JP5589811B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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前記圧電層には、スルーホールが形成されるとともに、このスルーホール内に導電性の充填材が充填されることによって、前記第2電極を前記圧電層の前記一面に引き出す複数の第1引出部が設けられており、前記圧電層には、スルーホールが形成されるとともに、このスルーホール内に導電性の充填材が充填されることによって、前記第3電極を前記圧電層の前記一面に引き出す複数の第2引出部が設けられており、前記複数の第1引出部と前記複数の第2引出部とを形成する前記充填材は、前記第1電極を形成する導電性材料とは異なる材料であり、前記第1電極を形成する導電性材料は、前記充填材よりもマイグレーションが生じにくい材料であり、
前記圧電層の前記一面の、前記複数の第1電極と前記所定方向と直交する方向に隣接する領域において、前記複数の第1引出部が前記所定方向に配列され、且つ、前記複数の第2引出部も前記所定方向に配列され、さらに、前記複数の第1引出部と前記複数の第2引出部とが、前記所定方向に並んでおり、前記圧電層の前記一面には、前記第1電極と同じ導電性材料により、前記複数の第1引出部の露出部分と導通する第1引出電極と、前記複数の第2引出部の露出部分と導通する第2引出電極が形成され、前記第1引出電極は、前記複数の第1引出部の前記露出部分を取り囲み、前記第2引出電極の前記所定方向と直交する方向の幅は、前記第1引出電極の前記所定方向と直交する方向の幅よりも小さい。
また、第2電極を複数の第1引出部で複数箇所から引き出しているため、付与された正電位の降下を抑制することができる。そして、複数の第1引出部を1つの第1引出電極で導通させることで、例えば、配線部材との導通に用いるバンプを、引出部ごとに形成する必要がない。
また、前記第1電極に設けられているバンプは、この第1電極よりもマイグレーションが生じやすい材料で形成され、前記所定方向と直交する方向において、前記第2引出電極と前記第1電極のバンプとの距離が、前記第1引出電極と前記第1電極のバンプとの距離よりも大きいことが好ましい。
また、前記第1電極は、前記バンプが設けられる接点部を有し、前記バンプは、前記接点部に取り囲まれており、前記複数の第1電極のうち、前記第1引出電極よりも前記第2引出電極に近い位置にある前記第1電極の前記接点部は、前記第1引出電極に近い前記第1電極と比べて、前記バンプを大きく取り囲むように形成されていることが好ましい。
37、38 スルーホール
40〜42 圧電層
43 個別電極
44 第1共通電極
45 第2共通電極
46 第1引出電極
47 第2引出電極
65、66 充填材
68 第1引出部
69 第2引出部
Claims (5)
- 圧電層と、
前記圧電層の一面において所定方向に配列され、且つ、それぞれの電位が、第1電位とこの第1電位よりも低い第2電位の間で切り替えられる、複数の第1電極と、
前記複数の第1電極に対向して配置され、前記第1電位が付与される第2電極と、
前記複数の第1電極に対向して配置され、前記第2電位が付与される第3電極と、を備えており、
前記圧電層には、スルーホールが形成されるとともに、このスルーホール内に導電性の充填材が充填されることによって、前記第2電極を前記圧電層の前記一面に引き出す複数の第1引出部が設けられており、
前記圧電層には、スルーホールが形成されるとともに、このスルーホール内に導電性の充填材が充填されることによって、前記第3電極を前記圧電層の前記一面に引き出す複数の第2引出部が設けられており、
前記複数の第1引出部と前記複数の第2引出部とを形成する前記充填材は、前記第1電極を形成する導電性材料とは異なる材料であり、
前記第1電極を形成する導電性材料は、前記充填材よりもマイグレーションが生じにくい材料であり、
前記圧電層の前記一面の、前記複数の第1電極と前記所定方向と直交する方向に隣接する領域において、前記複数の第1引出部が前記所定方向に配列され、且つ、前記複数の第2引出部も前記所定方向に配列され、さらに、前記複数の第1引出部と前記複数の第2引出部とが、前記所定方向に並んでおり、
前記圧電層の前記一面には、前記第1電極と同じ導電性材料により、前記複数の第1引出部の露出部分と導通する第1引出電極と、前記複数の第2引出部の露出部分と導通する第2引出電極が形成され、
前記第1引出電極は、前記複数の第1引出部の前記露出部分を取り囲み、
前記第2引出電極の前記所定方向と直交する方向の幅は、前記第1引出電極の前記所定方向と直交する方向の幅よりも小さいことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記複数の第1電極、前記第1引出電極、及び、前記第2引出電極には、電源に接続されるとともに前記圧電層の前記一面を覆うように配置された配線部材を接続するためのバンプが、それぞれ設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第1電極に設けられているバンプは、この第1電極よりもマイグレーションが生じやすい材料で形成され、
前記所定方向と直交する方向において、前記第2引出電極と前記第1電極のバンプとの距離が、前記第1引出電極と前記第1電極のバンプとの距離よりも大きいことを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第1電極は、前記バンプが設けられる接点部を有し、
前記バンプは、前記接点部に取り囲まれており、
前記複数の第1電極のうち、前記第1引出電極よりも前記第2引出電極に近い位置にある前記第1電極の前記接点部は、前記第1引出電極に近い前記第1電極と比べて、前記バンプを大きく取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項3に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第1引出電極に設けられているバンプは、この第1引出電極よりもマイグレーションが生じやすい材料で形成され、
前記第1引出電極に設けられた前記バンプは、前記第1引出電極に取り囲まれていることを特徴とする請求項2〜4の何れかに記載の圧電アクチュエータ。
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