JP3843004B2

JP3843004B2 - インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置

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Publication number: JP3843004B2
Application number: JP2001364367A
Authority: JP
Inventors: 浩二池田; 雅一郎立川
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-11-29
Filing date: 2001-11-29
Publication date: 2006-11-08
Anticipated expiration: 2021-11-29
Also published as: JP2003159799A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、圧電体の圧電効果を利用して記録を行うインクジェットヘッドが知られている。
【０００３】
このインクジェットヘッドは、共通電極と、圧力室に対応する部分に位置するように個別化された圧電体と、圧力室に対応する部分に位置するように個別化された個別電極とが順に積層されてなる圧電アクチュエータを有している。この圧電アクチュエータの一方の面には、振動板が積層されている。この振動板がインク流路形成部材上に接着材により接着されることにより圧力室が形成されている。インクを吐出する際には、上記共通電極と上記個別電極の間に電圧が印加されて圧電体は伸縮する。その伸縮が振動板に拘束されることで、圧電アクチュエータは厚さ方向にたわみ変形する。そして、そのたわみ変形により圧力室内の容積は変化し、圧力室内のインクはノズルから吐出される。
【０００４】
ところで、インクジェットヘッドの製造過程において、圧電体を形成する際、製造装置内の不純物の圧電体中への混入、あるいは、圧電体の熱応力の影響等により、圧電体中に欠陥部が生じることがある。そのため、上記欠陥部が存在することにより、インク吐出動作の際、圧電体の絶縁破壊を生じるおそれがある。
【０００５】
そこで、本願出願人は、インクジェットヘッドの製造過程において、個別電極と共通電極との間に微小な時間だけ電圧を印加し、欠陥部に対応する部分を除去する技術を考案した（特開２００１−８８３１０参照）。本技術では、圧電体に欠陥部が含まれている場合、微小電圧の印加に伴って上記欠陥部に急激に大きな電流が流れ、微小な絶縁破壊が起こる。そして、これに伴う発熱により、共通電極又は個別電極における上記欠陥部に対応する部分が溶けて気化し、上記部分における共通電極又は個別電極の一部が除去される。よって、インク吐出動作の際、個別電極と共通電極との間に電圧を印加しても、局所的に上記欠陥部には電圧が印加されないことになる。したがって、圧電体に欠陥部が含まれていたとしても、圧電体の耐電圧性は維持され、上記欠陥部において絶縁破壊が生じるおそれはなくなる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、個別電極と共通電極との間の静電容量は、個別電極及び共通電極の面積に比例して大きくなる。ゆえに、圧電体に欠陥部が含まれている場合、個別電極及び共通電極の面積が大きいと、上記欠陥部に流れる電流が大きくなり、過大な絶縁破壊が起こるおそれがある。したがって、インクジェットヘッドの製造過程において微小な絶縁破壊を起こす場合、あらかじめ個別電極及び共通電極を個別化しておくことが好ましい。
【０００７】
ところで、共通電極を個別化した場合は、各共通電極同士を導通させなければならない。
【０００８】
