JP4678503B2 - インクジェットヘッド及びその検査方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4678503B2 JP4678503B2 JP2005205967A JP2005205967A JP4678503B2 JP 4678503 B2 JP4678503 B2 JP 4678503B2 JP 2005205967 A JP2005205967 A JP 2005205967A JP 2005205967 A JP2005205967 A JP 2005205967A JP 4678503 B2 JP4678503 B2 JP 4678503B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic layer
- electrode
- layer
- pressure chamber
- piezoelectric actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
20 キャビティユニット
21 圧電アクチュエータ
22 フレキシブルフラットケーブル
23 ノズル
24 圧力室
36 キャビティプレート
41 第1のセラミックス層
42 第2のセラミックス層
43 第3のセラミックス層
44 第4のセラミックス層
46 表面電極
51 クラック検査用電極
52 個別電極
53 コモン電極
56 検査用端子
Claims (6)
- インクを吐出する複数のノズルが配置され、前記各ノズル毎に対応する複数の圧力室が平面上に開口形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットの前記圧力室が開口した面に積層され、インクが充填された前記圧力室に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、を備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記キャビティユニットにおける前記圧電アクチュエータが積層される面は、導電性を有し、
前記圧電アクチュエータには、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層と、このセラミックス層の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられ、
前記セラミックス層には、前記圧力室の開口を直接覆う第1のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面とは反対の面側に配置される1層または複数層の第2のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層と前記第2のセラミックス層との間に介在する第3のセラミックス層とが含まれ、
前記電極層には、前記第1のセラミックス層と第3のセラミックス層との間に配置され且つ前記複数の圧力室にわたって面状に形成されたクラック検査用電極の層と、前記第2のセラミックス層を挟んで対をなす駆動用電極の層とが含まれていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記駆動用電極は、キャビティユニットの複数の圧力室に対応して共通に配置されたコモン電極と各圧力室毎に対応する個別電極とが前記第2のセラミックス層を挟んで構成され、
前記コモン電極の層が、前記第3のセラミックス層を挟んで前記クラック検査用電極の層と対向していることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記クラック検査用電極は、前記コモン電極と電気的に独立して設けられ、前記圧電アクチュエータが駆動されるときに、前記クラック検査用電極は、前記コモン電極とともに接地されることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記第1のセラミックス層は、前記第2のセラミックス層よりも、厚みが薄く設定されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記キャビティユニットは前記コモン電極と電気的に接続され、前記圧電アクチュエータが駆動されるときには、前記キャビティユニットは、前記コモン電極とともに接地されることを特徴とする請求項2から4のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- インクを吐出する複数のノズルが配置され、前記各ノズル毎に対応する複数の圧力室が平面上に開口形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットの前記圧力室が開口した面に積層され、インクが充填された前記圧力室に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、を備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記キャビティユニットにおける前記圧電アクチュエータが積層される面は、導電性を有し、
前記圧電アクチュエータには、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層と、このセラミックス層の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられ、
前記セラミックス層には、前記圧力室の開口を直接覆う第1のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面とは反対の面側に配置される1層または複数層の第2のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層と前記第2のセラミックス層との間に介在する第3のセラミックス層とが含まれ、
前記電極層には、前記第1のセラミックス層と第3のセラミックス層との間に配置され且つ前記複数の圧力室にわたって面状に形成されたクラック検査用電極の層と、前記第2のセラミックス層を挟んで対をなす駆動用電極の層とが含まれ、
前記圧力室にインクが充填された状態で、前記クラック検査用電極と前記キャビティユニットにおける圧電アクチュエータが積層される面との間の電気的特性を測定し、前記第1のセラミックス層にクラックがあるか否かを検査するインクジェットヘッドの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005205967A JP4678503B2 (ja) | 2005-07-14 | 2005-07-14 | インクジェットヘッド及びその検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005205967A JP4678503B2 (ja) | 2005-07-14 | 2005-07-14 | インクジェットヘッド及びその検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007021855A JP2007021855A (ja) | 2007-02-01 |
JP4678503B2 true JP4678503B2 (ja) | 2011-04-27 |
Family
ID=37783246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005205967A Expired - Fee Related JP4678503B2 (ja) | 2005-07-14 | 2005-07-14 | インクジェットヘッド及びその検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4678503B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8113635B2 (en) | 2007-01-16 | 2012-02-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid discharge apparatus and check method of the same |
JP4582104B2 (ja) * | 2007-03-14 | 2010-11-17 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッドの検査方法及び製造方法 |
JP4924220B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2012-04-25 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
JP2010069618A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Brother Ind Ltd | 液体吐出ヘッド及び圧電アクチュエータ |
JP4935842B2 (ja) * | 2009-03-24 | 2012-05-23 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
JP5012843B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2012-08-29 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP5953760B2 (ja) * | 2012-01-18 | 2016-07-20 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002079672A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-19 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド |
JP2002225285A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アクチュエータの検査方法、インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェット式記録装置 |
JP2003080709A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-03-19 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッド |
JP2004058633A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録装置及びそのインク漏れ検出方法 |
-
2005
- 2005-07-14 JP JP2005205967A patent/JP4678503B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002079672A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-19 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド |
JP2002225285A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アクチュエータの検査方法、インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェット式記録装置 |
JP2003080709A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-03-19 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッド |
JP2004058633A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録装置及びそのインク漏れ検出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007021855A (ja) | 2007-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3693115B2 (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びにそれらの検査方法 | |
JP4678503B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその検査方法 | |
JP4678502B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその検査方法 | |
JP5589811B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2002059547A (ja) | 圧電式インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
JP2010069618A (ja) | 液体吐出ヘッド及び圧電アクチュエータ | |
JP2002019102A (ja) | 圧電式インクジェットプリンタヘッド | |
US8113635B2 (en) | Liquid discharge apparatus and check method of the same | |
JP2013188931A (ja) | 液体吐出装置 | |
JP3925650B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
JP4362688B2 (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP2002127420A (ja) | 圧電式インクジェットプリンタヘッド及び圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
JP5070886B2 (ja) | 液体吐出装置およびその検査方法 | |
JP4582104B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの検査方法及び製造方法 | |
JP6217448B2 (ja) | 液体吐出装置及び圧電アクチュエータ | |
JP4161203B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
JP4035722B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
US10328696B2 (en) | Liquid ejection head | |
JP4924220B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2005059551A5 (ja) | ||
JP2006341509A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2004114558A (ja) | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
JP4692662B2 (ja) | 液体吐出装置の製造方法 | |
JP4221615B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッドおよび圧電アクチュエータ | |
JP2006341508A (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080711 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110106 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4678503 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |