JP3876909B2 - 圧電式インクジェットプリンタヘッド - Google Patents

Description

本発明は、圧電式のインクジェットプリンタヘッドにおいて、この印字駆動に使用されるプレート型の圧電アクチュエータに係り、より詳しくは、駆動電圧を印加するための駆動電極としてのコモン電極及び個別電極の構成に関するものである。

先行技術のオンディマンド型の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいては、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとに形成された平面状の個別電極及び隣接する複数の圧力室に共通するコモン電極により圧電シート（セラミック材料からなるグリーンシート）を挟んで積層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチュエータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュエータにおける各個別電極が各圧力室に対応するように積層したものがある。

本発明は、積層した圧電シートの各個別電極、各コモン電極を容易に電気的に接続するものである。

この技術的課題を達成するため、請求項１に記載の発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドは、複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティープレートに、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する複数の圧電シートを積層しその圧電シートを各圧力室ごとに駆動させる駆動電極のパターンを形成した圧電アクチュエータを積層してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは、前記駆動電極のうちの前記各圧力室に対応する複数の個別電極が前記第１の方向に間隔をおいて配列されかつその各個別電極が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って延びるようにパターン形成された第１の圧電シートと、前記駆動電極のうちの前記複数の圧力室にわたって前記第１の方向に連続して延びるコモン電極がパターン形成された第２の圧電シートとを、積層方向に交互に有し、前記第１の圧電シートは、前記第２の圧電シートの前記コモン電極の前記第１の方向端部と積層方向に対応する位置で、かつ前記個別電極の前記第１の方向の列端の位置にダミーコモン電極を備え、前記第２の圧電シートは、前記第１の圧電シートの前記個別電極の端部と積層方向に対応する位置で、かつ前記コモン電極の前記第１の方向に沿う側縁から前記第２の方向に間隔をおいた位置にそれぞれダミー個別電極を備え、前記積層方向の前記個別電極と前記ダミー個別電極、前記コモン電極とダミーコモン電極をそれぞれ電気的に接続したものである。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは、前記キャビティプレートと反対側に、前記第１及び第２の圧電シートと積層してトップシートを備え、そのトップシートは、前記各個別電極と積層方向に対応する位置に第１の表面電極を、及び前記コモン電極の前記第１の方向端部と積層方向に対応する位置でかつ前記第１の表面電極の前記第１の方向列端に第２の表面電極をそれぞれ備え、その各表面電極は、前記積層方向の前記個別電極と前記ダミー個別電極、前記コモン電極とダミーコモン電極にそれぞれ電気的に接続している。

請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記第２の圧電シート上の、前記コモン電極は、前記複数の圧力室を一体的に覆うように平面視略矩形状に形成され、前記各ダミー個別電極は、前記コモン電極の前記第１の方向に沿う側縁から前記第２の方向に切れ目を介して間隔をおいて位置しかつ前記第１の方向に相互に間隔をおいて位置している。

請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記第２の圧電シート上の、前記コモン電極は、その前記第１の方向端部から、前記ダミー個別電極の前記第１の方向列端へ延びる引き出し部を有している。

請求項５に記載の発明は、請求項２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記第１の圧電シートは、前記個別電極の端部、ダミーコモン電極に対応して導電材料を内部に有するスルーホールを備え、前記第２の圧電シートは、前記コモン電極の端部、ダミー個別電極に対応して導電材料を内部に有するスルーホールを備え、前記トップシートは、前記表面電極に対応して導電材料を内部に有するスルーホールを備え、前記表面電極は、前記積層方向の前記個別電極と前記ダミー個別電極、前記コモン電極とダミーコモン電極にそれぞれ前記スルーホール内の導電材料を介して電気的に接続している。

請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれかに記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記キャビティプレートは、前記複数の圧力室を前記第１の方向と平行に２列備え、前記第１の圧電シートは、前記個別電極を前記圧力室に対応して２列備え、前記第２の圧電シートは、前記コモン電極のパターンを前記２列の圧力室にわたって備え、前記ダミー個別電極を前記コモン電極を挟んで２列に備えている。

請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれかに記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧電シートのうち前記キャビティプレートに隣接する圧電シートのキャビティプレートと反対側に前記駆動電極を備えている。

請求項８に記載の発明は、請求項２または５に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記トップシートの表面電極には、外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブルの配線パターンが接合される。

上記の圧電式インクジェットプリンタヘッドは、圧電アクチュエータを、駆動電極のうちの各圧力室に対応する複数の個別電極が第１の方向に間隔をおいて配列されかつその各個別電極が第１の方向と直交する第２の方向に沿って延びるようにパターン形成された第１の圧電シートと、駆動電極のうちの前記複数の圧力室にわたって第１の方向に連続して延びるコモン電極がパターン形成された第２の圧電シートとを、積層方向に交互に有し、第１の圧電シートには、第２の圧電シートの前記コモン電極の第１の方向端部と積層方向に対応する位置で、かつ個別電極の第１の方向の列端の位置にダミーコモン電極を備え、第２の圧電シートには、第１の圧電シートの複数の個別電極の各端部と積層方向に対応する位置で、かつ前記コモン電極の前記第１の方向に沿う側縁から前記第２の方向に間隔をおいた位置にそれぞれダミー個別電極を備え、積層方向の個別電極とダミー個別電極、コモン電極とダミーコモン電極をそれぞれ電気的に接続しているから、個別電極とダミー個別電極、コモン電極とダミーコモン電極をそれぞれ容易に接続することができる。

また好ましくは、第１及び第２の圧電シートと積層したトップシートに表面電極を設けることで、第１の各表面電極に、個別電極とダミー個別電極を、前記第２の表面電極に、コモン電極とダミーコモン電極を、容易に接続することができる。さらに、第１及び第２の圧電シート、トップシートに設けた、導電材料を内部に有するスルーホールにより、さらに容易に接続することができる。

また、第２の圧電シート上の、コモン電極は、その第１の方向端部に、ダミー個別電極の第１の方向列端に延びる引き出し部を有することで、個別電極とダミー個別電極、コモン電極とダミーコモン電極をさらに容易に接続することができる。

また、２列の圧力室を備えるものにおいても、個別電極とダミー個別電極、コモン電極とダミーコモン電極を容易に接続することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図１、図７及び図８は、本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。これらの図において、金属板製のキャビティープレート１０に対して積層されるプレート型の圧電アクチュエータ２０の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル４０が接着剤にて重ね接合されているものであり、最下層のキャビティープレート１０の下面側に開口されたノズルから下向きにインクが吐出するものとする。

前記キャビティープレート１０は、図３及び図４に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート１１、二枚のマニホールドプレート１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の五枚の薄い金属板を積層した構造である。前記ノズルプレート１１には、微小径のインク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１における第１の方向（長辺方向）に沿って２列の千鳥配列状に設けられている。即ち、ノズルプレート１１の前記第１の方向と平行な２つの基準線１１ａ、１１ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個のノズル１５が穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート１２には、インク通路１２ａ、１２ｂが、前記ノズル１５の列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、ノズルプレート１１に対面する下側マニホールドプレート１２におけるインク通路１２ｂは、当該マニホールドプレート１２の上側にのみ開放するように凹み形成されている（図４参照）。このインク通路１２ａ、１２ｂは、上側のマニホールドプレート１２に対する前記スペーサプレート１３の積層により密閉される構造になっている。また、前記ベースプレート１４には、その長辺（前記第１の方向）に沿う中心線に対して直交する第２の方向（短辺方向）に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されている。そして、前記中心線を挟んで左右両側にて平行状の長手基準線１４ａ、１４ｂを設定すると、前記中心線より左側の圧力室１６の先端１６ａは前記左側の長手基準線１４ａ上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の圧力室１６の先端１６ａは前記右側の長手基準線１４ｂ上に位置し、且つこの左右の圧力室１６の先端１６ａが交互に配置されているので、左右両側の圧力室１６は一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。

この各圧力室１６の先端１６ａは、前記ノズルプレート１１における前記千鳥状配列のノズル１５に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１２に同じく千鳥状配列にて穿設されている微小径の貫通孔１７を介して連通している。一方、前記各圧力室１６の他端１６ｂは、前記スペーサプレート１３における左右両側部位に穿設された貫通孔１８を介して、前記両マニホールドプレート１２におけるインク通路１２ａ、１２ｂに連通している。なお、前記他端１６ｂは、図４に示すように、ベースプレート１４の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものである。また、最上層のベースプレート１４の一端部に穿設された供給孔１９ａの上面には、その上方のインクタンクから供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ２９が張設されている。

これにより、前記前記ベースプレート１４及びスペーサプレート１３の一端部に穿設の供給孔１９ａ，１９ｂから前記インク通路１２ａ、１２ｂ内に流入したインクは、このインク通路１２ａから前記各貫通孔１８を通って前記各圧力室１６内に分配されたのち、この各圧力室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該圧力室１６に対応するノズル１５に至るという構成になっている。

一方、前記圧電アクチュエータ２０は、図５及び図６に示すように、９枚の圧電シート２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２２，２３を積層した構造で、前記各圧電シートのうち最下段の圧電シート２２とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆの上面（広幅面）には、前記キャビティープレート１０における各圧力室１６の箇所ごとに細幅の個別電極２４が、第１の方向（長辺方向）に沿って列状に形成され、各個別電極２４は前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。

下から偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの上面（広幅面）には、複数個の圧力室１６に対して共通のコモン電極２５が形成されている。

実施形態においては、図４、図５から理解できるように、前記各個別電極２４の幅寸法は対応する圧力室１６における平面視での広幅部を覆う程度に設定されている。

他方、圧力室１６は前記のベースプレート１４の短辺の中央部側で、前記第１の方向（長辺）に沿って２列状に配列されているので、前記コモン電極２５は、その２列の圧力室１６、１６を一体的に覆うように、偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの短辺方向の中央において長辺に沿って延びる平面視略矩形状に形成されると共に、該偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの対の短辺の端縁部近傍では当該端縁部のほぼ全長にわたって延びる引き出し部２５ａ，２５ａが一体的に形成されている。

そして、前記偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの対の長辺の端縁部近傍の表面であって、前記コモン電極２５が形成されていない箇所には、前記各個別電極２４と同じ上下位置（対応する位置）に、当該個別電極２４と略同じ幅寸法で長さの短いダミー個別電極２６を形成する。この場合、図５及び図６に示すように、各ダミー個別電極２６の端部は前記コモン電極２５の第１の方向（長辺に沿う方向）の側縁に対して適宜の隙間寸法（Ａ１）の切れ目３５があるように隔てる。しかも、ダミー個別電極２６の層の１つおきの長さをＬ２とＬ３（＜Ｌ２）のように長短に設定して、ダミー個別電極２６の端部とコモン電極２５の側縁とのパターンの切れ目３５の位置を圧電シートの積層の１枚おきに当該圧電シートの第２の方向（短辺方向）にずらせるのである。

実施形態では、下から２番目の層（圧電シート２１ａ）及び６番目の層（圧電シート２１ｅ）でのダミー個別電極２６の長さＬ２を、４番目の層（圧電シート２１ｃ）及び８番目の層（圧電シート２１ｇ）でのダミー個別電極２６の長さＬ３より隙間寸法Ａ１だけ長くなるように設定する。

このように構成することにより、圧電アクチュエータ２０全体としての第２の方向（幅方向）でのダミー個別電極２６の端部とコモン電極２５の側縁とのパターンの切れ目３５の幅が２×Ａ１と大きくなると共に、当該切れ目３５箇所における圧電アクチュエータ２０全体としての厚さ方向の電極層の密度の第２の方向での偏りが少なくなるから、後工程で焼成した後の圧電アクチュエータ２０の幅方向（第２の方向）の反り（前記切れ目３５の箇所で上向き凸となる反り）変形量も小さく、その反りも急な角度で折れ曲がったものではなく、大きな半径で穏やかに湾曲したものにできる。その結果、圧電アクチュエータ２０をキャビティープレート１０に接着固定した場合に、その接着面での隙間（空間）が発生せず、インクジェットとしての製品となった状態でのインク漏れという不良を防止できるという効果を奏する。また、前記接着工程において、圧電アクチュエータ２０とキャビティープレート１０との広幅面（接着面）が平坦になるように、両者を押しつける接着圧力も低荷重にできるという効果を奏する。