ここで、各共通電極同士を導通させるために、各共通電極同士を配線でつなぐことが考えられる。しかし、この場合、別途配線を設ける必要があり、構成が複雑になる。また、製造コストの上昇を招くことになる。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、個別化された各共通電極を導通させる新たな構成を提供し、また、インクジェットヘッド及びその製造のコスト低減を図ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、複数のノズルと、上記ノズル各々に連通する複数の圧力室とが設けられたヘッド本体と、上記圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の共通電極と、上記各共通電極上に積層された圧電体と、上記圧電体上に積層され、上記圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の個別電極を有する個別電極層と、上記各共通電極又は上記個別電極層上に積層された絶縁膜と、上記絶縁膜上に積層され、導電性材料から成る振動板とを備え、上記各共通電極は、上記振動板と積層方向に接触する接触部を有するものである。
【００１１】
これにより、導電性材料から成る振動板と各共通電極の接触部とが積層方向に接触するため、上記振動板を介して各共通電極同士は導通される。よって、共通電極同士をつなぐ配線を別途設ける必要はない。したがって、インクジェットヘッドの製造コストの低減を図ることができる。また、配線を別途設ける必要がないため、配線を設けるためのスペースが不必要となる。したがって、インクジェットヘッドの小型化を図ることができる。
【００１２】
請求項２の発明は更に、個別電極層は、上記各個別電極に対応して設けられた複数の電圧入力端子と、上記各個別電極と上記各電圧入力端子とを繋ぐ個別電極用配線とを有し、上記電圧入力端子は、走査方向と直交する直交方向に配列され、共通電極の接触部は、上記共通電極における上記電圧入力端子側と反対の側において上記直交方向に配設されているものである。
【００１３】
これにより、共通電極の接触部が上記共通電極における上記各電圧入力端子側の反対の側において上記直交方向に配設されるため、接触部と電圧入力端子側に延びる個別電極用配線とが重なることはない。よって、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されても、接触部と個別電極用配線との間に電圧が印加されることはない。したがって、圧電体における接触部に対応する部分の位置に欠陥部が含まれていたとしても、接触部及び個別電極用配線の絶縁破壊は防止される。
【００１４】
請求項３の発明は更に、共通電極の接触部は、上記個別電極に重なっていないものである。
【００１５】
これにより、接触部は個別電極に重ならないため、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されても、上記接触部に電圧が印加されることはない。したがって、圧電体における上記接触部に対応する部分の位置に欠陥部が含まれていたとしても、上記接触部の絶縁破壊は防止される。
【００１６】
請求項４の発明は更に、個別電極層は、上記各個別電極に対応して設けられた複数の電圧入力端子と、上記各個別電極と上記各電圧入力端子とを繋ぐ個別電極用配線とを有し、上記各個別電極用配線は、上記各共通電極の接触部に重ならない非重複部を有しているものである。
【００１７】
これにより、個別電極用配線は、共通電極の接触部に重ならない非重複部を有するため、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されても、上記非重複部に電圧が印加されることはない。したがって、圧電体における上記非重複部に対応する部分の位置に欠陥部が含まれていたとしても、個別電極用配線及び共通電極の接触部の上記非重複部における絶縁破壊は防止される。
【００１８】
請求項５の発明は更に、各個別電極用配線の非重複部が上記各個別電極用配線に占める体積割合を８０％〜１００％にしたものである。
【００１９】
これにより、上記非重複部が上記個別電極用配線に占める体積割合はより高くなる。したがって、個別電極用配線の絶縁破壊を、より高い確率で防止することができる。
【００２０】
