JP2017132046A - 液体吐出装置 - Google Patents
液体吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017132046A JP2017132046A JP2016011347A JP2016011347A JP2017132046A JP 2017132046 A JP2017132046 A JP 2017132046A JP 2016011347 A JP2016011347 A JP 2016011347A JP 2016011347 A JP2016011347 A JP 2016011347A JP 2017132046 A JP2017132046 A JP 2017132046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure chamber
- flow path
- piezoelectric element
- path member
- rows
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 146
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 17
- 238000003491 array Methods 0.000 description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】ヘッドユニット19は、圧力室列29a,29bが形成された流路基板21aと、流路基板21aと走査方向に並んで配置され、圧力室列29c,29dが形成された流路基板21bとを有する。圧力室列29a,29bに対応する圧電素子列47a,47bに接続された複数の駆動接点53は、圧電素子列47a、47bよりも外側に配置されている。圧力室列29c,29dに対応する圧電素子列47c,47dに接続された複数の駆動接点53は、圧電素子列47c、47dよりも外側に配置されている。
【選択図】図3
Description
図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2と、キャリッジ3と、インクジェットヘッド4と、カートリッジホルダ5と、搬送機構6と、制御装置7等を備えている。
次に、ヘッドユニット19について詳細に説明する。本実施形態の4つのヘッドユニット19は、全て同じ構成を有するものであるため、そのうちの1つについて説明を行う。図2は、ヘッドユニット19の平面図である。図3は、図2において、カバー部材25が取り外された状態を示す図である。図4は、図3のA部拡大図である。図5は、図3のV-V線断面図である。図6は、図4のB部拡大図である。図2〜図6に示すように、ヘッドユニット19は、2つの流路基板21、マニホールド形成基板22、2つのノズルプレート23、2つの圧電アクチュエータ24、2つのカバー部材25、2枚のCOF(Chip On Film)26などを備えている。
まず、流路基板21、マニホールド形成基板22、及び、ノズルプレート23について説明する。流路基板21(21a,21b)、マニホールド形成基板22、及び、ノズルプレート23(23a,23b)は、それぞれシリコン単結晶基板からなる。上記3種類の基板は、上から、流路基板21、マニホールド形成基板22、ノズルプレート23の順で、上下に積層されている。
次に、圧電アクチュエータ24について説明する。2つの流路基板21a,21bの上には、2つの圧電アクチュエータ24a,24bがそれぞれ形成されている。1つの圧電アクチュエータ24は、複数の圧力室28を覆うように流路基板21に形成された絶縁膜40と、絶縁膜40の上に配置された複数の圧電素子41を有する。
図2、図5に示すように、2つのカバー部材25は、2つの流路基板21の上に、複数の圧電素子41を覆うようにそれぞれ配置されている。尚、絶縁膜40の縁領域EAに配置された複数の駆動接点53及び2つのグランド接点54は、カバー部材25から露出している。カバー部材25の材質は特に限定されないが、例えば、シリコンで形成されたものを好適に採用できる。
2枚のCOF26は、それぞれ、フレキシブル性を有する樹脂フィルムに多数の配線(図示省略)が形成された配線基板である。上述したように、各流路基板21に形成された絶縁膜40の端領域EAには、複数の駆動接点53と2つのグランド接点54が1列に配列されている。そして、1つの流路基板21の上記端領域EAに、1枚のCOF26が導電性接着剤によって接合され、複数の駆動接点53及び2つのグランド接点54がCOF26と電気的に接続されている。尚、図5に示すように、4つのヘッドユニット19の上方には回路基板58が配置されている。各COF26の、流路基板21と反対側の端部は、回路基板58の貫通孔を通過して、回路基板58の上面の端子に接続されている。また、回路基板58は、さらに、制御装置7(図1参照)と接続されている。
19 各ヘッドユニット
21a,21b 流路基板
22 マニホールド形成基板
22b 隔壁部
28 圧力室
29 圧力室列
30 マニホールド
31 開口
36 ノズル
41 圧電素子
47 圧電素子列
53 駆動接点
54 グランド接点
100 柱
101 厚肉部
130 マニホールド
Claims (10)
- 第1方向に延び、且つ、前記第1方向と直交する第2方向に並ぶ第1圧力室列と第2圧力室列を構成する、複数の第1圧力室が形成された、第1流路部材と、
前記第1流路部材と前記第2方向に並んで配置され、且つ、前記第1方向に延びて前記第2方向に並ぶ第3圧力室列と第4圧力室列を構成する、複数の第2圧力室が形成された、第2流路部材と、
前記複数の第1圧力室に対応して配置され、前記第2方向に並ぶ第1圧電素子列と第2圧電素子列を構成する、複数の第1圧電素子と、
前記複数の第2圧力室に対応して配置され、前記第2方向に並ぶ第3圧電素子列と第4圧電素子列を構成する、複数の第2圧電素子と、
前記複数の第1圧電素子にそれぞれ接続され、前記第1圧電素子列と前記第2圧電素子列よりも前記第2方向の外側に配置された、複数の第1接点と、
前記複数の第2圧電素子にそれぞれ接続され、前記第3圧電素子列と前記第4圧電素子列よりも前記第2方向の外側に配置された、複数の第2接点と、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記第1流路部材及び前記第2流路部材に対して圧電素子とは反対側に配置され、少なくとも1つの圧力室列に属する前記圧力室に共通に連通する共通液室が形成された、液室形成部材を有することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記液室形成部材の前記第1方向の端部が、前記第1流路部材及び前記第2流路部材よりも前記第1方向外側に張り出し、
