JP2002019102A - 圧電式インクジェットプリンタヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スルーホールの位置がキャビティープレート
における圧力室やインク流通路と重なっても電気的に短
絡することがないようにして、圧電アクチュエータの設
計的事項の自由度を向上させる。 【解決手段】 個別電極２４が一方の広幅面に形成され
た圧電シート２２、２１ｂ，２１ｄ，２１ｆ、２２と、
コモン電極２５が一方の広幅面に形成された圧電シート
２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇを交互に積層し、その
表面にトップシート２３を積層し、その表面に表面電極
３０、３１を形成する。キャビティープレートに隣接す
る圧電シート２２を除く各圧電シートには、前記積層方
向に隣接する個別電極同士２４又はコモン電極２５同士
に連通するスルーホール３０、３１を設け、該各スルー
ホール３０、３１に充填された導電材料を介して、前記
全ての層の個別電極同士又は前記全ての層のコモン電極
同士を電気的に接続させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電式のインクジ
ェットプリンタヘッドにおいて、この印字駆動に使用さ
れるプレート型の圧電アクチュエータに係り、より詳し
くは、駆動電圧を印加するためのコモン電極及び個別電
極の構成に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】先行技術の圧電式インクジェットプリン
タヘッドにおいては、前記米国特許第５，４０２，１５
９号明細書におけるＦＩＧ．１５に記載されているよう
に、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備
えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとに形成
された平面状の個別電極及び隣接する複数の圧力室に共
通するコモン電極により圧電シート（セラミック材料か
らなるグリーンシート）を挟んで積層したプレート型の
圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチュエー
タを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュ
エータにおける各個別電極が各圧力室に対応するように
積層してなるオンディマンド型の圧電式インクジェット
プリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータにお
ける表裏両表面と直交する側面に、少なくとも前記各個
別電極に電気的に導通する側面電極を、金属の真空蒸着
又はスパッタリング、或いは導電性ペーストの塗布等に
て形成して、前記各個別電極を、この各側面電極を介し
て外部に接続するように構成していた。しかし、個別電
極の端部が圧電シートの側端面に露出していない場合に
は側面電極との電気接続が不良になるという問題があっ
た。また、側面電極の形成のために圧電アクチュエータ
の姿勢を代えて前記側面が上向くようにしてから導電性
ペーストを塗布するというように製造工程が複雑になる
という問題があった。

【０００３】前記問題を解消するため、プレート型の圧
電アクチュエータにおける積層状のコモン電極同士や個
別電極同士をそれぞれ電気的に接続させる構成として、
特公平７ー９６３０１号公報では、前記各セラミック体
には、前記各層の個別電極から延びる引出し電極の電極
端子部と外表面の外部電極（表面電極）とに連通するよ
うに、セラミック体の厚さ方向に貫通した第１スルーホ
ールと、前記各層のコモン電極から延びる引出し電極の
電極端子部と外表面の外部電極（表面電極）とに連通す
るように各セラミック体の厚さ方向に貫通した第２スル
ーホールとを備え、前記第１及び第２スルーホールにそ
れぞれ導電性ペーストを充填して電気的に接続すること
提案している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記特公平７
ー９６３０１号公報では、前記圧力室やノズルが設けら
れたキャビティープレートも圧電シート（セラミック材
料からなるグリーンシート）にて構成されている。そし
て、キャビティープレートを除く圧電シートの全てに、
前記スルーホールを貫通形成したため、当該スルーホー
ルの位置が前記圧力室やインク流通路と重なると、電気
的に短絡することになるため、重ならないように、スル
ーホールの位置を設定しなければならず、圧電アクチュ
エータの設計的事項に多くの制約を受けるという問題が
あった。

【０００５】本発明は、このような問題を解消したプレ
ート型の圧電アクチュエータを提供することを技術的課
題とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため、請求項１に記載の発明の圧電アクチュエータ
は、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備
えたキャビティープレートと、前記各圧力室毎の個別電
極及び隣接する複数の圧力室に共通するコモン電極を、
圧電シートを挟んで積層したプレート型の圧電アクチュ
エータとからなり、この圧電アクチュエータを、前記キ
ャビティープレートに、当該圧電アクチュエータにおけ
る各個別電極が各圧力室に対応するように積層してなる
圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧
電アクチュエータは、前記個別電極が一方の広幅面に形
成された複数の圧電シートと前記コモン電極が一方の広
幅面に形成された複数の圧電シートとを交互に積層して
なり、前記キャビティープレートに隣接するシートを除
く各圧電シートには、前記積層方向に隣接する個別電極
同士又は前記コモン電極同士に連通するスルーホールを
設け、該各スルーホールに充填された導電材料を介し
て、前記全ての層の個別電極同士又は前記全ての層のコ
モン電極同士を電気的に接続させたものである。