請求項６の発明は、基板上に、圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の個別電極と、上記各個別電極上に積層された圧電体と、上記圧電体上に積層され、圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の共通電極とを形成する工程と、上記各共通電極と上記各個別電極との間に電圧を印加し、上記共通電極における上記圧電体の欠陥部に対応する部分を絶縁破壊によって除去する工程と、上記各共通電極上に絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜の一部を除去し、各共通電極の露出部を形成する工程と、上記絶縁膜及び上記共通電極の露出部上に導電性材料から成る振動板を形成する工程と、を備えるものである。
【００２１】
これにより、導電性材料から成る振動板と各共通電極の接触部とが積層方向に接触するため、上記振動板を介して各共通電極同士は導通される。よって、共通電極同士をつなぐ配線を別途設ける必要はない。また、配線を別途設ける必要がないため、配線を設けるためのスペースが不必要となる。したがって、インクジェットヘッドを本製造方法によって製造すれば、インクジェットヘッドの小型化及び製造コストの低減を図ることができる。
【００２２】
請求項７の発明は、基板上に圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の共通電極と、上記各共通電極上に積層された圧電体と、上記圧電体上に積層され、圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の個別電極とを形成する工程と、上記各個別電極と上記各共通電極との間に電圧を印加し、上記個別電極における上記圧電体の欠陥部に対応する部分を絶縁破壊によって除去する工程と、上記各個別電極上に絶縁膜を形成する工程と、上記各共通電極の一部が露出するように上記絶縁膜と上記個別電極と上記圧電体との一部を除去する工程と、上記絶縁膜上及び上記共通電極の露出部分に導電性材料から成る振動板を形成する工程と、を備えるものである。
【００２３】
これにより、導電性材料から成る振動板と各共通電極の接触部とが積層方向に接触するため、上記振動板を介して各共通電極同士は導通される。よって、共通電極同士をつなぐ配線を別途設ける必要はない。また、配線を別途設ける必要がないため、配線を設けるためのスペースが不必要となる。したがって、インクジェットヘッドを本製造方法によって製造すれば、インクジェットヘッドの小型化及び製造コストの低減を図ることができる。
【００２４】
請求項８の発明は、請求項１〜５のいずれか１つに記載のインクジェットヘッドと、上記インクジェットヘッドと記録媒体とを相対移動させる移動手段とを備えているインクジェット式記録装置である。
【００２５】
これにより、インクジェットヘッドの小型化及び製造コストの低減が図られたインクジェット式記録装置が得られる。
【００２６】
【発明の効果】
本発明によれば、導電性材料から成る振動板と各共通電極の接触部とが積層方向に接触するため、共通電極同士をつなぐ配線を別途設ける必要はない。したがって、インクジェットヘッドの小型化及び製造コストの低減を図ることができる。
【００２７】
共通電極の接触部が上記共通電極における各電圧入力端子側の反対の側において走査方向と直交する直交方向に配設されるとすれば、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されても、接触部と個別電極用配線との間に電圧が印加されることはない。したがって、圧電体における接触部に対応する部分の位置に欠陥部が含まれていたとしても、接触部及び個別電極用配線の絶縁破壊は防止される。
【００２８】
上記接触部を各個別電極と重ならないように配設すれば、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されても、上記接触部に電圧が印加されることはない。したがって、圧電体における上記接触部に対応する部分の位置に欠陥部が含まれていたとしても、上記接触部の絶縁破壊は防止される。
【００２９】
各個別電極用配線が各共通電極の接触部に重ならない非重複部を有するとすれば、共通電極と個別電極との間に電圧が印加されても、上記非重複部に電圧が印加されることはない。したがって、圧電体における上記非重複部に対応する部分の位置に欠陥部が含まれていたとしても、個別電極用配線における上記非重複部の絶縁破壊は防止される。
【００３０】
