JP7039914B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents
液体吐出ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP7039914B2 JP7039914B2 JP2017192134A JP2017192134A JP7039914B2 JP 7039914 B2 JP7039914 B2 JP 7039914B2 JP 2017192134 A JP2017192134 A JP 2017192134A JP 2017192134 A JP2017192134 A JP 2017192134A JP 7039914 B2 JP7039914 B2 JP 7039914B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- individual electrode
- electrode row
- individual
- stacking direction
- row
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
- B41J2002/14217—Multi layer finger type piezoelectric element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/14266—Sheet-like thin film type piezoelectric element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2002/14306—Flow passage between manifold and chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14459—Matrix arrangement of the pressure chambers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
Description
前記積層方向と直交する面である第1面に沿って形成された複数の個別電極と、
前記積層方向と直交する面であって、前記積層方向における位置が前記第1面の前記積層方向における位置及び前記圧電体の中立面の前記積層方向における位置と異なる第2面に沿って形成された第1共通電極と、
前記積層方向と直交する面であって、前記積層方向における位置が前記第1面の前記積層方向における位置、前記第2面の前記積層方向における位置、及び前記圧電体の中立面の前記積層方向における位置と異なる第3面に沿って形成された第2共通電極と、
を備え、
前記積層方向において、前記中立面は前記第1面及び前記第2面と、前記第3面との間に位置し、
前記複数個別電極の面積の和をS1とし、前記第1共通電極の面積をS2とし、前記第2共通電極の面積をS3とし、前記中立面と前記第1面との積層方向の距離をD1とし、前記中立面と前記第2面との積層方向の距離をD2とし、前記中立面と前記第3面との積層方向の距離をD3としたとき、
D1×S1+D2×S2>D3×S3
が成り立ち、
前記複数の個別電極は、前記第1端と前記第2端との間において、互いに間隙をあけて配置された複数の個別電極列を構成し、
前記複数の個別電極列は、
第1個別電極列と、
前記第1個別電極列と前記第1方向において隣接する第2個別電極列と、
前記第2個別電極列と前記第1方向において隣接する第3個別電極列と、
前記第3個別電極列と前記第1方向において隣接する第4個別電極列と、を有し、
前記第1個別電極列は、前記第1方向において前記第1端と前記第2個別電極列との間に位置し、
前記第2個別電極列は、前記第1方向において前記第1個別電極列と前記第3個別電極列との間に位置し、
前記第3個別電極列は、前記第1方向において前記第2個別電極列と前記第4個別電極列との間に位置し、
前記第1個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記積層方向と直交し、且つ、前記第1方向と交差する第2方向に沿って配置され、
前記第2個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記第2方向に沿って配置され、
前記第3個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記第2方向に沿って配置され、
前記第4個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記第2方向に沿って配置され、
前記第2共通電極は、
前記第1方向における前記第1個別電極列と前記第2個別電極列との間位置を通過するように前記第2方向に沿って延びる第1延在部と、
前記第1延在部から前記第2端に向かって突出した複数の第1突出部と、
前記第1方向における前記第3個別電極列と前記第4個別電極列との間位置を通過するように前記第2方向に沿って延びる第2延在部と、
前記第2延在部から前記第1端に向かって突出した複数の第2突出部と、を有し、
前記各第1突出部は、前記第2個別電極列を構成する前記複数の個別電極の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
前記各第2突出部は、前記第3個別電極列を構成する前記複数の個別電極の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
さらに、前記第3面の、前記第1方向における前記複数の第1突出部と前記複数の第2突出部との間に形成された、前記第2共通電極と接触せず、且つ、互いに接触しない複数の導体層を備えることを特徴とする液体吐出ヘッドが提供される。
D1×S1+D2×S2>D3×S3
が成り立っているので、圧電体は、第2共通電極側に向かって凸になるように大反り変形する。これに対して、第3面に複数の導体層が形成されているので、上記関係式の左辺の大きさを大きくすることでき、左辺と右辺の大きさの差を小さくすることができる。これにより、圧電体に生じる大反りの変形を低減させることができる。
本発明の実施形態について説明する。図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2と、キャリッジ3と、キャリッジ駆動機構4と、インクジェットヘッド5と、搬送機構6と、コントローラ7と、インク供給ユニット8とを主に備えている。