前記液室形成部材の前記張り出し部分に、前記共通液室と連通する開口が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出装置。 - 前記液室形成部材の前記第2方向の両端部が、前記第1流路部材及び前記第2流路部材よりも前記第1方向外側にそれぞれ張り出し、
前記液室形成部材の2つの前記張り出し部分に、前記共通液室に連通する2つの開口がそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出装置。 - 前記第2圧力室列は、前記第1圧力室列よりも前記第2方向の中央側に配置され、
前記第3圧力室列は、前記第4圧力室列よりも前記第2方向の中央側に配置され、
前記液室形成部材には、前記第2方向において、前記第2圧力室列と前記第3圧力室列とに跨って配置された、1つの前記共通液室が形成されていることを特徴とする請求項2〜4の何れかに記載の液体吐出装置。 - 前記2つの圧力室列が、共に、前記1つの共通液室に連通していることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出装置。
- 前記1つの共通液室内の、前記第2方向において前記第1流路部材と前記第2流路部材の間の位置に、柱、又は、凸部が配置されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の液体吐出装置。
- 前記液室形成部材の、前記1つの共通液室を区画する、前記第1流路部材及び前記第2流路部材側の壁部に厚肉部が形成され、
前記厚肉部は、前記第2方向において前記第1流路部材と前記第2流路部材の間の位置に配置されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の液体吐出装置。 - 前記液室形成部材には、前記第2方向に並ぶ2つの共通液室と、前記2つの共通液室を隔てる隔壁部とが形成され、
前記隔壁部は、前記第2方向において前記第1流路部材と前記第2流路部材の間の位置に配置されていることを特徴とする請求項2〜4の何れかに記載の液体吐出装置。 - 所定方向に並ぶ圧力室A及び圧力室Bが形成された、第1流路部材と、
前記第1流路部材と前記所定方向に並んで配置され、且つ、前記所定方向に並ぶ圧力室C及び圧力室Dが形成された、第2流路部材と、
前記圧力室A及び前記圧力室Bに対応して配置され、前記所定方向に並ぶ圧電素子A及び圧電素子Bと、
前記圧力室C及び前記圧力室Dに対応して配置され、前記所定方向に並ぶ圧電素子C及び圧電素子Dと、
前記圧電素子A及び前記圧電素子Bに接続され、前記圧電素子A及び前記圧電素子Bよりも前記所定方向の外側に配置された、接点A及び接点Bと、
前記圧電素子C及び前記圧電素子Dに接続され、前記圧電素子C及び前記圧電素子Dよりも前記所定方向の外側に配置された、接点C及び接点Dと、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016011347A JP6676980B2 (ja) | 2016-01-25 | 2016-01-25 | 液体吐出装置 |
US15/409,770 US9962933B2 (en) | 2016-01-25 | 2017-01-19 | Liquid ejection device |
US15/948,096 US10369789B2 (en) | 2016-01-25 | 2018-04-09 | Liquid ejection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016011347A JP6676980B2 (ja) | 2016-01-25 | 2016-01-25 | 液体吐出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017132046A true JP2017132046A (ja) | 2017-08-03 |
JP6676980B2 JP6676980B2 (ja) | 2020-04-08 |
Family
ID=59361015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016011347A Active JP6676980B2 (ja) | 2016-01-25 | 2016-01-25 | 液体吐出装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9962933B2 (ja) |
JP (1) | JP6676980B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021059051A (ja) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | 株式会社リコー | 液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7400346B2 (ja) * | 2019-10-28 | 2023-12-19 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
JP2023068412A (ja) | 2021-11-02 | 2023-05-17 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002127408A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-08 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエ一タ |
JP2010082902A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Brother Ind Ltd | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
US20100229391A1 (en) * | 2007-08-31 | 2010-09-16 | David Laurier Bernard | Micro-fluid ejection heads and methods for bonding substrates to supports |
JP2015024629A (ja) * | 2013-07-29 | 2015-02-05 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4366568B2 (ja) * | 2003-08-04 | 2009-11-18 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2008273218A (ja) | 2008-08-22 | 2008-11-13 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びアクチュエータユニットの製造方法 |
JP5948992B2 (ja) * | 2012-03-13 | 2016-07-06 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
JP2014156065A (ja) | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP6213230B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-10-18 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
-
2016
- 2016-01-25 JP JP2016011347A patent/JP6676980B2/ja active Active
-
2017
- 2017-01-19 US US15/409,770 patent/US9962933B2/en active Active
-
2018
- 2018-04-09 US US15/948,096 patent/US10369789B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002127408A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-08 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエ一タ |
US20100229391A1 (en) * | 2007-08-31 | 2010-09-16 | David Laurier Bernard | Micro-fluid ejection heads and methods for bonding substrates to supports |
JP2010082902A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Brother Ind Ltd | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
JP2015024629A (ja) * | 2013-07-29 | 2015-02-05 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021059051A (ja) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | 株式会社リコー | 液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170210131A1 (en) | 2017-07-27 |
US10369789B2 (en) | 2019-08-06 |
US9962933B2 (en) | 2018-05-08 |
JP6676980B2 (ja) | 2020-04-08 |
US20180229500A1 (en) | 2018-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6492756B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2017144672A (ja) | 液体吐出装置、及び、配線部材 | |
JP6604117B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6455167B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2011212865A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP6375992B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP7297975B2 (ja) | 液滴噴射装置 | |
JP2003311954A (ja) | インクジェットヘッド及びこれを有するインクジェットプリンタ | |
JP6676980B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
US10583655B2 (en) | Liquid ejection device | |
JP6878824B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
JP2003311956A (ja) | インクジェットヘッド及びこれを有するインクジェットプリンタ | |
JP4924339B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド用のキャビティユニット | |
JP2007055245A (ja) | インクジェットプリンタ、インクジェットプリンタ用ヘッド及びそれに用いるフレキシブルケーブル | |
JP7039915B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
US9211709B2 (en) | Liquid droplet jetting apparatus | |
JP2007190740A (ja) | 液滴噴射装置 | |
JP7275769B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 | |
JP7002012B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
US11485138B2 (en) | Liquid discharge head | |
JP6476884B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6558191B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP7247764B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP2007062128A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP2016124119A (ja) | 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6676980 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |