JP7439568B2 - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
この発明は、インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
吐出命令に応じたタイミング及び量のインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドでは、インク吐出機構を駆動する電気信号を送信する信号線が多数配置される。インク吐出機構としては、例えば、インクに接触する振動板を振動させてインクに圧力変動を付与する圧電素子などが挙げられる。ノズルの数の増大及び高精細化に伴って信号線の数も増え、細線化も進んでいる。
また、信号線を伝わる電気信号に応じて、当該信号線の周囲に生じる電流や電圧が、本来インク吐出機構を駆動する範囲以外でも当該インク吐出機構に影響を及ぼす場合があるという問題がある。特許文献１では、圧電体層を必要な長さに限定するとともに、圧電体層が省略された端部の信号線下には、代わりに絶縁層を設けて振動の発生を抑制する構成が開示されている。
しかしながら、従来の構造上に信号線を設けると、圧電素子や絶縁層上を信号線が上下に折れ曲がりながら伸びることになる。したがって、信号線が熱膨張や振動などの応力により折れ曲がり箇所で破損しやすくなり、信号の伝送不良につながる場合があるという課題がある。
この発明の目的は、より確実に駆動信号を伝送することのできるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、
インクを吐出するノズル孔を有するノズル板と、
前記ノズル孔に連通してインクを貯留するインク室を囲う側壁部と、
前記インク室の一面をなす振動板と、
圧電体、並びに当該圧電体を挟む第１電極及び第２電極を有し、前記振動板に前記第２電極が接して位置する圧電素子と、
前記第１電極に信号を伝える信号線と、
絶縁層と、
を備え、
前記第２電極は、前記圧電体よりも広く、
前記絶縁層は、前記第２電極上の前記圧電体の範囲外に設けられ、
前記圧電体及び前記絶縁層のそれぞれ前記第２電極とは反対側の面は、同一の平面内に位置し、
前記信号線は、前記平面上に設けられており、
前記側壁部は、金属部材であって電気めっき厚膜である
ことを特徴とするインクジェットヘッドである。
インクを吐出するノズル孔を有するノズル板と、
前記ノズル孔に連通してインクを貯留するインク室を囲う側壁部と、
前記インク室の一面をなす振動板と、
圧電体、並びに当該圧電体を挟む第１電極及び第２電極を有し、前記振動板に前記第２電極が接して位置する圧電素子と、
前記第１電極に信号を伝える信号線と、
絶縁層と、
を備え、
前記第２電極は、前記圧電体よりも広く、
前記絶縁層は、前記第２電極上の前記圧電体の範囲外に設けられ、
前記圧電体及び前記絶縁層のそれぞれ前記第２電極とは反対側の面は、同一の平面内に位置し、
前記信号線は、前記平面上に設けられており、
前記側壁部は、金属部材であって電気めっき厚膜である
ことを特徴とするインクジェットヘッドである。
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第１電極と前記信号線とは一体の薄膜形状を有することを特徴とする。
前記第１電極と前記信号線とは一体の薄膜形状を有することを特徴とする。
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記圧電体は、前記ノズル板に垂直な方向から見た平面視で前記インク室に内包される位置にあることを特徴とする。
前記圧電体は、前記ノズル板に垂直な方向から見た平面視で前記インク室に内包される位置にあることを特徴とする。
また、請求項４記載の発明は、請求項１～３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズル板は、前記ノズル孔を複数有し、
前記側壁部は、前記複数のノズル孔に各々対応する複数の前記インク室を分離し、
前記第２電極は、前記複数のインク室にわたって広がり、当該複数のインク室の各々に対応する前記圧電素子の共通電極である
ことを特徴とする。
前記ノズル板は、前記ノズル孔を複数有し、
前記側壁部は、前記複数のノズル孔に各々対応する複数の前記インク室を分離し、
前記第２電極は、前記複数のインク室にわたって広がり、当該複数のインク室の各々に対応する前記圧電素子の共通電極である
ことを特徴とする。
また、請求項５記載の発明は、
基板上に第１導電体層を形成し、当該第１導電体層上の所定範囲に圧電体層を形成し、前記所定範囲外に絶縁層を形成する第１形成ステップと、
前記圧電体層及び前記絶縁層の上に第２導電体層及び振動板をなす部材の層を順番に形成し、前記基板に垂直な方向から見た平面視で前記振動板上に前記所定範囲に応じた範囲を囲う側壁部を形成する第２形成ステップと、