【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記
圧電アクチュエータにおける表裏両広幅面のうち、前記
キャビティープレートから最も離れた位置のシートの外
側広幅面に形成された表面電極とそれに対応する前記個
別電極又は前記コモン電極とを、前記スルーホールを介
して電気的に接続させたものである。

【０００８】そして、請求項３に記載の発明は、請求項
１または請求項２に記載の圧電式インクジェットプリン
タヘッドにおいて、前記圧電シートにおける個別電極が
形成された一方の広幅面にはダミーコモン電極を形成
し、前記コモン電極が形成された一方の広幅面にはダミ
ー個別電極を形成し、前記各スルーホールは、前記個別
電極とダミー個別電極とが連通する位置及び前記コモン
電極とダミーコモン電極とが連通する位置にそれぞれ形
成されているものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
について説明する。図１、図７及び図８は、本発明の実
施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを
示す。これらの図において、金属板製のキャビティープ
レート１０に対して積層されるプレート型の圧電アクチ
ュエータ２０の上面には、外部機器との接続のために、
フレキシブルフラットケーブル４０が接着剤にて重ね接
合されているものであり、最下層のキャビティープレー
ト１０の下面側に開口されたノズルから下向きにインク
が吐出するものとする。

【００１０】前記キャビティープレート１０は、図３及
び図４に示すように構成されている。すなわち、ノズル
プレート１１、二枚のマニホールドプレート１２、スペ
ーサプレート１３及びベースプレート１４の五枚の薄い
金属板を積層した構造である。前記ノズルプレート１１
には、微小径のインク噴出用のノズル１５が、当該ノズ
ルプレート１１の長手方向に延びる２つの平行状の基準
線１１ａ、１１ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥
状配列にて多数個穿設されている。前記二枚のマニホー
ルドプレート１２には、インク通路１２ａ、１２ｂが、
前記ノズル１５の列の両側に沿って延びるように穿設さ
れている。但し、ノズルプレート１１に対面する下側マ
ニホールドプレート１２におけるインク通路１２ｂは、
当該マニホールドプレート１２の上側にのみ開放するよ
うに凹み形成されている（図４参照）。このインク通路
１２ａ、１２ｂは、上側のマニホールドプレート１２に
対する前記スペーサプレート１３の積層により密閉され
る構造になっている。また、前記ベースプレート１４に
は、その長辺に沿う中心線に対して直交する方向（短辺
方向）に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されて
いる。そして、前記中心線を挟んで左右両側にて平行状
の長手基準線１４ａ、１４ｂを設定すると、前記中心線
より左側の圧力室１６の先端１６ａは前記左側の長手基
準線１４ａ上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の
圧力室１６の先端１６ａは前記右側の長手基準線１４ｂ
上に位置し、且つこの左右の圧力室１６の先端１６ａが
交互に配置されているので、左右両側の圧力室１６は一
つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されて
いることになる。

【００１１】この各圧力室１６の先端１６ａは、前記ノ
ズルプレート１１における前記千鳥状配列のノズル１５
に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレ
ート１２に同じく千鳥状配列にて穿設されている微小径
の貫通孔１７を介して連通している。一方、前記各圧力
室１６の他端１６ｂは、前記スペーサプレート１３にお
ける左右両側部位に穿設された貫通孔１８を介して、前
記両マニホールドプレート１２におけるインク通路１２
ａ、１２ｂに連通している。なお、前記他端１６ｂは、
図４に示すように、ベースプレート１４の下面側にのみ
開口するように凹み形成されているものである。また、
最上層のベースプレート１４の一端部に穿設された供給
孔１９ａの上面には、その上方のインクタンクから供給
されるインク中の塵除去のためのフィルタ２９が張設さ
れている。

【００１２】これにより、前記前記ベースプレート１４
及びスペーサプレート１３の一端部に穿設の供給孔１９
ａ，１９ｂから前記インク通路１２ａ、１２ｂ内に流入
したインクは、このインク通路１２ａから前記各貫通孔
１８を通って前記各圧力室１６内に分配されたのち、こ
の各圧力室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該圧
力室１６に対応するノズル１５に至るという構成になっ
ている。

【００１３】一方、前記圧電アクチュエータ２０は、図
５に示すように、８枚の圧電シート２１ａ，２１ｂ，２
１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２２と、一枚
のトップシート２３とを積層した構造で、前記各圧電シ
ートのうち最下段の圧電シート２２とそれから上方へ数
えて奇数番目の圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆの上
面（広幅面）には、前記キャビティープレート１０にお
ける各圧力室１６の箇所ごとに細幅の個別電極２４が形
成され、各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びてい
る。

【００１４】下から偶数段目の圧電シート２１ａ，２１
ｃ，２１ｅ，２１ｇの上面（広幅面）には、複数個の圧
力室１６に対して共通のコモン電極２５が形成されてい
る。

【００１５】実施形態においては、図４、図５から理解
できるように、前記各個別電極２４の幅寸法は対応する
圧力室１６における平面視での広幅部を覆う程度に設定
されている。

【００１６】他方、圧力室１６はベースプレート１４の
短辺の中央部側で長辺に沿って２列状に配列されている
ので、前記コモン電極２５は、ベースプレート１４の短
辺の中央部側を挟んで左右両側の圧力室１６、１６を一
体的に覆うように、偶数段目の圧電シート２１ａ，２１
ｃ，２１ｅ，２１ｇの長辺に沿って延びる平面視略矩形
状に形成されると共に、該偶数段目の圧電シート２１
ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの対の短辺の端縁部近傍で
は当該端縁部のほぼ全長にわたって延びる引き出し部２
５ａ，２５ａが一体的に形成されている。

【００１７】そして、前記偶数段目の圧電シート２１
ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの対の長辺の端縁部近傍の
表面であって、前記コモン電極２５が形成されていない
箇所には、前記各個別電極２４と同じ上下位置（対応す
る位置）に、当該個別電極２４と略同じ幅寸法で長さの
短いダミー個別電極２６を形成する。他方、最下段の圧
電シート２２とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シ
ート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆの上面（広幅面）のうち、
前記引き出し部２５ａ，２５ａに対応する位置（同じ上
下位置、圧電シートの対の短辺の端縁部近傍）には、ダ
ミーコモン電極２７を形成するのである。

【００１８】前記最上段の絶縁シート２３の上面には、
その長辺の端縁部に沿って、前記各個別電極２４の各々
に対する表面電極３０と、前記コモン電極２５に対する
表面電極３１とが、設けられている。

【００１９】さらに、前記最下段の圧電シート２２を除
いて、他の全ての圧電シート２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，
２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇとトップシート２３と
には、前記各表面電極３０と、それに対応する位置（同
じ上下位置）の個別電極２４並びにダミー個別電極２６
とが互いに連通するように、スルーホール３２を穿設す
る。同様に、前記少なくとも１つの表面電極３１（実施
形態では、トップシート２３の４隅の位置の表面電極３
１）と、それに対応する位置（同じ上下位置）のコモン
電極２５乃至はその引き出し部２５ａが互いに連通する
ように、スルーホール３３を穿設し、スルーホール３
２、３３内に充填された導電性材料を介して、各層の個
別電極２４同士及びそれと対応する位置の表面電極３０
とが電気的に接続されているように構成し、同じく、各
層のコモン電極２５同士及びそれと対応する位置の表面
電極３１とが電気的に接続されているように構成するも
のである。

【００２０】前記した構成の圧電アクチュエータ２０
は、以下に述べるような方法で製造される。即ち、前記
一つの圧電アクチュエータ２０における圧電シート２１
ｂ，２１ｄ，２１ｆ、２２の複数個をマトリックス状に
並べて一体化してなる第１素材シート（セラミックグリ
ーンシート）の表面のうち各圧電シートの箇所に、複数
個の個別電極２４と、捨てパターンの電極としてのダミ
ーコモン電極２７を設ける位置に対して予めスルーホー
ル３２を穿設する。同様に、圧電シート２１ａ，２１
ｃ，２１ｅ，２１ｇの複数個をマトリックス状に並べて
一体化してなる第２素材シート（セラミックグリーンシ
ート）の表面のうち各圧電シートの箇所に、複数個のコ
モン電極の引き出し部２５ａと、捨てパターンの電極と
してのダミー個別電極２６を設ける位置に対して予めス
ルーホール３３を穿設する。さらに、前記と同様に、ト
ップシート２３の複数個をマトリックス状に並べて一体
化してなる第３素材シート（セラミックグリーンシー
ト）の表面のうちトップシート２３の箇所に、複数個の
表面電極３０、３１を設ける位置に対してスルーホール
３２、３３を穿設する。