各個別電極用配線の非重複部が上記各個別電極用配線に占める体積割合を８０％〜１００％とすれば、上記非重複部が上記各個別電極用配線に占める体積割合はより高くなるため、個別電極用配線の絶縁破壊を、より高い確率で防止することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
図１に示すように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１は、インクジェット式記録装置としてのインクジェットプリンタ３に組み込まれ、吐出したインク滴を紙等の記録媒体５に着弾させて記録を行うものである。インクジェットヘッド１は、キャリッジ軸７に沿って往復移動するキャリッジ９に搭載され、キャリッジ９とともに主走査方向Ｘに往復運動を行う。ローラ１１は、キャリッジ９が主走査方向Ｘに一走査分移動するごとに、記録媒体５を副走査方向Ｙに搬送するように構成されている。
【００３２】
図２に示すように、インクジェットヘッド１は、共通インク室１３と複数の圧力室用凹部１５と複数のノズル１７とが形成されたヘッド本体部１９と、圧力室２１内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ２３とを備えている。
【００３３】
ヘッド本体部１９の圧力室用凹部１５は、副走査方向Ｙに沿って所定間隔毎に配設されている。各圧力室用凹部１５は、開口断面（ＸＹ断面）が主走査方向Ｘに細長い略矩形状に形成されている。各圧力室用凹部１５の底部の長手方向の一端（図２の右側端）には、共通インク室１３と圧力室２１とを繋ぐインク供給口２５が形成され、その他端（図２の左側端）には、圧力室２１とノズル１７とを繋ぐインク流路２７が形成されている。
【００３４】
圧電アクチュエータ２３は、厚さ４μｍの導電性材料であるＣｒからなる導電性振動板３７と、導電性振動板３７上に形成された厚さ０．５μｍの絶縁膜３５と、絶縁膜３５上に形成された厚さ０．１〜０．２μｍのＰｔからなる共通電極３３と、共通電極３３上に形成された厚さ３μｍのＰＺＴ薄膜からなる圧電体３１と、圧電体３１上に形成された厚さ０．１〜０．２μｍのＰｔからなる個別電極２９とを備えている。個別電極２９、圧電体３１及び共通電極３３は、ヘッド本体部１９の各圧力室用凹部１５に対応した部分に位置するように設けられている。また、共通電極３３の一部は、導電性振動板３７と積層方向に接触しており、接触部３４を形成している。なお、図２では、後述する個別電極用配線３９ａ，３９ｂ等（図３参照）の図示は省略されている。
【００３５】
次に、図３を参照しながら、ヘッド本体部１９の圧力室２１等の配置パターンを説明する。
【００３６】
図３に示すように、本インクジェットヘッド１では、複数の圧力室２１が主走査方向Ｘ及び副走査方向Ｙにそれぞれ所定間隔毎に設けられ、副走査方向Ｙに延びる４列の圧力室列が形成されている。圧力室２１はその長径Ｌが列方向Ｙと直交するように形成されている。各圧力室列の圧力室２１は、他の圧力室列の圧力室２１に対して、副走査方向Ｙにずれている。例えば、図３において左端に位置する第１圧力室列２１ａに対して、第２圧力室列２１ｂの圧力室２１は、第１圧力室列の隣り合う圧力室２１、２１の間に対応する部分に配置されている。すなわち、隣り合う列の圧力室２１同士の位置がずれた千鳥状になるように配置されている。
【００３７】
第１個別電極列２９ａ及び第２個別電極列２９ｂはそれぞれ、第１圧力室列２１ａ及び第２圧力室列２１ｂに対応する部分に位置している。第１個別電極列２９ａ及び第２個別電極列２９ｂの個別電極２９からはそれぞれ、個別電極用配線３９ａ，３９ｂがヘッド本体部１９の主走査方向Ｘの一端側（図３の左端側）へ延びている。第２個別電極列２９ｂの個別電極用配線３９ｂは、第１個別電極列２９ａの隣り合う個別電極２９、２９間を通るように配置されている。各個別電極用配線３９ａ，３９ｂそれぞれは、電圧入力端子４１に接続されている。各電圧入力端子４１は、ヘッド本体部１９の主走査方向Ｘの一端側（図３の左端側）において副走査方向Ｙに沿って配列されている。
【００３８】
