JP2012178558A - 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1電極60と、第2電極80と、第1電極60と第2電極80との間に設けられた圧電体層70と、第1電極60の圧電体層70とは反対側に設けられた振動板50と、を備え、圧電体層70が、第1電極60と第2電極80とで挟まれた実質的に駆動部となる圧電体能動部320を具備し、振動板50が、圧電体能動部320の端部において他の領域よりも厚さが厚くなっている構成とする。
【選択図】図3
Description
かかる態様では、圧電体能動部とそれ以外の部分(圧電体非能動部)との境界に応力が集中するのを抑制することができ、圧電体層にクラック等の破壊が生じるのを抑制することができる。
かかる態様では、圧電体層に対するクラック等の破壊の発生を抑制でき、信頼性が向上した液体噴射ヘッドを実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′線断面図であり、図3は、図2の要部を拡大した断面図である。
図8は、本発明の実施形態2に係るインクジェット式記録ヘッドを示す平面図である。なお、上述した実施形態1の構成と同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
図9は、本発明の実施形態3に係るインクジェット式記録ヘッドを示す平面図及び圧電素子の長手方向の構成を示す断面図である。なお、上述した実施形態の構成と同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
図10は、本発明の実施形態4に係るインクジェット式記録ヘッドを示す平面図であり、図11は、圧電素子の構成を示す断面図である。
以上、本発明の実施形態1及び2について説明したが、本発明の基本的構成は上述した
ものに限定されるものではない。
装置(液体噴射装置)、 10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 13 インク供給路、 14 連通路、 15 連通部、 20 ノズルプレート、 21 ノズル、 30 保護基板、 40 コンプライアンス基板、 50 振動板、 51 弾性膜、 52 絶縁体膜、 53 厚肉部、 54 厚肉延設部、 55 マスク、 60 第1電極、 70 圧電体層、 80 第2電極、 90 リード電極、 100 マニホールド、 120 駆動回路、 200 保護膜、 201 開口部、 300 圧電素子、 320 圧電体能動部、 330 圧電体非能動部
Claims (9)
- 第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた圧電体層と、
前記第1電極の前記圧電体層とは反対側に設けられた振動板と、を備え、
前記振動板は、前記圧電体層が前記第1電極と前記第2電極とで挟まれた実質的に駆動部となる圧電体能動部の端部において他の領域よりも厚さが厚いことを特徴とする圧電素子。 - 請求項1に記載の圧電素子において、
前記第2電極上に設けられた保護膜をさらに具備すると共に、前記保護膜には、前記第2電極を露出する開口部が前記圧電体能動部に対向して設けられていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1又は2に記載の圧電素子において、
前記振動板の厚い部分が、前記圧電素子の長手方向の端部まで延設されていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項3に記載の圧電素子において、
前記振動板の厚い部分が、前記圧電素子の長手方向の端部外側まで延設されていることを特徴とする圧電素子。 - 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室と、
各圧力発生室に圧力変化を生じさせる請求項1〜4の何れか一項に記載の圧電素子と、
を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項5に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記振動板の他の領域よりも厚さが厚い部分が、複数の前記圧電素子に亘って連続して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項5又は6に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第1電極の端部で規定される前記圧電体能動部の端部が、前記圧力発生室に対向する領域内に位置していることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項7に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記振動板の他の領域よりも厚さが厚い部分が、前記圧力発生室の端部を跨いで設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項5〜8の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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