JP2003159798A - インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 - Google Patents
インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置Info
- Publication number
- JP2003159798A JP2003159798A JP2001364351A JP2001364351A JP2003159798A JP 2003159798 A JP2003159798 A JP 2003159798A JP 2001364351 A JP2001364351 A JP 2001364351A JP 2001364351 A JP2001364351 A JP 2001364351A JP 2003159798 A JP2003159798 A JP 2003159798A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- common electrode
- individual
- individual electrode
- electrode
- common
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14459—Matrix arrangement of the pressure chambers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電アクチュエータによりインクを吐出する
インクジェットヘッド１において、各個別電極２９と各
電圧入力端子部４１とを繋ぐ個別電極用配線３９の絶縁
破壊を防止する。 【解決手段】 共通電極３３を圧力室２１に対応した部
分に位置するように個別化する。共通電極３同士をつな
ぐ共通電極用配線４３を設け、共通電極用配線４３をア
ース取り出し部４５に接続する。個別電極用配線３９に
おける共通電極３３及び共通電極用配線４３との非重複
部の割合を８０〜１００％とする。
インクジェットヘッド１において、各個別電極２９と各
電圧入力端子部４１とを繋ぐ個別電極用配線３９の絶縁
破壊を防止する。 【解決手段】 共通電極３３を圧力室２１に対応した部
分に位置するように個別化する。共通電極３同士をつな
ぐ共通電極用配線４３を設け、共通電極用配線４３をア
ース取り出し部４５に接続する。個別電極用配線３９に
おける共通電極３３及び共通電極用配線４３との非重複
部の割合を８０〜１００％とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッド及びインクジェット式記録装置に関する。
ッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、圧電体の圧電効果を利用して
記録を行うインクジェットヘッドが知られている。
記録を行うインクジェットヘッドが知られている。
【０００３】このインクジェットヘッドは、共通電極
と、圧力室に対応する部分に位置するように個別化され
た圧電体と、圧力室に対応する部分に位置するように個
別化された個別電極とが順に積層されてなる圧電アクチ
ュエータを有している。この圧電アクチュエータの一方
の面には、振動板が積層されている。この振動板がイン
ク流路形成部材上に接着材により接着されることにより
圧力室が形成されている。インクを吐出する際には、上
記共通電極と上記個別電極に電圧が印加されて圧電体は
伸縮する。その伸縮が振動板に拘束されることで、圧電
アクチュエータは厚さ方向にたわみ変形する。そして、
そのたわみ変形により圧力室内の容積は変化し、圧力室
内のインクはノズルから吐出される。
と、圧力室に対応する部分に位置するように個別化され
た圧電体と、圧力室に対応する部分に位置するように個
別化された個別電極とが順に積層されてなる圧電アクチ
ュエータを有している。この圧電アクチュエータの一方
の面には、振動板が積層されている。この振動板がイン
ク流路形成部材上に接着材により接着されることにより
圧力室が形成されている。インクを吐出する際には、上
記共通電極と上記個別電極に電圧が印加されて圧電体は
伸縮する。その伸縮が振動板に拘束されることで、圧電
アクチュエータは厚さ方向にたわみ変形する。そして、
そのたわみ変形により圧力室内の容積は変化し、圧力室
内のインクはノズルから吐出される。
【０００４】ところで、特開平１０−１２８９７０号公
報には、ドライバＩＣ等と接続される電圧入力端子部と
個別電極とを、個別電極用配線（リードパターン）を介
して接続したインクジェットヘッドが開示されている。
報には、ドライバＩＣ等と接続される電圧入力端子部と
個別電極とを、個別電極用配線（リードパターン）を介
して接続したインクジェットヘッドが開示されている。
【０００５】通常、上記個別電極用配線は、個別電極と
同様、圧電体上に積層した上部電極を個別化することに
より形成される。そのため、個別電極用配線も個別電極
と同様、共通電極の上方に位置することになる。また、
個別電極及び個別電極用配線下部に位置する圧電体は、
上部電極の個別化と同時に個別化される。したがって、
個別電極用配線と共通電極との間には、圧電体が存在す
ることとなる。つまり、共通電極と圧電体と上部電極と
からなる３層構造は、個別電極が設けられた部分だけで
なく、個別電極用配線が設けられた部分にも形成される
ことになる。
同様、圧電体上に積層した上部電極を個別化することに
より形成される。そのため、個別電極用配線も個別電極
と同様、共通電極の上方に位置することになる。また、
個別電極及び個別電極用配線下部に位置する圧電体は、
上部電極の個別化と同時に個別化される。したがって、
個別電極用配線と共通電極との間には、圧電体が存在す
ることとなる。つまり、共通電極と圧電体と上部電極と
からなる３層構造は、個別電極が設けられた部分だけで
なく、個別電極用配線が設けられた部分にも形成される
ことになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
インクジェットヘッドでは、個別電極用配線と共通電極
との間にも圧電体が存在するため、個別電極用配線を通
じて圧電アクチュエータに信号を供給する際に、個別電
極用配線と共通電極との間にも電圧が印加される。その
ため、個別電極用配線下の圧電体に欠陥部が含まれてい
る場合、個別電極用配線が絶縁破壊してしまうおそれが
ある。特に、個別電極用配線は個別電極に比較して細い
ため、その絶縁破壊が微少なものであっても、絶縁破壊
による影響は大きい。つまり、微少な絶縁破壊が起こっ
ただけでも、個別電極用配線の断線や電流が流れにくい
等の障害が発生した。これにより、インクを吐出すると
いう、インクジェットヘッドの機能の正常な働きが妨げ
られることとなった。
インクジェットヘッドでは、個別電極用配線と共通電極
との間にも圧電体が存在するため、個別電極用配線を通
じて圧電アクチュエータに信号を供給する際に、個別電
極用配線と共通電極との間にも電圧が印加される。その
ため、個別電極用配線下の圧電体に欠陥部が含まれてい
る場合、個別電極用配線が絶縁破壊してしまうおそれが
ある。特に、個別電極用配線は個別電極に比較して細い
ため、その絶縁破壊が微少なものであっても、絶縁破壊
による影響は大きい。つまり、微少な絶縁破壊が起こっ
ただけでも、個別電極用配線の断線や電流が流れにくい
等の障害が発生した。これにより、インクを吐出すると
いう、インクジェットヘッドの機能の正常な働きが妨げ
られることとなった。
【０００７】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、個別電極用配線の絶
縁破壊を防止することにある。
であり、その目的とするところは、個別電極用配線の絶
縁破壊を防止することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、複数
のノズルと、上記ノズル各々に連通する複数の圧力室と
が設けられたヘッド本体と、上記圧力室に対応した部分
に位置するように個別化されるとともに互いに接続され
た複数の共通電極と、上記共通電極同士を導通させる共
通電極導通部とを有する共通電極層と、上記共通電極層
上に積層された圧電体層と、上記圧電体層上に積層さ
れ、上記圧力室に対応した部分に位置するように個別化
された複数の個別電極と、各個別電極に対応して設けら
れた電圧入力端子と、各個別電極と各電圧入力端子部と
を繋ぐ個別電極用配線とを有する個別電極層と、上記圧
電体層の伸縮に従って上記圧力室内のインクに圧力を付
与するように変形する振動板とを備え、上記個別電極層
の個別電極用配線は、上記共通電極層の共通電極及び共
通電極導通部のいずれにも重ならない非重複部を有して
いるインクジェットヘッドである。
のノズルと、上記ノズル各々に連通する複数の圧力室と
が設けられたヘッド本体と、上記圧力室に対応した部分
に位置するように個別化されるとともに互いに接続され
た複数の共通電極と、上記共通電極同士を導通させる共
通電極導通部とを有する共通電極層と、上記共通電極層
上に積層された圧電体層と、上記圧電体層上に積層さ
れ、上記圧力室に対応した部分に位置するように個別化
された複数の個別電極と、各個別電極に対応して設けら
れた電圧入力端子と、各個別電極と各電圧入力端子部と
を繋ぐ個別電極用配線とを有する個別電極層と、上記圧
電体層の伸縮に従って上記圧力室内のインクに圧力を付
与するように変形する振動板とを備え、上記個別電極層
の個別電極用配線は、上記共通電極層の共通電極及び共
通電極導通部のいずれにも重ならない非重複部を有して
いるインクジェットヘッドである。
【０００９】これにより、共通電極が圧力室に対応した
部分に位置するように個別化されるため、個別電極用配
線は、共通電極が個別化されない場合と異なり、共通電
極及び共通電極導通部のいずれにも重ならない非重複部
を有する。よって、共通電極と個別電極との間に電圧が
印加されても、上記非重複部に電圧が印加されることは
ない。したがって、圧電体における上記非重複部に対応
する部分の位置に欠陥部が含まれているとしても、個別
電極用配線における上記非重複部の絶縁破壊は防止され
る。
部分に位置するように個別化されるため、個別電極用配
線は、共通電極が個別化されない場合と異なり、共通電
極及び共通電極導通部のいずれにも重ならない非重複部
を有する。よって、共通電極と個別電極との間に電圧が
印加されても、上記非重複部に電圧が印加されることは
ない。したがって、圧電体における上記非重複部に対応
する部分の位置に欠陥部が含まれているとしても、個別
電極用配線における上記非重複部の絶縁破壊は防止され
る。
【００１０】請求項２の発明は更に、共通電極層の共通
電極導通部は、各共通電極を繋ぐ共通電極用配線によっ
て構成されているものである。
電極導通部は、各共通電極を繋ぐ共通電極用配線によっ
て構成されているものである。
【００１１】これにより、共通電極は、共通電極用配線
によって導通されることになる。
によって導通されることになる。
【００１２】請求項３の発明は更に、振動板及び共通電
極の代わりに、共通電極を兼ねる導電性の振動板を備え
ているものである。
極の代わりに、共通電極を兼ねる導電性の振動板を備え
ているものである。
【００１３】これにより、振動板は共通電極を兼ねるの
で、別途共通電極を設ける必要がない。したがって、イ
ンクジェットヘッドの小型化や製造コストの低減を図る
ことができる。
で、別途共通電極を設ける必要がない。したがって、イ
ンクジェットヘッドの小型化や製造コストの低減を図る
ことができる。
【００１４】請求項４の発明は更に、振動板は導電材料
からなり、上記振動板と各共通電極の一部とは積層方向
に接触しており、共通電極導通部は上記共通電極と上記
振動板との接触部分によって構成されているものであ
る。
からなり、上記振動板と各共通電極の一部とは積層方向
に接触しており、共通電極導通部は上記共通電極と上記
振動板との接触部分によって構成されているものであ
る。
【００１５】これにより、共通電極導通部は共通電極と
振動板との接触部分により構成されているので、共通電
極同士をつなぐ配線を別途設ける必要はない。したがっ
て、インクジェットヘッドの製造コストの低減を図るこ
とができる。
振動板との接触部分により構成されているので、共通電
極同士をつなぐ配線を別途設ける必要はない。したがっ
て、インクジェットヘッドの製造コストの低減を図るこ
とができる。
【００１６】請求項５の発明は更に、個別電極用配線の
非重複部が上記個別電極用配線に占める体積割合を８０
％〜１００％にしたものである。
非重複部が上記個別電極用配線に占める体積割合を８０
％〜１００％にしたものである。
【００１７】これにより、上記非重複部が上記個別電極
用配線に占める体積割合はより高くなる。したがって、
個別電極用配線における上記非重複部での絶縁破壊を防
止する効果はより高くなる。
用配線に占める体積割合はより高くなる。したがって、
個別電極用配線における上記非重複部での絶縁破壊を防
止する効果はより高くなる。
【００１８】請求項６の発明は更に、個別電極用配線と
共通電極導通部とが重なっていないものである。
共通電極導通部とが重なっていないものである。
【００１９】これにより、個別電極用配線と共通電極導
通部とが重なっていないので、個別電極用配線における
共通電極及び共通電極導通部のいずれにも重ならない非
重複部の個別電極用配線に占める体積割合はより高くな
る。したがって、個別電極用配線における絶縁破壊を防
止する効果はより高くなる。
通部とが重なっていないので、個別電極用配線における
共通電極及び共通電極導通部のいずれにも重ならない非
重複部の個別電極用配線に占める体積割合はより高くな
る。したがって、個別電極用配線における絶縁破壊を防
止する効果はより高くなる。
【００２０】請求項７の発明は更に、電圧入力端子は、
走査方向と直交する直交方向に配列され、個別電極は、
上記直行方向に並ぶ複数の個別電極から成り上記電圧入
力端子側に位置する第１個別電極列と、上記直行方向に
並ぶ複数の個別電極から成り、上記第１個別電極列にお
ける上記電圧入力端子側と反対側において上記第１個別
電極列と平行に延びる１又は２以上の第２個別電極列と
を形成し、上記第２個別電極列の各個別電極に対する個
別電極用配線は、上記第１個別電極列の隣り合う個別電
極の間と上記個別電極に対する個別電極用配線の間とを
通る伸延部を有し、上記伸延部は、共通電極及び共通電
極導通部のいずれにも重なっていない非重複部を有して
いるものである。
走査方向と直交する直交方向に配列され、個別電極は、
上記直行方向に並ぶ複数の個別電極から成り上記電圧入
力端子側に位置する第１個別電極列と、上記直行方向に
並ぶ複数の個別電極から成り、上記第１個別電極列にお
ける上記電圧入力端子側と反対側において上記第１個別
電極列と平行に延びる１又は２以上の第２個別電極列と
を形成し、上記第２個別電極列の各個別電極に対する個
別電極用配線は、上記第１個別電極列の隣り合う個別電
極の間と上記個別電極に対する個別電極用配線の間とを
通る伸延部を有し、上記伸延部は、共通電極及び共通電
極導通部のいずれにも重なっていない非重複部を有して
いるものである。
【００２１】ところで、第２個別電極列の個別電極用配
線は第１個別電極列の個別電極用配線より長いため、第
２個別電極列の個別電極用配線の面積は第１個別電極列
の個別電極用配線の面積より大きい。よって、共通電極
が圧力室に対応する部分に位置するように個別化されて
いない場合、第２個別電極列の個別電極用配線と共通電
極との間の静電容量は、第１個別電極列の個別電極用配
線と共通電極との間の静電容量より大きくなる。ゆえ
に、共通電極と個別電極との間に電圧を印加した際、第
２個別電極列の個別電極用配線と共通電極との間に溜ま
る電荷量は、第１個別電極列の個別電極用配線と共通電
極との間に溜まる電荷量より大きくなる。したがって、
第２個別電極列の個別電極用配線は、第１個別電極列の
個別電極用配線より絶縁破壊を起こし易い。
線は第１個別電極列の個別電極用配線より長いため、第
２個別電極列の個別電極用配線の面積は第１個別電極列
の個別電極用配線の面積より大きい。よって、共通電極
が圧力室に対応する部分に位置するように個別化されて
いない場合、第２個別電極列の個別電極用配線と共通電
極との間の静電容量は、第１個別電極列の個別電極用配
線と共通電極との間の静電容量より大きくなる。ゆえ
に、共通電極と個別電極との間に電圧を印加した際、第
２個別電極列の個別電極用配線と共通電極との間に溜ま
る電荷量は、第１個別電極列の個別電極用配線と共通電
極との間に溜まる電荷量より大きくなる。したがって、
第２個別電極列の個別電極用配線は、第１個別電極列の
個別電極用配線より絶縁破壊を起こし易い。
【００２２】ここで、第２個別電極列の各個別電極に対
する個別電極用配線は、第１個別電極列の隣り合う個別
電極の間と個別電極に対する個別電極用配線の間とを通
る延伸部を有し、上記延伸部は共通電極及び共通電極導
通部のいずれにも重なっていない非重複部を有している
