JP4221544B2 - 圧電アクチュエ一タ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電式のインクジェットプリンタヘッドに適用する圧電アクチュエータに係り、より詳しくは、ノズル列が3列以上とした場合の各ノズルに対応する各圧力室を活性化できる個別電極とコモン電極との配置パターンに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
先行技術のオンディマンド型の衝撃式インクジェットプリンタヘッドにおいては、特開平4−341851号公報に記載されているように、積層された状態で接着剤を介して一体に保持された複数枚の動作プレートからなり、これらの動作プレートは複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズルごとの圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され、且つ前記各圧力室に接続するインク流路やインクチャンバ(マニホールド)を有するマニホールドプレートとから構成されたキャビティプレートの背面に、圧電セラミックス板を挟んで内部電極としてのコモン電極と個別電極とを交互に積層した圧電アクチュエータを接合することが開示されている。
【0003】
その場合、ノズルひいては圧力室と対応するように、前記圧電アクチュエータの平面視で前記圧力室に重なるように、前記個別電極とコモン電極との重なり部である活性部を配置する。
【0004】
また、複数のノズルが1列状に配置されているとき、短冊状に形成された前記各個別電極は、圧電セラミックス板の広幅面のうちの片面に、前記ノズルの列の方向と直交する方向に延びるように、一定間隔で配置し、圧電セラミックス板の一側縁の電極取り出し部に露出するまで延長する。他方、コモン電極は圧電セラミックス板の広幅面の略中央部に大きい矩形状に形成し、その一端を圧電セラミックス板の他の一側縁の電極取り出し部に露出するまで延長するように形成し、前記各個別電極の電極引き出し部に図示しないフレキシブルフラットケーブルを貼着して、外部から駆動電圧を印加するようにしていた。
【0005】
他方、特開平8−276586号公報では、前記複数のノズルからなる2列を1組として、3組のものを並設し、前記3つの組に対応させて圧電アクチュエータユニットを3つ並設したものが開示されており、その場合、各圧電アクチュエータユニットにおける個別電極は圧電セラミックス板の左右両側縁方向に交互に延びるように交互並列的に配置し、各圧電アクチュエータユニットにおける左右両側の電極取り出し部にフレキシブルフラットケーブルを貼着して、外部から駆動電圧を印加するようにしていた。
【0006】
つまり、前記いずれの先行技術においても、1つのノズル列に対応させて個別電極の列を配置してその各々に外部から駆動電圧を印加する(供給する)には、各圧電アクチュエータユニットひいては圧電セラミックス板が平面視で矩形状に形成されている場合、その板の一側縁に電極取り出し部を配置するという構成を採用していた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述のように、圧電セラミックス板の側縁側に電極取り出し部を配置するという関係上、ノズル列が3列以上のものを1組としたものに対して圧電アクチュエータユニットを分割することなく配置する構成については、提案されておらず、インクジェットヘッドにノズルを高密度で配置し、小型化することができなかつた。
【0008】
本発明は、個別電極とコモン事極とのパターンを工夫することにより、従来の技術的課題を解決したもので、これにより、ノズルを高密度で配置し、小型化することができるインクジェットプリンタヘッド用の圧電アクチュエータを提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項1に記載の発明の圧電アクチュエータは、平面上に複数個のノズルからなる列が少なくとも3列以上形成され、前記各ノズル毎に対応する圧力室が形成されたキャビティプレートに接合される積層圧電シート状の圧電アクチュエータであって、圧電シートの広幅面を挟んで形成されている個別電極とコモン電極との平面視重複部が前記各圧力室に対応した活性部となるように構成され、前記コモン電極は、圧電シートの広幅面のほぼ中央部寄りの位置にて、前記列方向に延びる幹部と、該幹部から枝分かれした枝部とからなり、前記幹部は前記中央部寄りの位置に配列された各圧力室と対 応するように形成され、前記枝部は前記列方向と平行な圧電シートの側縁に向かって延び、前記圧電シートの側縁に最も近い最外列の各圧力室と少なくとも対応するように形成され、前記個別電極のうち前記最外列の各圧力室に対応する個別電極は、前記側縁から延びる第1引き出し電極に接続させ、且つ、前記枝部とのみ平面視で重複し、前記最外列より内側の列の各圧力室に対応させる個別電極は、前記圧電シートの側縁から前記枝部を跨がないように延びる第2引き出し電極に接続させ、且つ、前記幹部と平面視で重複したことを特徴とするものである。