他方、最下段の圧電シート２２とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆの上面（広幅面）のうち、前記引き出し部２５ａ，２５ａに対応する位置（同じ上下位置、圧電シートの対の短辺の端縁部近傍）には、ダミーコモン電極２７を形成するのである。

前記最上段のトップシート２３の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記各個別電極２４の各々に対する表面電極３０と、前記コモン電極２５に対する表面電極３１とが、設けられている。

さらに、前記最下段の圧電シート２２を除いて、他の全ての圧電シート２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇとトップシート２３とには、前記各表面電極３０と、それに対応する位置（同じ上下位置）の個別電極２４並びにダミー個別電極２６とが互いに連通するように、スルーホール３２を穿設する。同様に、前記少なくとも１つの表面電極３１（実施形態では、トップシート２３の４隅の位置の表面電極３１）と、それに対応する位置（同じ上下位置）のコモン電極２５乃至はその引き出し部２５ａが互いに連通するように、スルーホール３３を穿設し、スルーホール３２、３３内に充填された導電性材料を介して、各層の個別電極２４同士及びそれと対応する位置の表面電極３０とが電気的に接続されているように構成し、同じく、各層のコモン電極２５同士及びそれと対応する位置の表面電極３１とが電気的に接続されているように構成するものである。

前記した構成の圧電アクチュエータ２０は、以下に述べるような方法で製造される。即ち、前記一つの圧電アクチュエータ２０における圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆ、２２の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第１素材シート（セラミックグリーンシート）の表面のうち各圧電シートの箇所に、複数個の個別電極２４と、捨てパターンの電極としてのダミーコモン電極２７を設ける位置に対応して予めスルーホール３２を穿設する。同様に、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第２素材シート（セラミックグリーンシート）の表面のうち各圧電シートの箇所に、複数個のコモン電極２５と、捨てパターンの電極としてのダミー個別電極２６を設ける位置に対応して予めスルーホール３３を穿設する。さらに、前記と同様に、トップシート２３の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第３素材シート（セラミックグリーンシート）の表面のうちトップシート２３の箇所に、複数個の表面電極３０、３１を設ける位置に対してスルーホール３２、３３を穿設する。

そして、各圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆ、２２の表面に個別電極２４及びダミーコモン電極２７を、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの表面にコモン電極２５及びダミー個別電極２６を、トップシート２３の表面に表面電極３０、３１の箇所を、それぞれ、導電ペーストのスクリーン印刷にて形成すると、前記各スルーホール３２、３３は、第１、第２素材シートの上下広幅面に貫通しているので、各スルーホール３２、３３内にも前記導電ペーストが浸入し、該各スルーホール３２、３３を介して各電極部分でシートの上下面で導電通可能となる。次いで、各グリーンシートを乾燥した後、積層し、次いで積層方向にプレスすることで一体化して、一枚の積層体にする。その後焼成する。

これにより、上下に積層された複数枚の圧電シート２１とトップシートとは上下同じ位置の前記個別電極２４及びダミー個別電極２６が表面電極３０の箇所と電気的に接続されるし、同じく上下複数枚のコモン電極２５及びダミーコモン電極２７が表面電極３１の箇所と電気的に接続されることになる（図６参照）。

そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２０は、前記キャビティープレート１０に対して、当該圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４が前記キャビティープレート１０における各圧力室１６の各々に対応するように積層固定される（図１、図７参照）。また、この圧電アクチュエータ２０における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極３０、３１に電気的に接合される。

この構成において、前記圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４のうち任意の個別電極２４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することにより、圧電シート２１，２２のうち前記電圧を印加した個別電極２４の部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各個別電極２４に対応する圧力室１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる（図８参照）。