ため、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されて
も、上記非重複部に電圧は印加されない。したがって、
圧電体における上記非重複部に対応する部分の位置に欠
陥部が含まれているとしても、延伸部における上記非重
複部の絶縁破壊は防止される。
する個別電極用配線は、第１個別電極列の隣り合う個別
電極の間と個別電極に対する個別電極用配線の間とを通
る延伸部を有し、上記延伸部は共通電極及び共通電極導
通部のいずれにも重なっていない非重複部を有している
ため、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されて
も、上記非重複部に電圧は印加されない。したがって、
圧電体における上記非重複部に対応する部分の位置に欠
陥部が含まれているとしても、延伸部における上記非重
複部の絶縁破壊は防止される。
【００２３】請求項８の発明は更に、延伸部の非重複部
が上記延伸部に占める体積割合を、８０％〜１００％と
したものである。
が上記延伸部に占める体積割合を、８０％〜１００％と
したものである。
【００２４】これにより、延伸部の非重複部が上記延伸
部に占める体積割合はより高くなる。したがって、延伸
部における絶縁破壊を防止する効果はより高くなる。
部に占める体積割合はより高くなる。したがって、延伸
部における絶縁破壊を防止する効果はより高くなる。
【００２５】請求項９の発明は、請求項１〜８のいずれ
か一つに記載のインクジェットヘッドと、上記インクジ
ェットヘッドと記録媒体とを相対移動させる移動手段と
を備えているインクジェット式記録装置である。
か一つに記載のインクジェットヘッドと、上記インクジ
ェットヘッドと記録媒体とを相対移動させる移動手段と
を備えているインクジェット式記録装置である。
【００２６】これにより、個別電極用配線における共通
電極及び共通電極導通部のいずれにも重ならない非重複
部に対応する部分の位置の圧電体に欠陥部が含まれてい
るとしても、個別電極用配線における上記非重複部の絶
縁破壊は防止され、信頼性の高いインクジェット式記録
装置が得られる。
電極及び共通電極導通部のいずれにも重ならない非重複
部に対応する部分の位置の圧電体に欠陥部が含まれてい
るとしても、個別電極用配線における上記非重複部の絶
縁破壊は防止され、信頼性の高いインクジェット式記録
装置が得られる。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、共通電極が圧力室に対
応した部分に位置するように個別化されるため、個別電
極用配線は共通電極及び共通電極導通部のいずれにも重
ならない非重複部を有する。したがって、共通電極と個
別電極との間に電圧が印加されても上記非重複部に電圧
が印加されることはないため、圧電体における上記非重
複部に対応する部分の位置に欠陥部が含まれているとし
ても、個別電極用配線における上記非重複部の絶縁破壊
は防止される。
応した部分に位置するように個別化されるため、個別電
極用配線は共通電極及び共通電極導通部のいずれにも重
ならない非重複部を有する。したがって、共通電極と個
別電極との間に電圧が印加されても上記非重複部に電圧
が印加されることはないため、圧電体における上記非重
複部に対応する部分の位置に欠陥部が含まれているとし
ても、個別電極用配線における上記非重複部の絶縁破壊
は防止される。
【００２８】共通電極を兼ねる導電性の振動板を備える
こととすれば、別途共通電極を設ける必要がないため、
インクジェットヘッドの小型化や製造コストの低減を図
ることができる。
こととすれば、別途共通電極を設ける必要がないため、
インクジェットヘッドの小型化や製造コストの低減を図
ることができる。
【００２９】共通電極導通部を共通電極と導電性の振動
板との接触部分により構成することとすれば、別途共通
電極導通部を設ける必要はないため、インクジェットヘ
ッドの小型化や製造コストの低減を図ることができる。
板との接触部分により構成することとすれば、別途共通
電極導通部を設ける必要はないため、インクジェットヘ
ッドの小型化や製造コストの低減を図ることができる。
【００３０】個別電極用配線の非重複部が上記個別電極
用配線に占める体積割合を８０％〜１００％とすれば、
上記非重複部が上記個別電極用配線に占める体積割合は
より高くなるため、個別電極用配線における上記非重複
部での絶縁破壊を防止する効果はより高くなる。
用配線に占める体積割合を８０％〜１００％とすれば、
上記非重複部が上記個別電極用配線に占める体積割合は
より高くなるため、個別電極用配線における上記非重複
部での絶縁破壊を防止する効果はより高くなる。
【００３１】個別電極用配線と共通電極導通部とが重な
っていないこととすれば、個別電極用配線における共通
電極及び共通電極導通部のいずれにも重ならない非重複
部の個別電極用配線に占める体積割合はより高くなる。
したがって、個別電極用配線における絶縁破壊を防止す
る効果はより高くなる。
っていないこととすれば、個別電極用配線における共通
電極及び共通電極導通部のいずれにも重ならない非重複
部の個別電極用配線に占める体積割合はより高くなる。
したがって、個別電極用配線における絶縁破壊を防止す
る効果はより高くなる。
【００３２】第２個別電極列の各個別電極に対する個別
電極用配線は、第１個別電極列の隣り合う個別電極の間
と個別電極に対する個別電極用配線の間とを通る延伸部
を有し、上記延伸部は共通電極及び共通電極導通部のい
ずれにも重なっていない非重複部を有していることとす
れば、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されても
上記非重複部に電圧は印加されない。したがって、圧電
体における上記非重複部に対応する部分の位置に欠陥部
が含まれているとしても、延伸部における上記非重複部
の絶縁破壊は防止される。
電極用配線は、第１個別電極列の隣り合う個別電極の間
と個別電極に対する個別電極用配線の間とを通る延伸部
を有し、上記延伸部は共通電極及び共通電極導通部のい
ずれにも重なっていない非重複部を有していることとす
れば、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されても
上記非重複部に電圧は印加されない。したがって、圧電
体における上記非重複部に対応する部分の位置に欠陥部
が含まれているとしても、延伸部における上記非重複部
の絶縁破壊は防止される。
【００３３】延伸部の非重複部が上記延伸部に占める体
積割合を、８０％〜１００％とすれば、延伸部の非重複
部が上記延伸部に占める体積割合はより高くなるため、
延伸部における絶縁破壊を防止する効果はより高くな
る。
積割合を、８０％〜１００％とすれば、延伸部の非重複
部が上記延伸部に占める体積割合はより高くなるため、
延伸部における絶縁破壊を防止する効果はより高くな
る。
【００３４】
【発明の実施の形態】図１に示すように、本実施形態に
係るインクジェットヘッド１は、インクジェット式記録
装置としてのインクジェットプリンタ３に組み込まれ、
吐出したインク滴を紙等の記録媒体５に着弾させて記録
を行うものである。インクジェットヘッド１は、キャリ
ッジ軸７に沿って往復移動するキャリッジ９に搭載さ
れ、キャリッジ９とともに主走査方向Ｘに往復運動を行
う。ローラ１１は、キャリッジ９が主走査方向Ｘに一走
査分移動するごとに、記録媒体５を副走査方向Ｙに搬送
するように構成されている。
係るインクジェットヘッド１は、インクジェット式記録
装置としてのインクジェットプリンタ３に組み込まれ、
吐出したインク滴を紙等の記録媒体５に着弾させて記録
を行うものである。インクジェットヘッド１は、キャリ
ッジ軸７に沿って往復移動するキャリッジ９に搭載さ
れ、キャリッジ９とともに主走査方向Ｘに往復運動を行
う。ローラ１１は、キャリッジ９が主走査方向Ｘに一走
査分移動するごとに、記録媒体５を副走査方向Ｙに搬送
するように構成されている。
【００３５】図２に示すように、インクジェットヘッド
１は、共通インク室１３と複数の圧力室用凹部１５と複
数のノズル１７とが形成されたヘッド本体部１９と、圧
力室２１内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエー
タ２３とを備えている。
１は、共通インク室１３と複数の圧力室用凹部１５と複
数のノズル１７とが形成されたヘッド本体部１９と、圧
力室２１内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエー
タ２３とを備えている。
【００３６】ヘッド本体部１９の圧力室用凹部１５は、
