JP5321831B2 - 液体噴射ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッド及びその製造方法に関し、特に、
インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法に関する。
インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法に関する。
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インク滴を噴射するノズルと連通する複数の圧力発生室と、これら複数の圧力発生室に連通するリザーバーとを有し、リザーバーから圧力発生室に供給されたインクを圧電素子等の圧力発生手段によって加圧して、ノズルからインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。具体的には、例えば、複数の圧力発生室と、これら複数の圧力発生室にそれぞれ連通するインク供給路と、インク供給路を介して各圧力発生室に連通する連通部とが形成された流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に振動板を介して形成される圧電素子と、流路形成基板に接合され圧電素子を保護するための圧電素子保持部を有する保護基板とを具備し、連通部と共にリザーバーを構成するリザーバー部が保護基板を貫通して設けられたものがある。
このような構造のインクジェット式記録ヘッドにおいては、製造過程で振動板に割れが生じてしまうことがある。例えば、流路形成基板と、ノズルが穿設されたノズルプレートとの線膨張係数の違いによって流路形成基板に反りが生じ、この反りに起因して振動板に割れが生じてしまう虞がある。
このため、製品完成時等に振動板の割れの有無を検査する検査工程が行われている。ノズルプレートが導電材料で形成されている場合には、検査工程において、例えば、リザーバーから圧力発生室に至るまでインク等の液体を充填した状態で、ノズルプレートと、下電極膜、第１の独立電極層及び第２の独立電極層との間の導通状態を検出することで、振動板の割れの有無を比較的簡単に検査できる（例えば、特許文献１参照）。
ノズルプレートが導電材料で形成されている場合には、上述のようにノズルプレートと下電極膜等との間の導通状態を検出することで、振動板の割れを検出することができる。しかしながら、ノズルプレートが絶縁材料で形成されていると、上記のような検査方法を採用することができず、振動板の割れを容易には検出することができないという問題がある。
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、振動板の割れの発生を比較的容易に検出することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明は、圧力発生手段により圧力発生室に圧力変動を生じさせて当該圧力発生室内に充填された液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドであって、前記圧力発生室を含む液体流路が形成された第１の流路形成基板と、該第１の流路形成基板上に設けられて前記液体流路の一方の面を構成する振動板と、前記第１の流路形成基板の前記振動板側の面に接合される第２の流路形成基板と、を具備し、前記振動板上には、前記液体流路内に充填されている液体と電気的に接続される第１の電極層と、該第１の電極層及び前記液体とは電気的に独立する第２の電極層と、が設けられ、且つこれら第１及び第２の電極層が、前記第１の流路形成基板と前記第２の流路形成基板とが接合されている接合部の外側まで引き出された端子部を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
さらに本発明は、このような構成の液体噴射ヘッドの前記第１の液体流路内に液体を充填した状態で、前記第１の電極層の端子部と前記第２の電極層の端子部との間で導通状態を検出する検査工程を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる本発明では、第１の液体流路内に導電性を有する液体を充填した状態で、第１の電極の端子部と第２の電極の端子部との間で導通状態を検出することで、振動板の有無を比較的容易且つ正確に判定することができる。特に、第１及び第２の電極層の端子部が、第１及び第２の流路形成基板の接合部の外側に設けられていることで、検査工程において第１及び第２の電極層間の導通状態を容易に検出することができる。これにより振動板の割れの無い良品のみが出荷されるため、初期不良の発生が大幅に抑制される。