前記構成の圧電アクチュエータ２０においては、積層されている圧電シートの広幅面を厚さ方向に貫通するスルーホール３２、３３を介して各圧電シートの表面に形成された個別電極２４同士やコモン電極２５同士を電気的に接続できると共にトップシート２３の表面に形成された表面電極３０、３１にも電気的に接続できるのであって、従来のように、圧電アクチュエータ２０の厚さ方向の外周側面にて個別電極２４同士やコモン電極２５同士を電気的に接続するように、側面電極を形成した場合に比べて、圧電アクチュエータ２０の製造中とか、この圧電アクチュエータ２０の組み立て中に、ハンドラー又は治具等が接触することに起因する個別電極２４同士やコモン電極２５同士の導電部の欠落がなくなるという効果を奏する。

しかも、圧電アクチュエータ２０とキャビティープレート１０との接触面となる圧電シート２２には、前記スルーホール３２、３３が形成されていないから、もしキャビティープレート１０が導電性材料（例えば、４２％ニッケル合金鋼等）で構成されていても、最下層の個別電極２４やコモン電極２５がキャビティープレート１０の表面に対して電気的に接触するおそれが全くなくなる。また、前記キャビティープレート１０と隣接する圧電シート２２にスルーホール３２，３３が存在しないから、圧力室１６と上下方向で重なる位置に個別電極２４やコモン電極２５があっても、圧力室１６内の水性インクとの電気的短絡現象は発生しない。

その結果、圧電アクチュエータ２０におけるスルーホール３２、３３の設置位置に制約がなく設計の自由度が向上するという効果も奏する。

個別電極２４やコモン電極２５は圧電シート２１の１つおきの層に形成されるものであるところ、本実施形態のように、上下の個別電極２４の間の圧電シートにダミー個別電極２６を形成し、同じく上下のコモン電極２５の間の圧電シートにダミーコモン電極２７を形成し、これらのダミー個別電極２６と個別電極２４とを連通するようなスルーホール３２及びコモン電極２５とダミーコモン電極２７とを連通するようなスルーホール３３をそれぞれ形成することで、上下方向の個別電極２４同士もしくはコモン電極２５同士の電気的接続がダミー個別電極２６またはダミーコモン電極２７の各スルーホール３２、３３を介して確実にできるという顕著な効果を奏する。

また、ダミー個別電極２６、ダミーコモン電極２７がない場合、圧電シートを積層したとき、凹凸を生じるが、両電極２６、２７があることで厚さの変化を少なくできる。

なお、実施形態では、圧電シート１枚の厚さが３０μｍであり、個別電極２４、コモン電極２５及び表面電極３０、３１の形成（電極層の厚さは略５μｍ）時における導電材料の塗布にて当該導電材料は各スルーホール３２，３３内に浸入（充填）し得る。圧電シートの１枚の厚さが厚い場合には、前記電極（導電）材料の塗布後に塗布面の裏側からの空気の吸引にてスルーホール内への導電材料の浸入（充填）を確実にすることができる。

また、前記圧電アクチュエータの積層体を、メッキ液中に浸漬し、この状態で各表面電極３０，３１に、細幅の電極パターンを介して通電して電気メッキを行うことにより、前記各表面電極３０，３１の表面に、金属メッキ層を形成するようにしても良い。金属メッキ層は、例えば、ニッケルメッキ層を下地としてその上に金メッキ層を形成するもので、この金属メッキ層の形成により、前記フレキシブルフラットケーブル４０における各配線パターンの、前記各表面電極３０，３１に対する電気的接合性を大幅に向上できる。

なお、本発明では、コモン電極２５を有する最下層の圧電シートがキャビティシート１０におけるベースシート１４と対面するように、個別電極２４の層とコモン電極２５との層との積層順序を変えたものにも適用できることはいうまでもなく、また、前記スルーホールにかえて、圧電アクチュエータの積層体の側面（表面電極３０，３１が形成される広幅面と直交する側面）に側面電極を形成し、表面電極３０は前記側面電極を介して前記個別電極２４同士、ダミー個別電極２６同士を電気的接続させる一方、表面電極３１は別の箇所の側面電極を介して前記コモン電極２５同士、ダミーコモン電極２７同士を電気的接続させるよう構成したものに適用しても良い。その場合、前記圧電アクチェータのうち表裏両表面と直交する側面に、少なくとも前記各駆動電極（コモン電極、個別電極等）を露出する凹み溝が設けられ、この凹み溝内に、前記駆動電極に電気的に導通する側面電極が形成されたものであっても良い。