副走査方向Ｙに沿って所定間隔毎に配設されている。各
圧力室用凹部１５は、開口断面（ＸＹ断面）が主走査方
向Ｘに細長い略矩形状に形成されている。各圧力室用凹
部１５の底部の長手方向の一端（図２の右側端）には、
共通インク室１３と圧力室２１とを繋ぐインク供給口２
５が形成され、その他端（図２の左側端）には、圧力室
２１とノズル１７とを繋ぐインク流路２７が形成されて
いる。
副走査方向Ｙに沿って所定間隔毎に配設されている。各
圧力室用凹部１５は、開口断面（ＸＹ断面）が主走査方
向Ｘに細長い略矩形状に形成されている。各圧力室用凹
部１５の底部の長手方向の一端（図２の右側端）には、
共通インク室１３と圧力室２１とを繋ぐインク供給口２
５が形成され、その他端（図２の左側端）には、圧力室
２１とノズル１７とを繋ぐインク流路２７が形成されて
いる。
【００３７】圧電アクチュエータ２３は、厚さ４μｍの
Ｃｒからなる振動板３７と、振動板上に形成された厚さ
０．５μｍの絶縁膜３５と、絶縁膜３５上に形成された
厚さ０．１〜０．２μｍのＰｔからなる共通電極３３
と、共通電極３３上に形成された３μｍのＰＺＴ薄膜か
らなる圧電体層３１と、圧電体層３１上に形成された厚
さ０．１〜０．２μｍのＰｔからなる個別電極２９とを
備えている。個別電極２９、圧電体層３１及び共通電極
３３は、ヘッド本体部１９の各圧力室用凹部１５に対応
した部分に位置するように設けられている。なお、図２
では、後述する個別電極用配線３９ａ，３９ｂ及び共通
電極用配線４３等（図３参照）の図示は省略されてい
る。
Ｃｒからなる振動板３７と、振動板上に形成された厚さ
０．５μｍの絶縁膜３５と、絶縁膜３５上に形成された
厚さ０．１〜０．２μｍのＰｔからなる共通電極３３
と、共通電極３３上に形成された３μｍのＰＺＴ薄膜か
らなる圧電体層３１と、圧電体層３１上に形成された厚
さ０．１〜０．２μｍのＰｔからなる個別電極２９とを
備えている。個別電極２９、圧電体層３１及び共通電極
３３は、ヘッド本体部１９の各圧力室用凹部１５に対応
した部分に位置するように設けられている。なお、図２
では、後述する個別電極用配線３９ａ，３９ｂ及び共通
電極用配線４３等（図３参照）の図示は省略されてい
る。
【００３８】次に、図３を参照しながら、ヘッド本体部
１９の圧力室２１等の配置パターンを説明する。
１９の圧力室２１等の配置パターンを説明する。
【００３９】図３に示すように、本インクジェットヘッ
ド１では、複数の圧力室２１が主走査方向Ｘ及び副走査
方向Ｙにそれぞれ所定間隔毎に設けられ、副走査方向Ｙ
に延びる４列の圧力室が形成されている。圧力室２１は
その長径Ｌが列方向Ｙと直交するように形成されてい
る。各圧力室列の圧力室２１は、他の圧力室列の圧力室
２１に対して、副走査方向Ｙにずれている。例えば、図
３において左端に位置する第１圧力室列２１ａに対し
て、第２圧力室列２１ｂは、第１圧力室列の隣り合う圧
力室２１、２１の間に対応する部分に配置されている。
すなわち、隣り合う列の圧力室２１同士の位置がずれた
千鳥状になるように配置されている。
ド１では、複数の圧力室２１が主走査方向Ｘ及び副走査
方向Ｙにそれぞれ所定間隔毎に設けられ、副走査方向Ｙ
に延びる４列の圧力室が形成されている。圧力室２１は
その長径Ｌが列方向Ｙと直交するように形成されてい
る。各圧力室列の圧力室２１は、他の圧力室列の圧力室
２１に対して、副走査方向Ｙにずれている。例えば、図
３において左端に位置する第１圧力室列２１ａに対し
て、第２圧力室列２１ｂは、第１圧力室列の隣り合う圧
力室２１、２１の間に対応する部分に配置されている。
すなわち、隣り合う列の圧力室２１同士の位置がずれた
千鳥状になるように配置されている。
【００４０】第１個別電極列２９ａ及び第２個別電極列
２９ｂはそれぞれ、第１圧力室列２１ａ及び第２圧力室
列２１ｂに対応する部分に位置している。第１個別電極
列２９ａ及び第２個別電極列２９ｂの個別電極２９から
はそれぞれ、個別電極用配線３９ａ，３９ｂがヘッド本
体部１９の主走査方向Ｘの一端側（図３の左端側）へ延
びている。第２個別電極列２９ｂの個別電極用配線３９
ｂは、第１個別電極列２９ａの隣り合う個別電極２９、
２９間を通るように配置されている。各個別電極用配線
３９ａ，３９ｂそれぞれは、電圧入力端子部４１に接続
されている。各電圧入力端子部４１は、ヘッド本体部１
９の主走査方向Ｘの一端側（図３の左端側）において副
走査方向Ｙに沿って配列されている。
２９ｂはそれぞれ、第１圧力室列２１ａ及び第２圧力室
列２１ｂに対応する部分に位置している。第１個別電極
列２９ａ及び第２個別電極列２９ｂの個別電極２９から
はそれぞれ、個別電極用配線３９ａ，３９ｂがヘッド本
体部１９の主走査方向Ｘの一端側（図３の左端側）へ延
びている。第２個別電極列２９ｂの個別電極用配線３９
ｂは、第１個別電極列２９ａの隣り合う個別電極２９、
２９間を通るように配置されている。各個別電極用配線
３９ａ，３９ｂそれぞれは、電圧入力端子部４１に接続
されている。各電圧入力端子部４１は、ヘッド本体部１
９の主走査方向Ｘの一端側（図３の左端側）において副
走査方向Ｙに沿って配列されている。
【００４１】第１共通電極列３３ａ及び第２共通電極列
３３ｂはそれぞれ、第１圧力室列２１ａ及び第２圧力室
列２１ｂに対応する部分に位置している。第１共通電極
列３３ａの共通電極３３と相隣接する第２共通電極列３
３ｂの共通電極３３とは、共通電極用配線４３で結合さ
れている。また、第２共通電極列３３ｂからは、共通電
極用配線４３がヘッド本体部１９の主走査方向Ｘの他端
側（図３の右端側）へ延び、各共通電極用配線４３は上
記他端側において互いに結合されている。共通電極用配
線４３は、ヘッド本体部１９の隅部に設けられたアース
取り出し部４５に接続されている。これにより、各共通
電極３３が個別化されているにもかかわらず、すべての
共通電極３３はゼロ電位の状態に保たれる。
３３ｂはそれぞれ、第１圧力室列２１ａ及び第２圧力室
列２１ｂに対応する部分に位置している。第１共通電極
列３３ａの共通電極３３と相隣接する第２共通電極列３
３ｂの共通電極３３とは、共通電極用配線４３で結合さ
れている。また、第２共通電極列３３ｂからは、共通電
極用配線４３がヘッド本体部１９の主走査方向Ｘの他端
側（図３の右端側）へ延び、各共通電極用配線４３は上
記他端側において互いに結合されている。共通電極用配
線４３は、ヘッド本体部１９の隅部に設けられたアース
取り出し部４５に接続されている。これにより、各共通
電極３３が個別化されているにもかかわらず、すべての
共通電極３３はゼロ電位の状態に保たれる。
【００４２】個別電極用配線３９と共通電極用配線４３
とには、互いに上下方向に重なり合うような重複部は存
在していない。言い換えれば、個別電極用配線３９と共
通電極用配線４３とは、互いに重なり合わないように配
置されている。
とには、互いに上下方向に重なり合うような重複部は存
在していない。言い換えれば、個別電極用配線３９と共
通電極用配線４３とは、互いに重なり合わないように配
置されている。
【００４３】共通電極３３、個別電極２９は、この順に
面積が小さくなっている。そのため、個別電極２９から
延びる個別電極用配線３９の一部は共通電極３３と上下
方向に重なっており、個別電極用配線３９の一部は重複
部３９ｃとなっている。しかし、本実施形態では、重複
部３９ｃが個別電極用配線３９の全体に占める割合は小
さい。重複部３９ｃの割合は小さいほど好ましく、２０
％以下が好適である。また、１０％以下であれば更に好
ましく、５％以下であればより一層好ましい。
面積が小さくなっている。そのため、個別電極２９から
延びる個別電極用配線３９の一部は共通電極３３と上下
方向に重なっており、個別電極用配線３９の一部は重複
部３９ｃとなっている。しかし、本実施形態では、重複
部３９ｃが個別電極用配線３９の全体に占める割合は小
さい。重複部３９ｃの割合は小さいほど好ましく、２０
％以下が好適である。また、１０％以下であれば更に好
ましく、５％以下であればより一層好ましい。
【００４４】なお、個別電極２９と共通電極３３との面
積を等しくすることも可能である。その場合には、個別
電極用配線３９と共通電極３３との重複部、及び個別電
極用配線３９と共通電極用配線４３との重複部をなくす
ことができる。
積を等しくすることも可能である。その場合には、個別
電極用配線３９と共通電極３３との重複部、及び個別電
極用配線３９と共通電極用配線４３との重複部をなくす
ことができる。
【００４５】図３における右側２列の圧力室列における
圧力室２１等は、左側２列の圧力室列２１ａ，２１ｂと
ほぼ同一パターンで配置されている。右側２列の共通電