【0010】
そして、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記複数のノズルからなる列を、4列とし、前記圧電シートの広幅面のほぼ中央部寄りの位置の2列の各圧力室に対応させて前記コモン電極の幹部を配置し、該幹部の延びる方向と交差して互いに反対向きに延びるー対の枝部は、前記列方向と平行な圧電シートの一対の側縁にそれぞれ近い位置の2列の各圧力室に対応させるように形成したものである。
【0011】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記個別電極が形成された圧電シートと、前記コモン電極が形成された圧電シートとを交互に積層したものである。
【0012】
さらに、請求項4に記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記積層された圧電シートの側縁の外面、または、圧電シートの板厚を貫通して、前記コモン電極同士及び前記個別電極同士を接続する接続電極を設けたものである。
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記コモン電極が形成される圧電シートの広幅面のうち、前記枝部の突出箇所に対して所定の間隔を隔てるよう隣接して、当該圧電シートの側縁側にダミー電極が形成されているものである。
請求項6に記載の発明は、請求項1乃至5のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、最上層の圧電シートの広幅の上面には、その一対の側縁部に沿って、前記個別電極の各々及びコモン電極に対応する表面電極が形成され、前記個別電極の前記第1及び第2引き出し電極と前記対応する表面電極とは圧電シートの側端面に形成された側面電極を介して接続され、前記コモン電極の前記幹部から延びる引き出し電極と前記対応する表面電極とは圧電シートの側端面に形成された側面電極を介して接続されているものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図1は本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドにおけるキャビティプレート9と圧電アクチュエータ20との一部切欠き斜視図であり、図1において、金属板製のキャビティプレート9に対して接合されるプレート型の圧電アクチュエータ20の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル40(図4(b)参照)が接着剤にて重ね接合されているものであり、最下層のキャビティプレート9の下面側に開口されたノズル15a,15b,15c,15dから下向きにインクが選択的に吐出するものとする。
【0014】
前記キャビティプレート9は、図2及び図4(b)に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート10、二枚のマニホールドプレート11,12、スペーサプレート13及びベースプレート14の五枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構成であり、実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート10を除き、各プレート12、13、14は、42%ニッケル合金鋼板製で、50μm〜150μm程度の厚さを有する。
【0015】
前記ノズルプレート10には、微小径(実施形態では25μm程度)のインク噴出用のノズル15a,15b,15c,15dが、当該ノズルプレート10における第1の方向(長辺方向)に沿って4列の千鳥配列状に設けられている。即ち、第1列のノズル15aと第2列のノズル15bは、ノズルプレート10の前記第1の方向に延びる2つの平行状の近接した基準線10a、10bに沿って各々微小ピッチPの間隔で千鳥配列列にて多数個穿設されており、第3列のノズル15cと、第4列のノズル15dとは、同じく前記第1の方向に延びる2つの平行状の近接した基準線10c、10dに沿って、各々微小ピッチPの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート11、12には、インク通路12a、12bが、前記ノズルの列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、ノズルプレート10に対面する下側のマニホールドプレート11におけるインク通路12bは、当該マニホールドプレート12の上側にのみ開放するように凹み形成されている。このインク通路12a、12bは、上側のマニホールドプレート12に対する前記スペーサプレート13の積層により密閉される構造になっている。
【0016】
また、前記べ一スプレート14には、その長辺(前記第1の方向)に対して直交する第2の方向(短辺方向)に延びる細幅の圧力室16a,16b,16c,16dの多数個が列状に穿設されている。その場合、各圧力室16a,16b,16c,16dの長手方向の一端である先端流路30は、前記ノズルプレート10における前記千鳥状配列のノズル15a,15b,15c,15dに、前記スペーサプレート13及び両マニホールドドレート11、12に同じく千鳥状配列にて穿設されているインク流路としての微小径の連通孔17、17、17を介して連通している。一方、前記各圧力室16a,16b,16c,16dの他端は、直径が大きい他端流路31に接続されており、該各他端流路31は、前記スペーサプレート13に穿設された。貫通孔18を介して、前記両マニホールドプレート11、12におけるインク通路12a、12bに連通している。
【0017】
従って、ベースプレート14の長辺に沿う中心線を挟んで4列の圧力室16a,16b,16c,16dが対称状に配置されている。即ち、前記4つの基準線10a、10b、10c、10dと平行状で各々対応した位置の長手基準線14a、14b、14c、14dをべースプレート14上に設定すると(図1参照)、該べースプレート14の短辺方向の中央奇りに配置する2列(第2列と第3列)の各圧力室16b,16cにおける各先端流路30は、前記中心線に近い位置の長手基準線14b、14c上に位置する。ベースプレート14の短辺方向の側縁側寄りに配置される2列(第1列と第4列)の各圧力室16a,16dにおける各先端流路30は、前記中心線から遠い側の長手基準線14a、14dの上に位置する。
【0018】
また、長手基準線14aと14bとを挟んで左右両側(第1列と第2列)の圧力室16a,16bの先端流路30が交互に配置されているので、左右両側(第1列と第2列)の圧力室16a,16bは一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。同様にして、長手基準線14cと14dとを挟む左右(第3列と第4列)の圧力窒16c,16dの先端流路30が交互に配置されているので、この左右両側(第3列と第4列)の圧力室16c,16dは一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されている。
【0019】
また、スペーサプレート13の一端に穿設された供給孔19bは、前記インク通路12aに連通すると共に、最上層のベースブレート14の一端部に穿設された供給孔19aにも連通している。そして、この供給孔19aの上面には、その上方のインクタンクから供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ29が張設されている。これらの各プレート11、12、13、14を積層して接着固定する。
【0020】
一方、前記圧電アクチュエータ20は、図1に示すように、圧電セラミックス板からなる複数枚(8〜10枚)の圧電シート21、22を積層した構造で、特開平4−341853号公報に開示されたものと同様に、1枚の厚さが30μm程度の各圧電シートのうち最下段の圧電シート21とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート21の上面(広幅面)には、図3に示すように、前記キャビティプレート9における各圧力室16に対応した箇所ごとに細幅の個別電極24a,24b,24c,24dが、第1の方向(長辺方向、ノズル15a,15b,15c,15dの列方向)に沿って列状に形成され、各個別電極24a,24b,24c,24dは前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って各圧電シート21の長辺の側縁方向に平行状に延びる。その場合、各個別電極24a,24b,24c,24dは、前記各圧力室16a,16b,16c,16dとほぼ同じ長さで、平面視でほぼ覆う程度に形成する。最外列側に配置される第1列目の個別電極24aと第4列目の個別電極24dとは、各圧電シート21のー対の長辺の側縁に近い側に各々配置され、各近い側の側縁部近傍に形成された短い第1引き出し電極26aに各々接続させる。また、第2列目の個別電極24bと第3列目の個別電極24cとは、各圧電シート21の短辺方向の中央寄り部位(各圧電シート21のー対の長辺で挟まれる中央寄り部位)に配直されており、第2列目の個別電極24bは前記第1列の個別電極24aが配置された側に近い各圧電シート21の側縁部近傍に形成された長い第2引き出し電極26bに接続させ、第3列目の個別電極24cは、前記第4列目の個別電極24dが配置されている側に近い圧電シート21の側縁部近傍に形成された長い第2引き出し電極26bに接続させる(図3及び図4(a)参照)。
