CN103674225A - 一种局部极化压电薄膜传感器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种局部极化压电薄膜传感器,属于结构健康监测技术领域。本发明的传感器包括压电薄膜、顶部电极、底部电极、辅助电极、柔性印刷电路、连接点以及保护层;压电薄膜上布置有电极阵列,且仅在各电极处具有压电性能。辅助电极穿过压电薄膜将各电极的底部电极引至顶部。柔性印刷电路印于压电薄膜的上侧,将每个电极的顶部电极和辅助电极引至连接点;在压电薄膜的两侧涂有环氧树脂材料的保护层。本发明的传感器采用薄膜的形式,大大降低了压电传感器的重量,符合飞行器减重的要求;不需要手工粘贴大量压电片,只需将整块压电薄膜传感器贴附到基体结构上,便于与基体的集成,符合飞行器的要求,且具有更高的可靠性。

Description

一种局部极化压电薄膜传感器
技术领域
本发明涉及一种局部极化的压电薄膜传感器,属于结构健康监测技术领域。
背景技术
Lamb波是在具有两个平行表面的结构(如板)中,由横波和纵波相互耦合而成的一种弹性波。Lamb波具有良好的导波特性,而且对微小损伤比较敏感。基于主动Lamb波的损伤监测方法是结构健康监测中一种非常有效的监测方法。Lamb波在结构中传播时,结构内部的各种损伤会引起应力集中、裂纹扩展,这会引起在结构中传播的Lamb波信号的散射和能量的吸收,通过在损伤附近布置传感器阵列,对接收的Lamb波信号进行分析处理,便可以提取损伤特征参数。基于主动Lamb波的损伤监测通常可分为四个过程:Lamb波的激励,Lamb波的传播,Lamb波的接收和对接收信号的分析处理。其中Lamb波的激励和接收都是利用压电元件来实现的。
飞行器随着服役时间的延长,结构内部会出现裂纹等损伤,导致性能退化,影响使用安全。基于主动Lamb波的损伤监测方法,在原理上可以对飞行器结构损伤进行实时监测。这对保证飞行器安全,延长飞行器寿命以及减少飞行器定期维修费用具有重大意义。传感器作为飞行器结构健康监测系统的核心元件,通常处于非常苛刻的服役环境,如高低温、振动、噪声等,而且传感器必须轻质,不能改变飞行器的气动外形。但是传统的压电元件重量较大,手工粘贴和导线布置都很不方便,不能满足飞行器对传感器质轻且不能改变自身气动外形的要求,不便于与结构基体集成。
发明内容
本发明为了解决现有压电传感器不能满足飞行器应用要求的问题,提供一种新型的局部极化压电薄膜传感器。本发明的局部极化压电薄膜传感器具有质轻、布线方便和易于集成的特点。
本发明提供的局部极化压电薄膜传感器,包括:压电薄膜、顶部电极、底部电极、辅助电极、柔性印刷电路、连接点以及保护层。
压电薄膜为PZT/PVDF复合材料,其上布置有电极阵列。压电薄膜上仅在各电极处具有压电性能。每个电极都包括一对顶部电极和底部电极。顶部电极和底部电极都为银薄膜,分别贴附在局部极化压电薄膜的上侧和下侧。在压电薄膜的各电极的边缘处都设置有辅助电极。辅助电极的材料为导电胶,辅助电极穿过压电薄膜将底部电极引至顶部。
柔性印刷电路印于压电薄膜的上侧,将每个电极的顶部电极和辅助电极引至连接点。接线点采用焊盘的形式,位于柔性印刷电路终端,用于将柔性印刷电路引出。在压电薄膜的两侧涂有保护层,保护层的材料为环氧树脂。
本发明的优点和积极效果在于:
(1)本发明提供的传感器采用薄膜的形式,大大降低了压电传感器的重量,符合飞行器减重的要求;
(2)本发明提供的传感器不需要手工粘贴大量压电片,只需将整块压电薄膜传感器贴附到基体结构上,便于与基体的集成;
(3)本发明提供的传感器通过印制线路连接压电阵列,不需布置大量导线,符合飞行器的要求,且具有更高的可靠性。
附图说明
图1是局部极化压电薄膜传感器原理示意图;
图2是局部极化压电薄膜传感器电极部分剖视图;
图3是局部极化压电薄膜不同极化阵列示意图,(a)为线性极化阵列,(b)为矩形极化阵列。图中:
1-压电薄膜;2-顶部电极;3-底部电极;4-辅助电极;5-柔性印刷电路;6-连接点;7-保护层。
具体实施方式
下面将结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。
如图1和图2所示,本发明提供的局部极化压电薄膜传感器,包括:压电薄膜1、顶部电极2、底部电极3、辅助电极4、柔性印刷电路5、连接点6以及保护层7。
压电薄膜1的材料为PZT/PVDF复合材料,为局部极化压电薄膜。压电薄膜1上布置有电极阵列,每个电极所在区域为一个压电薄膜1上具有压电性能的区域,压电薄膜1只在各电极处具有压电特性。PZT为锆钛酸铅,PVDF为聚偏氟乙烯。
每个电极由一对顶部电极2和底部电极3组成。顶部电极2为银薄膜,涂覆于压电薄膜1具有压电性能区域的上侧。底部电极3为银薄膜,涂覆于压电薄膜1具有压电性能区域的下侧。银薄膜的平均厚度为10μm。
辅助电极4的材料为导电胶,辅助电极4穿过局部极化压电薄膜1将底部电极3引至顶部。具体地,在局部极化压电薄膜1的各电极的边缘处钻孔,孔中填充导电胶,从而将底部电极3引至顶部,引至顶部的底部电极3称为辅助电极4。
柔性印刷电路5印于局部极化压电薄膜1的上侧,用于连接各电极,将各电极的顶部电极2和辅助电极4连接至连接点6。连接辅助电极4就相当于连接底部电极3。
接线点6采用焊盘的形式,位于柔性印刷电路5的终端,用于将柔性印刷电路5引出。
保护层7的材料为环氧树脂,涂于局部极化压电薄膜1的两侧,环氧树脂具有很好的弹性和绝缘性,保护电极不被破坏,防止外界噪音干扰。
本发明的压电薄膜为PZT/PVDF复合材料,选用流延法制备。选用PZT粉和PVDF粉,其中PZT颗粒粒径为3μm左右,PVDF颗粒粒径为5μm左右。首先,将PZT粉和PVDF粉按体积比1:1混合,溶于NMP(N-甲基吡咯烷酮);其次,通过磁力搅拌器,在80℃下将混合物搅拌60min,得到均匀混合溶液;然后,将均匀混合溶液在真空静置30min,去除溶液中的气泡;最后,将溶液倒入流延皿,将流延皿调整水平后放入烘箱中,在120℃下烘干60min制得所需压电薄膜。压电薄膜的厚度为80~100μm。
通常压电薄膜的极化都是对其整个薄膜进行的,而本发明在压电薄膜上仅在各电极处具有压电性能。为了实现压电薄膜的局部极化,具体进行如下处理:
(1)对制备的PZT/PVDF压电薄膜进行单轴拉伸,以提高PVDF中β相的含量,选取拉伸温度为80℃,拉伸比为4,拉伸速率为100mm/min;
(2)选用油浴极化法对拉伸后的压电薄膜进行极化,先按照具体需求在压电薄膜上涂覆线性、矩形等电极阵列,再将涂覆电极阵列后的压电薄膜在硅油中加热到120℃,最后,在各电极处施加电场,电场强度为10kV/mm,持续极化40min,得到具有局部极化压电阵列的压电薄膜。如图3中,(a)所示为线性电极阵列,(b)所示为矩形电极阵列。电场仅施加在各局部电极处,而不是整个压电薄膜,如图3中两幅图中标记出的极化部位和未极化部位。
各电极通过在压电薄膜的正反两面涂覆银薄膜得到。银薄膜的平均厚度为10μm。
PZT/PVDF压电薄膜具有体积小、质量轻、柔性和加工性能好等优异性能,但是其厚度较小,抗剪切能力差,因此需要对PZT/PVDF压电薄膜进行封装来提高它的耐久性和稳定性。首先将压电薄膜切割成所需形状,如圆形、矩形等;然后在各电极边缘处钻孔,并用导电胶填充,将底部电极引至顶部,形成辅助电极,以便于在压电薄膜同侧连接各电极阵列。考虑到具体工程需求,电极阵列之间的连接通过柔性印刷电路的方式实现,电路终端通过焊盘引出。最后为避免电极破损,防止外界噪声干扰,需要在压电薄膜两侧涂覆保护层,环氧树脂具有很好的弹性和绝缘性,便于加工,因此本发明选用环氧树脂作为保护层,均匀涂抹于压电薄膜两侧,保护层在室温下固化而成。
本发明提供的传感器采用薄膜的形式,大大降低了压电传感器的重量,符合飞行器减重的要求。基于lamb波的结构健康监测技术需要布置压电阵列,利用本发明提供的传感器,就不需要手工粘贴大量压电片,只需将整块压电薄膜传感器贴附到基体结构上,且本发明提供的传感器通过印制线路连接压电阵列,不需布置大量导线,符合飞行器的要求,具有更高的可靠性。