極３３も共通電極用配線４３を介してアース取り出し部
４５に接続されている。
圧力室２１等は、左側２列の圧力室列２１ａ，２１ｂと
ほぼ同一パターンで配置されている。右側２列の共通電
極３３も共通電極用配線４３を介してアース取り出し部
４５に接続されている。
【００４６】次に、図４を参照にしながら、インクジェ
ットヘッド１の製造方法について説明する。まず、図４
（ａ）に示すように、ＭｇＯ基板４７上の全体に、Ａ
ｌ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｔ等の金属や導電性酸化物などの導
電性材料を用いて、スパッタリングや蒸着等により上部
電極４９を形成する。次に、図４（ｂ）に示すように、
この上部電極４９上にスパッタリングや蒸着等によりＰ
ＺＴ薄膜からなる圧電体層３１を形成する。なお、この
際、圧電体層３１の内部に欠陥部５３が含まれる場合が
ある。
ットヘッド１の製造方法について説明する。まず、図４
（ａ）に示すように、ＭｇＯ基板４７上の全体に、Ａ
ｌ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｔ等の金属や導電性酸化物などの導
電性材料を用いて、スパッタリングや蒸着等により上部
電極４９を形成する。次に、図４（ｂ）に示すように、
この上部電極４９上にスパッタリングや蒸着等によりＰ
ＺＴ薄膜からなる圧電体層３１を形成する。なお、この
際、圧電体層３１の内部に欠陥部５３が含まれる場合が
ある。
【００４７】次に、図４（ｃ）に示すように、上部電極
４９及び圧電体層３１を個別化することにより、個別電
極２９及び個別電極用配線３９（図４では図示せず）を
形成するとともに、個別電極２９及び個別電極用配線３
９上以外の部分に位置する圧電体層３１を除去する。こ
こで、個別化は、エッチング等により実施する。次に、
図４（ｄ）に示すように、圧電体層３１の除去部分に絶
縁体３０を埋め込み、それから、圧電体層３１及び絶縁
体３０上にＰｔからなる下部電極５１を形成する。次
に、図４（ｅ）に示すように、下部電極５１を個別化す
ることにより、共通電極３３及び共通電極用配線４３
（図４では図示せず）を形成する。ここで、個別化は、
エッチング等により実施する。
４９及び圧電体層３１を個別化することにより、個別電
極２９及び個別電極用配線３９（図４では図示せず）を
形成するとともに、個別電極２９及び個別電極用配線３
９上以外の部分に位置する圧電体層３１を除去する。こ
こで、個別化は、エッチング等により実施する。次に、
図４（ｄ）に示すように、圧電体層３１の除去部分に絶
縁体３０を埋め込み、それから、圧電体層３１及び絶縁
体３０上にＰｔからなる下部電極５１を形成する。次
に、図４（ｅ）に示すように、下部電極５１を個別化す
ることにより、共通電極３３及び共通電極用配線４３
（図４では図示せず）を形成する。ここで、個別化は、
エッチング等により実施する。
【００４８】次に、個別電極２９と共通電極３３との間
に微小な時間だけ電圧を印加する。これにより、圧電体
膜３１に欠陥部５３が含まれている場合には、欠陥部５
３に急激に大きな電流が流れ、微小な絶縁破壊が起こる
（図５（ａ）参照）。そして、これに伴う発熱により、
共通電極３３における欠陥部５３の上方部分が溶けて気
化し、上記部分における共通電極３３の一部が除去され
る。
に微小な時間だけ電圧を印加する。これにより、圧電体
膜３１に欠陥部５３が含まれている場合には、欠陥部５
３に急激に大きな電流が流れ、微小な絶縁破壊が起こる
（図５（ａ）参照）。そして、これに伴う発熱により、
共通電極３３における欠陥部５３の上方部分が溶けて気
化し、上記部分における共通電極３３の一部が除去され
る。
【００４９】次に、図５（ｂ）に示すように、共通電極
３３上にポリイミドからなる絶縁膜３５を形成する。こ
れは、個別化によって除去された部分及び微小絶縁破壊
によって形成された欠損部５４を絶縁材たるポリイミド
で埋めて、共通電極３３同士を絶縁する工程である。次
に、図５（ｃ）に示すように、絶縁膜３５上にＣｒから
なる振動板３７を形成する。次に、図５（ｄ）に示すよ
うに、圧力室２１が形成されたヘッド本体部１９を振動
板３７上に接着する。最後に、図５（ｅ）に示すよう
に、ＭｇＯ基板４７を取り除く。
３３上にポリイミドからなる絶縁膜３５を形成する。こ
れは、個別化によって除去された部分及び微小絶縁破壊
によって形成された欠損部５４を絶縁材たるポリイミド
で埋めて、共通電極３３同士を絶縁する工程である。次
に、図５（ｃ）に示すように、絶縁膜３５上にＣｒから
なる振動板３７を形成する。次に、図５（ｄ）に示すよ
うに、圧力室２１が形成されたヘッド本体部１９を振動
板３７上に接着する。最後に、図５（ｅ）に示すよう
に、ＭｇＯ基板４７を取り除く。
【００５０】以上のように、本実施形態では、共通電極
３３が圧力室２１に対応した部分のみに位置するように
個別化されているため、個別電極用配線３９は、共通電
極３３と重ならない非重複部を有する。また、電圧入力
端子部４１をヘッドの一端側に集中的に配置したので、
個別電極用配線３９と共通電極用配線４３とは、互いに
重なり合うことがない。よって、個別電極２９と共通電
極３３との間に電圧が印加されても、上記非重複部に電
圧が印加されることはない。また、個別電極用配線３９
と共通電極用配線４３との間に電圧が印加されることは
ない。したがって、上記非重複部の圧電体層３１又は個
別電極用配線３９と共通電極用配線４３との間の圧電体
層３１に欠陥部５３が含まれていたとしても、絶縁破壊
は防止される。本実施形態では、個別電極用配線３９と
共通電極３３及び共通電極用配線４３との非重複部の体
積割合（個別電極用配線３９の全体に占める体積割合）
が８０％〜１００％であるので、高い確率で絶縁破壊を
防止することができる。
３３が圧力室２１に対応した部分のみに位置するように
個別化されているため、個別電極用配線３９は、共通電
極３３と重ならない非重複部を有する。また、電圧入力
端子部４１をヘッドの一端側に集中的に配置したので、
個別電極用配線３９と共通電極用配線４３とは、互いに
重なり合うことがない。よって、個別電極２９と共通電
極３３との間に電圧が印加されても、上記非重複部に電
圧が印加されることはない。また、個別電極用配線３９
と共通電極用配線４３との間に電圧が印加されることは
ない。したがって、上記非重複部の圧電体層３１又は個
別電極用配線３９と共通電極用配線４３との間の圧電体
層３１に欠陥部５３が含まれていたとしても、絶縁破壊
は防止される。本実施形態では、個別電極用配線３９と
共通電極３３及び共通電極用配線４３との非重複部の体
積割合（個別電極用配線３９の全体に占める体積割合）
が８０％〜１００％であるので、高い確率で絶縁破壊を
防止することができる。
【００５１】また、本実施形態では、第２個別電極列２
９ｂの各個別電極２９に対する個別電極用配線３９ｂ
は、第１個別電極列２９ａの隣り合う個別電極２９，２
９の間を通る延伸部３９ｄを有し、この延伸部３９ｄは
共通電極３３に重なっていない。よって、個別電極２９
と共通電極３３との間に電圧が印加されても、延伸部３
９ｄに電圧が印加されることはない。したがって、延伸
部３９ｄの圧電体層３１に欠陥部５３が含まれていたと
しても、絶縁破壊は防止される。本実施形態では、延伸
部３９ｄの共通電極３３に重なっていない非重複部が延
伸部３９ｄに占める体積割合は、８０％〜１００％であ
るので、高い確率で絶縁破壊を防止することができる。
９ｂの各個別電極２９に対する個別電極用配線３９ｂ
は、第１個別電極列２９ａの隣り合う個別電極２９，２
９の間を通る延伸部３９ｄを有し、この延伸部３９ｄは
共通電極３３に重なっていない。よって、個別電極２９
と共通電極３３との間に電圧が印加されても、延伸部３
９ｄに電圧が印加されることはない。したがって、延伸
部３９ｄの圧電体層３１に欠陥部５３が含まれていたと
しても、絶縁破壊は防止される。本実施形態では、延伸
部３９ｄの共通電極３３に重なっていない非重複部が延
伸部３９ｄに占める体積割合は、８０％〜１００％であ
るので、高い確率で絶縁破壊を防止することができる。
【００５２】また、本実施形態によれば、圧電体層３１
に欠陥部５３が含まれている場合であっても、下部電極
５１（共通電極３３）における欠陥部５３に対応する部
分は微小絶縁破壊によって除去された欠損部５４となっ
ているので、個別電極２９と共通電極３３との間に電圧
を印加しても、局所的に欠陥部５３には電圧が印加され
ないことになる。そのため、圧電体層３１の欠陥部５３
には電圧が印加されないことになる。したがって、圧電
体層３１に欠陥部５３が含まれていたとしても、インク
吐出動作の際に絶縁破壊が生じるおそれはない。
に欠陥部５３が含まれている場合であっても、下部電極
５１（共通電極３３）における欠陥部５３に対応する部
分は微小絶縁破壊によって除去された欠損部５４となっ
ているので、個別電極２９と共通電極３３との間に電圧
を印加しても、局所的に欠陥部５３には電圧が印加され
ないことになる。そのため、圧電体層３１の欠陥部５３
には電圧が印加されないことになる。したがって、圧電
体層３１に欠陥部５３が含まれていたとしても、インク
吐出動作の際に絶縁破壊が生じるおそれはない。
【００５３】また、本実施形態によれば、個別電極用配
線３９と共通電極３３との重複部分が少ないので、微小
絶縁破壊を起こす工程において、欠損部５４が個別電極
用配線３９に生じるおそれは少ない。そのため、微小絶
縁破壊工程によって個別電極用配線３９の絶縁や導通不
良を招くおそれは少ない。したがって、予め製造工程中
に微小絶縁破壊を起こし、欠陥部５３に対応する部分に
電極の欠損部５４を設けることによってインク吐出動作
時の耐電圧性を向上させるという製造方法を、より安心
して利用することができる。
線３９と共通電極３３との重複部分が少ないので、微小
絶縁破壊を起こす工程において、欠損部５４が個別電極
用配線３９に生じるおそれは少ない。そのため、微小絶
縁破壊工程によって個別電極用配線３９の絶縁や導通不
良を招くおそれは少ない。したがって、予め製造工程中
に微小絶縁破壊を起こし、欠陥部５３に対応する部分に
電極の欠損部５４を設けることによってインク吐出動作
時の耐電圧性を向上させるという製造方法を、より安心
して利用することができる。
【００５４】なお、本実施形態では、共通電極用配線４
３はヘッド本体部１９の他端側において互いに結合さ
れ、その結合した共通電極用配線４３が、アース取り出
し部４５に接続されているが、図６（ｃ）に示すよう
に、共通電極３３の一部を導電性の振動板３７と接触さ
せ、振動板３７を通じてすべての共通電極３３を接続し
てもよい。そのような接続態様は、例えば、絶縁膜３５
をエッチング等により個別化することにより絶縁膜３５
の一部を除去し（図６（ａ）参照）、共通電極３３の露
出部３３ｃ及び絶縁膜３５上に導電性を有する振動板３
７を形成し（図６（ｂ）参照）、振動板３７と共通電極
３３との一部分を接触させ、振動板３７をアース取り出
し部４５に接続することによって形成することができ
る。
３はヘッド本体部１９の他端側において互いに結合さ
れ、その結合した共通電極用配線４３が、アース取り出
し部４５に接続されているが、図６（ｃ）に示すよう
に、共通電極３３の一部を導電性の振動板３７と接触さ
せ、振動板３７を通じてすべての共通電極３３を接続し
てもよい。そのような接続態様は、例えば、絶縁膜３５
をエッチング等により個別化することにより絶縁膜３５
の一部を除去し（図６（ａ）参照）、共通電極３３の露
出部３３ｃ及び絶縁膜３５上に導電性を有する振動板３
７を形成し（図６（ｂ）参照）、振動板３７と共通電極
３３との一部分を接触させ、振動板３７をアース取り出
し部４５に接続することによって形成することができ
る。
【００５５】また、本実施形態では、絶縁膜３５と振動
板３７は別々に設けられているが、絶縁膜を兼ねる絶縁
性の振動板を設けてもよい。これにより、絶縁膜３５と
振動板３７とを別個に設ける必要がなくなるため、イン
クジェットヘッド１の小型化や製造コストの低減を図る
ことができる。
板３７は別々に設けられているが、絶縁膜を兼ねる絶縁
性の振動板を設けてもよい。これにより、絶縁膜３５と
振動板３７とを別個に設ける必要がなくなるため、イン
クジェットヘッド１の小型化や製造コストの低減を図る
ことができる。
【００５６】また、本実施形態では、共通電極３３上に
絶縁膜３５を介して振動板３７を設けているが、図７に
示すように、個別電極２９上に絶縁膜３５を介して振動
板３７を設けてもよい。ここで、個別電極２９と振動板
３７とは別々に設けられているが、個別電極を兼ねる導
電性を有する振動板を設けてもよい。
絶縁膜３５を介して振動板３７を設けているが、図７に
示すように、個別電極２９上に絶縁膜３５を介して振動
板３７を設けてもよい。ここで、個別電極２９と振動板
３７とは別々に設けられているが、個別電極を兼ねる導
電性を有する振動板を設けてもよい。
【００５７】また、本実施形態では、アース取り出し部
４５はヘッド本体部１９の左上部に設けられているが
（図３参照）、これに限らず、例えば、ヘッド本体部１
９の右下部に設けられてもよい。
４５はヘッド本体部１９の左上部に設けられているが
（図３参照）、これに限らず、例えば、ヘッド本体部１
９の右下部に設けられてもよい。
【００５８】また、個別電極２９、圧電体膜３１、共通
電極３３等は、本実施形態と異なる材料や厚みのものを
使用してもよい。
電極３３等は、本実施形態と異なる材料や厚みのものを
使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェットヘッドの概略構成図である。
【図２】本実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視
図である。
図である。
【図３】本実施形態に係るインクジェットヘッドの正面
図である。
図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は、本実施形態に係るインクジ
ェットヘッドの製造工程図の一部である。
ェットヘッドの製造工程図の一部である。
【図５】（ａ）〜（ｅ）は、本実施形態に係るインクジ
ェットヘッドの製造工程図の一部である。
ェットヘッドの製造工程図の一部である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態に係るインクジ
ェットヘッドの変形例の製造工程図である。
ェットヘッドの変形例の製造工程図である。
【図７】本実施形態に係るインクジェットヘッドの変形
例における、図３のＩ−Ｉ線の横断面図に相当する図で
ある。
例における、図３のＩ−Ｉ線の横断面図に相当する図で
ある。
１９ ヘッド本体部
２１ 圧力室
２３ 圧電アクチュエータ
２９ 個別電極
３１ 圧電体層
３３ 共通電極
３５ 絶縁膜
３７ 振動板
３９ 個別電極用配線
４３ 共通電極用配線
５３ 欠陥部
５４ 欠損部
Claims (9)
- 【請求項１】 複数のノズルと、上記ノズル各々に連通
する複数の圧力室とが設けられたヘッド本体と、 上記圧力室に対応した部分に位置するように個別化され
るとともに互いに接続された複数の共通電極と、上記共
通電極同士を導通させる共通電極導通部とを有する共通
電極層と、 上記共通電極層上に積層された圧電体層と、 上記圧電体層上に積層され、上記圧力室に対応した部分
に位置するように個別化された複数の個別電極と、各個
別電極に対応して設けられた電圧入力端子と、各個別電
極と各電圧入力端子部とを繋ぐ個別電極用配線とを有す
る個別電極層と、 上記圧電体層の伸縮に従って上記圧力室内のインクに圧
力を付与するように変形する振動板とを備え、 上記個別電極層の個別電極用配線は、上記共通電極層の
共通電極及び共通電極導通部のいずれにも重ならない非
重複部を有しているインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 共通電極層の共通電極導通部は、各共通
電極を繋ぐ共通電極用配線によって構成されている請求
項１に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 振動板及び共通電極の代わりに、共通電
極を兼ねる導電性の振動板を備えている請求項１又は２
に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項４】 振動板は、導電材料からなり、 上記振動板と各共通電極の一部とは、積層方向に接触し
ており、 共通電極導通部は、上記共通電極と上記振動板との接触
部分によって構成されている請求項１に記載のインクジ
ェットヘッド。 - 【請求項５】 個別電極用配線の非重複部が上記個別電
極用配線に占める体積割合は８０％〜１００％である請
求項１〜４のいずれか１つに記載のインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項６】 個別電極用配線と共通電極導通部とが重
なっていない請求項１〜５のいずれか１つに記載のイン
クジェットヘッド。 - 【請求項７】 電圧入力端子は、走査方向と直交する直
交方向に配列され、 個別電極は、上記直行方向に並ぶ複数の個別電極から成