例えば図2,3に示されるように、振動板30の上には、圧電体40が配置されている。圧電体40は略矩形状の平面形状を有している。図4(a),(b)に示されるように、圧電体40には複数の圧電素子401が形成されている。複数の圧電素子401は、複数の圧力室26にそれぞれ対応して設けられている。各圧電素子401は振動板30と協働して、対応する圧力室26の容積を変える。これにより、各圧電素子401は振動板30と協働して、対応する圧力室26内のインクに圧力を加えて、当該圧力室26に連通するノズル23からインクを吐出させるためのエネルギーをインクに付与している。
図4(a),(b)に示されるように、上部圧電層140の上面の、複数の圧力室26にそれぞれ対応した位置には、複数の個別電極141が形成されている。個別電極141は、例えば、白金(Pt)やイリジウム(Ir)などで形成されている。図5に示されるように、12列の圧力室列25に対応して、12列の個別電極列150が形成されている。12列の個別電極列150は走査方向に並んでいる。各個別電極列の各個別電極列150は、搬送方向に所定のピッチPで並んだ37個の個別電極141を含んでいる。12列の個別電極列150のうち、走査方向(左右方向)において上部圧電層140の端部140Lに近いものから数えてから1番目と2番目、3番目と4番目、5番目と6番目、7番目と8番目、9番目と10番目、11番目と12番目の個別電極列150はそれぞれ個別電極列のペアを形成している。なお、以下の説明においては、走査方向において、上部圧電層140の端部140Lに近いものから数えてn番目にあるものを、単に左からn番目と呼んでいる。中間圧電層240及び下部圧電層340においても同様に、走査方向において、中間圧電層240の端部240L(図6参照)に近いものから数えてn番目にあるもの、及び、下部圧電層340の端部340L(図7(a)参照)に近いものから数えてn番目にあるもの、をいずれも左からn番目と呼んでいる。各個別電極列150のペアの間では、搬送方向における個別電極141の位置が、各個別電極列150の配列ピッチPの半分(P/2)だけずれている。また、左から7番目と8番目、9番目と10番目、11番目と12番目の各個別電極列150のペアは、搬送方向において、互いに、上記配列ピッチPの1/3だけずれている。そのため、左から7番目と8番目、9番目と10番目、11番目と12番目の各個別電極列150は、互いに、搬送方向における個別電極141の位置が、各個別電極列150の配列ピッチPの1/6だけずれている。
図4(a)、(b)に示されるように、中間圧電層240の上面には、中間共通電極241が形成されている。図6に示されるように、中間共通電極241は、中間圧電層240の搬送方向の端部240Uを覆うように走査方向(左右方向)に延在する延在部242と、中間圧電層240の走査方向の端部240Lを覆うように搬送方向に延在する延在部243と、延在部242から、中間圧電層240の搬送方向の端部240Dに向かって搬送方向に延在する6本の延在部244と、各延在部244から走査方向の両側に突出する複数の突出部245とを有する。また、延在部243からも複数の突出部245が中間圧電層240の端部240Rに向かって走査方向に突出している。
図6に示されるように、走査方向における、左から1番目の延在部244から端部240Rに向かって走査方向に突出する複数の突出部245と、左から2番目の延在部244から端部240Lに向かって走査方向に突出する複数の突出部245との間には、搬送方向に延びる2列の導体層列270が配置されている。2列の導体層列270は走査方向に並んでいる。各導体層列270は、搬送方向に配列ピッチPで並んだ複数の導体層260により構成されている。2列の導体層列270は、搬送方向おける導体層260の位置が、各導体層列270の配列ピッチPの半分(P/2)だけずれている。なお、各導体層260は他の導体層260及び中間共通電極241とは接触しておらず、電気的に切り離されている。
図4に示されるように、下部圧電層340の上面には、下部共通電極341が形成されている。図7に示されるように、下部共通電極341は、下部圧電層340の搬送方向の端部340Dを覆うように走査方向(左右方向)に延在する延在部342と、下部圧電層340の走査方向の端部340Rを覆うように搬送方向に延在する延在部343と、延在部342から下部圧電層340の搬送方向の端部340Uに向かって搬送方向に延在する6本の延在部344と、各延在部344から走査方向の両側に突出する複数の突出部345とを有する。また、延在部343からも複数の突出部345が下部圧電層340の走査方向の端部340Lに向かって走査方向に突出している。なお、延在部342は、積層方向において圧力室26及び個別電極141と重ならない位置にある。また、積層方向において、中間共通電極241とも重ならない位置にある。
図7に示されるように、6つの延在部344には、搬送方向に延びる2列の貫通孔列370が形成されている。2列の貫通孔列370は走査方向に並んでいる。各貫通孔列370は、搬送方向に配列ピッチPで並んだ複数の貫通孔360により構成されている。2列の貫通孔列370は、搬送方向おける貫通孔360の位置が、各貫通孔列370の配列ピッチPの半分(P/2)だけずれている。
図2に示されるように、配線部材50は、フレキシブル配線基板51(FPC51)と、FPC51に配置されたドライバIC52とを備える。フレキシブル配線基板51に形成された不図示の接点は、各個別電極141の幅狭部143に設けられた不図示のバンプと電気的に接続されており、各個別電極141に対して、個別に電位を設定できる。また、上述のように、ドライバIC52は、中間共通電極241及び下部共通電極341に対して、所定の定電位を設定することができる。
上述のように圧電体40は、複数の圧力室26を覆うように振動板30の上に配置された、平面視で略矩形状の板状の部材である(例えば図2参照)。圧電体40には、複数の圧力室26にそれぞれ対応して設けられた複数の圧電素子401が形成されている。以下、圧電素子401の駆動について説明する。上部圧電層140の、積層方向において個別電極141と中間共通電極241とに挟まれた部分(以下、第1活性部41という(図4(a),(b)参照))は、積層方向に分極している。また、上部圧電層140と中間圧電層240の、積層方向において個別電極141と下部共通電極341とに挟まれた部分(以下、第2活性部42という(図4(a),(b)参照))も、積層方向に分極している。ここで、ドライバIC51が通電されている状態において、中間共通電極241には常に所定の第1電位(例えば24V)が印加され、下部共通電極341には常に所定の第2電位(例えば0V)が印加されている。また、各個別電極141には第1電位と第2電位とが選択的に印加される。具体的には、ある個別電極141に対応する圧力室26からインクを吐出しないときには、個別電極141には第2電位が付与されている。このとき、個別電極141と下部共通電極341との間には電位差が生じないので、第2活性部42は変形しない。しかしながら、個別電極141と中間共通電極241との間には、第1電位と第2電位の電位差(ここでは24V)が生じている。これにより、第1活性部41は下側(圧力室26側)に凸になるように変形している。
