JP4678502B2 - インクジェットヘッド及びその検査方法 - Google Patents
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Description
20 キャビティユニット
21 圧電アクチュエータ
22 フレキシブルフラットケーブル
23 ノズル
24 圧力室
36 キャビティプレート
41 第1のセラミックス層
42 第2のセラミックス層
43 第3のセラミックス層
44 第4のセラミックス層
46 表面電極
51 クラック検査用電極
52 個別電極
53 コモン電極
55 コモン端子
56 チェック端子
61 亀裂
Claims (10)
- インクを吐出する複数のノズルが配置され、前記各ノズル毎に対応する複数の圧力室が平面上に開口形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットの前記圧力室が開口した面に積層され、インクが充填された前記圧力室に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、を備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記圧電アクチュエータには、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層と、このセラミックス層の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられ、
前記セラミックス層には、前記圧力室の開口を直接覆う第1のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面とは反対の面側に配置される1層または複数層の第2のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層と前記第2のセラミックス層との間に介在する第3のセラミックス層とが含まれ、
前記電極層には、前記第1のセラミックス層と第3のセラミックス層との間に形成されるクラック検査用電極の層と、前記第2のセラミックス層を挟んで対をなす駆動用電極の層とが含まれることを特徴とするインクジェットヘッド。 - インクを吐出する複数のノズルが配置され、前記各ノズル毎に対応する複数の圧力室が平面上に開口形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットの前記圧力室が開口した面に積層され、インクが充填された前記圧力室に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、を備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記キャビティユニットにおける前記圧電アクチュエータが積層される面は、電気絶縁性を有し、
前記圧電アクチュエータには、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層と、このセラミックス層の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられ、
前記セラミックス層には、前記圧力室の開口を覆う第1のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面とは反対の面側に積層される1層または複数層の第2のセラミックス層とが含まれ、
前記電極層には、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面上に形成されるクラック検査用電極の層と、前記第2のセラミックス層を挟んで対をなす駆動用電極の層とが含まれることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記クラック検査用電極は、導線を、前記第1のセラミックス層の扁平な方向の面上の所望の領域内にわたって配置したものであり、前記導線の端部に検査用端子が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記導線は、前記領域内にわたって複数回連続して屈曲して配置されていることを特徴とする請求項3に記載のインクジェットヘッド。
- 前記導線は、前記領域内にわたって複数本配置され、各導線の端部に検査用端子が、それぞれ設けられていることを特徴とする請求項3に記載のインクジェットヘッド。
- 前記駆動用電極は、キャビティユニットの複数の圧力室に対応して共通に配置されたコモン電極と各圧力室毎に対応する個別電極とが前記第2のセラミックス層を挟んで構成され、
前記クラック検査用電極に設けられた検査用端子のうち一つは、前記圧電アクチュエータの内部あるいは表面において、前記コモン電極に電気的に接続されていることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 - 前記キャビティユニットは少なくとも一部に前記インクと接する導電性材料を含み、前記キャビティユニットは前記コモン電極と電気的に接続され、
前記圧電アクチュエータが駆動されるときには、前記コモン電極は接地されることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド。 - 前記第1のセラミックス層は、前記第2のセラミックス層よりも、厚みが薄く設定されていることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- インクを吐出する複数のノズルが配置され、前記各ノズル毎に対応する複数の圧力室が平面上に開口形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットの前記圧力室が開口した面に積層され、インクが充填された前記圧力室に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、を備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記圧電アクチュエータには、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層と、このセラミックス層の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられ、
前記セラミックス層には、前記圧力室の開口を直接覆う第1のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面とは反対の面側に配置される1層または複数層の第2のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層と前記第2のセラミックス層との間に介在する第3のセラミックス層とが含まれ、
前記電極層には、前記第1のセラミックス層と第3のセラミックス層との間に形成されるクラック検査用電極の層と、前記第2のセラミックス層を挟んで対をなす駆動用電極の層とが含まれ、
前記クラック検査用電極に設けられた端子の電気的特性を測定し、前記第1のセラミックス層にクラックがあるか否かを検査するインクジェットヘッドの検査方法。 - インクを吐出する複数のノズルが配置され、前記各ノズル毎に対応する複数の圧力室が平面上に開口形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットの前記圧力室が開口した面に積層され、インクが充填された前記圧力室に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、を備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記キャビティユニットにおける前記圧電アクチュエータが積層される面は、電気絶縁性を有し、
前記圧電アクチュエータには、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層と、このセラミックス層の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられ、
前記セラミックス層には、前記圧力室の開口を覆う第1のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面とは反対の面側に積層される1層または複数層の第2のセラミックス層とが含まれ、
前記電極層には、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面上に形成されるクラック検査用電極の層と、前記第2のセラミックス層を挟んで対をなす駆動用電極の層とが含まれ、
前記クラック検査用電極に設けられた端子の電気的特性を測定し、前記第1のセラミックス層にクラックがあるか否かを検査するインクジェットヘッドの検査方法。
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