前記基板を除去した後に前記第１導電体層をパターンエッチングして、前記圧電体層上の電極と、当該電極につながり前記絶縁層上に延びる信号線とを同一の平面内で形成する第３形成ステップと、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
基板上に第１導電体層を形成し、当該第１導電体層上の所定範囲に圧電体層を形成し、前記所定範囲外に絶縁層を形成する第１形成ステップと、
前記圧電体層及び前記絶縁層の上に第２導電体層及び振動板をなす部材の層を順番に形成し、前記基板に垂直な方向から見た平面視で前記振動板上に前記所定範囲に応じた範囲を囲う側壁部を形成する第２形成ステップと、
前記基板を除去した後に前記第１導電体層をパターンエッチングして、前記圧電体層上の電極と、当該電極につながり前記絶縁層上に延びる信号線とを同一の平面内で形成する第３形成ステップと、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
本発明に従うと、インクジェットヘッドにおいてより確実に駆動信号を伝送することができるという効果がある。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態のインクジェットヘッド１００の断面構造を説明する図である。なお、ここでは、１つのノズル孔２１に対応する部分のみを示すが、インクジェットヘッド１００は、複数のノズル孔２１を有し、適宜な配置間隔及び配列パターンで並んでいる。
図１は、本実施形態のインクジェットヘッド１００の断面構造を説明する図である。なお、ここでは、１つのノズル孔２１に対応する部分のみを示すが、インクジェットヘッド１００は、複数のノズル孔２１を有し、適宜な配置間隔及び配列パターンで並んでいる。
インクジェットヘッド１００は、圧電素子１１と、絶縁層１２と、振動板１３と、隔壁部１４（側壁部）と、信号線１５と、保護膜１６と、ノズル板２０などを備える。
ノズル板２０は、インクを吐出するノズル孔２１を有する。ノズル板２０は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）であるが、これに限られない。例えば、ＳＵＳ、シリコン（Ｓｉ）基板、又はＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板などであってもよい。
振動板１３、隔壁部１４及びノズル板２０で囲まれる範囲がインクを貯留し、当該インクに圧力変動を付与する圧力室１４５（インク室）をなす。なお、図１に示した断面に垂直な方向には、図示略のインク流路があり、圧力室１４５に連通して当該圧力室１４５に供給されるインクが流れる。圧力室１４５の一面をなす振動板１３が図１の上下方向に振動することで、圧力室１４５内のインクに圧力変動が付与される。
隔壁部１４は、圧力室１４５の側面を囲う。圧力室１４５は、複数のノズル孔２１にそれぞれ応じて複数存在するので、隔壁部１４は、これら複数の圧力室１４５を分離する。隔壁部１４は、ここでは、金属層であり、例えば、Ｎｉ又はＮｉ合金の電気めっき厚膜である。合金には、例えば、コバルト（Ｃｏ）、プラチナ（Ｐｔ）、鉄（Ｆｅ）などが含まれていてもよい。圧力室１４５の形状は、特には限られないが、例えば、円柱形状であってもよい。あるいは、圧力室１４５は、２つの半円柱の間に角柱部分が組み合わされた形状などであってもよい。
振動板１３は、絶縁層１３１と、Ｎｉシード層１３２とが積層された構造を有する薄膜層である。絶縁層１３１は、例えば、Ｓｉの酸化物層や各種樹脂層などであり、圧電素子１１の下部電極層１１３と隔壁部１４とを電気的に分離する。Ｎｉシード層１３２は、隔壁部１４を形成するためのＮｉを含む薄膜層である。
振動板１３は、圧電素子１１に接し、圧電素子１１の変形に応じて変形して振動を生じる。振動板１３の振動は、剛性の大きい隔壁部１４により端部で固定され、当該端部を節としたものとなる。
絶縁層１２は、振動板１３上に配置されている下部電極層１１３上で、少なくとも圧電素子１１の周囲において圧電部材１１２が位置しない部分（所定範囲外）を埋め込むように広がっている。また、絶縁層１２は、圧電部材１１２の周縁を予め定められた幅で被覆する範囲まで広がっていてもよい。絶縁層１２は、例えば、シリコン酸化物層（ＳｉＯ２）や各種樹脂層である。絶縁層１２は、水平方向に圧電部材１１２間を分離し、上下方向に下部電極層１１３と信号線１５とを分離する。
圧電素子１１は、上部電極１１１（第１電極）と、圧電部材１１２（圧電体）と、下部電極層１１３（第２電極）とが順番に積層された構造を有する。圧電素子１１は、その変形に応じて振動板１３を振動させる。なお、振動板１３に接する下部電極層１１３も当該振動板１３とともに振動し、その振動特性に寄与する。