さらに本発明は、このような構成の液体噴射ヘッドの前記第１の液体流路内に液体を充填した状態で、前記第１の電極層の端子部と前記第２の電極層の端子部との間で導通状態を検出する検査工程を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる本発明では、第１の液体流路内に導電性を有する液体を充填した状態で、第１の電極の端子部と第２の電極の端子部との間で導通状態を検出することで、振動板の有無を比較的容易且つ正確に判定することができる。特に、第１及び第２の電極層の端子部が、第１及び第２の流路形成基板の接合部の外側に設けられていることで、検査工程において第１及び第２の電極層間の導通状態を容易に検出することができる。これにより振動板の割れの無い良品のみが出荷されるため、初期不良の発生が大幅に抑制される。
ここで、前記第１の電極層は、例えば、前記液体流路内に露出する露出部を有し該露出部によって前記液体流路内に充填されている液体と電気的に接続されている。前記露出部は、例えば、前記第２の流路形成基板を前記第１の流路形成基板側に接合する接着剤層に前記第１の電極層が埋もれた部分である。これにより、第１の電極層と液体とが確実に電気的に接続される。
また前記第２の流路形成基板と前記振動板との間には、前記圧力発生手段が収容される密封空間である保持部が設けられており、前記第２の電極層が、前記振動板上の前記保持部に対応する部分に設けられていることが好ましい。これにより、振動板の主要部における割れの有無をより確実に検出することができる。
また特に、前記第２の電極層が、前記保持部の周縁部に対向する部分に設けられていることが好ましい。この部分には振動板の割れが比較的生じ易いため、第２の電極層を設けておくことで、振動板の割れをより確実に検出することができる。
以下に本発明を一実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略を示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及びＡ−Ａ′断面図であり、図３は、振動板上に形成されている電極構造を示す平面図である。
図１は、本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略を示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及びＡ−Ａ′断面図であり、図３は、振動板上に形成されている電極構造を示す平面図である。
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを構成する第１の流路形成基板１０には、図１及び図２に示すように、隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２が設けられている。これら複数の圧力発生室１２は、本実施形態では、その幅方向（短手方向）に沿って並設されている。各圧力発生室１２には、後述するノズルプレート２０に穿設されたノズル２１がそれぞれ連通されている。
また第１の流路形成基板１０には、各圧力発生室１２に連通するインク供給路１３、連通路１４及び連通部１５が形成されている。すなわち第１の流路形成基板１０は、圧力発生室１２、インク供給路１３、連通路１４及び連通部１５で構成されるインク流路（第１の液体流路）１６が形成されている。
連通部１５は、後述する第２の流路形成基板３０に形成されるリザーバー部（第２の液体流路）３１と連通して、各圧力発生室１２に共通するリザーバー１００の一部を構成する。インク供給路１３は、圧力発生室１２よりも狭い断面積となるように形成されており、連通部１５から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。本実施形態では、インク供給路１３は、流路の幅を片側から絞ることで、圧力発生室１２の幅より小さい幅で形成されている。連通路１４は、圧力発生室１２と同様に隔壁１１によって区画されており、本実施形態では圧力発生室１２と略同一幅で形成されている。
なお、このような第１の流路形成基板１０は、例えば、面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方面側には、熱酸化等によって形成された酸化膜からなる弾性膜５１を含む振動板５０が形成されている。そして、圧力発生室１２等のインク流路１６は、第１の流路形成基板１０をその他方面側からエッチングすることによって形成されており、圧力発生室１２、インク供給路１３及び連通路１４の一方の面は、この振動板５０（弾性膜５１）によって構成されている。
