JP2005085937A - 圧電アクチュエータ用導電ペースト、圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 - Google Patents
圧電アクチュエータ用導電ペースト、圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】導電粉末と、B、Bi及びZnを含有するガラスフリットと、有機ビヒクルと、からなることを特徴とし、特に、前記ガラスフリットが、xB2O3−yBi2O3−zZnOとしたとき、各構成成分x、y、zが特定のモル%の各頂点A、B、C、D、Aを結ぶ領域内にあることが好ましい。圧電アクチュエータ用導体ペースト。
【選択図】図2
Description
A 35 64.9 0.1
B 1 98.9 0.1
C 1 89 10
D 20 40 40
前記ガラスフリットが、Cu、Ni、Pb、Fe、Mnのうち少なくとも1種を含むことが好ましい。
A 35 64.9 0.1
B 1 98.9 0.1
C 1 89 10
D 20 40 40
前記ガラスが、Cu、Ni、Pb、Fe、Mnのうち少なくとも1種を含むことが好ましい。
1・・・圧電アクチュエータ
2・・・振動板
3・・・流路部材
3a・・・液体加圧室
3b・・・隔壁
4・・・圧電セラミック層
5・・・共通電極
6・・・個別電極
6a・・・駆動部電極
6b・・・接続部電極
7・・・変位素子
8・・・液体吐出口
Claims (10)
- 導電粉末と、B、Bi及びZnを含有するガラスフリットと、有機ビヒクルと、からなることを特徴とする圧電アクチュエータ用導体ペースト。
- 前記ガラスフリットが、xB2O3−yBi2O3−zZnOとしたとき、各構成成分x、y、zが以下のモル%の各頂点A、B、C、Dを結ぶ領域内にあることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ用導体ペースト。
x y z
A 35 64.9 0.1
B 1 98.9 0.1
C 1 89 10
D 20 40 40 - 前記ガラスフリットが、Cu、Ni、Pb、Fe、Mnのうち少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の圧電アクチュエータ用導電ペースト。
- 前記導電粉末が、Ni、Ag、Cu、Pd及びAuのうち少なくとも1種を主成分とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ用導電ペースト。
- 圧電セラミックスの主面に、導電金属と、B、Bi及びZnを含有するガラスと、を含む電極が形成されてなることを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 前記ガラスが、xB2O3−yBi2O3−zZnOとしたとき、各構成成分x、y、zが以下のモル%の各頂点A、B、C、Dを結ぶ領域内にあることを特徴とする請求項5記載の圧電アクチュエータ。
x y z
A 35 64.9 0.1
B 1 98.9 0.1
C 1 89 10
D 20 40 40 - 前記ガラスが、Cu、Ni、Pb、Fe、Mnのうち少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項5又は6記載の圧電アクチュエータ。
- 前記導電金属が、Ni、Ag、Cu、Pd及びAuのうち少なくとも1つを主成分とすることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電セラミックスが、少なくともPbを含むペロブスカイト型化合物を主体とする圧電体であることを特徴とする請求項5〜8のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項5〜9のいずれかに記載の圧電アクチュエータを、液体導入口と、液体加圧室と、液体吐出口とを具備する流路部材に接合してなることを特徴とする液体吐出装置。
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