JP2019014183A - 圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
かかる態様では、液供給口は振動板と金属層とを貫通して設けることで、液供給室に供給される液体の圧力によって液供給口の周囲の振動板及び金属層にクラック等の破壊が生じるのを抑制することができる。また、振動板や圧電素子の構成を変更することなく、液供給口の周囲の振動板及び金属層のクラック等の破壊を抑制することができるため、多数の層を積層して振動板が厚くなるのを抑制して、振動板が圧電素子の変位を阻害するのを抑制することができる。
かかる態様では、圧電素子の変位を阻害することなく、供給口の周囲の膜の破壊を抑制した液体噴射ヘッドを実現できる。
かかる態様では、圧電素子の変位を阻害することなく、供給口の周囲の膜の破壊を抑制した液体噴射装置を実現できる。
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図3は、図2のA−A′線断面図であり、図4は、図3の要部を拡大した図である。
を発揮できる材料が望ましく、イリジウム(Ir)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、金(Au)等の貴金属材料、及びランタンニッケル酸化物(LNO)に代表される導電性酸化物が好適に用いられる。また、第2電極80は、複数材料の積層であってもよい。本実施形態では、イリジウムとチタンとの積層電極(イリジウムが圧電体層70と接する)を使用している。そして、第2電極80は、スパッタリング法、レーザーアブレーション法などのPVD(Physical Vapor Deposition)法(気相法)、ゾル−ゲル法、MOD(Metal-Organic Decomposition)法、メッキ法などの液相法により形成することができる。また、第2電極80の形成後に、加熱処理を行うことにより、圧電体層70の特性改善を行うことができる。
液供給口16は、マニホールド部31の連通部13側の開口よりも小さい開口を有し、少なくとも2つ以上の複数の液供給口16が設けられている。ここで、複数の液供給口16が設けられているとは、1つの連通部13に対して2以上の液供給口16が設けられていることを言う。例えば、流路形成基板10に2以上の複数の連通部13が設けられている場合、連通部13の各々に対して複数の液供給口16が設けられていればよい。つまり、振動板50及び金属層55に複数の液供給口16が設けられているものの、1つの連通部13に対して1つの液供給口16が設けられたものは、本発明の「複数の供給口」には含まれない。そして、1つの連通部13に対して2以上の複数の液供給口16を設けることによって、連通部13の保護基板30側の開口には、振動板50と金属層55とが庇状に設けられていることになる。
なお、本実施形態では、圧力発生室12等が設けられた流路形成基板10と振動板50と金属層55と圧電素子300とを合わせて圧電デバイスと称する。
図5は、本発明の実施形態2に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
第1金属層551は、本実施形態では、圧電素子300の第1電極60と同一材料で、且つ同一層で形成されている。
第2金属層552は、本実施形態では、圧電素子300の第2電極80と同一材料で、且つ同一層で形成されている。
そして、第1金属層551と第2金属層552とを積層した金属層55は、第1電極60及び第2電極80と電気的に接続することなく、電気的に独立して設けられている。
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した各実施形態では、圧電素子300を覆う保護膜200は、液供給口16の形成された領域に設けられていない構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、保護膜200を液供給口16が設けられた領域に設けるようにしてもよい。すなわち、マニホールド部31と連通部13との間の領域には、振動板50と金属層55と保護膜200が積層され、これらを貫通して液供給口16が設けられていてもよい。なお、保護膜200の位置は特に限定されず、上述した実施形態1及び2のように金属層55として第1電極60又は第2電極80と同一層で設けた場合には、振動板50、金属層55、保護膜200の順で積層される。また、金属層55としてリード電極90と同一層で設けた場合には、保護膜200は、金属層55と振動板50との間に配置される。
Claims (7)
- ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドに用いられる圧電デバイスであって、
前記ノズルに連通する個別液室と、前記個別液室に連通する液供給室と、が形成された流路形成基板と、
前記流路形成基板の前記個別液室と前記液供給室とに対応する位置に形成された振動板と、
前記液供給室に形成された複数の液供給口と、
第1電極と圧電体層と第2電極とを含み、前記振動板の前記個別液室に対応する位置に形成された圧電素子と、
を具備し、
前記振動板の前記液供給室に対応する位置には、金属層が積層され、
前記液供給口は、前記振動板と前記金属層とを貫通して設けられていることを特徴とする圧電デバイス。 - 前記金属層は、前記第1電極又は前記第2電極と同一材料で形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
- 前記金属層は、前記第1電極又は前記第2電極と同一層で形成されていることを特徴とする請求項2記載の圧電デバイス。
- 前記金属層は、前記第1電極及び前記第2電極と電気的に接続されていないことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の圧電デバイス。
- 前記振動板と前記金属層とは、前記液供給口の周方向に亘って連続して形成されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の圧電デバイス。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載の圧電デバイスを具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項6記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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