第１の流路形成基板１０の開口面側には、絶縁材料で構成されるノズルプレート２０が接着剤等によって接合されている。このノズルプレート２０には、上述のように各圧力発生室１２に連通する複数のノズル２１が穿設されている。各ノズル２１は、具体的には、各圧力発生室１２のインク供給路１３とは反対側の端部近傍に連通している。ここで、絶縁材料で構成されるノズルプレート２０とは、全体が絶縁材料で形成されたものだけでなく、例えば、表面が絶縁材料で覆われたもの等も含まれる。例えば、本実施形態では、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板の表面に自然酸化膜が形成されたものが用いられている。ちなみに、ノズルプレート２０の表面の酸化膜は、勿論、自然酸化膜に限られず、熱酸化等によって形成されたものであってもよい。
一方、第１の流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側の面には、上述したように弾性膜５１が形成されている。そして、この弾性膜５１上には弾性膜５１とは異なる材料の酸化膜からなる絶縁体膜５２が形成され、これら弾性膜５１及び絶縁体膜５２によって振動板５０が構成されている。振動板５０上には、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０とからなる圧力発生手段としての圧電素子３００が形成されている。本実施形態では、下電極膜６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としている。勿論、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なおこのような圧電素子３００と圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板５０とを合わせてアクチュエーターと称する。
第１の流路形成基板１０上には、第２の液体流路であるリザーバー部３１が形成された第２の流路形成基板３０が接合されている。リザーバー部３１は、振動板５０を貫通して設けられる開口部５５を介して第１の流路形成基板１０の連通部１５と連通されて、複数の圧力発生室１２に共通するリザーバー１００を構成している。また、第２の流路形成基板３０には、圧電素子３００が収容される空間である圧電素子保持部３２が設けられている。なお圧電素子保持部３２は密封されていてもよいが、密封されていなくてもよい。
第２の流路形成基板３０上には、剛性が低く可撓性を有する材料で形成される封止膜４１と金属等の硬質の材料で形成される固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。なお、固定板４２のリザーバー１００に対向する部分には開口４３が形成されており、リザーバー１００の一方面は封止膜４１のみで封止されている。
ここで、各圧電素子３００の個別電極である上電極膜８０には、例えば、金（Ａｕ）等からなる第１のリード電極９０がそれぞれ接続されている。この第１のリード電極９０は、第１の流路形成基板１０と第２の流路形成基板３０とが接合されている接合部の外側まで延設されている。圧電素子３００の共通電極である下電極膜６０は、各圧力発生室１２に対向する部分に、圧力発生室１２の並設方向に亘って連続的に延設されている。そして、下電極膜６０には、圧力発生室１２の列の外側の部分に第２のリード電極９１が接続されている。この第２のリード電極９１も、第１のリード電極９０と同様に、第１の流路形成基板１０と第２の流路形成基板３０との接合部の外側まで延設されている。すなわち、第１及び第２のリード電極９０，９１は、圧電素子保持部３２の外側まで延設されて外部に露出され、その先端部にＦＰＣ等からなる外部配線（図示なし）が接続されるようになっている。
さらに振動板５０上には、インク流路１６内に充填されている液体と電気的に接続される第１の電極層と、この第１の電極層とは独立する第２の電極層とが設けられている。本実施形態では、第１の電極層としての第１の独立電極層１１０及び独立配線層９５と、第２の電極層としての第２の独立電極層１２０とが設けられている。
第１の独立電極層１１０は、振動板５０の開口部５５に近接して連通路１４に対向する部分に圧力発生室１２の並設方向に沿って連続的に設けられている。なお第１の独立電極層１１０は、下電極膜６０とは独立して設けられているが、下電極膜６０と同一層で構成されている。独立配線層９５は、開口部５５の周縁部に連続して設けられ第１の独立電極層１１０に接続されている。なお独立配線層９５は、上述した第１及び第２のリード電極９０，９１と同一層で構成されている。
ところでこの独立配線層９５は、後述するように第１の流路形成基板１０にインク流路１６を形成する際に、振動板５０の開口部５５を塞いでおくために設けられており、第１の流路形成基板１０にインク流路１６を形成した後に除去される。その結果、独立配線層９５は、インク流路１６内に露出される露出部９５ａを有する。したがって、インク流路１６内にインク等の導電性の液体が充填されると、独立配線層９５は、露出部９５ａでインク流路１６内の液体と電気的に接続される。また第１の独立電極層１１０もこの独立配線層９５を介してインク流路１６内の液体と電気的に接続されることになる。
第２の独立電極層１２０は、本実施形態では、振動板５０のインク供給路１３及び連通路１４に対向する部分、すなわち、第１の独立電極層１１０と下電極膜６０との間の部分に設けられている。この第２の独立電極層１２０は、本実施形態では下電極膜６０と同一層で構成されているが、下電極膜６０及び第１の独立電極層１１０とは独立して設けられている。
また、第１の独立電極層１１０には第１のケーブル層１３０の一端が接続されており、その他端は、第１の流路形成基板１０と第２の流路形成基板３０との接合部の外側まで延設されている。同様に、第２の独立電極層１２０には第２のケーブル層１３１の一端が接続されており、その他端は、第１の流路形成基板１０と第２の流路形成基板３０との接合部の外側まで延設されている。すなわち、第１及び第２のケーブル層１３０，１３１は、圧電素子保持部３２の外側まで延設されて外部に露出されており、その先端部は、後述する検査用プローブが接続される端子部１３２となっている。
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバー１００からノズル２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、外部配線を介して圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加して圧電素子３００を駆動する。これにより、振動板５０がたわみ変形して、各圧力発生室１２内の圧力が高まり各ノズル２１からインク滴が噴射される。
以上説明した本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドでは、製造過程において振動板５０の割れの有無を比較的容易且つ正確に検出することができる。これにより、良品のみを製品としてユーザーに出荷することができ、初期不良などの故障の発生が大幅に減少する。したがって、ユーザーの信頼性を向上することができる。
以下、このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法及び検査方法の一例について、図４〜図６を参照して説明する。なお、図４及び図５は、記録ヘッドの製造工程を示す断面図であり、図６は、記録ヘッドの検査工程を示す概略図である。
まず、図４（ａ）に示すように、第１の流路形成基板１０の一方面側の表面に振動板５０を形成する。すなわち、第１の流路形成基板１０の表面に熱酸化等により酸化膜からなる弾性膜５１を形成し、次いで弾性膜５１上に、弾性膜５１とは異なる材料の酸化膜からなる絶縁体膜５２を形成する。
次に、図４（ｂ）に示すように、絶縁体膜５２上の全面に第１の金属膜１６０を形成し、この第１の金属膜１６０をパターニングすることによって、下電極膜６０、第１及び第２の独立電極層１１０，１２０を形成する（図３参照）。
次に、図４（ｃ）に示すように、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電材料層１７０と、第２の金属膜１８０とを第１の流路形成基板１０の全面に形成し、これら圧電材料層１７０及び第２の金属膜１８０とを、各圧力発生室１２に対向する領域にパターニングして下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０で構成される圧電素子３００を形成する。またこのとき、連通部１５に対向する部分の振動板５０に開口部５５を形成する。すなわち、絶縁体膜５２及び弾性膜５１を順次エッチングすることによって開口部５５を形成する。
次に、図４（ｄ）に示すように、第１の流路形成基板１０の一方面側の表面に、全面に亘って第３の金属膜１９０を形成し、この金属膜１９０を圧電素子３００毎にパターニングすることによって第１及び第２のリード電極９０，９１並びに第１及び第２のケーブル層１３０，１３１を形成する（図３参照）。また振動板５０の開口部５５に対向する部分に第１及び第２のリード電極９０，９１とは独立する独立配線層９５を形成する。すなわち、開口部５５をこの独立配線層９５によって封止する。