図12(c)に示されるように、中間圧電層240の上面に導体層260が形成されておらず、さらに下部圧電層340に導体層500が形成されていない場合を考える。圧電体40の中立面NPは、積層方向において、中間圧電層240の内部に位置している。積層方向において、中立面NPの上方には、中間共通電極241と個別電極141が配置されており、中立面NPの下方には、下部共通電極341が配置されている。
導体層500の形状等は上記の実施形態には限られず、種々の変更を加えることができる。例えば、図10に示されるように、下部圧電層340の、走査方向に隣り合う2つの延在部344の、走査方向における間の部分に、1つの導体層510を形成することができる。導体層510は、下部圧電層340の、走査方向に隣り合う2つの延在部344の、走査方向における間の部分をほぼ埋めるように形成されている。なお、導体層510と下部共通電極341とは、互いに接触しないように、導体層510と下部共通電極341との間にはわずかな間隙が形成されている。図10に示されるように、導体層510は、中間共通電極241と積層方向においてほぼ重なっている。
40 圧電体
140 上部圧電層
141 個別電極
240 中間圧電層
241 中間共通電極
340 下部圧電層
341 下部共通電極
Claims (13)
- 複数の圧電層が積層された圧電体であって、前記複数の圧電層の積層方向と直交する第1方向に離れた第1端と第2端とを有する圧電体と、
前記積層方向と直交する面である第1面に沿って形成された複数の個別電極と、
前記積層方向と直交する面であって、前記積層方向における位置が前記第1面の前記積層方向における位置及び前記圧電体の中立面の前記積層方向における位置と異なる第2面に沿って形成された第1共通電極と、
前記積層方向と直交する面であって、前記積層方向における位置が前記第1面の前記積層方向における位置、前記第2面の前記積層方向における位置、及び前記圧電体の中立面の前記積層方向における位置と異なる第3面に沿って形成された第2共通電極と、
を備え、
前記積層方向において、前記中立面は前記第1面及び前記第2面と、前記第3面との間に位置し、
前記複数の個別電極の面積の和をS1とし、前記第1共通電極の面積をS2とし、前記第2共通電極の面積をS3とし、前記中立面と前記第1面との積層方向の距離をD1とし、前記中立面と前記第2面との積層方向の距離をD2とし、前記中立面と前記第3面との積層方向の距離をD3としたとき、
D1×S1+D2×S2>D3×S3
が成り立ち、
前記複数の個別電極は、前記第1端と前記第2端との間において、互いに間隙をあけて配置された複数の個別電極列を構成し、
前記複数の個別電極列は、
第1個別電極列と、
前記第1個別電極列と前記第1方向において隣接する第2個別電極列と、
前記第2個別電極列と前記第1方向において隣接する第3個別電極列と、
前記第3個別電極列と前記第1方向において隣接する第4個別電極列と、を有し、
前記第1個別電極列は、前記第1方向において前記第1端と前記第2個別電極列との間に位置し、
前記第2個別電極列は、前記第1方向において前記第1個別電極列と前記第3個別電極列との間に位置し、
前記第3個別電極列は、前記第1方向において前記第2個別電極列と前記第4個別電極列との間に位置し、
前記第1個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記積層方向と直交し、且つ、前記第1方向と交差する第2方向に沿って配置され、
前記第2個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記第2方向に沿って配置され、
前記第3個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記第2方向に沿って配置され、
前記第4個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記第2方向に沿って配置され、
前記第2共通電極は、
前記第1方向における前記第1個別電極列と前記第2個別電極列との間の位置を通過するように前記第2方向に沿って延びる第1延在部と、
前記第1延在部から前記第2端に向かって突出した複数の第1突出部と、
前記第1方向における前記第3個別電極列と前記第4個別電極列との間位置を通過するように前記第2方向に沿って延びる第2延在部と、
前記第2延在部から前記第1端に向かって突出した複数の第2突出部と、を有し、
前記各第1突出部は、前記第2個別電極列を構成する前記複数の個別電極の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
前記各第2突出部は、前記第3個別電極列を構成する前記複数の個別電極の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
さらに、前記第3面の、前記第1方向における前記複数の第1突出部と前記複数の第2突出部との間に形成された、前記第2共通電極と接触せず、且つ、互いに接触しない複数の導体層を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記距離D1は、前記距離D3よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記積層方向において、前記中立面は、前記第2面と前記第3面との間にあることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記積層方向において、前記第2面は、前記第1面と前記中立面との間にあり、
前記距離D3は、前記距離D2よりも大きいことを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記複数の導体層は、前記第3面の、第1方向における前記第1突出部と前記第2突出部との間において、それぞれが前記第2方向に延在する複数の第1導体層延在部を有し、
前記複数の第1導体層延在部は、前記第2方向において互いに間隙をあけて並べられている請求項1~4のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第1導体層延在部の前記第2方向において設けられた前記間隙は、前記積層方向において、前記複数の個別電極と重ならない位置に設けられている請求項5に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記積層方向において前記複数の個別電極と重なるように配置された複数の圧力室、前記複数の圧力室に対応する複数のノズル、及び、前記対応する複数の圧力室と前記複数のノズルとをそれぞれ連通させる複数の流路とが形成された流路ユニットを備え、
前記第1導体層延在部の前記第2方向において設けられた前記間隙は、前記積層方向において、前記複数の圧力室と重ならない位置に設けられている請求項5又は6に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記複数の第1突出部は、前記第2方向において互いに間隙をもって並ぶように配置され、
前記複数の第2突出部は、前記第2方向において互いに間隙をもって並ぶように配置され、
前記複数の導体層は、さらに、前記複数の第1突出部の、前記第2方向における前記間隙、又は、前記複数の第2突出部の、前記第2方向における前記間隙に配置された複数の個別導体層を有し、
前記複数の個別導体層は、前記複数の第1導体層延在部とそれぞれ接触しないように設けられている請求項5~7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記複数の第1突出部は、前記第2方向において互いに間隙をもって並ぶように配置され、
前記複数の第2突出部は、前記第2方向において互いに間隙をもって並ぶように配置され、
前記複数の導体層は、さらに、前記複数の第1突出部の、前記第2方向における前記間隙において、前記複数の第1導体層延在部の1つから前記第2端にむかって突出する第1導体層突出部、又は、前記複数の第2突出部の、前記第2方向における前記間隙において、前記複数の第1導体層延在部の1つから前記第1端に向かって突出する第2導体層突出部を有する請求項5~7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記複数の個別電極列は、前記第4個別電極列と前記第1方向において隣接する第5個別電極列と、前記第5個別電極と第1方向において隣接する第6個別電極列を有し、
前記第4個別電極は、前記第1方向において前記第3個別電極列と前記第5個別電極列との間に位置し、
前記第5個別電極は前記第1方向において前記第4個別電極列と前記第6個別電極列との間に位置し、
前記第1共通電極は、前記第2延在部から前記第2端に向かって突出した複数の第3突出部と、前記第1方向における前記第5個別電極列と前記第6個別電極列との間の位置を通過するように前記第2方向に沿って延びる第3延在部と、前記第3延在部から前記第1端に向かって突出した複数の第4突出部と、を備え、
前記第3突出部は、前記第4個別電極列を構成する複数の個別電極の1つと前記積層方向において部分的に重なり、
前記第4突出部は、前記第5個別電極列を構成する複数の個別電極の1つと前記積層方向において部分的に重なり、
前記複数の導体層は、前記第2面の、第1方向における前記第3突出部と前記第4突出部との間において、それぞれが前記第2方向に延在する複数の第2導体層延在部を有し、
前記複数の第2導体層延在部は、前記第2方向において互いに間隙をあけて並べられており、
前記複数の第1導体層延在部の、前記第2方向における前記間隙の位置と、前記複数の第2導体層延在部の、前記第2方向における前記間隙の位置とが異なる請求項5~9のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 - 複数の圧電層が積層された圧電体であって、前記複数の圧電層の積層方向と直交する第1方向に離れた第1端と第2端とを有する圧電体と、
前記積層方向と直交する面である第1面に沿って形成された複数の個別電極と、
前記積層方向と直交する面であって、前記積層方向における位置が前記第1面の前記積層方向における位置及び前記圧電体の中立面の前記積層方向における位置と異なる第2面に沿って形成された第1共通電極と、
前記積層方向と直交する面であって、前記積層方向における位置が前記第1面の前記積層方向における位置、前記第2面の前記積層方向における位置、及び前記圧電体の中立面の前記積層方向における位置と異なる第3面に沿って形成された第2共通電極と、
を備え、
前記積層方向において、前記中立面は前記第1面及び前記第2面と、前記第3面との間に位置し、
前記複数個別電極の面積の和をS1とし、前記第1共通電極の面積をS2とし、前記第2共通電極の面積をS3とし、前記中立面と前記第1面との積層方向の距離をD1とし、前記中立面と前記第2面との積層方向の距離をD2とし、前記中立面と前記第3面との積層方向の距離をD3としたとき、
D1×S1+D2×S2>D3×S3
が成り立ち、
前記複数の個別電極は、前記第1端と前記第2端との間において、互いに間隙をあけて配置された複数の個別電極列を構成し、
前記複数の個別電極列は、
第1個別電極列と、
前記第1個別電極列と前記第1方向において隣接する第2個別電極列と、
前記第2個別電極列と前記第1方向において隣接する第3個別電極列と、
前記第3個別電極列と前記第1方向において隣接する第4個別電極列と、を有し、
前記第1個別電極列は、前記第1方向において前記第1端と前記第2個別電極列との間
に位置し、
前記第2個別電極列は、前記第1方向において前記第1個別電極列と前記第3個別電極列との間に位置し、
前記第3個別電極列は、前記第1方向において前記第2個別電極列と前記第4個別電極列との間に位置し、
前記第1個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記積層方向と直交し、且つ、前記第1方向と交差する第2方向に沿って配置され、
前記第2個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記第2方向に沿って配置され、
前記第3個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記第2方向に沿って配置され、
前記第4個別電極列を構成する前記複数の個別電極は、前記第2方向に沿って配置され、
前記第2共通電極は、