【0021】
他方、前記コモン電極25は、圧電シート22の広幅面のほぼ中央部寄りの位置にて、前記ノズル15b及びノズル15c(ひいては、第2及び第3列目の圧力室16b,16c)の列方向に延びる幹部25aと、該幹部25aの左右両側から枝分かれした複数の枝部25bとからなり、前記第2列目の個別電極24bと第3列目の個別電極24cとは、前記幹部25aの箇所でのみ平面視で重複し、この両電極が重複する部分が第2列及び第3列の各圧力室16b,16cに対する活性部となる。他方、前記第1列目の個別電極24aと第4列目の個別電極24dとは前記各枝部25bの箇所でのみ平面視で重複し、この重複部分が第1列及び第4列の圧力室16a、16dに対する活性部となる。
【0022】
換言すると、前記最外列(第1列及び第4列)より内側(中央側)の列(第2列及び第3列)の各圧力室(第2及び第3列目の圧力室16b、16c)に対応させる個別電極24b、24c並びに第2引き出し電極26bと前記枝部25bとは、平面視で交差しない。さらに換言すると、前記第2列及び第3列の個別電極24b、24cは前記枝部25bとは平面視で跨がらず、且つ前記第2引き出し電極26bも前記枝部25bと跨がないようにして延びているものである。
【0023】
つまり、個別電極とコモン電極との電圧を印加すると、圧電効果により、圧電セラミックス板を挟んでコモン電極と個別電極とが平面視で重複する部分(活性部)は、圧電シートの厚さ方向(積層方向)に歪みが発生するからであり、圧力室に対応する箇所以外の箇所で前記歪みが発生することは、圧電式インクジェットヘッドにおいて意図しないものであるからである。
【0024】
なお、コモン電極25が形成される圧電シート22の広幅面のうち、枝部25bの突出部に所定の間隔を隔てるように隣接して圧電シート22の側縁側にダミー電極27を形成することにより(図3参照)、圧電シートを積層した場合に電極の形成された箇所と電極のない箇所とでの凹凸の変動差を少なくできる。
【0025】
図1に示すごとく、最上段のトップシート23の上面には、そのー対の長辺の端縁部に沿って、前記個別電極24a〜24dの各々に対して電気的に接続される表面電極32が設けられており、各ノズル15毎に対応する個別電極24a〜24dへの第1及び第2引き出し電極26a、26bと表面電極32とを圧電シート21、22の側端面に縦長に形成された側面電極33を介して電気的に接続されている。
【0026】
同様に、前記側面電極33の位置と異なる箇所(電気的接続しない箇所)で、各層のコモン電極25からの引き出し電極25cと電気的に接続させた圧電シート21、22の側端面に縦長に形成された側面電極35を介して、前記トッブシート23の上面における別の箇所の表面電極34に電気的に接続されている。
【0027】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ20における下面(圧力室16と対面する広幅面)全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート(囲示せず)を予め貼着し、次いで、前記キャビティプレート9に対して、当該圧電アクチュエータ20が、その各個別電極を前記キャビティプレート9における各圧力室16の各々に対応させて接着・固定される(図4(b)参照)。また、この圧電アクチュエータ20における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル40が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル40における各種の配線パタ一ン(図示せず)が、前記各表面電極33、34に電気的に接合される。
【0028】
この構成において、前記圧電アクチュエータ20における各個別電極24a〜24dのうち任意の個別電極と、コモン電極25との間に駆動電圧を印加することにより、圧電シート21、22のうち前記駆動電圧を印加した個別電極とコモン電極との重複部に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各個別電極に対応する圧力室16a〜16dの内容積が縮小されることにより、この圧力室16a〜16d内のインクが、ノズル15a〜15dから液滴状に噴出して、所定の印字が行われる(図4(b)参照)。
【0029】
前記実施形態では、圧電シート21、22を積層した状態での外側の接続電極としての側面電極33、35を介して上下方向の個別電極同士やコモン電極同士を電気的に接続したが、前記個別電極24a〜24dに対してはその第1引き出し電極26aや第2引き出し電極26bの箇所で圧電シート21、22をその板厚方向に貫通するスルーホール型の接続電極を設けて、同じ上下位置(積層方向)の個別電極24a〜24d同士を電気的に接続するように構成しても良い。これらの接続電極の部分も非活性部とするように配置することは勿論である。
【0030】
また、前記実施形態では、ノズルの列は4列であったが、本発明では3列以上のノズル列に対して適用できる。さらに、圧力室は前記実施形態のように平面視矩形状であっても良いが、平面視で円形、菱形、楕円状等の任意に形成できるから、個別電極の平面視形状も圧力室の平面視形状に適合させた形状とすることができる。
【0031】
【発明の作用・効果】
以上に説明したように、請求項1に記載の発明の圧電アクチュエータは、平面上に複数個のノズルからなる列が少なくとも3列以上形成され、前記各ノズル毎に対応する圧力室が形成されたキャビティプレートに接合される積層圧電シート状の圧電アクチュエータであって、圧電シートの広幅面を挟んで形成されている個別電極とコモン電極との平面視重複部が前記各圧力室に対応した活性部となるように構成され、前記コモン電極は、圧電シートの広幅面のほぼ中央部寄りの位置にて、前記列方向に延びる幹部と、該幹部から枝分かれした枝部とからなり、前記幹部は前記中央部寄りの位置に配列された各圧力室と対応するように形成され、前記枝部は前記列方向と平行な圧電シートの側縁に向かって延び、前記圧電シートの側縁に最も近い最外列の各圧力室と少なくとも対応するように形成され、前記個別電極のうち前記最外列の各圧力室に対応する個別電極は、前記側縁から延びる第1引き出し電極に接続させ、且つ、前記枝部とのみ平面視で重複し、前記最外列より内側の列の各圧力室に対応させる個別電極は、前記圧電シートの側縁から前記枝部を跨がないように延びる第2引き出し電極に接続させ、且つ、前記幹部と平面視で重複したことを特徴とするものである。
【0032】
従って、3列以上のノズル列を有するインクジェットヘッドの作成に当たって、個別電極もしくはその引き出し電極とコモン電極との重合部である活性部を、圧力室に対応しない箇所に形成することはなく、また、圧電アクチュエータやキャビティプレートを分割することなく、ノズルの配列を高密度にした小型のインクジェットヘッドを提供することができる。
【0033】
そして、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記複数のノズルからなる列を、4列とし、前記圧電シートの広幅面のほぼ中央部寄りの位置の2列の各圧力室に対応させて前記コモン電極の幹部を配置し、該幹部の延びる方向と交差して互いに反対向きに延びるー対の枝部は、前記列方向と平行な圧電シートの一対の側縁にそれぞれ近い位置の2列の各圧力室に対応させるように形成したものである。
【0034】
このようにノズルの列を4列とした場合には、圧電シートの広幅面のほぼ中央部寄りの位置の2列(第2列目と第3列目)の各圧力室に対応させてコモン電極の幹部を配置し、該幹部の延びる方向と交差して互いに反対向きに延びるー対の枝部は、前記ノズルの列方向と平行な圧電シートの一対の側縁にそれぞれ近い位置の2列(第1列目と第4列目)の各圧力室に対応させるように形成するのである。この構成により、第1列と第2列の個別電極に対する引き出し電極は圧電シートのー方の側縁側に形成され、第3列と第4列の個別電極に対する引き出し電極は圧電シートの他方の側縁側に形成される結果、圧電アクチュエータを分割することなく、4列のノズルに対する外部からの電圧印加を圧電アクチュエータのー対の側縁から実行でき、ノズルの配列を高密度にした小型のインクジェットヘッドを提供することができるという効果を奏する。
【0035】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の圧電アクチュエ−タにおいて、前記個別電極が形成された圧電シートと、前記コモン電極が形成された圧電シートとを交互に積層したものであるから、前記活性部の位置が正確に形成された圧電アクチュエータを筒単に製造することができるという効果を奏する。
【0036】
さらに、請求項4に記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記積層された圧電シートの側縁の外面、または、圧電シートの板厚を貫通して、前記コモン電極同士及び前記個別電極同士を接続する接続電極を設けたものであり、この接続電極の部分も非活性部とするように配置することにより、外部から個別電極及びコモン電極への駆勤電圧の印加の箇所を集約できてインクジェットヘッドを一層コンパクトに形成できるという効果を奏する。
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記コモン電極が形成される圧電シートの広幅面のうち、前記枝部の突出箇所に対して所定の間隔を隔てるよう隣接して、当該圧電シートの側縁側にダミー電極が形成されているものであるので、圧電シートを積層した場合に電極の形成された箇所と電極のない箇所とでの凹凸の変動差を少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドのキャビティプレートと圧電アクチュエータとを分離して示す部分分解斜視図である。
【図2】 キャビティプレートの分解斜視図である。
【図3】 圧電アクチュエータにおける個別電極とコモン電極との配置パターンを示す部分的拡大斜視図である。
【図4】 (a)は個別電極とコモン電極との配置バターンを示す部分的拡大平面図、(b)はフレキシブルフラットケーブルと、キャビティプレートと圧電アクチュエータとを接着・固定した状態の図4(a)のIVb −IVb 線矢視断面図である。
【符号の説明】
9 キャビティプレート
10 ノズルプレート
11、12 マニホールドプレート
14 ベースプレート
15a〜15d ノズル
16a〜16d 圧力室
17 連通孔
18 貫通孔
20 圧電アクチュエータ
24a〜24d 個別電極
25 コモン電極
25a 幹部
25b 枝部
Claims (6)
- 平面上に複数個のノズルからなる列が少なくとも3列以上形成され、前記各ノズル毎に対応する圧力室が形成されたキャビティプレートに接合される積層圧電シート状の圧電アクチュエータであって、
圧電シートの広幅面を挟んで形成されている個別電極とコモン電極との平面視重複部が前記各圧力室に対応した活性部となるように構成され、
前記コモン電極は、圧電シートの広幅面のほぼ中央部寄りの位置にて、前記列方向に延びる幹部と、該幹部から枝分かれした枝部とからなり、
前記幹部は前記中央部寄りの位置に配列された各圧力室と対応するように形成され、
前記枝部は前記列方向と平行な圧電シートの側縁に向かって延び、前記圧電シートの側縁に最も近い最外列の各圧力室と少なくとも対応するように形成され、
前記個別電極のうち前記最外列の各圧力室に対応する個別電極は、前記側縁から延びる第1引き出し電極に接続させ、且つ、前記枝部とのみ平面視で重複し、
前記最外列より内側の列の各圧力室に対応させる個別電極は、前記圧電シートの側縁から前記枝部を跨がないように延びる第2引き出し電極に接続させ、且つ、前記幹部と平面視で重複したことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記複数のノズルからなる列を、4列とし、前記圧電シートの広幅面のほぼ中央部寄りの位置の2列の各圧力室に対応させて前記コモン電極の幹部を配置し、該幹部の延びる方向と交差して互いに反対向きに延びるー対の枝部は、前記列方向と平行な圧電シートの一対の側縁にそれぞれ近い位置の2列の各圧力室に対応させるように形成したことを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記個別電極が形成された圧電シートと、前記コモン電極が形成された圧電シートとを交互に積層したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 積層された前記圧電シートの側縁の外面、または、圧電シートの板厚を貫通して、前記コモン電極同士及び前記個別電極同士を接続する接続電極を設けたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記コモン電極が形成される圧電シートの広幅面のうち、前記枝部の突出箇所に対して所定の間隔を隔てるよう隣接して、当該圧電シートの側縁側にダミー電極が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 最上層の圧電シートの広幅の上面には、その一対の側縁部に沿って、前記個別電極の各々及びコモン電極に対応する表面電極が形成され、
前記個別電極の前記第1及び第2引き出し電極と前記対応する表面電極とは圧電シートの側端面に形成された側面電極を介して接続され、
前記コモン電極の前記幹部から延びる引き出し電極と前記対応する表面電極とは圧電シートの側端面に形成された側面電極を介して接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
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