第１共通電極列３３ａ及び第２共通電極列３３ｂはそれぞれ、第１圧力室列２１ａ及び第２圧力室列２１ｂに対応する部分に位置している。また、第１共通電極列３３ａ及び第２共通電極列３３ｂの共通電極３３は、接触部３４において導電性振動板３７と積層方向に接触している。導電性振動板３７の一部は、ヘッド本体部１９の隅部に設けられたアース取り出し部４５と積層方向に接触している。これにより、各共通電極３３が個別化されているにもかかわらず、すべての共通電極３３はゼロ電位の状態に保たれる。
【００３９】
共通電極３３、個別電極２９は、この順に面積が小さくなっている。そのため、個別電極２９から延びる個別電極用配線３９の一部は共通電極３３と上下方向に重なっており、個別電極用配線３９の一部は重複部３９ｃとなっている。
【００４０】
なお、個別電極２９と共通電極３３との面積を等しくすることも可能である。その場合には、個別電極用配線３９と共通電極３３との重複部をなくすことができる。
【００４１】
図３における右側２列の圧力室列における圧力室２１等は、左側２列の圧力室列２１ａ，２１ｂとほぼ同一パターンで配置されている。なお、右側２列の共通電極列の共通電極３３は、接触部３４において導電性振動板３７と接触している。
【００４２】
次に、図４を参照にしながら、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。まず、図４（ａ）に示すように、ＭｇＯ基板４７上の全体に、Ａｌ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｔ等の金属や導電性酸化物などの導電性材料を用いて、スパッタリングや蒸着等により上部電極４９を形成する。次に、図４（ｂ）に示すように、この上部電極４９上にスパッタリングや蒸着等によりＰＺＴ薄膜からなる圧電体３１を形成する。なお、この際、圧電体３１の内部に欠陥部５３が含まれる場合がある。
【００４３】
次に、図４（ｃ）に示すように、上部電極４９及び圧電体３１を個別化することにより、個別電極２９及び個別電極用配線３９（図４では図示せず）を形成するとともに、個別電極２９及び個別電極用配線３９上以外の部分に位置する圧電体３１を除去する。ここで、個別化は、エッチング等により実施する。次に、図４（ｄ）に示すように、圧電体３１の除去部分に絶縁体３０を埋め込み、それから、圧電体３１及び絶縁体３０上にＰｔからなる下部電極５１を形成する。次に、図４（ｅ）に示すように、下部電極５１を個別化することにより、共通電極３３を形成する。ここで、個別化は、エッチング等により実施する。
【００４４】
次に、個別電極２９と共通電極３３との間に微小な時間だけ電圧を印加する。これにより、圧電体３１に欠陥部５３が含まれている場合には、欠陥部５３に急激に大きな電流が流れ、微小な絶縁破壊が起こる（図５（ａ）参照）。そして、これに伴う発熱により、共通電極３３における欠陥部５３の上方部分が溶けて気化し、上記部分における共通電極３３の一部が除去される。
【００４５】
次に、図５（ｂ）に示すように、共通電極３３上にポリイミドからなる絶縁膜３５を形成する。これは、個別化によって除去された部分及び微小絶縁破壊によって形成された欠損部５４を絶縁材たるポリイミドで埋めて、共通電極３３同士を絶縁する工程である。それから、絶縁膜３５をエッチング等により個別化することにより絶縁膜３５の一部を除去し、露出部３３ｃを形成する。次に、図５（ｃ）に示すように、共通電極３３の露出部３３ｃ及び絶縁膜３５上に導電性振動板３７を形成する。これにより、導電性振動板３７を介してすべての共通電極３３が導通されることになる。導電性振動板３７の一部は、アース取り出し部４５と積層方向に接触させる。次に、図５（ｄ）に示すように、圧力室２１が形成されたヘッド本体部１９を導電性振動板３７上に接着し、ＭｇＯ基板４７を取り除く。
【００４６】
以上のように、本実施形態では、導電性振動板３７と各共通電極３３の接触部３４が積層方向に接触するため、導電性振動板３７を介して各共通電極３３同士は導通されている。よって、共通電極３３同士をつなぐ配線を別途設ける必要はない。したがって、インクジェットヘッド１の小型化及び製造コストの低減を図ることができる。
【００４７】
また、本実施形態では、接触部３４は、各共通電極３３における電圧入力端子４１側の反対の側において副走査方向Ｙに配設されている。したがって、圧電体３１における接触部３４に対応する部分の位置に欠陥部５３が含まれているとしても、接触部３４及び個別電極用配線３９の絶縁破壊は防止される。