前記第1方向における前記第1個別電極列と前記第2個別電極列との間位置を通過するように前記第2方向に沿って延びる第1延在部と、
前記第1延在部から前記第2端に向かって突出した複数の第1突出部と、
前記第1方向における前記第3個別電極列と前記第4個別電極列との間位置を通過するように前記第2方向に沿って延びる第2延在部と、
前記第2延在部から前記第1端に向かって突出した複数の第2突出部と、を有し、
前記各第1突出部は、前記第2個別電極列を構成する前記複数の個別電極の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
前記各第2突出部は、前記第3個別電極列を構成する前記複数の個別電極の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
さらに、前記第3面の、前記第1方向における前記複数の第1突出部と前記複数の第2突出部との間に形成された、前記第2共通電極と接触しない1つの導体層を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記1つの導体層は、前記第2方向に延在する部分と、前記複数の第1突出部の、前記第2方向における前記間隙において、前記第2方向に延在する部分から前記第2端にむかって突出する部分と、を有する請求項11に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記積層方向において前記複数の個別電極と重なるように配置された複数の圧力室、前記複数の圧力室に対応する複数のノズル、及び、前記対応する複数の圧力室と前記複数のノズルとをそれぞれ連通させる複数の流路とが形成された流路ユニットを備える請求項1~12のいずれか一項に液体吐出ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017192134A JP7039914B2 (ja) | 2017-09-29 | 2017-09-29 | 液体吐出ヘッド |
US16/144,052 US11569429B2 (en) | 2017-09-29 | 2018-09-27 | Liquid discharge head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017192134A JP7039914B2 (ja) | 2017-09-29 | 2017-09-29 | 液体吐出ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019064156A JP2019064156A (ja) | 2019-04-25 |
JP7039914B2 true JP7039914B2 (ja) | 2022-03-23 |
Family
ID=65896211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017192134A Active JP7039914B2 (ja) | 2017-09-29 | 2017-09-29 | 液体吐出ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11569429B2 (ja) |
JP (1) | JP7039914B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7039914B2 (ja) | 2017-09-29 | 2022-03-23 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP7047312B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2022-04-05 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP7077568B2 (ja) | 2017-09-29 | 2022-05-31 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド |
EP4112313A4 (en) * | 2020-03-30 | 2023-08-02 | Kyocera Corporation | LIQUID EJECTION HEAD AND RECORDING DEVICE |
JP7415737B2 (ja) | 2020-03-30 | 2024-01-17 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004268325A (ja) | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ |
JP2005288916A (ja) | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 吐出ヘッド及び吐出ヘッド製造方法 |
JP2011206929A (ja) | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Brother Industries Ltd | 液体吐出ヘッド |
US20150137664A1 (en) | 2013-11-19 | 2015-05-21 | Océ-Technologies B.V. | Piezoelectric actuator array |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3849780B2 (ja) | 2003-02-25 | 2006-11-22 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータを備えた装置及びインクジェットプリンタヘッド |
JP2010069618A (ja) | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Brother Ind Ltd | 液体吐出ヘッド及び圧電アクチュエータ |
JP5402476B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2014-01-29 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出装置 |
JP5589811B2 (ja) | 2010-12-06 | 2014-09-17 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
