主成分とすることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電アクチュエータ用導電ペースト。
- 圧電セラミックスの主面に、導電金属と、B、Bi及びZnを含有するガラスと、を含む電極が形成されてなり、前記ガラスを、xB 2 O 3 −yBi 2 O 3 −zZnO(x+y+z=100モル%)と表したとき、xが1〜11モル%、yが49〜98.9モル%、z
が0.1〜40モル%を満足することを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記ガラスが、Cu、Ni、Pb、Fe及びMnのうち少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項4記載の圧電アクチュエータ。
- 前記導電金属が、Ni、Ag、Cu、Pd及びAuのうち少なくとも1つを主成分とすることを特徴とする請求項4又は5記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電セラミックスが、少なくともPbを含むペロブスカイト型化合物を主体とする圧電体であることを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項4〜7のいずれかに記載の圧電アクチュエータを、液体導入口と、液体加圧室と、液体吐出口とを具備する流路部材に接合してなることを特徴とする液体吐出装置。
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