次に、図５（ａ）に示すように、リザーバー部３１及び圧電素子保持部３２が形成された第２の流路形成基板３０を、第１の流路形成基板１０の一方面側に接合する。次いで、図５（ｂ）に示すように、第１の流路形成基板１０の他方面側の表面に保護膜５７を新たに形成し、所定形状にパターニングする。そして、図５（ｃ）に示すように、この保護膜５７をマスクとして第１の流路形成基板１０を異方性エッチング（ウェットエッチング）して、第１の流路形成基板１０に圧力発生室１２等のインク流路１６を形成する。具体的には、第１の流路形成基板１０を、例えば、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液等のエッチング液によって弾性膜５１及び独立配線層９５が露出するまでエッチングすることより、圧力発生室１２、インク供給路１３、連通路１４及び連通部１５を同時に形成する。
このように圧力発生室１２等を形成する際に、開口部５５が独立配線層９５によって封止されているため、開口部５５を介して第２の流路形成基板３０側にエッチング液が流れ込むことがない。これにより、第２の流路形成基板３０の表面に設けられる接続配線（図示なし）にエッチング液が付着して断線等の不良が発生するのを防止することができる。また、リザーバー部３１内にエッチング液が浸入して第２の流路形成基板３０がエッチングされる虞もない。
次に、図５（ｄ）に示すように、開口部５５内の独立配線層９５を連通部１５側からウェットエッチングすることにより除去する。これにより、開口部５５を介して連通部１５とリザーバー部３１とが連通してリザーバー１００が形成される。また、このような工程で独立配線層９５を除去することで、独立配線層９５の端面はインク流路１６内に露出された状態となる。すなわち独立配線層９５のインク流路１６内に露出された端面が露出部９５ａとなる。
その後、第２の流路形成基板３０上にコンプライアンス基板４０を接合し、第１の流路形成基板１０の第２の流路形成基板３０とは反対側の面にノズル２１が穿設されたノズルプレート２０を接合することにより、インクジェット式記録ヘッドが製造される。なお、上述の説明ではチップサイズの第１及び第２の流路形成基板１０，３０を例示して製造方法を説明したが、実際には第１及び第２の流路形成基板１０，３０はシリコンウエハーに複数一体的に形成され、最終的に一つのチップサイズに分割される。
そして、このようにインクジェット式記録ヘッドが製造されると、次に検査工程を実施する。具体的には、リザーバー１００から圧力発生室１２まで、例えば、インク等の液体を充填した状態で、第１の電極層（第１の独立電極層１１０及び独立配線層９５）と第２の電極層（第２の独立電極層１２０）との間の導通状態を検出する。導通状態の検出方法自体は、特に限定されないが、例えば、図６に示すように、第１の独立電極層１１０に接続された第１のケーブル層１３０の端子部１３２Ａと第２の独立電極層１２０に接続された第２のケーブル層１３１の端子部１３２Ｂとのそれぞれに、所定のプローブピン２００を接触させて両プローブピン２００間の抵抗値等を測定する。
この測定結果から両電極層間が導通状態であるか絶縁状態であるかを判定する。つまり、第２の独立電極層１２０に対応する振動板５０に割れが生じているか否かを判定する。第２の独立電極層１２０が形成されている対応する振動板５０に割れが生じていると、この割れにインク流路１６内の液体が流れ込み第２の独立電極層１２０と液体とが導通状態となり、結果として第１の独立電極層１１０と第２の独立電極層１２０とが導通状態となる。一方、振動板に割れが生じていなければ、第１の独立電極層１１０と第２の独立電極層１２０との間は絶縁状態が維持されたままとなる。
したがって、第１の独立電極層１１０と第２の独立電極層１２０との間が導通状態であるか絶縁状態であるかを判定することで、第２の独立電極層１２０に対応する振動板５０に割れが生じているか否かを比較的容易且つ正確に判定することができる。よってこのような検査工程を実施することで、ユーザー使用時の初期不良等の発生を大幅に減少させることができる。
また本実施形態では、第１及び第２の独立電極層１１０，１２０に接続された第１及び第２のケーブル層１３０，１３１の端子部１３２が、第１及び第２の流路形成基板１０，３０の接合部の外側に設けられているため、製品完成後であっても第１及び第２の独立電極層１１０，１２０間の導通状態をより容易に検出することができる。
なお本実施形態では、検査工程で、第１の独立電極層１１０と第２の独立電極層１２０との間の導通状態を判定するようにしたが、さらに第１の独立電極層１１０と下電極膜６０との間の導通状態も検出するようにしてもよい。これにより、振動板５０の下電極膜６０に対向する部分に割れが生じているか否かを判定することができる。つまり、第２の独立電極層１２０と共に下電極膜６０が第１の電極層（第１の独立電極層１１０及び独立配線層９５）とは独立する第２の電極層として機能するようにしてもよい。
また、本実施形態では、振動板５０に割れが生じやすい圧電素子保持部３２の周縁部、すなわちインク供給路１３及び連通路１４に対向する部分に、第２の電極層としての第２の独立電極層１２０を設けるようにしたが、第２の独立電極層１２０を形成する領域は、特に限定されず必要に応じて適宜決定されればよい。すなわち、第２の独立電極層１２０は、振動板５０の割れの有無を検出したい部分に形成されていればよい。
また本実施形態では、第１の電極層として第１の独立電極層１１０及び独立配線層９５を設けるようにしたが、第１の電極層の構造は特に限定されず、勿論、第１の電極層が第１の独立電極層１１０と独立配線層９５とで構成されている必要はない。第１の電極層は、インク流路１６内の液体と電気的に接続される構造を有していればよく、例えば、独立配線層９５のみで構成されていてもよい。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、勿論、本発明は、このような実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、第１及び第２の独立電極層１１０，１２０から第１及び第２のケーブル層１３０，１３１を圧電素子保持部３２の外側まで引き出すようにしたが、例えば、第１及び第２の独立電極層１１０，１２０を圧電素子保持部３２の外側まで延設するようにしてもよい。
また上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液滴を噴射する液体噴射ヘッド及びその検査方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
１０ 第１の流路形成基板、 １２ 圧力発生室、 １３ インク供給路、 １４ 連通路、 １５ 連通部、 １６ インク流路、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル、 ３０ 第２の流路形成基板、 ３１ リザーバー部、 ３２ 圧電素子保持部、 ４０ コンプライアンス基板、 ５１ 弾性膜、 ５２ 絶縁体膜、 ５５ 開口部、 ６０ 下電極膜、 ７０ 圧電体層、 ８０ 上電極膜、 ９０ 第１のリード電極、 ９１ 第２のリード電極、 １００ リザーバー、 １１０ 第１の独立電極層、 １２０ 第２の独立電極層、 １３０ 第１のケーブル層、 １３１ 第２のケーブル層、 １３２ 端子部、 ３００ 圧電素子
Claims (6)
- 圧力発生手段により圧力発生室に圧力変動を生じさせて当該圧力発生室内に充填された液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記圧力発生室を含む液体流路が形成された第１の流路形成基板と、
該第１の流路形成基板上に設けられて前記液体流路の一方の面を構成する振動板と、
前記第１の流路形成基板の前記振動板側の面に接合される第２の流路形成基板と、
を具備し、
前記振動板上には、
前記液体流路内に充填されている液体と電気的に接続される第１の電極層と、
該第１の電極層及び前記液体とは電気的に独立する第２の電極層と、
が設けられ、
且つこれら第１及び第２の電極層が、前記第１の流路形成基板と前記第２の流路形成基板とが接合されている接合部の外側まで引き出された端子部を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記第１の電極層は、前記液体流路内に露出する露出部を有し該露出部によって前記液体流路内に充填されている液体と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記露出部が、前記第２の流路形成基板を前記第１の流路形成基板側に接合する接着剤層に前記第１の電極層が埋もれた部分であることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第２の流路形成基板と前記振動板との間には、前記圧力発生手段が収容される密封空間である保持部が設けられており、前記第２の電極層が、前記振動板上の前記保持部に対応する部分に設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第２の電極層が、前記保持部の周縁部に対向する部分に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項１〜５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドの前記第１の液体流路内に導電性液体を充填した状態で、前記第１の電極層の端子部と前記第２の電極層の端子部との間で導通状態を検出する検査工程を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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