EP2860150B1 (en) | 2013-10-11 | 2021-01-06 | Canon Production Printing Netherlands B.V. | Substrate plate for MEMS devices |
JP7039914B2 (ja) | 2017-09-29 | 2022-03-23 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド |
-
2017
- 2017-09-29 JP JP2017192134A patent/JP7039914B2/ja active Active
-
2018
- 2018-09-27 US US16/144,052 patent/US11569429B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004268325A (ja) | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ |
JP2005288916A (ja) | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 吐出ヘッド及び吐出ヘッド製造方法 |
JP2011206929A (ja) | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Brother Industries Ltd | 液体吐出ヘッド |
US20150137664A1 (en) | 2013-11-19 | 2015-05-21 | Océ-Technologies B.V. | Piezoelectric actuator array |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11569429B2 (en) | 2023-01-31 |
JP2019064156A (ja) | 2019-04-25 |
US20190103544A1 (en) | 2019-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7039914B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
WO2010150876A1 (ja) | 液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置 | |
JP2003311954A (ja) | インクジェットヘッド及びこれを有するインクジェットプリンタ | |
JP4353261B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP7131021B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
US8313176B2 (en) | Liquid ejection head | |
JP2003311956A (ja) | インクジェットヘッド及びこれを有するインクジェットプリンタ | |
JP7047312B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP7077568B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP7338212B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP4582104B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの検査方法及び製造方法 | |
US10919296B2 (en) | Liquid discharge head having a common electrode overlapping individual electrodes | |
US7679269B2 (en) | Liquid transporting apparatus and piezoelectric actuator | |
JP7151124B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP4930390B2 (ja) | 液体移送装置 | |
JP6131864B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
JP6187104B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP4831186B2 (ja) | 液体移送装置の製造方法 | |
JP6224791B2 (ja) | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 | |
JP6075777B2 (ja) | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 | |
JP2020172060A (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
JP2022169337A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP6141735B2 (ja) | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 | |
JP6034237B2 (ja) | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 | |
JP6201784B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200911 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210824 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220221 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7039914 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |