JP2005244090A - 積層圧電体、圧電アクチュエータおよび印刷ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の圧電セラミック層1を積層した積層体と、該積層体の内部に設けられたAg−Pd合金からなる内部電極2とを備え、厚みが100μm以下であり、内部電極2がセラミックスからなる共材を含有し、該共材の90%以上がAg−Pd合金の粒界の3重点に存在する積層圧電体である。
【選択図】図1
Description
(1) 複数の圧電セラミック層を積層した積層体と、該積層体の表面および/または内部に設けられたAg−Pd合金からなる電極層とを備えた厚み100μm以下の積層圧電体であって、前記電極層がセラミックスからなる共材を含有し、該共材の90%以上が前記Ag−Pd合金の粒界の3重点に存在することを特徴とする積層圧電体。
(2) 前記Ag−Pd合金の結晶平均粒径(M)と前記共材の平均粒径(T)との比(M/T)が2.5以上である(1)記載の積層圧電体。
(3) 前記Ag−Pd合金がAgを70体積%以上含有する(1)または(2)記載の積層圧電体。
(4) 前記電極層が、前記Ag−Pd合金を50〜90体積%、前記共材を10〜50体積%の割合で含有する(1)〜(3)のいずれかに記載の積層圧電体。
(5) 前記共材を構成するセラミックスが、前記圧電セラミック層を構成する圧電性セラミックスと略同一組成である(1)〜(4)のいずれかに記載の積層圧電体。
(6) 前記積層体の内部に少なくとも1層の前記電極層が設けられ、該電極層を介して対向する2層の圧電セラミック層が電極層中の前記共材により連結されている(1)〜(5)のいずれかに記載の積層圧電体。
(7) 前記圧電セラミック層を構成する圧電性セラミックスがPbを含有する(1)〜(6)のいずれかに記載の積層圧電体。
(8) 前記圧電セラミック層の厚みが1〜50μmの範囲にある(1)〜(7)のいずれかに記載の積層圧電体。
(9) 機械的品質係数(Qm)の標準偏差σを機械的品質係数(Qm)の平均値で除し100倍した値が10以下である(1)〜(8)のいずれかに記載の積層圧電体。
(10) 前記(1)〜(9)のいずれかに記載の積層圧電体を備えた圧電アクチュエータ。
(11) 前記(10)に記載の圧電アクチュエータが、インク吐出孔を有する複数のインク流路が配列された流路部材上に取り付けられたことを特徴とする印刷ヘッド。
まず、原料として、純度99%、平均粒径1μm以下のPZT粉末を、圧電性セラミックス粉末として準備する。この圧電性セラミックス粉末に適当な有機バインダーを添加しテープ状に成形してグリーンシートを必要枚数作製する。ついで、作製したグリーンシートの一部に、上記した組成Ag−Pd合金および共材を含むAg−Pdペーストを塗布して内部電極を形成し、所望の形状にカットする。ついで、各グリーンシートを積層し、これを400℃程度で脱バインダー処理した後、焼成する。焼成後、表面に所望の電極を形成し分極して積層圧電体を得ることができる。
2 内部電極
3 表面電極
12 共通電極
13 個別電極
14 圧電素子
15 アクチュエータ
16 流路部材
16a インク流路
16b 隔壁
16c インク吐出孔
Claims (11)
- 複数の圧電セラミック層を積層した積層体と、該積層体の表面および/または内部に設けられたAg−Pd合金からなる電極層とを備えた厚み100μm以下の積層圧電体であって、前記電極層がセラミックスからなる共材を含有し、該共材の90%以上が前記Ag−Pd合金の粒界の3重点に存在することを特徴とする積層圧電体。
- 前記Ag−Pd合金の結晶平均粒径(M)と前記共材の平均粒径(T)との比(M/T)が2.5以上である請求項1記載の積層圧電体。
- 前記Ag−Pd合金がAgを70体積%以上含有する請求項1または2記載の積層圧電体。
- 前記電極層が、前記Ag−Pd合金を50〜90体積%、前記共材を10〜50体積%の割合で含有する請求項1〜3のいずれかに記載の積層圧電体。
- 前記共材を構成するセラミックスが、前記圧電セラミック層を構成する圧電性セラミックスと略同一組成である請求項1〜4のいずれかに記載の積層圧電体。
- 前記積層体の内部に少なくとも1層の前記電極層が設けられ、該電極層を介して対向する2層の圧電セラミック層が電極層中の前記共材により連結されている請求項1〜5のいずれかに記載の積層圧電体。
- 前記圧電セラミック層を構成する圧電性セラミックスがPbを含有する請求項1〜6のいずれかに記載の積層圧電体。
- 前記圧電セラミック層の厚みが1〜50μmの範囲にある請求項1〜7のいずれかに記載の積層圧電体。
- 機械的品質係数(Qm)の標準偏差σを機械的品質係数(Qm)の平均値で除し100倍した値が10以下である請求項1〜8のいずれかに記載の積層圧電体。
- 請求項1〜9のいずれかに記載の積層圧電体を備えた圧電アクチュエータ。
- 請求項10に記載の圧電アクチュエータが、インク吐出孔を有する複数のインク流路が配列された流路部材上に取り付けられたことを特徴とする印刷ヘッド。
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