JP5288719B2 - 液体吐出ヘッド用積層圧電アクチュエータおよびその製造方法ならびに液体吐出ヘッド - Google Patents
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Description
っても、同様に焼成収縮により内部個別駆動電極と表面の個別駆動電極との位置ずれが生じてしまい、複数の変位素子の間の特性バラツキが大きいという問題がある。
各圧電セラミック層の格子定数比c/aは、上記で説明したa軸配向度の測定と同様にして、X線回折からa軸の格子定数とc軸の格子定数の比率を求めた。
上記で得られた積層圧電アクチュエータを8mm×8mmの大きさに加工して試験片を作製し、この試験片を10mm×10mmの外形に4mm×4mmの孔を空けた金属基板に接着し、変位測定用サンプルとした。そして、共通電極と個別駆動電極間との厚み方向に3kv/mmの直流電圧を5分間印加して分極を行った。ついで、共通電極および個別駆動電極間に駆動電圧を20V印加して変位を測定した。変位量が100nm以上、および平均変位量に対する各素子28点の変位バラツキ3σの比率が15%以内のものを良品とした。
3・・・流路部材
5・・・液体吐出ヘッド
11、111、211・・・圧電セラミック層
12、112、212・・・振動板
13、113、213・・・接着層
15、115、215・・・共通電極(共通電極層)
17、117、217・・・個別駆動電極(個別駆動電極層)
19、119、219・・・スルーホール導体
21・・・隔壁
23・・・液体加圧室
25・・・インク吐出孔
31・・・液体吐出素子
Claims (3)
- 振動板上に、共通電極層、圧電セラミック層、複数の個別駆動電極を含む個別駆動電極層とをこの順に積層し、さらに圧電セラミック層、共通電極層、圧電セラミック層、複数の個別駆動電極を含む個別駆動電極層とを積層してなる積層部を1以上積層してなる積層圧電アクチュエータであって、前記圧電セラミック層はいずれも、前記複数の個別駆動電極間にわたって存在し、前記積層圧電アクチュエータの内部の前記個別駆動電極層を挟んで配置されている圧電セラミック層同士が前記個別駆動電極層の周囲で接着層を介して接合されていることを特徴とする液体吐出ヘッド用積層圧電アクチュエータ。
- 請求項1記載の積層圧電アクチュエータと流路部材とが積み重ねられた液体吐出ヘッドであって、前記流路部材に、複数の前記個別駆動電極にそれぞれ対応した位置に、液体吐出孔を有する複数の液体圧力室が配設されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 振動板上に、共通電極層、圧電セラミック層、複数の個別駆動電極を含む個別駆動電極層とをこの順に積層し、さらに圧電セラミック層、共通電極層、圧電セラミック層、複数の個別駆動電極を含む個別駆動電極層とを積層してなる積層部を1以上積層してなる積層圧電アクチュエータの製造方法であって、焼成により圧電セラミック層を作製する工程と、前記共通電極層となる導体ペーストを、前記振動板、前記振動板となるセラミック成形体、前記圧電セラミック層、前記圧電セラミック層となるセラミック成形体の少なくともひとつに塗布する工程とを含み、前記個別駆動電極層の形成は、焼成後の圧電セラミック層に導体ペーストを塗布し焼成して行なうとともに、少なくとも前記積層圧電アクチュエータの内部の前記個別駆動電極層を挟んで配置される前記圧電セラミック層同士を、前記個別駆動電極層を焼成後の前記圧電セラミック層の主面に形成した後に、前記個別駆動電極層の焼成よりも低温で、接着層を介して接合することを特徴とする液体吐出ヘッド用積層圧電アクチュエータの製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3537117A1 (de) * | 2018-03-06 | 2019-09-11 | VEGA Grieshaber KG | Piezoelektrische sende- und/oder empfangseinrichtung für einen vibrationssensor, vibrationssensor mit einer solchen piezoelektrischen sende- und/oder empfangseinrichtung sowie verfahren zur herstellung einer piezoelektrischen sende- und/oder empfangseinrichtung für einen vibrationssensor |
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