圧電部材１１２は、上部電極１１１及び下部電極層１１３に挟まれ、これらに印加される電圧（電位差）に応じて変形する。圧電部材１１２は、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などである。圧電部材１１２は、圧力室１４５の位置に各々対応して位置している。圧電部材１１２は、インクジェットヘッド１００の上方（図１の上側）から見た平面視で、圧力室１４５に内包される範囲内に位置していてもよい。すなわち、圧電部材１１２は、平面視で圧力室１４５よりも小さくてよい。
圧電部材１１２の上面（下部電極層１１３とは反対側の面）は、上下方向について絶縁層１２の上面（下部電極層１１３とは反対側の面）と同一の平面内にある。ここでいう同一の面内には、製造上及び構造上生じ得る微小なずれ範囲を含んでよい。例えば、絶縁層１２の通常の研磨精度や表面粗さなどに対応する１μｍ以下のずれ、特に１０ｎｍ以下のずれは、同一平面内であるとされてよい。
下部電極層１１３は、圧電部材１１２の下側の面に接する。下部電極層１１３は、導電性部材であり、例えば、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、Ｎｉ、イリジウム（Ｉｒ）、プラチナ（Ｐｔ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）などが挙げられる。下部電極層１１３は、複数の圧電部材１１２（圧電素子１１）にまたがって、すなわち、圧電部材１１２よりも広く広がる薄膜構造であり、圧電部材１１２の下側の面に共通の電位、例えば、接地電位を印加する共通電極である。
上部電極１１１は、各圧電部材１１２の上側の面にそれぞれ接する導電性部材であり、各圧電部材１１２に個別に駆動信号の電圧を印加する個別電極である。上部電極１１１は、平面視で圧電部材１１２と略同一のサイズ及び形状であってよい。上部電極１１１は、例えば、ＩｒやＰｔなどであるがこれらに限られない。圧電部材１１２及び上部電極１１１の形状は、例えば、上記圧力室１４５の形状と相似かつ中心位置が同一であってよい。
信号線１５は、上部電極１１１にそれぞれ圧電素子１１の駆動信号を伝える。信号線１５の上部電極１１１と反対側の端部は、パッド電極１５０であり、図示略の駆動基板の接続端子などが接続される。信号線１５は、絶縁層１２の上面上、すなわち、上部電極１１１と同一の面上に位置する薄膜形状の線であり、ここでは、当該上部電極１１１とひとつながり（一体）となっている。すなわち、パッド電極１５０を含む信号線１５と上部電極１１１とは、一連の回路としてまとめて形成される。したがって、信号線１５は、上部電極１１１と同一の材質及び同一の厚さであってもよい。
保護膜１６は、インクジェットヘッド１００の上面を覆い、上部電極１１１及び信号線１５を被覆する。保護膜１６には、パッド電極１５０の接続用の開口が設けられていてよい。保護膜１６は、絶縁性のものであり、例えば、各種樹脂膜であってもよい。
上記の各構成のうち、圧電素子１１、絶縁層１２、振動板１３、隔壁部１４、信号線１５及び保護膜１６が圧力室部材に含まれる。これらに対してノズル板２０、インク流路に接続される流路部材及びインク貯留室、並びにパッド電極１５０に接続される駆動基板などが接合されたものがインクジェットヘッド１００である。
次に、インクジェットヘッド１００の製造方法について説明する。
図２～図４は、インクジェットヘッド１００の製造工程の例を示した図である。これらの断面は、図１に示したインクジェットヘッド１００の断面と同一である。
図２～図４は、インクジェットヘッド１００の製造工程の例を示した図である。これらの断面は、図１に示したインクジェットヘッド１００の断面と同一である。
図２（ａ）に示すように、まず、基板５０の一平面上に導電体層５１１（第１導電体層）を形成し、次いで、導電体層５１１上の所定範囲に圧電部材１１２（圧電体層）を配置、形成する。導電体層５１１は、上部電極１１１となる部分であり、上部電極１１１の材料、例えば、Ｉｒ、Ｐｔなどである。圧電部材１１２は、例えば、所定範囲内を覆うレジストを用いたパターンエッチングにより形成されてよい。基板５０は、例えば、シリコン（Ｓｉ）などである。あるいは、基板５０は、その他平坦な導電体層５１１の薄膜を形成可能であり、かつ後で導電体層５１１から適切に除去可能なものであればよく、再利用可能なものでなくてもよい。
次に、導電体層５１１上のうち圧電部材１１２に覆われていない部分（所定範囲外）から圧電部材１１２の周縁上にかけて絶縁層１２が形成される（図２（ｂ））。圧電部材１１２及び絶縁層１２上に下部電極層１１３（第２導電体層）が形成される下部電極層１１３上には、振動板１３となる絶縁層１３１及びＮｉシード層１３２（振動板をなす部材の層）が形成される（図２（ｃ））。