Claims (3)

1.一种局部极化压电薄膜传感器,其特征在于,包括:压电薄膜、顶部电极、底部电极、辅助电极、柔性印刷电路、连接点以及保护层;压电薄膜为PZT/PVDF复合材料,其上布置有电极阵列,压电薄膜上仅在各电极处具有压电性能;每个电极都包括一对顶部电极和底部电极;顶部电极和底部电极都为银薄膜,分别贴附在压电薄膜的上侧和下侧;在压电薄膜的各电极的边缘处都设置有辅助电极;辅助电极的材料为导电胶,辅助电极穿过压电薄膜将底部电极引至顶部;柔性印刷电路印于压电薄膜的上侧,将每个电极的顶部电极和辅助电极引至连接点;接线点采用焊盘的形式,位于柔性印刷电路终端,用于将柔性印刷电路引出;在压电薄膜的两侧涂有保护层,保护层的材料为环氧树脂。
2.根据权利要求1所述的局部极化压电薄膜传感器,其特征在于,所述的压电薄膜的厚度为80~100μm。
3.根据权利要求1所述的局部极化压电薄膜传感器,其特征在于,所述的压电薄膜上仅在各电极处具有压电性能,具体实现方法是:
(1)对PZT/PVDF复合材料的压电薄膜进行单轴拉伸,以提高PVDF中β相的含量,选取拉伸温度为80℃,拉伸比为4,拉伸速率为100mm/min;
(2)在压电薄膜上涂覆电极阵列,将涂覆电极阵列后的压电薄膜在硅油中加热到120℃,在各电极处施加电场,电场强度为10kV/mm,持续极化40min。
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106549100A (zh) * 2016-10-27 2017-03-29 北京航空航天大学 一种新型的压电复合薄膜传感器的制备方法
CN107576384A (zh) * 2017-09-06 2018-01-12 中国特种设备检测研究院 起重装备裂纹Lamb波在线监测系统与方法
CN108493329A (zh) * 2018-02-01 2018-09-04 成都安瑞芯科技有限公司 待极化的电子器件及其极化系统、电子器件模块的制作方法及电子设备
CN108760121A (zh) * 2018-04-09 2018-11-06 北京纳米能源与系统研究所 可穿戴足底压力监测系统及方法
CN109341843A (zh) * 2018-11-08 2019-02-15 吉林大学 一种微振动传感器及其制备方法
CN109361373A (zh) * 2018-11-16 2019-02-19 电子科技大学中山学院 一种柔性薄膜体声波谐振器及其制备方法
CN110426143A (zh) * 2019-07-11 2019-11-08 南京理工大学 一种基于压致变色效应的振动可视化传感器
CN110726497A (zh) * 2019-09-26 2020-01-24 翰群科技有限公司 自供电压力传感器垫及其加工方法以及出入口监视装置
CN111175352A (zh) * 2020-01-08 2020-05-19 沈阳航空航天大学 一种结合柔性电路的微纳米传感器结构健康监测方法
CN111487326A (zh) * 2020-05-13 2020-08-04 中国飞机强度研究所 一种可修复式压电传感器柔性夹层
CN113451499A (zh) * 2021-07-05 2021-09-28 大连理工大学 一种压电晶片主动传感器封装结构
WO2021190255A1 (zh) * 2020-03-25 2021-09-30 麒盛科技股份有限公司 一种非接触式人体睡眠生理参数检测传感器换能单元

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4359726A (en) * 1980-02-12 1982-11-16 Jacques Lewiner Composite sheets constituting electromechanical transducers and transducers equipped with such sheets
US20040195937A1 (en) * 2003-04-01 2004-10-07 Shogo Matsubara Film bulk acoustic resonator and film bulk acoustic resonator circuit
CN101201277A (zh) * 2007-11-23 2008-06-18 清华大学 阵列式超薄柔顺力传感器及其制备方法
JP2009012207A (ja) * 2007-07-02 2009-01-22 Kyocera Corp 液体吐出ヘッド
CN103175601A (zh) * 2012-12-21 2013-06-26 中国船舶重工集团公司第七一五研究所 一种高频密排压电薄膜水听器基阵及其制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4359726A (en) * 1980-02-12 1982-11-16 Jacques Lewiner Composite sheets constituting electromechanical transducers and transducers equipped with such sheets
US20040195937A1 (en) * 2003-04-01 2004-10-07 Shogo Matsubara Film bulk acoustic resonator and film bulk acoustic resonator circuit
JP2009012207A (ja) * 2007-07-02 2009-01-22 Kyocera Corp 液体吐出ヘッド
CN101201277A (zh) * 2007-11-23 2008-06-18 清华大学 阵列式超薄柔顺力传感器及其制备方法
CN103175601A (zh) * 2012-12-21 2013-06-26 中国船舶重工集团公司第七一五研究所 一种高频密排压电薄膜水听器基阵及其制备方法

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106549100A (zh) * 2016-10-27 2017-03-29 北京航空航天大学 一种新型的压电复合薄膜传感器的制备方法
CN107576384B (zh) * 2017-09-06 2020-05-19 中国特种设备检测研究院 起重装备裂纹Lamb波在线监测系统与方法
CN107576384A (zh) * 2017-09-06 2018-01-12 中国特种设备检测研究院 起重装备裂纹Lamb波在线监测系统与方法
CN108493329A (zh) * 2018-02-01 2018-09-04 成都安瑞芯科技有限公司 待极化的电子器件及其极化系统、电子器件模块的制作方法及电子设备
CN108760121A (zh) * 2018-04-09 2018-11-06 北京纳米能源与系统研究所 可穿戴足底压力监测系统及方法
CN109341843A (zh) * 2018-11-08 2019-02-15 吉林大学 一种微振动传感器及其制备方法
CN109361373A (zh) * 2018-11-16 2019-02-19 电子科技大学中山学院 一种柔性薄膜体声波谐振器及其制备方法
CN110426143A (zh) * 2019-07-11 2019-11-08 南京理工大学 一种基于压致变色效应的振动可视化传感器
CN110726497A (zh) * 2019-09-26 2020-01-24 翰群科技有限公司 自供电压力传感器垫及其加工方法以及出入口监视装置
CN110726497B (zh) * 2019-09-26 2022-08-16 翰群科技有限公司 自供电压力传感器垫及其加工方法以及出入口监视装置
CN111175352A (zh) * 2020-01-08 2020-05-19 沈阳航空航天大学 一种结合柔性电路的微纳米传感器结构健康监测方法
WO2021190255A1 (zh) * 2020-03-25 2021-09-30 麒盛科技股份有限公司 一种非接触式人体睡眠生理参数检测传感器换能单元
CN111487326A (zh) * 2020-05-13 2020-08-04 中国飞机强度研究所 一种可修复式压电传感器柔性夹层
CN113451499A (zh) * 2021-07-05 2021-09-28 大连理工大学 一种压电晶片主动传感器封装结构
CN113451499B (zh) * 2021-07-05 2024-02-13 大连理工大学 一种压电晶片主动传感器封装结构

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