【００４８】
また、本実施形態では、接触部３４は個別電極２９に重ならないため、共通電極３３と個別電極２９との間に電圧が印加されても、接触部３４と個別電極２９との間に電圧が印加されることはない。したがって、圧電体３１における接触部３４に対応する部分の位置に欠陥部５３が含まれているとしても、接触部３４の絶縁破壊は防止される。
【００４９】
また、本実施形態では、個別電極用配線３９は接触部３４に重ならない非重複部を有する。よって、個別電極２９と共通電極３３との間に電圧が印加されても、上記非重複部に電圧が印加されることはない。したがって、圧電体３１における上記非重複部に対応する部分の位置に欠陥部５３が含まれていたとしても、絶縁破壊は防止される。本実施形態では、個別電極用配線３９と接触部３４との非重複部の体積割合（個別電極用配線３９の全体に占める体積割合）が８０％〜１００％である。したがって、高い確率で絶縁破壊を防止することができる。
【００５０】
また、本実施形態では、第２個別電極列２９ｂの各個別電極２９に対する個別電極用配線３９ｂは、第１個別電極列２９ａの隣り合う個別電極２９，２９の間を通る延伸部３９ｄを有し、この延伸部３９ｄは共通電極３３に重なっていない。よって、個別電極２９と共通電極３３との間に電圧が印加されても、延伸部３９ｄに電圧が印加されることはない。したがって、延伸部３９ｄの圧電体３１に欠陥部５３が含まれていたとしても、絶縁破壊は防止される。本実施形態では、延伸部３９ｄの共通電極３３に重なっていない非重複部が延伸部３９ｄに占める体積割合は、８０％〜１００％であるので、高い確率で絶縁破壊を防止することができる。
【００５１】
また、本実施形態では、圧電体３１に欠陥部５３が含まれている場合であっても、下部電極５１（共通電極３３）における欠陥部５３に対応する部分は微小絶縁破壊によって除去された欠損部５４となっているので、個別電極２９と共通電極３３との間に電圧を印加しても、局所的に欠陥部５３には電圧が印加されないことになる。そのため、圧電体３１の欠陥部５３には電圧が印加されないことになる。したがって、圧電体３１に欠陥部５３が含まれていたとしても、インク吐出動作の際に絶縁破壊が生じるおそれはない。
【００５２】
なお、本実施形態では、共通電極３３上に絶縁膜３５を介して導電性振動板３７を設けているが、図６に示すように、個別電極２９上に絶縁膜３５を介して導電性振動板３７を設けてもよい。
【００５３】
このインクジェットヘッド１は、以下のように製造される。
【００５４】
まず、基板（図示せず）上の全体に、共通電極３３を形成する。次に、共通電極３３上に圧電体３１を形成する。なお、この際、圧電体３１の内部に欠陥部５３が含まれる場合がある。次に、個別電極２９及び個別電極用配線３９（図６では図示せず）を形成する。次に、個別電極２９と共通電極３３との間に微小な時間だけ電圧を印加する。これにより、圧電体３１に欠陥部５３が含まれている場合には、欠陥部５３に急激に大きな電流が流れ、微小な絶縁破壊が起こる。そして、これに伴う発熱により、個別電極２９における欠陥部５３の上方部分が溶けて気化し、上記部分における個別電極２９の一部が除去される。次に、個別電極２９上に絶縁膜３５を形成する。次に、絶縁膜３５上に導電性振動板３７を形成し、導電性振動板３７と共通電極３３の接触部３４とを接触させる。最後に、基板を加工し、圧力室２１が形成されたヘッド本体部１９を形成する。
【００５５】
なお、本実施形態では、各共通電極３３がそれぞれ接触部３４を有し、すべての共通電極３３を導電性振動板３７を通じて導通させているが、一部の共通電極のみを導電性振動板３７を通じて導通させることも可能である。少なくとも２つの共通電極３３が接触部３４を有すればよい。この場合、接触部３４を有さない共通電極３３は、配線等により他の共通電極３４に接続してもよい。
【００５６】
また、本実施形態では、アース取り出し部４５はヘッド本体部１９の左上部に設けられているが（図３参照）、これに限らず、例えば、ヘッド本体部１９の右下部等、他の箇所に設けられてもよい。
【００５７】
また、個別電極２９、圧電体３１、共通電極３３等は、本実施形態と異なる材料や厚みのものを使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェットヘッドの概略構成図である。
【図２】本実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】本実施形態に係るインクジェットヘッドの正面図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程図である。
【図６】本実施形態に係るインクジェットヘッドの変形例における、図３のＩ−Ｉ線の断面図に相当する図である。
【符号の説明】
１９ヘッド本体部
２１圧力室
２３圧電アクチュエータ
２９個別電極
３１圧電体
３３共通電極
３４接触部
３５絶縁膜
３７導電性振動板
３９個別電極用配線
５３欠陥部
５４欠損部

Claims

複数のノズルと、上記ノズル各々に連通する複数の圧力室とが設けられたヘッド本体と、
上記圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の共通電極と、
上記各共通電極上に積層された圧電体と、
上記圧電体上に積層され、上記圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の個別電極を有する個別電極層と、
上記各共通電極又は上記個別電極層上に積層された絶縁膜と、
上記絶縁膜上に積層され、導電性材料から成る振動板とを備え、
上記各共通電極は、上記振動板と積層方向に接触する接触部を有するインクジェットヘッド。
個別電極層は、上記各個別電極に対応して設けられた複数の電圧入力端子と、上記各個別電極と上記各電圧入力端子とを繋ぐ個別電極用配線とを有し、
上記電圧入力端子は、走査方向と直交する直交方向に配列され、
共通電極の接触部は、上記共通電極における上記電圧入力端子側と反対の側において上記直交方向に配設されている請求項１に記載のインクジェットヘッド。
共通電極の接触部は、上記個別電極に重なっていない請求項１に記載のインクジェットヘッド。
個別電極層は、上記各個別電極に対応して設けられた複数の電圧入力端子と、上記各個別電極と上記各電圧入力端子とを繋ぐ個別電極用配線とを有し、
上記各個別電極用配線は、上記各共通電極の接触部に重ならない非重複部を有している請求項１に記載のインクジェットヘッド。
各個別電極用配線の非重複部が上記各個別電極用配線に占める体積割合は８０％〜１００％である請求項４に記載のインクジェットヘッド。
基板上に、圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の個別電極と、上記各個別電極上に積層された圧電体と、上記圧電体上に積層され、圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の共通電極とを形成する工程と、
上記各共通電極と上記各個別電極との間に電圧を印加し、上記共通電極における上記圧電体の欠陥部に対応する部分を絶縁破壊によって除去する工程と、
上記各共通電極上に絶縁膜を形成する工程と、
絶縁膜の一部を除去し、各共通電極の露出部を形成する工程と、
上記絶縁膜及び上記共通電極の露出部上に導電性材料から成る振動板を形成する工程と、を備えるインクジェットヘッドの製造方法。
基板上に、圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の共通電極と、上記各共通電極上に積層された圧電体と、上記圧電体上に積層され、圧力室に対応した部分に位置するように個別化された複数の個別電極とを形成する工程と、
上記各個別電極と上記各共通電極との間に電圧を印加し、上記個別電極における上記圧電体の欠陥部に対応する部分を絶縁破壊によって除去する工程と、
上記各個別電極上に絶縁膜を形成する工程と、
上記各共通電極の一部が露出するように上記絶縁膜と上記個別電極と上記圧電体との一部を除去する工程と、
上記絶縁膜上及び上記共通電極の露出部分に導電性材料から成る振動板を形成する工程と、を備えるインクジェットヘッドの製造方法。
請求項１〜５のいずれか１つに記載のインクジェットヘッドと、
上記インクジェットヘッドと記録媒体とを相対移動させる移動手段とを備えているインクジェット式記録装置。