Ｎｉシード層１３２上には、圧力室１４５となる領域（所定範囲に応じた範囲）を囲う隔壁部１４が形成される（図３（ａ））。隔壁部１４は、例えば、圧力室１４５の部分にレジストパターンを形成し、その周囲のＮｉシード層１３２上に電気めっきなどで形成される。その後、基板５０が除去される（図３（ｂ））。この図３（ｂ）以降では、図３（ａ）までに形成された構造を上下反転して示す。
導電体層５１１をパターンエッチングして、基板５０の一平面に沿った同一平面上に位置する上部電極１１１、及びこの上部電極１１１につながり絶縁層１２上に延びる信号線１５を形成する（図３（ｃ））。形成される信号線１５には、パッド電極１５０を含む。パターンエッチングは、例えば、フォトリソグラフィーなどにより、上部電極１１１及び信号線１５に当たる部分をマスクして行われればよい。
信号線１５のパッド電極１５０を残して上面を保護する保護膜１６を形成する（図４（ａ））。保護膜１６は、例えば、絶縁性部材を塗布した後に当該絶縁性部材を焼結することで形成される。
圧力室１４５の位置にノズル孔２１を合わせてノズル板２０を上記構造（圧力室部材）に対して接合する（図４（ｂ））。接合は、各種接着部材などで行われてよい。接着部材は、例えば、インクに対して安定な樹脂系接着剤などであってもよい。
以上のうち、図２（ａ）、（ｂ）が本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法における第１形成ステップ、図２（ｃ）、図３（ａ）が第２形成ステップ、図３（ｂ）、（ｃ）が第３形成ステップをそれぞれ構成する。
その他、圧力室部材に対するインクの流路部材、インク貯留室や駆動基板などの接合は、従来周知の技術に基づいてなされればよい。
以上のように、本実施形態のインクジェットヘッド１００は、インクを吐出するノズル孔２１を有するノズル板２０と、ノズル孔２１に連通してインクを貯留する圧力室１４５を囲う隔壁部１４と、圧力室１４５の一面をなす振動板１３と、圧電部材１１２、並びに当該圧電部材１１２を挟む上部電極１１１及び下部電極層１１３を有し、振動板１３に下部電極層１１３が接して位置する圧電素子１１と、上部電極１１１に信号を伝える信号線１５と、絶縁層１２と、を備える。下部電極層１１３は、圧電部材１１２よりも広く、絶縁層１２は、下部電極層１１３上の圧電部材１１２の範囲外に設けられ、圧電部材１１２及び絶縁層１２のそれぞれ下部電極層１１３とは反対側の面は、同一の平面内に位置し、信号線１５は、この平面上に設けられている。
このように、信号線１５が上部電極１１１から絶縁層１２にかけて平坦に配置されるので、圧力や熱などによりインクジェットヘッド１００に反りなどの圧力がかかっても信号線１５の特定部分に応力がかかりにくく、信号線１５が破損したり、破損しやすく劣化したりするのを抑制することができる。したがって、インクジェットヘッド１００では、より安定して駆動信号を上部電極１１１に伝えることができる。
このように、信号線１５が上部電極１１１から絶縁層１２にかけて平坦に配置されるので、圧力や熱などによりインクジェットヘッド１００に反りなどの圧力がかかっても信号線１５の特定部分に応力がかかりにくく、信号線１５が破損したり、破損しやすく劣化したりするのを抑制することができる。したがって、インクジェットヘッド１００では、より安定して駆動信号を上部電極１１１に伝えることができる。
また、上部電極１１１と信号線１５とは一体の薄膜形状を有する。すなわち、上部電極１１１と信号線１５が一括して形成されるので、両者の接合不良などが生じにくく、安定して駆動信号の伝送を行うことができる。
また、圧電部材１１２は、ノズル板２０に垂直な方向から見た平面視で圧力室１４５に内包される位置にある。すなわち、圧電部材１１２は、振動板１３を振動させる必要のある部分でのみ変形するので、不必要な変形によりインクジェットヘッド１００において周囲に不要な応力を生じさせず、信号線１５の断線を含むインクジェットヘッド１００の破損や劣化などを抑制することができる。
また、隔壁部１４は金属である。剛性の大きい金属により圧力室１４５の隔壁を形成することで、絶縁層１２や信号線１５などを安定して保持することができるので、信号線１５の断線などに係る劣化を抑制することができる。
また、隔壁部１４は、電気めっき厚膜である。振動板１３上に隔壁部１４を電気めっきで固定的に形成することで、絶縁層１２や信号線１５の下方の振動板１３及び隔壁部１４が安定し、その変形などによる信号線１５への不必要な応力の発生を抑制して当該信号線１５の断線などの劣化を低減することができる。
また、ノズル板２０は、ノズル孔２１を複数有し、隔壁部１４は、複数のノズル孔２１に各々対応する複数の圧力室１４５を分離し、下部電極層１１３は、複数の圧力室１４５にわたって広がり、当該複数の圧力室１４５の各々に対応する圧電素子１１の共通電極である。
このように、隔壁部１４は、下部電極層１１３についても確実に固定して不要な部分での振動が生じないように拘束することができる。よって、下部電極層１１３の劣化も防ぐことができる。また、下部電極層１１３は膜状の共通電極であるので、断線などが生じにくい。
このように、隔壁部１４は、下部電極層１１３についても確実に固定して不要な部分での振動が生じないように拘束することができる。よって、下部電極層１１３の劣化も防ぐことができる。また、下部電極層１１３は膜状の共通電極であるので、断線などが生じにくい。
また、本実施形態のインクジェットヘッド１００の製造方法は、基板５０上に導電体層５１１を形成し、当該導電体層５１１上の圧力室１４５に対応する所定範囲に圧電部材１１２を形成し、所定範囲外に絶縁層１２を形成する第１形成ステップと、圧電部材１１２及び絶縁層１２の上に下部電極層１１３及び振動板１３をなす部材の絶縁層１３１及びＮｉシード層１３２を順番に形成し、基板５０に垂直な方向から見た平面視で振動板１３上に所定範囲に応じた範囲を囲う隔壁部１４を形成する第２形成ステップと、基板５０を除去した後に導電体層５１１をパターンエッチングして、圧電部材１１２上の上部電極１１１と、この上部電極１１１につながり絶縁層１２上に延びる信号線１５とを同一の平面内で形成する第３形成ステップと、を含む。
このようなインクジェットヘッド１００の製造方法により、インクジェットヘッド１００の製造中やその後の使用中に信号線１５にかかる不要な応力を低減させて信号線１５の破断などの劣化を低減させ、より安定して駆動信号を伝送させることのできるインクジェットヘッド１００を得ることができる。
このようなインクジェットヘッド１００の製造方法により、インクジェットヘッド１００の製造中やその後の使用中に信号線１５にかかる不要な応力を低減させて信号線１５の破断などの劣化を低減させ、より安定して駆動信号を伝送させることのできるインクジェットヘッド１００を得ることができる。
なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
例えば、上記実施の形態では、上部電極１１１と信号線１５が一体の薄膜形状であるものとして説明したが、これに限られるものではない。信号線１５に電気めっきを行うなどにより膜厚を厚くしてもよい。また、信号線１５が上部電極１１１と別個に形成されてもよく、この場合、信号線１５と上部電極１１１とが導電性接合材やめっきなどで電気的に接続されてもよい。
例えば、上記実施の形態では、上部電極１１１と信号線１５が一体の薄膜形状であるものとして説明したが、これに限られるものではない。信号線１５に電気めっきを行うなどにより膜厚を厚くしてもよい。また、信号線１５が上部電極１１１と別個に形成されてもよく、この場合、信号線１５と上部電極１１１とが導電性接合材やめっきなどで電気的に接続されてもよい。
また、上記実施の形態では、Ｎｉの隔壁部１４を電気めっきによって形成する場合を例に挙げて説明したが、これに限られない。例えば、内部に圧力室が設けられたシリコンガラス材などの圧力室基板が接着部材などで振動板１３に接着された構成であってもよい。
また、上記実施の形態では、圧電体が平面視でインク室に内包される位置及びサイズとして説明したが、これに限られなくてもよい。
また、共通電極となる下部電極層１１３は、全ての圧電素子１１を含む範囲を連続的に覆う薄膜状でなくてもよい。適宜隙間などが含まれていてもよい。
また、圧力室１４５に対するノズル孔２１の位置関係などは、適宜定められてよい。
その他、上記実施の形態で示した具体的な構成、処理動作の内容及び手順などは、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。本発明の範囲は、特許請求の範囲に記載した発明の範囲とその均等の範囲を含む。
その他、上記実施の形態で示した具体的な構成、処理動作の内容及び手順などは、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。本発明の範囲は、特許請求の範囲に記載した発明の範囲とその均等の範囲を含む。
１１ 圧電素子
１１１ 上部電極
１１２ 圧電部材
１１３ 下部電極層
１２ 絶縁層
１３ 振動板
１４ 隔壁部
１４５ 圧力室
１３１ 絶縁層
１３２ Ｎｉシード層
１５ 信号線
１５０ パッド電極
１６ 保護膜
２０ ノズル板
２１ ノズル孔
５０ 基板
１００ インクジェットヘッド
５１１ 導電体層
１１１ 上部電極
１１２ 圧電部材
１１３ 下部電極層
１２ 絶縁層
１３ 振動板
１４ 隔壁部
１４５ 圧力室
１３１ 絶縁層
１３２ Ｎｉシード層
１５ 信号線
１５０ パッド電極
１６ 保護膜
２０ ノズル板
２１ ノズル孔
５０ 基板
１００ インクジェットヘッド
５１１ 導電体層
Claims (5)
- インクを吐出するノズル孔を有するノズル板と、
前記ノズル孔に連通してインクを貯留するインク室を囲う側壁部と、
前記インク室の一面をなす振動板と、
圧電体、並びに当該圧電体を挟む第１電極及び第２電極を有し、前記振動板に前記第２電極が接して位置する圧電素子と、
前記第１電極に信号を伝える信号線と、
