JP2009012207A - 液体吐出ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の液体加圧室と該複数の液体加圧室に連通した複数の液体吐出孔とを有する流路部材上に、前記複数の液体加圧室を覆うように振動板を積層し、該振動板上にコモン電極、圧電セラミック層、および複数の駆動電極をこの順に積層した液体吐出ヘッドであって、前記複数の駆動電極は前記複数の液体加圧室にそれぞれ対向して形成されているとともに、前記圧電セラミック層のうち前記駆動電極と前記コモン電極とで挟まれた前記駆動部は前記圧電セラミック層の主面に垂直に分極されており、さらに、積層方向から見て前記液体加圧室と対向する前記圧電セラミック層のうち前記駆動電極と前記コモン電極とで挟まれていない非駆動部が前記圧電セラミック層の主面に対して斜めに分極されている。
【選択図】 図1
Description
ただし、I(002)はPZT(002)面のX線回折ピーク強度、I(200)はPZT(200)面のX線回折ピーク強度である。
2、12、22、32・・・振動板
3、13、22、33・・・流路部材
3a、13a・・・液体加圧室
3b、13b・・・隔壁
4、14、24、34・・・コモン電極
4a、14a・・・コモン電極接続部
5、15、25、35・・・圧電セラミック層
5a、15a、25a、35a・・・駆動部(圧電セラミック層)
5b、15b、25b、35b・・・非駆動部(圧電セラミック層)
5c、15c、25c、35c・・・拘束部(圧電セラミック層)
6、16、26、36・・・駆動電極
6a、16a・・・駆動電極接続部
7、7a、17、17a・・・変位素子
8・・・液体吐出口
9、19、29、39・・・分極用電極
Claims (4)
- 複数の液体加圧室と該複数の液体加圧室に連通した複数の液体吐出孔とを有する流路部材上に、前記複数の液体加圧室を覆うように振動板を積層し、該振動板上にコモン電極、圧電セラミック層、および複数の駆動電極をこの順に積層した液体吐出ヘッドであって、前記複数の駆動電極は前記複数の液体加圧室にそれぞれ対向して形成されているとともに、前記圧電セラミック層のうち前記駆動電極と前記コモン電極とで挟まれた駆動部は前記圧電セラミック層の主面に垂直に分極されており、さらに、積層方向から見て前記液体加圧室と対向する前記圧電セラミック層のうち前記駆動電極と前記コモン電極とで挟まれていない非駆動部が前記圧電セラミック層の主面に対して斜めに分極されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 積層方向から見て、前記液体加圧室の周囲と対向する前記圧電セラミック層の表面もしくは内部に分極用電極を備えたことを特徴とする請求項1記載の液体吐出ヘッド。
- 積層方向から見て前記分極用電極と前記コモン電極とが重なっていないことを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記分極用電極と前記駆動電極とが同じ層に形成されており、それらの間の距離が前記圧電セラミック層の厚み以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
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