り上記電圧入力端子側に位置する第１個別電極列と、上
記直行方向に並ぶ複数の個別電極から成り、上記第１個
別電極列における上記電圧入力端子側と反対側において
上記第１個別電極列と平行に延びる１又は２以上の第２
個別電極列とを形成し、 上記第２個別電極列の各個別電極に対する個別電極用配
線は、上記第１個別電極列の隣り合う個別電極の間と上
記個別電極に対する個別電極用配線の間とを通る延伸部
を有し、 上記延伸部は、共通電極及び共通電極導通部のいずれに
も重なっていない非重複部を有している請求項１〜６の
いずれか１つに記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項８】 延伸部の非重複部が上記延伸部に占める
体積割合は、８０％〜１００％である請求項７に記載の
インクジェットヘッド。 - 【請求項９】 請求項１〜８のいずれか１つに記載のイ
ンクジェットヘッドと、 上記インクジェットヘッドと記録媒体とを相対移動させ
る移動手段とを備えているインクジェット式記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001364351A JP2003159798A (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001364351A JP2003159798A (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003159798A true JP2003159798A (ja) | 2003-06-03 |
Family
ID=19174555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001364351A Pending JP2003159798A (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003159798A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1604826A1 (en) | 2004-06-08 | 2005-12-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet recording head |
| JP2006006096A (ja) * | 2004-05-19 | 2006-01-05 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
| US7374276B2 (en) | 2003-06-30 | 2008-05-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet printing head and printer |
| US7732989B2 (en) | 2004-05-19 | 2010-06-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator with terminals on common plane, ink-jet head provided with the same, ink-jet printer, and method for manufacturing piezoelectric actuator |
| WO2013002775A1 (en) | 2011-06-29 | 2013-01-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Piezoelectric printhead trace layout |
| JP2014222757A (ja) * | 2014-06-18 | 2014-11-27 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
| EP3205501A1 (en) | 2016-01-29 | 2017-08-16 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid jetting apparatus and method of producing liquid jetting apparatus |
| JP2019142237A (ja) * | 2019-05-09 | 2019-08-29 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
-
2001
- 2001-11-29 JP JP2001364351A patent/JP2003159798A/ja active Pending
Cited By (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7374276B2 (en) | 2003-06-30 | 2008-05-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet printing head and printer |
| US8732921B2 (en) | 2004-05-19 | 2014-05-27 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing piezoelectric actuator |
| JP2006006096A (ja) * | 2004-05-19 | 2006-01-05 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
| US10978634B2 (en) | 2004-05-19 | 2021-04-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing piezoelectric actuator |
| US7732989B2 (en) | 2004-05-19 | 2010-06-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator with terminals on common plane, ink-jet head provided with the same, ink-jet printer, and method for manufacturing piezoelectric actuator |
| JP4609182B2 (ja) * | 2004-05-19 | 2011-01-12 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
| US11711981B2 (en) | 2004-05-19 | 2023-07-25 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator |
| US9302467B2 (en) | 2004-05-19 | 2016-04-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Laminated piezoelectric actuator for an ink-jet head |
| US10340439B2 (en) | 2004-05-19 | 2019-07-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing piezoelectric actuator |
| EP1604826A1 (en) | 2004-06-08 | 2005-12-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet recording head |
| US7578579B2 (en) | 2004-06-08 | 2009-08-25 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet recording head |
| EP2726295A4 (en) * | 2011-06-29 | 2014-05-07 | Hewlett Packard Development Co | TRACK LAYOUT FOR PIEZOELECTRIC PRINT HEAD |
| JP2014522756A (ja) * | 2011-06-29 | 2014-09-08 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル．ピー． | 圧電プリントヘッドトレースレイアウト |
| EP2726295A1 (en) * | 2011-06-29 | 2014-05-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Piezoelectric printhead trace layout |
| TWI498229B (zh) * | 2011-06-29 | 2015-09-01 | 惠普發展公司有限責任合夥企業 | 壓電列印頭軌跡線佈局技術 |
| CN103619600A (zh) * | 2011-06-29 | 2014-03-05 | 惠普发展公司，有限责任合伙企业 | 压电打印头轨迹布局 |
| WO2013002775A1 (en) | 2011-06-29 | 2013-01-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Piezoelectric printhead trace layout |
| JP2014222757A (ja) * | 2014-06-18 | 2014-11-27 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
| EP3521039A1 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-07 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid jetting apparatus and method of producing liquid jetting apparatus |
| US10406810B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-09-10 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid jetting apparatus and method of producing liquid jetting apparatus |
| US10611149B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-04-07 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid jetting apparatus and method of producing liquid jetting apparatus |
| US10906308B2 (en) | 2016-01-29 | 2021-02-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid jetting apparatus and method of producing liquid jetting apparatus |
| US10155380B2 (en) | 2016-01-29 | 2018-12-18 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid jetting apparatus and method of producing liquid jetting apparatus |
| EP3205501A1 (en) | 2016-01-29 | 2017-08-16 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid jetting apparatus and method of producing liquid jetting apparatus |
| JP2019142237A (ja) * | 2019-05-09 | 2019-08-29 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4218594B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| US7654649B2 (en) | Liquid delivering device | |
| JP4557019B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
| US7560852B2 (en) | Piezoelectric actuator, method for manufacturing piezoelectric actuator, and liquid transporting apparatus | |
| JP6707974B2 (ja) | Ｍｅｍｓデバイス、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 | |
| JP6965540B2 (ja) | 圧電デバイス、ｍｅｍｓデバイス、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 | |
| JP5589811B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP4985265B2 (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法 | |
| US7512035B2 (en) | Piezoelectric actuator, liquid transporting apparatus, and method of producing piezoelectric actuator | |
| JP5262806B2 (ja) | 液体移送装置及び液体移送装置の製造方法 | |
| JP4329734B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP6011006B2 (ja) | 液滴噴射装置 | |
| JP2003159798A (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3843004B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 | |
| JP2006205670A (ja) | インクジェットヘッド | |
| CN110139760B (zh) | 喷墨头、喷墨头的制造方法以及图像形成装置 | |
| US7695117B2 (en) | Piezoelectric actuator, liquid transporting apparatus which includes piezoelectric actuator, and method of manufacturing piezoelectric actuator | |
| TW201641302A (zh) | 墨水噴頭、及噴墨印表機 | |
| JP5803529B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、液体噴射装置、圧電アクチュエータの製造方法及び液体噴射装置の製造方法 | |
| JP5476901B2 (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータ | |
| JP6604035B2 (ja) | 液体吐出装置、及び液体吐出装置の製造方法 | |
| JP3377766B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP4687083B2 (ja) | 液体移送装置 | |
| JP7087511B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、電子デバイス | |
| JPH11105277A (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040723 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060209 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060221 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060620 |