さらに、本発明は、前記第１の方向を圧電アクチュエータ２０の短辺に沿う方向とし、第２の方向を長辺に沿う方向としたものにも適用できる。

図９、図１０は、他の実施の形態における圧電アクチュエータ１００を示すもので、個別電極１０１を有する圧電シート１０３ａ，１０３ｃ，１０３ｅ，１０３ｇとコモン電極１０２を有する圧電シート１０３ｂ，１０３ｄ，１０３ｆ，１０３ｈとを交互に積層している。そして、圧電アクチュエータ１００における個別電極１０１は圧電シートの幅方向（短辺）の中央線を挟んで両側にて、当該圧電シートの短辺縁と平行状にて長辺方向に列状に配置されており、コモン電極１０２は、圧電シートの幅方向（短辺）の中央線に跨がり、且つ前記両側の全ての圧力室に跨がり、圧電シートの対の長辺部に近い部位を除く箇所に平面視で略矩形状に形成されている。さらに、前記コモン電極１０２を有する圧電シート１０３ｂ，１０３ｄ，１０３ｆ，１０３ｈの表面には、当該コモン電極１０２の長手方向の側縁と切れ目（間隔）１０９を開けてダミー個別電極１０４が前記個別電極基１０１と同じ上下位置に形成されているものであった。ダミー個別電極１０４は、圧電アクチュエータの変形には寄与しないが、圧電シートと電極を積層した際の部分的な厚さの変化を少なくする。なお、最上層の圧電シートであるトップシート１０５の表面には、外部回路からの印加信号を対応する個別電極１０１及びコモン電極１０２に付与するためのフレキシブルフラットケーブル（図示せず）の端子部と接続する表面電極１０６、１０７が形成され、圧電シートの対の長辺部側面に、圧電シートの厚さ方向に延び同じ上下位置における個別電極１０１とダミー個別電極１０４同士を電気的に接続するための側面電極１０８が形成されている（図１０参照）。

９枚の圧電シート１０３ａ〜１０３ｈ、１０５を積層した状態において、例えば、ダミー個別電極１０４のパターンとコモン電極１０２のパターンとの切れ目１０９の位置が、圧電シート１０３の長辺縁からの寸法Ｌ１を同じにするとき、前記切れ目１０９部分において、圧電アクチュエータ１００の厚さの中心線（下から５枚目の圧電シート１０３ｅの厚さ方向の中心線）１１０から上下方向を見ると、上半分では電極部（即ち導電材料）の膜の密度の偏りは、中心線側に寄っていて、下半分側では偏りが中心線から離れている。

個別電極やコモン電極を導電性ペーストにて圧電シート（グリーンシート）の広幅面に薄層状に印刷形成し、該圧電シートを積層し、プレスした後、焼成する。

本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。 キャビティープレートと圧電アクチュエータとの一端部を示す拡大斜視図である。 キャビティープレートの分解斜視図である。 キャビティープレートの部分的拡大斜視図である。 圧電アクチュエータの分解斜視図である。 スルーホール部で切断した圧電アクチュエータの部分拡大側断面図である。 図１のVII −VII 線矢視拡大断面図である。 フレキシブルフラットケーブルとキャビティープレートと圧電アクチュエータとを積層した状態の拡大断面図である。 他の実施の形態の圧電アクチュエータにおける個別電極とコモン電極とダミー個別電極とのパターンの状態を示す分解斜視図である。 図９におけるＸ−Ｘ線矢視拡大断面図である。

符号の説明

１０ キャビティープレート
１１ ノズルプレート
１２ マニホールドプレート
１３ スペーサプレート
１４ ベースプレート
１５ ノズル
１６ 圧力室
２０ 圧電アクチュエータ
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２２ 圧電シート
２３ トップシート
２４ 個別電極
２５ コモン電極
２６ ダミー個別電極
２７ ダミーコモン電極
３０，３１ 表面電極
３２，３３ スルーホール
３５ 切れ目
４０ フレキシブルフラットケーブル

Claims (8)

1. 複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティープレートに、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する複数の圧電シートを積層しその圧電シートを各圧力室ごとに駆動させる駆動電極のパターンを形成した圧電アクチュエータを積層してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、
   前記圧電アクチュエータは、前記駆動電極のうちの前記各圧力室に対応する複数の個別電極が前記第１の方向に間隔をおいて配列されかつその各個別電極が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って延びるようにパターン形成された第１の圧電シートと、前記駆動電極のうちの前記複数の圧力室にわたって前記第１の方向に連続して延びるコモン電極がパターン形成された第２の圧電シートとを、積層方向に交互に有し、
   前記第１の圧電シートは、前記第２の圧電シートの前記コモン電極の前記第１の方向端部と積層方向に対応する位置で、かつ前記個別電極の前記第１の方向の列端の位置にダミーコモン電極を備え、
   前記第２の圧電シートは、前記第１の圧電シートの前記複数の個別電極の各端部と積層方向に対応する位置で、かつ前記コモン電極の前記第１の方向に沿う側縁から前記第２の方向に間隔をおいた位置にそれぞれダミー個別電極を備え、
   前記積層方向の前記個別電極と前記ダミー個別電極、前記コモン電極とダミーコモン電極をそれぞれ電気的に接続したことを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッド。
2. 前記圧電アクチュエータは、前記キャビティプレートと反対側に、前記第１及び第２の圧電シートと積層してトップシートを備え、
   そのトップシートは、前記各個別電極と積層方向に対応する位置に第１の表面電極を、及び前記コモン電極の前記第１の方向端部と積層方向に対応する位置でかつ前記第１の表面電極の前記第１の方向列端に第２の表面電極をそれぞれ備え、前記第1の各表面電極は、前記積層方向の前記個別電極と前記ダミー個別電極に、前記第２の表面電極は、前記コモン電極とダミーコモン電極にそれぞれ電気的に接続していることを特徴とする請求項１に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
3. 前記第２の圧電シート上の、前記コモン電極は、前記複数の圧力室を一体的に覆うように平面視略矩形状に形成され、前記各ダミー個別電極は、前記コモン電極の前記第１の方向に沿う側縁から前記第２の方向に切れ目を介して間隔をおいて位置しかつ前記第１の方向に相互に間隔をおいて位置することを特徴とする請求項１または２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
4. 前記第２の圧電シート上の、前記コモン電極は、その前記第１の方向端部から、前記ダミー個別電極の前記第１の方向列端へ延びる引き出し部を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
5. 前記第１の圧電シートは、前記個別電極の端部、ダミーコモン電極に対応して導電材料を内部に有するスルーホールを備え、前記第２の圧電シートは、前記コモン電極の端部、ダミー個別電極に対応して導電材料を内部に有するスルーホールを備え、前記トップシートは、前記表面電極に対応して導電材料を内部に有するスルーホールを備え、
   前記表面電極は、前記積層方向の前記個別電極と前記ダミー個別電極、前記コモン電極とダミーコモン電極にそれぞれ前記スルーホール内の導電材料を介して電気的に接続していることを特徴とする請求項２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
6. 前記キャビティプレートは、前記複数の圧力室を前記第１の方向と平行に２列備え、
   前記第１の圧電シートは、前記個別電極を前記圧力室に対応して２列備え、
   前記第２の圧電シートは、前記コモン電極のパターンを前記２列の圧力室にわたって備え、前記ダミー個別電極を前記コモン電極を挟んで２列に備えていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
7. 前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧電シートのうち前記キャビティプレートに隣接する圧電シートのキャビティプレートと反対側に前記駆動電極を備えることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
8. 前記トップシートの表面電極には、外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブルの配線パターンが接合されることを特徴とする請求項２または５に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
   

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