JP4930678B2 - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
かかる第1の態様では、リザーバ部と連通部とを連通させる際に、加工カス等の異物が発生することがないため、加工カス等の異物によるノズル詰まり等の吐出不良を防止することができる。特に、本発明は、配線層上の保護膜を貫通部の開口周縁に沿って良好に剥離させて除去することができ、いわゆる剥離残渣等の発生を防止することができるため、吐出不良の発生を確実に防止することができる。
かかる第2の態様では、配線層上の保護膜を貫通部の開口縁部に沿ってさらに良好且つ確実に剥離させて除去することができる。
かかる第3の態様では、配線層上の保護膜を貫通部の開口縁部に沿ってさらに良好且つ確実に剥離させて除去することができる。
かかる第4の態様では、剥離層によって配線層上の保護膜をさらに容易に且つ確実に除去することができる。
かかる第5の態様では、所定応力の剥離層を用いることで配線層上の保護膜をさらに容易に且つ確実に除去することができる。
かかる第6の態様では、剥離層と保護膜とが良好に密着するため、配線層上の保護膜を剥離層と共にさらに容易且つ確実に除去することができる。
かかる第7の態様では、剥離層を所定の材料で形成することで、配線層上の保護膜を剥離層と共にさらに容易且つ確実に除去することができる。
かかる第8の態様では、配線層と保護膜との密着力が弱められるため、配線層上の保護膜がさらに良好且つ確実に除去することができる。
かかる第9の態様では、配線層をライトエッチングすることにより、密着層と共に密着層が拡散した金属層の一部が除去されることで、配線層と保護膜との密着力がより確実に弱められるため、配線層上の保護膜がさらに良好且つ確実に除去することができる。
かかる第10の態様では、金属層のみを除去して密着層を残すようにすることで、リザーバに対応する領域の振動板の表面が密着層と保護膜とで覆われた状態となる。これにより、加工カス等の異物の発生をより確実に防止できると共に、リザーバの内面の耐液体性を向上することができる。
かかる第11の態様では、圧力発生室、連通部等の内面が、供給された液体によって浸食されるのを確実に防止することができる。
かかる第12の態様では、圧力発生室、連通部等の内面が、供給された液体によって浸食されるのを確実に防止することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る製造方法によって製造されるインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及び断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、密着層91及び金属層92で構成される配線層190を例示したが、配線層190の構成はこれに限定されず、例えば、配線層を金属層のみで構成させるようにしてもよい。また、上述した実施形態では、貫通部52内に形成した配線層190上の保護膜15を高応力材料の剥離層16によって除去するようにしたが、配線層190上の保護膜15の除去方法は、特に限定されるものではない。
Claims (12)
- 圧力発生室と該圧力発生室に連通する連通部とを含む液体流路が形成される流路形成基板の一方面側に、振動板を介して下電極と圧電体層と上電極とを含む圧電素子を形成する工程と、
前記連通部となる領域の前記振動板を除去して貫通部を形成する工程と、
前記圧電素子から引き出されるリード電極と同一の層からなり、該リード電極とは不連続の配線層で前記貫通部を封止する工程と、
前記連通部と連通してリザーバの一部を構成するリザーバ部が形成されたリザーバ形成基板を前記流路形成基板の前記一方面側に接合する工程と、
前記流路形成基板を他方面側から前記振動板及び前記配線層が露出するまでウェットエッチングして前記液体流路を形成する工程と、
前記液体流路の内面に耐液体性を有する保護膜を形成する工程と、
前記配線層上の前記保護膜を剥離して除去する工程と、
前記配線層を前記連通部側からウェットエッチングして前記リザーバ部と前記連通部とを連通させる工程と、を具備し、
前記液体流路を形成する工程において、前記振動板側の開口縁部が前記貫通部の開口縁部よりも外側となるように前記連通部を形成し、前記貫通部の少なくとも前記流路形成基板側の開口縁部が前記振動板又は前記配線層のみで構成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記貫通部を、周縁部に亘って角部が存在しない開口形状に形成することを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記貫通部の内面と前記振動板の前記流路形成基板側の表面とのなす角度が鋭角となるように前記貫通部を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記保護膜を剥離する工程において、前記保護膜上に内部応力が圧縮応力である剥離層を形成した後、該剥離層を剥離することで該剥離層と共に前記配線層上の前記保護膜を剥離することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記剥離層の内部応力が80MPa以上であることを特徴とする請求項4に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記剥離層の前記保護膜との密着力が、前記保護膜と前記配線層との密着力より大きいことを特徴とする請求項4又は5に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記剥離層の材料として、チタンタングステンを用いることを特徴とする請求項4〜6の何れかに記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記保護膜を形成する工程の前に、前記連通部内に露出した前記配線層の厚さ方向の一部を除去する工程をさらに有することを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記配線層が、密着層と該密着層上に形成される金属層とからなり、
前記配線層の厚さ方向の一部を除去する工程において、前記配線層の表面をライトエッチングして前記密着層を除去することを特徴とする請求項8に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記リザーバ部と前記連通部とを連通させる工程において、前記配線層の前記金属層のみを除去することを特徴とする請求項9に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記保護膜の材料として、酸化物又は窒化物を用いたことを特徴とする請求項1〜10の何れかに記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記保護膜の材料として、酸化タンタルを用いたことを特徴とする請求項11に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
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