絶縁層と、
を備え、
前記第２電極は、前記圧電体よりも広く、
前記絶縁層は、前記第２電極上の前記圧電体の範囲外に設けられ、
前記圧電体及び前記絶縁層のそれぞれ前記第２電極とは反対側の面は、同一の平面内に位置し、
前記信号線は、前記平面上に設けられており、
前記側壁部は、金属部材であって電気めっき厚膜である
ことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記第１電極と前記信号線とは一体の薄膜形状を有することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
- 前記圧電体は、前記ノズル板に垂直な方向から見た平面視で前記インク室に内包される位置にあることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
- 前記ノズル板は、前記ノズル孔を複数有し、
前記側壁部は、前記複数のノズル孔に各々対応する複数の前記インク室を分離し、
前記第２電極は、前記複数のインク室にわたって広がり、当該複数のインク室の各々に対応する前記圧電素子の共通電極である
ことを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。 - 基板上に第１導電体層を形成し、当該第１導電体層上の所定範囲に圧電体層を形成し、前記所定範囲外に絶縁層を形成する第１形成ステップと、
前記圧電体層及び前記絶縁層の上に第２導電体層及び振動板をなす部材の層を順番に形成し、前記基板に垂直な方向から見た平面視で前記振動板上に前記所定範囲に応じた範囲を囲う側壁部を形成する第２形成ステップと、
前記基板を除去した後に前記第１導電体層をパターンエッチングして、前記圧電体層上の電極と、当該電極につながり前記絶縁層上に延びる信号線とを同一の平面内で形成する第３形成ステップと、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020035423A JP7439568B2 (ja) | 2020-03-03 | 2020-03-03 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021137986A JP2021137986A (ja) | 2021-09-16 |
| JP7439568B2 true JP7439568B2 (ja) | 2024-02-28 |
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ID=77667830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2020035423A Active JP7439568B2 (ja) | 2020-03-03 | 2020-03-03 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
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| JP (1) | JP7439568B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001042017A1 (fr) | 1999-12-10 | 2001-06-14 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre et imprimante |
| JP2011082681A (ja) | 2009-10-05 | 2011-04-21 | Fujifilm Corp | 圧電デバイス |
| JP2012240366A (ja) | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 |
-
2020
- 2020-03-03 JP JP2020035423A patent/JP7439568B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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| WO2001042017A1 (fr) | 1999-12-10 | 2001-06-14 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre et imprimante |
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| Publication number | Publication date |
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