【００２１】そして、各圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２
１ｆ、２２の表面に個別電極２４及びダミーコモン電極
２７を、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの
表面にコモン電極２５及びダミー個別電極２６を、トッ
プシート２３の表面に表面電極３０、３１の箇所を、そ
れぞれ、導電ペーストのスクリーン印刷にて形成する
と、前記各スルーホール３２、３３は、第１、第２素材
シートの上下広幅面に貫通しているので、各スルーホー
ル３２、３３内にも前記導電ペーストが浸入し、該各ス
ルーホール３２、３３を介して各電極部分でシートの上
下面で導電通可能となる。次いで、各グリーンシートを
乾燥した後、積層し、次いで積層方向にプレスすること
で一体化して、一枚の積層体にする。その後焼成する。

【００２２】これにより、上下に積層された複数枚の圧
電シート２１とトップシートとは上下同じ位置の前記個
別電極２４及びダミー個別電極２６が表面電極３０の箇
所と電気的に接続されるし、同じく上下複数枚のコモン
電極２５及びダミーコモン電極２７が表面電極３１の箇
所と電気的に接続されることになる（図６参照）。

【００２３】そして、このような構成のプレート型の圧
電アクチュエータ２０は、前記キャビティープレート１
０に対して、当該圧電アクチュエータ２０における各個
別電極２４が前記キャビティープレート１０における各
圧力室１６の各々に対応するように積層される（図１、
図７参照）。また、この圧電アクチュエータ２０におけ
る上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル
４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフ
ラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示
せず）が、前記各表面電極３０、３１に電気的に接合さ
れる。

【００２４】この構成において、前記圧電アクチュエー
タ２０における各個別電極２４のうち任意の個別電極２
４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することによ
り、圧電シート２１，２２のうち前記電圧を印加した個
別電極２４の部分に圧電による積層方向の歪みが発生
し、この歪みにて前記各個別電極２４に対応する圧力室
１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６
内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定
の印字が行われる（図８参照）。

【００２５】前記構成の圧電アクチュエータ２０におい
ては、積層されている圧電シートの広幅面を厚さ方向に
貫通するスルーホール３２、３３を介して各圧電シート
の表面に形成された個別電極２４同士やコモン電極２５
同士を電気的に接続できると共にトップシート２３の表
面に形成された表面電極３０、３１にも電気的に接続で
きるのであって、従来のように、圧電アクチュエータ２
０の厚さ方向の外周側面にて個別電極２４同士やコモン
電極２５同士を電気的に接続するように、側面電極を形
成した場合に比べて、圧電アクチュエータ２０の製造中
とか、この圧電アクチュエータ２０の組み立て中に、ハ
ンドラー又は治具等が接触することに起因する個別電極
２４同士やコモン電極２５同士の導電部の欠落がなくな
るという効果を奏する。

【００２６】しかも、圧電アクチュエータ２０とキャビ
ティープレート１０との接触面となる圧電シート２２に
は、前記スルーホール３２、３３が形成されていないか
ら、もしキャビティープレート１０が導電性材料（例え
ば、４２％ニッケル合金鋼等）で構成されていても、最
下層の個別電極２４やコモン電極２５がキャビティープ
レート１０の表面に対して電気的に接触するおそれが全
くなくなる。また、前記キャビティープレート１０と隣
接する圧電シート２２にスルーホール３２，３３が存在
しないから、圧力室１６と上下方向で重なる位置に個別
電極２４やコモン電極２５があっても、圧力室１６内の
水性インクとの電気的短絡現象は発生しない。

【００２７】その結果、圧電アクチュエータ２０におけ
るスルーホール３２、３３の設置位置に制約がなく設計
の自由度が向上するという効果も奏する。

【００２８】個別電極２４やコモン電極２５は圧電シー
ト２１の１つおきの層に形成されるものであるところ、
本実施形態のように、上下の個別電極２４の間の圧電シ
ートにダミー個別電極２６を形成し、同じく上下のコモ
ン電極２５の間の圧電シートにダミーコモン電極２７を
形成し、これらのダミー個別電極２６と個別電極２４と
を連通するようなスルーホール３２及びコモン電極２５
とダミーコモン電極２７とを連通するようなスルーホー
ル３３をそれぞれ形成することで、上下方向の個別電極
２４同士もしくはコモン電極２５同士の電気的接続がダ
ミー個別電極２６またはダミーコモン電極２７の各スル
ーホール３２、３３を介して確実にできるという顕著な
効果を奏する。

【００２９】なお、実施形態では、圧電シート１枚の厚
さが３０μｍであり、個別電極２４、コモン電極２５及
び表面電極３０、３１の形成時における導電材料の塗布
にて当該導電材料は各スルーホール３２，３３内に浸入
（充填）し得る。圧電シートの１枚の厚さが厚い場合に
は、前記電極（導電）材料の塗布後に塗布面の裏側から
の空気の吸引にてスルーホール内への導電材料の浸入
（充填）を確実にすることができる。

【００３０】また、前記圧電アクチュエータの積層体
を、メッキ液中に浸漬し、この状態で各表面電極３０，
３１に、細幅の電極パターンを介して通電して電気メッ
キを行うことにより、前記各表面電極３０，３１の表面
に、金属メッキ層を形成するようにしても良い。金属メ
ッキ層は、例えば、ニッケルメッキ層を下地としてその
上に金メッキ層を形成するもので、この金属メッキ層の
形成により、前記フレキシブルフラットケーブル４０に
おける各配線パターンの、前記各表面電極３０，３１に
対する電気的接合性を大幅に向上できる。

【００３１】また、実施形態では、圧電アクチュエータ
２０の最下層のシートに圧電シート２２を用いたが、他
の層の圧電シートの歪みを圧力室に伝えるものならば、
他の絶縁材料を用いても差し支えない。最上層のトップ
シート２３に圧電材料を用いたが、他の絶縁材料を用い
ても差し支えない。その場合、圧電シートの歪みのう
ち、上方（キャビティプレート１０と反対側）へ突出す
る歪みを抑えるものであることが望ましい。

【００３２】また、コモン電極２５がアース電位に接続
されるならば、コモン電極２５のスルーホール３３は、
キャビティプレート１０と電気的に接続していても差し
支えない。

【００３３】

【発明の作用・効果】以上に説明したように、請求項１
に記載の発明の圧電アクチュエータは、複数個のノズル
及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープ
レートと、前記各圧力室毎の個別電極及び隣接する複数
の圧力室に共通するコモン電極を、圧電シートを挟んで
積層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、
この圧電アクチュエータを、前記キャビティープレート
に、当該圧電アクチュエータにおける各個別電極が各圧
力室に対応するように積層してなる圧電式インクジェッ
トプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータ
は、前記個別電極が一方の広幅面に形成された複数の圧
電シートと前記コモン電極が一方の広幅面に形成された
複数の圧電シートとを交互に積層してなり、前記キャビ
ティープレートに隣接するシートを除く各圧電シートに
は、前記積層方向に隣接する個別電極同士又は前記コモ
ン電極同士に連通するスルーホールを設け、該各スルー
ホールに充填された導電材料を介して、前記全ての層の
個別電極同士又は前記全ての層のコモン電極同士を電気
的に接続させたものである。

【００３４】従って、本発明では、スルーホールが各圧
電シートの広幅面内で厚さ方向に貫通しているから、従
来の圧電アクチュエータの厚さ方向の側面に、積層した
個別電極同士やコモン電極同士を導通させる側面電極を
形成した場合に比べて、圧電アクチュエータの組み立て
作業中等における導電部の欠け等がなく、導電性を確実
にできるという効果を奏する。

【００３５】また、圧電アクチュエータとキャビティー
プレートとの接触面となるシートには、前記スルーホー
ルが形成されていないから、たとえキャビティープレー
トが導電性材料で構成されていても、最下層の個別電極
やコモン電極がキャビティープレートの表面に対して電
気的接触するおそれが全くなくなる。さらに、前記キャ
ビティープレートと隣接するシートにスルーホールが存
在しないから、キャビティープレート側における圧力室
と上下方向で重なる位置に個別電極またはコモン電極が
あっても、圧力室内の水性インクとの電気的短絡現象は
発生しない。

【００３６】その結果、圧電アクチュエータにおけるス
ルーホールの設置位置に制約がなく設計の自由度が向上
するという効果も奏する。

【００３７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記
圧電アクチュエータにおける表裏両広幅面のうち、前記
キャビティープレートから最も離れた位置のシートの外
側広幅面に形成された表面電極とそれに対応する前記個
別電極又は前記コモン電極とを、前記スルーホールを介
して電気的に接続させたものであるから、キャビティー
プレートから最も離れた位置のシートに形成された表面
電極に対して外部電極のフラットケーブルを接続するだ
けで、電気的接合性を確保し、簡単に外部からの電圧印
加にて駆動させることができるという効果を奏する。

【００３８】そして、請求項３に記載の発明は、請求項
１または請求項２に記載の圧電式インクジェットプリン
タヘッドにおいて、前記圧電シートにおける個別電極が
形成された一方の広幅面にはダミーコモン電極を形成
し、前記コモン電極が形成された一方の広幅面にはダミ
ー個別電極を形成し、前記各スルーホールは、前記個別
電極とダミー個別電極とが連通する位置及び前記コモン
電極とダミーコモン電極とが連通する位置にそれぞれ形
成したものであるから、個別電極同士及びコモン電極同
士が一層おきごとに形成されている場合であっても、そ
の間にダミー電極が介挿され、その介挿されたダミー電
極に導通するスルーホールを介して個別電極同士及びコ
モン電極同士を確実に導通させることができるという効
果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による圧電式インクジェッ
トプリンタヘッドを示す分解斜視図である。

【図２】キャビティープレートと圧電アクチュエータと
の一端部を示す拡大斜視図である。

【図３】キャビティープレートの分解斜視図である。

【図４】キャビティープレートの部分的拡大斜視図であ
る。

【図５】圧電アクチュエータの分解斜視図である。

【図６】スルーホール部で切断した圧電アクチュエータ
の部分拡大側断面図である。

【図７】図１のVII −VII 線矢視拡大断面図である。

【図８】フレキシブルフラットケーブルとキャビティー
プレートと圧電アクチュエータとを積層した状態の拡大
断面図である。

【符号の説明】

１０ キャビティープレート １１ ノズルプレート １２ マニホールドプレート １３ スペーサプレート １４ ベースプレート １５ ノズル １６ 圧力室 ２０ 圧電アクチュエータ ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２
１ｇ，２２ 圧電シート ２３ トップシート ２４ 個別電極 ２５ コモン電極 ３０，３１ 表面電極 ３２，３３ スルーホール ４０ フレキシブルフラットケーブル

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数個のノズル及びこの各ノズルごとの
   圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室
   ごとの個別電極及び隣接する複数の圧力室に共通するコ
   モン電極を、圧電シートを挟んで積層したプレート型の
   圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチュエー
   タを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュ
   エータにおける各個別電極が各圧力室に対応するように
   積層してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにお
   いて、 前記圧電アクチュエータは、前記個別電極が一方の広幅
   面に形成された複数の圧電シートと前記コモン電極が一
   方の広幅面に形成された複数の圧電シートとを交互に積
   層してなり、前記キャビティープレートに隣接するシー
   トを除く各圧電シートには、前記積層方向に隣接する個
   別電極同士又は前記コモン電極同士に連通するスルーホ
   ールを設け、該各スルーホールに充填された導電材料を
   介して、前記全ての層の個別電極同士又は前記全ての層
   のコモン電極同士を電気的に接続させたことを特徴とす
   る圧電式インクジェットプリンタヘッド。
2. 【請求項２】 前記圧電アクチュエータにおける表裏両
   広幅面のうち、前記キャビティープレートから最も離れ
   た位置のシートの外側広幅面に形成された表面電極とそ
   れに対応する前記個別電極又は前記コモン電極とを、前
   記スルーホールを介して電気的に接続させたことを特徴
   とする請求項１に記載の圧電式インクジェットプリンタ
   ヘッド。
3. 【請求項３】 前記圧電シートにおける個別電極が形成
   された一方の広幅面にはダミーコモン電極を形成し、 前記コモン電極が形成された一方の広幅面にはダミー個
   別電極を形成し、前記各スルーホールは、前記個別電極
   とダミー個別電極とが連通する位置及び前記コモン電極
   とダミーコモン電極とが連通する位置にそれぞれ形成さ
   れていることを特徴とする請求項１または請求項２に記
   載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。